JP7206020B2 - 画像観察装置及びその照明光学系 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 168
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims description 167
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 80
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G02B13/22—Telecentric objectives or lens systems
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
112、212、312…光源部
114、114A、114B、214、314…照明光分割部材
116、216、316…照明光学系
116A、316A…リレー光学系
116B、216B、316B…ビームスプリッタ
122、222、322…観察光学系
122A、222A、322A…対物レンズ
122B、222B、322B…開口絞り
122C、222C、322C…チューブレンズ
126、226、326…検出器
130、230、330…処理装置
316C…照明絞り
B、G、R…光の波長領域
CF1、CF2、CF3…フィルター領域
DD…表示装置
DS…観察立体角
IS、IS’…照射立体角
IS1、IS2、IS3、RS1、RS2、RS3…立体角領域
L1…照明光軸
L1’…照明主光線
L2…観察光軸
L3…反射光軸
LS…照明開口
P、P1、P2、P’…位置
RI…リレー像
RS…反射立体角
W…被観察物
Φ…傾斜角
Claims (11)
- 照明光を被観察物に照射する照明光学系と、該被観察物からの物体光を集光し検出器に導く観察光学系と、を備える画像観察装置において、
前記照明光の光属性を1以上の立体角領域に分割するフィルター部材と、
前記被観察物に対峙する対物レンズと、
該対物レンズの反被観察物側に配置され、前記照明光学系の照明光軸と前記観察光学系の観察光軸とを同軸とするビームスプリッタと、を備え、
該フィルター部材または該フィルター部材のリレー像が、前記対物レンズの反被観察物側であって、照明光軸上の前記対物レンズの焦点位置近傍に配置されることを特徴とする画像観察装置。
- 請求項1において、
前記フィルター部材または該フィルター部材のリレー像は、前記対物レンズの開口数を決定する開口絞りの位置に配置されることを特徴とする画像観察装置。 - 請求項1または2において、
前記フィルター部材では、前記光属性が光の波長領域とされていることを特徴とする画像観察装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記照明光学系と前記観察光学系とはいずれも、被観察物側がテレセントリック光学系とされていることを特徴とする画像観察装置。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記リレー像は、前記フィルター部材の縮小像であることを特徴とする画像観察装置。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記対物レンズが交換可能に構成されていることを特徴とする画像観察装置。 - 被観察物からの物体光を集光して該被観察物の画像を観察可能にする画像観察装置に用いられる照明光学系において、
前記照明光の光属性を1以上の立体角領域に分割するフィルター部材と、
前記被観察物に対峙する対物レンズと、
該対物レンズの反被観察物側に配置され、前記照明光学系の照明光軸と前記物体光を集光する観察光学系の観察光軸とを同軸とするビームスプリッタと、を備え、
該フィルター部材または該フィルター部材のリレー像が、前記対物レンズの反被観察物側であって、照明光軸上の前記対物レンズの焦点位置近傍に配置されることを特徴とする照明光学系。 - 請求項7において、
前記フィルター部材または該フィルター部材のリレー像は、前記対物レンズの開口数を決定する開口絞りの位置に配置されることを特徴とする照明光学系。 - 請求項7または8において、
前記フィルター部材では、前記光属性が光の波長領域とされていることを特徴とする照明光学系。 - 請求項7乃至9のいずれかにおいて、
前記照明光学系と前記観察光学系とはいずれも、被観察物側がテレセントリック光学系とされていることを特徴とする照明光学系。 - 請求項7乃至10のいずれかにおいて、
前記リレー像は、前記フィルター部材の縮小像であることを特徴とする照明光学系。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020191278A JP7206020B2 (ja) | 2020-11-17 | 2020-11-17 | 画像観察装置及びその照明光学系 |
US18/008,442 US11860352B2 (en) | 2020-11-17 | 2021-11-15 | Image observation apparatus and lighting optical system thereof |
EP21894599.6A EP4177661A4 (en) | 2020-11-17 | 2021-11-15 | IMAGE OBSERVATION DEVICE AND OPTICAL ILLUMINATION SYSTEM THEREFOR |
IL304340A IL304340B1 (en) | 2020-11-17 | 2021-11-15 | An image tracking device as well as an optical lighting system that belongs to it |
CN202180034768.9A CN115605795B (zh) | 2020-11-17 | 2021-11-15 | 图像观察装置及其照明光学*** |
PCT/JP2021/041949 WO2022107725A1 (ja) | 2020-11-17 | 2021-11-15 | 画像観察装置及びその照明光学系 |
KR1020227040264A KR102618097B1 (ko) | 2020-11-17 | 2021-11-15 | 화상 관찰 장치 및 그 조명 광학계 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020191278A JP7206020B2 (ja) | 2020-11-17 | 2020-11-17 | 画像観察装置及びその照明光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022080224A JP2022080224A (ja) | 2022-05-27 |
JP7206020B2 true JP7206020B2 (ja) | 2023-01-17 |
Family
ID=81708879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020191278A Active JP7206020B2 (ja) | 2020-11-17 | 2020-11-17 | 画像観察装置及びその照明光学系 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11860352B2 (ja) |
EP (1) | EP4177661A4 (ja) |
JP (1) | JP7206020B2 (ja) |
