JP7198631B2 - 形状測定装置および形状測定方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る形状測定装置を例示する正面図である。
図1に示すように、本実施形態に係る形状測定装置1は、基台(ベース)100に載置された対象物Wの表面の位置を測定する装置である。形状測定装置1は、スタイラス11を有する検出器15と、検出器15を上下動させるコラム23と、検出器15の移動などの制御を行う制御部30とを備える。なお、本実施形態では、説明の便宜上、基台100の対象物Wの載置面に沿った方向の一つをX方向(第1方向)、載置面に沿った方向でX方向と直交する方向をY方向、X、Y方向と直交する方向(載置面の法線方向)をZ方向(第2方向)とする。また、Z方向は上下方向とも言うことにする。
図2は、本実施形態に係る形状測定装置を例示するブロック図である。
図2に示すように、形状測定装置1の機能ブロックは、測定機構部50、コンピュータ60および電源70を備える。
次に、形状測定方法について説明する。ここでは、先に説明した形状測定装置1による測定方法を例とする。
図3は、本実施形態に係る形状測定方法を例示するフローチャートである。
先ず、ステップS101に示すように、測定条件の設定を行う。測定条件としては、測定範囲、測定長さ(1回の走査で行う測定の長さ)、測定速度、測定ピッチ、オーバレンジ後の移動距離などである。
次に、形状測定の具体例について説明する。
図4および図5は、形状測定の具体例を説明する模式図である。
図4には段差を有する対象物Wの測定例が示され、図5には曲面を有する対象物Wの測定例が示される。
段差を有する対象物Wの測定では、測定範囲L1、測定長さL2、測定ピッチL3、オーバレンジ後の移動距離L4、を測定条件として少なくとも設定しておく。
曲面を有する対象物Wの測定では、測定範囲L1を測定条件として少なくとも設定しておく。
測定は、表面Weの所望の箇所から開始される。先ず、表面Weの測定開始位置にスタイラス11をセットし、この位置で原点設定処理を行う。制御部30による制御によって原点設定処理を行った後、表面Weの測定を開始する。測定開始によってスタイラス11がX方向に移動していく。これによりスタイラス11の変位を検出器15で検出し、表面Weの位置を測定する。
図3に示す形状測定方法のフローチャートのうち、ステップS103の第1工程、ステップS105、ステップS107およびステップS108の第2工程、並びにステップS107を経由して行われるステップS104の第3工程の各工程をコンピュータに実行させるプログラム(形状測定プログラム)として構成してもよい。
なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、上記では、対象物Wの上面についての形状や粗さを測定する例を示したが、対象物Wの側面が下面についての形状や粗さを測定する場合であっても同様に適用可能である。また、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
2…Z軸駆動機構
11…スタイラス
13…ロッド
15…検出器
20…X軸駆動機構
21…表示部
22…操作ボタン
23…コラム
30…制御部
50…測定機構部
60…コンピュータ
70…電源
100…基台
110…検出回路
120…X軸モータ制御回路
125…モータ
130…コラムモータ制御回路
135…モータ
160…ロジック
L1…測定範囲
L3…測定ピッチ
L4…移動距離
W…対象物
Wa,Wb,Wc,Wd,We…表面
Claims (2)
- 対象物の表面の位置を測定する形状測定装置であって、
スタイラスを有し、前記スタイラスを第1方向に移動させながら前記スタイラスの可動範囲内で前記対象物の表面の位置を検出する検出器と、
前記検出器を前記第1方向と直交する第2方向に移動させるコラムと、
前記検出器の移動を制御するとともに、前記コラムによる前記検出器の位置を調整して前記可動範囲内での測定原点を設定する原点設定処理を行う制御部と、
を備え、
前記制御部は、
測定中に前記スタイラスが前記可動範囲を逸脱したとき前記スタイラスの前記第1方向への移動を一旦停止し、前記スタイラスの位置を前記第1方向に所定距離だけずらし、その位置で原点の再設定処理を行った後に前記スタイラスの前記第1方向への移動および位置検出を再開するよう制御を行う、ことを特徴とする形状測定装置。 - スタイラスを第1方向に移動させながら前記スタイラスの可動範囲内で対象物の表面の位置を測定する形状測定方法であって、
前記スタイラスの前記第1方向と直交する第2方向の位置を調整して前記可動範囲内での測定原点を設定する原点設定処理を行う第1工程と、
前記第1工程で設定した測定原点による測定中に前記スタイラスが前記可動範囲を逸脱したとき前記スタイラスの前記第1方向への移動を一旦停止し、前記スタイラスの位置を前記第1方向に所定距離だけずらし、その位置で原点の再設定処理によって新たな測定原点を設定する第2工程と、
前記第2工程で設定した新たな測定原点によって前記スタイラスの前記第1方向への移動および位置検出を行う第3工程と、
を備えたことを特徴とする形状測定方法。
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JP2018202319A JP7198631B2 (ja) | 2018-10-26 | 2018-10-26 | 形状測定装置および形状測定方法 |
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