JP7219355B2 - 組成物、ペースト、及び方法 - Google Patents
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Description
60~85重量%のBi2O3と、
3~15重量%のZnOと、
2~10重量%のB2O3と、
0.5~5重量%のSiO2と、
0.5~5重量%のAl2O3と、
NaF及びBaF2から選択される0.1~0.5重量%の化合物と、を含む。
(i)1つ以上のフリット組成物を含み、フリット組成物のうちの少なくとも1つが、上記で定義される通りである、ガラス粉末と、
(ii)レーザ吸収材料(ガラスフリットのうちの1つ以上、充填材料に組み込まれるか、又は別個の追加材料として提供され得る)と、
(iii)有機媒体と、を含む。
(i)上記の組成物と、
(ii)有機媒体と、を混合することを含む、ペーストを調製する方法が提供される。
(i)第1の無機基材を提供することと、
(ii)第2の無機基材を提供することと、
(iii)無機基材のうちの少なくとも1つの少なくとも一部分上に、上記のペーストを堆積させることと、
(iv)ペーストを乾燥させて、乾燥コーティングを形成することと、
(v)好ましくは、乾燥コーティングを予備焼成して、有機結合剤を除去することと(任意選択的に、乾燥及び有機結合剤除去工程は、単一工程で実施され得る)、
(vi)第1及び第2の基材を組み立てることであって、乾燥/予備焼成されたコーティングが基材間に位置し、かつ両方の基材と接触するように組み立てることと、
(vii)乾燥/予備焼成されたコーティングを焼成することと、を含む。
60~85重量%のBi2O3と、
3~15重量%のZnOと、
2~10重量%のB2O3と、
0.5~5重量%のSiO2と、
0.5~5重量%のAl2O3と、
NaF及びBaF2から選択される0.1~0.5重量%の化合物と、を含む。
(i)60~85重量%のBi2O3と、
(ii)3~15重量%のZnOと、
(iii)2~10重量%のB2O3と、
(iv)0.5~5重量%のSi2O2と、
(v)0.5~5重量%のAl2O3と、
(vi)NaF及びBaF2から選択される0.1~0.5重量%の化合物と、
(vii)Li2O、Na2O、K2O、及びRb2Oから選択される0~5重量%の1つ以上の化合物と、
(viii)0~2重量%のBaOと、
(ix)0~2重量%のCuOと、
(x)0~2重量%のMn2O3と、
(xi)0~2重量%のFe2O3と、
(xii)0~13重量%のCr2O3と、
(xiii)付随する不純物と、から本質的になる。
62~75重量%のSiO2と、
18~28重量%のAl2O3と、
3~7重量%のCaOと、
3~5重量%のZnOと、
1.5~4重量%のLi2Oと、
2.3~3.8重量%のBaOと、
0.1~1重量%のMgOと、を有する、アルミノケイ酸塩ガラスフリットである。
75重量%のアルミノケイ酸塩ガラスフリット粉末、及び
25重量%のMnO/CuO/Cr2O3系顔料を有するレーザ吸収剤と、を含む焼結材料である。
(i)上記の組成物と、
(ii)有機媒体と、を含む。
(i)上記の組成物と、
(ii)有機媒体と、を混合することによって調製され得る。
(i)第1の無機基材を提供することと、
(ii)第2の無機基材を提供することと、
(iii)無機基材のうちの少なくとも1つの少なくとも一部分上に、上記のペーストを堆積させることと、
(iv)ペーストを乾燥させて、乾燥コーティングを形成することと、
(v)コーティングを所与の温度で予備焼成することと、
(vi)乾燥したコーティングが第1及び第2の基材間に位置し、かつ両方の基材と接触するように、第1及び第2の基材を組み立てることと、
(vii)予備焼成コーティングを焼成することと、を含む。
ガラスフリット及び焼結組成物を、市販の原材料を使用して調製した。以下の表は、使用される原材料を要約する。
ガラスフリットを、市販の原材料を使用して調製した。各ガラスフリットの組成を、以下の表1に示す。
実施例1に従って調製したガラスフリットA及びBを、表2に示される組成を有する粉末に配合した。
次いで、実施例2に従って調製した本発明のペーストを使用して、対流又は放射焼成方法のいずれかを介して、2つのガラス基材を封止した。
調製したペーストを、90メッシュスクリーンを使用する、スクリーン印刷によって、2つの厚さ1.8mmのソーダ石灰ガラス基材に塗布した。湿潤層の厚さは、50μmであった。印刷後、プレートを、150℃で10分間乾燥させ、互いの上に設置し、18Nの力の下でクランプし、焼成した。焼成サイクルは、以下の通りであった:(i)250~520℃の焼成温度に達するまで5℃/分で加熱し、(ii)所望の焼成温度で20分間焼成し、(iii)5℃/分の速度で室温まで冷却する。
