JP7222135B1 - ロボット制御装置、及びロボット制御システム - Google Patents
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- 239000003550 marker Substances 0.000 claims abstract description 51
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 8
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 81
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
(ステップS101)第1の特定部12は、第1の位置を特定するかどうか判断する。そして、第1の位置を特定する場合には、ステップS102に進み、そうでない場合には、ステップS105に進む。なお、第1の特定部12は、例えば、第1の位置を特定する旨の指示がロボット制御装置1に入力された場合に、第1の位置を特定すると判断してもよい。
まず、ユーザは、ハンド部50に模擬搬送対象61を保持させた後に、第1の位置の特定を行うようにロボット制御装置1に指示する。すると、その指示に応じて、第1の特定部12は、第1の位置を特定すると判断し、カメラ部60に撮影画像を取得するように指示する(ステップS101)。その指示を受け取ると、カメラ部60は、撮影画像を取得してロボット制御装置1に出力する。図5は、その撮影画像を示す図である。なお、実際の撮影画像はステレオ画像であるが、説明の便宜上、図5では、そのステレオ画像に相当する単眼のカメラの撮影画像を示している。図6も同様である。撮影画像は、ロボット制御装置1の受付部11で受け付けられ、第1の特定部12に渡される(ステップS102)。撮影画像を受け取ると、第1の特定部12は、基準マーカ61aを特定し、その基準マーカ61aの位置である第1の位置A1を特定して、制御部15に渡す(ステップS103、S104)。この第1の位置A1は、カメラ座標系における位置であり、(x1,y1,z1)であったとする。
α×(x2-x1,y2-y1,z2-z1)
1/3×(x2-x1,y2-y1,z2-z1)
1/2×(x3-x1,y3-y1,z3-z1)
(x4-x1,y4-y1,z4-z1)
Claims (5)
- 板状の搬送対象を保持するハンド部と当該ハンド部に連結されたアーム部と前記ハンド部の基端側に固定されたカメラ部とを有する搬送ロボットを制御するロボット制御装置であって、
前記カメラ部によって取得された撮影画像を受け付ける受付部と、
前記受付部によって受け付けられた、前記ハンド部で保持されている模擬搬送対象を含む撮影画像を用いて、当該模擬搬送対象が有する1個の基準マーカの位置である第1の位置を特定する第1の特定部と、
前記受付部によって受け付けられた、目標位置に配置された模擬搬送対象を含む撮影画像を用いて、当該模擬搬送対象が有する1個の基準マーカの位置である第2の位置を特定する第2の特定部と、
前記第1の位置が前記第2の位置に重なるように、前記ハンド部が搬送対象を保持していない状態の前記搬送ロボットを制御する制御部と、
前記第1の位置が前記第2の位置に重なった状態で教示を行う教示部と、を備えたロボット制御装置。 - 前記カメラ部は、ステレオカメラであり、
前記第1及び第2の位置は、3次元のカメラ座標系における位置である、請求項1記載のロボット制御装置。 - 前記第1の位置が前記第2の位置に重なるまでに、
前記第2の特定部による、撮影画像を用いた前記第2の位置の特定と、
前記制御部による前記第1の位置が前記第2の位置に近づくようにするための前記アーム部の制御とが繰り返される、請求項1または請求項2記載のロボット制御装置。 - 前記第1の位置が前記第2の位置に重なるまでに、前記第2の特定部による、撮影画像を用いた前記第2の位置の特定が1回のみ行われる、請求項1または請求項2記載のロボット制御装置。
- 板状の搬送対象を保持するハンド部と当該ハンド部に連結されたアーム部と前記ハンド部の基端側に固定されたカメラ部とを有する搬送ロボットと、
当該搬送ロボットを制御する、請求項1または請求項2記載のロボット制御装置と、を備えたロボット制御システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022089803A JP7222135B1 (ja) | 2022-06-01 | 2022-06-01 | ロボット制御装置、及びロボット制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022089803A JP7222135B1 (ja) | 2022-06-01 | 2022-06-01 | ロボット制御装置、及びロボット制御システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7222135B1 true JP7222135B1 (ja) | 2023-02-14 |
JP2023177092A JP2023177092A (ja) | 2023-12-13 |
Family
ID=85202298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022089803A Active JP7222135B1 (ja) | 2022-06-01 | 2022-06-01 | ロボット制御装置、及びロボット制御システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7222135B1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR102292337B1 (ko) | 2020-02-18 | 2021-08-24 | 무진전자 주식회사 | 기판이송로봇 자동 티칭 장치 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH10264065A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Mitsubishi Electric Corp | ロボットの遠隔操作支援装置 |
-
2022
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009184069A (ja) | 2008-02-06 | 2009-08-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウエハ搬送装置及びその調整方法 |
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KR102292337B1 (ko) | 2020-02-18 | 2021-08-24 | 무진전자 주식회사 | 기판이송로봇 자동 티칭 장치 |
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JP2023177092A (ja) | 2023-12-13 |
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