JP7219426B2 - 非接触搬送装置 - Google Patents
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Description
ワークに臨むワーク保持面を軸方向端部に有したボディと、
ボディの内部に形成されエア供給部から供給された圧力流体が流通する通路と、
ボディの内部に設けられ、通路の下流端と連通して径方向外側へと延在し、且つ、ボディの周方向に沿って複数設けられ通路内の圧力流体をワーク保持面へ向けて導出するノズルと、
ワーク保持面に対して軸方向に窪み、ノズルの径方向端部とワーク保持面とを繋ぐ凹部と、
ボディと別体で構成され、凹部に収容されるフランジ部を有し、ボディの内部に固定されるディフレクタと、
を備え、
ノズルが、ボディの軸方向において少なくとも一部が断面円弧状となりワーク保持面側に向かって窪んで形成され、径方向外側へ向かって放射状に延在し、
凹部は、ディフレクタのフランジ部に向き合う平坦面を有し、
フランジ部の上面は、平坦面に当接し、
フランジ部の上面には、フランジ部の周方向に沿って互いに離間した複数の溝が形成され、
複数の溝により複数のノズルが構成される。
14…ディフレクタ 16…ワーク保持面
18…ストッパ機構 20…孔部
22…第1ポート 24…第2ポート
36…凹部 48…第1湾曲面
50…第2湾曲面 66…フランジ部
84…ノズル溝 86…パッド部材
104、152…保持部 106…第1アタッチメント部材
110、156…カバー壁 112…円環部
114…架橋部 154…第2アタッチメント部材
158…ガイド壁 S1、S2…ワーク
Claims (8)
- 圧力流体の供給作用下にワークを吸引し、該ワークを非接触状態で保持搬送する非接触搬送装置において、
前記ワークに臨むワーク保持面を軸方向端部に有したボディと、
前記ボディの内部に形成されエア供給部から供給された前記圧力流体が流通する通路と、
前記ボディの内部に設けられ、前記通路の下流端と連通して径方向外側へと延在し、且つ、前記ボディの周方向に沿って複数設けられ前記通路内の圧力流体を前記ワーク保持面へ向けて導出するノズルと、
前記ワーク保持面に対して軸方向に窪み、前記ノズルの径方向端部と前記ワーク保持面とを繋ぐ凹部と、
前記ボディと別体で構成され、前記凹部に収容されるフランジ部を有し、前記ボディの内部に固定されるディフレクタと、
を備え、
前記ノズルが、前記ボディの軸方向において少なくとも一部が断面円弧状となり前記ワーク保持面側に向かって窪んで形成され、径方向外側へ向かって放射状に延在し、
前記凹部は、前記ディフレクタの前記フランジ部に向き合う平坦面を有し、
前記フランジ部の上面は、前記平坦面に当接し、
前記フランジ部の前記上面には、前記フランジ部の周方向に沿って互いに離間した複数の溝が形成され、
前記複数の溝により複数の前記ノズルが構成される、非接触搬送装置。 - 請求項1記載の非接触搬送装置において、
前記ノズルは、前記凹部の内壁面に当接する部位に形成され、前記内壁面との間に前記圧力流体の流通する流路を構成する、非接触搬送装置。 - 請求項1又は2記載の非接触搬送装置において、
前記ワーク保持面には、前記ワークが吸引された際に接触可能なストッパ機構を備え、該ストッパ機構は、弾性材料から形成され前記ワーク保持面に対して一部が突出したパッド部材と、該パッド部材の内部に挿入され前記ボディに対して前記パッド部材を固定するピン部材とを備える、非接触搬送装置。 - 請求項3記載の非接触搬送装置において、
前記パッド部材は、前記ワーク保持面に対して離間する方向へスカート状に広がって前記ワークに接触可能なパッド部を有する、非接触搬送装置。 - 請求項1~4のいずれか1項に記載の非接触搬送装置において、
前記ボディ、前記ディフレクタ及び前記パッド部材は、半導電性材料から形成される、非接触搬送装置。 - 請求項1~5のいずれか1項に記載の非接触搬送装置において、
前記ボディには、前記ワーク保持面に臨み、且つ、該ワーク保持面に対して所定距離離間して複数の開口を有した保持部を備えたアタッチメント部材が着脱自在に設けられる、非接触搬送装置。 - 請求項1~5のいずれか1項に記載の非接触搬送装置において、
前記ボディには、前記ワーク保持面側となり、該ワーク保持面に対して径方向外側で軸方向に延在する環状の保持部を備えたアタッチメント部材が着脱自在に設けられる、非接触搬送装置。 - 請求項1~7のいずれか1項に記載の非接触搬送装置において、
前記ボディには、前記ワーク保持面とは反対側となる端部、又は、軸方向と略直交する側面部に開口したポートを有し、前記ポートが前記ディフレクタの内部を通じて前記凹部と連通している、非接触搬送装置。
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