調製されたペーストを、90メッシュスクリーンを使用するスクリーン印刷によって、2つの厚さ1.8mmのソーダ石灰ガラス基材に塗布した。湿潤層の厚さは、15~20μmであった。印刷後、プレートを、150℃で10分間乾燥させ、350℃で10分間予備焼成し、互いの上に設置し、18Nの力の下でクランプし、試料を、最大100~250℃まで加熱し、レーザ走査した。レーザ封止は、808nmの波長を有するダイオードレーザ又は1064nmの波長を有するIRレーザのいずれかを使用した。レーザ線形供給速度を、0.5~2mm/秒に設定した。レーザ出力を、15~25W)に設定した。封止された物品を、自然に室温まで冷却した。
封止されたガラス物品の各々を、ウェハ接合試験に供し、それによってカミソリ刃を2つのガラス板の間に通した。基材の破損を最初に経験する一方で、封止が無傷のままである物品を、「許容」と評価した。基材の破損前に封止の剥離を経験した物品を、「拒絶」と評価した。本発明に従って製造されたすべての試験試料は、「許容」の封止強度を明示した。
Claims (15)
- 無機基材を封止するための組成物であって、前記組成物が、ガラスフリット及び充填材料を含み、前記ガラスフリットが、
60~85重量%のBi2O3と、
3~15重量%のZnOと、
2~10重量%のB2O3と、
0.5~5重量%のSiO2と、
0.5~5重量%のAl2O3と、
NaF及びBaF2から選択される0.1~0.5重量%の化合物と、を含む、組成物。 - 前記ガラスフリットが、65~80重量%、より好ましくは66~79重量%のBi2O3を含む、請求項1に記載の組成物。
- 前記ガラスフリットが、5~12重量%のZnOを含む、請求項1又は2に記載の組成物。
- 前記ガラスフリットが、以下:2.5~8重量%のB2O3と、0.8~3重量%のSiO2と、0.8~3重量%のAl2O3と、NaF及びBaF2から選択される0.1~0.3重量%の化合物と、のうちの1つ以上を含む、請求項1~3のいずれか一項に記載の組成物。
- 前記ガラスフリットが、0.5~5重量%の1つ以上のアルカリ金属酸化物を更に含む、請求項1~4のいずれか一項に記載の組成物。
- 前記ガラスフリットが、BaOを更に含む、請求項1~5のいずれか一項に記載の組成物。
- 前記ガラスフリットが、1つ以上の遷移金属酸化物を更に含む、請求項1~6のいずれか一項に記載の組成物。
- 前記ガラスフリットが、着色顔料であるレーザ吸収剤を更に含む、請求項1~7のいずれか一項に記載の組成物。
- 実質的にバナジウムを含まず、かつ/又は実質的に鉛を含まない、請求項1~8のいずれか一項に記載の組成物。
- 前記充填材料が、コーディエライト又はアルミノケイ酸塩ガラスフリットである、請求項1~9のいずれか一項に記載の組成物。
- 前記充填材料が、アルミノケイ酸塩ガラスフリット、及び着色顔料であるレーザ吸収剤を含む、焼結材料である、請求項1~9のいずれか一項に記載の組成物。
- 着色顔料であるレーザ吸収剤を更に含む、請求項1~7及び9~10のいずれか一項に記載の組成物。
- 前記組成物が、以下の要件:
Bi2O3/ZnOの重量%比が、4~28であり、
ZnO/B2O3の重量%比が、0.3~7.5であり、
Bi2O3/Fの重量%比が、120~850であり、
Bi2O3/Al2O3の重量%比が、12~170である、のうちの1つ以上を満たす、請求項1~12のいずれか一項に記載の組成物。 - 無機基材を封止するためのペーストであって、
(i)請求項1~13のいずれか一項に記載の組成物と、
(ii)有機媒体と、を含む、ペースト。 - 無機基材間に接合又は封止を形成する方法であって、
(i)第1の無機基材を提供することと、
(ii)第2の無機基材を提供することと、
(iii)前記無機基材のうちの少なくとも1つの少なくとも一部分上に、請求項14に記載のペーストを堆積させることと、
(iv)前記ペーストを乾燥させて、乾燥ペーストを形成することと、
(v)任意選択的に、前記乾燥ペーストを予備焼成して、有機媒体を除去することと、
(vi)前記乾燥ペーストが前記第1及び第2の基材間に位置し、かつ両方の基材と接触するように、前記第1及び第2の基材を組み立てることと、
(vii)前記乾燥ペーストを焼成することと、を含む、方法。
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