KR (1) | KR102618097B1 (ja) |
CN (1) | CN115605795B (ja) |
IL (1) | IL304340B1 (ja) |
WO (1) | WO2022107725A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116369840B (zh) * | 2023-06-05 | 2023-08-01 | 广东麦特维逊医学研究发展有限公司 | 一种无亮斑投影照明***及其工作方法 |
JP7458617B1 (ja) | 2023-12-02 | 2024-04-01 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び照明光学系及び検査システム |
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JP5866573B1 (ja) | 2015-03-23 | 2016-02-17 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び検査システム |
JP5866586B1 (ja) | 2015-09-22 | 2016-02-17 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び検査システム |
JP2017156694A (ja) | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 株式会社フォブ | 光学顕微鏡、及び観察方法 |
JP6451821B1 (ja) | 2017-12-05 | 2019-01-16 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査システム及び検査方法 |
WO2019245785A1 (en) | 2018-06-19 | 2019-12-26 | Kla-Tencor Corporation | Embedded particle depth binning based on multiple scattering signals |
JP2020076717A (ja) | 2018-11-09 | 2020-05-21 | 株式会社東芝 | 光学検査装置及び光学検査方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5323198A (en) * | 1975-03-11 | 1978-03-03 | Takeyoshi Miura | Rope rotor for escaping |
JPS5827140A (ja) | 1981-08-10 | 1983-02-17 | Goou Kagaku Kogyo Kk | フレキソ印刷版用感光性樹脂組成物 |
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US5965875A (en) | 1998-04-24 | 1999-10-12 | Foveon, Inc. | Color separation in an active pixel cell imaging array using a triple-well structure |
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US10690898B2 (en) * | 2016-09-15 | 2020-06-23 | Molecular Devices (Austria) GmbH | Light-field microscope with selective-plane illumination |
-
2020
- 2020-11-17 JP JP2020191278A patent/JP7206020B2/ja active Active
-
2021
- 2021-11-15 CN CN202180034768.9A patent/CN115605795B/zh active Active
- 2021-11-15 KR KR1020227040264A patent/KR102618097B1/ko active IP Right Grant
- 2021-11-15 WO PCT/JP2021/041949 patent/WO2022107725A1/ja active Application Filing
- 2021-11-15 EP EP21894599.6A patent/EP4177661A4/en active Pending
- 2021-11-15 US US18/008,442 patent/US11860352B2/en active Active
- 2021-11-15 IL IL304340A patent/IL304340B1/en unknown
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5866573B1 (ja) | 2015-03-23 | 2016-02-17 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び検査システム |
JP5866586B1 (ja) | 2015-09-22 | 2016-02-17 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査用照明装置及び検査システム |
JP2017156694A (ja) | 2016-03-04 | 2017-09-07 | 株式会社フォブ | 光学顕微鏡、及び観察方法 |
JP6451821B1 (ja) | 2017-12-05 | 2019-01-16 | マシンビジョンライティング株式会社 | 検査システム及び検査方法 |
WO2019245785A1 (en) | 2018-06-19 | 2019-12-26 | Kla-Tencor Corporation | Embedded particle depth binning based on multiple scattering signals |
JP2020076717A (ja) | 2018-11-09 | 2020-05-21 | 株式会社東芝 | 光学検査装置及び光学検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11860352B2 (en) | 2024-01-02 |
IL304340A (en) | 2023-09-01 |
IL304340B1 (en) | 2024-06-01 |
CN115605795A (zh) | 2023-01-13 |
JP2022080224A (ja) | 2022-05-27 |
KR20230002839A (ko) | 2023-01-05 |
EP4177661A4 (en) | 2024-01-31 |
CN115605795B (zh) | 2024-04-19 |
KR102618097B1 (ko) | 2023-12-27 |
EP4177661A1 (en) | 2023-05-10 |
US20230213748A1 (en) | 2023-07-06 |
WO2022107725A1 (ja) | 2022-05-27 |
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Legal Events
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