JP7194386B2

JP7194386B2 - 無塵服

Info

Publication number: JP7194386B2
Application number: JP2019169503A
Authority: JP
Inventors: 浩典恩田; 敬慎成松; 康之西原
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2019-09-18
Filing date: 2019-09-18
Publication date: 2022-12-22
Anticipated expiration: 2039-09-18
Also published as: JP2021046625A

Description

本発明は、クリーンルーム内で着用する無塵服に関するものである。

半導体をはじめとする精密機器の製造は、高い清浄度が維持されているクリーンルーム内で行われており、このクリーンルーム内で作業を行う作業者は、作業者自身や着衣から生じる塵埃の飛散を防止するため、通常、クリーンルーム内においては無塵服の着用が義務付けられている。

このクリーンルーム用の無塵服は、無塵服内で生じる作業者起因の塵埃が生地を通過してクリーンルーム内に飛散するのを防止することを最優先に考えて作られているため、その殆どのものは編目が細かく塵埃が通過しにくい織物生地が用いられている。

一般的にこの織物生地は、防塵性が高い反面、通気性が低く、また、伸縮性も低いため、このような織物生地で作られる無塵服は、蒸れ易く、また、屈んだりしゃがんだりするなどの大きな動作がしづらく、作業者にとって着心地が良いものではなかった。

さらに、この織物生地で構成される従来の無塵服は、通気性（塵埃透過性）が抑えられることで無塵服内に空気が溜まり易くなり、屈んだりしゃがんだりするなどの大きな動作を行った際に、ポンピング現象によりフード部や袖口などの開口部から無塵服内の空気と共に無塵服内の塵埃が噴出される懸念もある。

そこで、上記のような通気性、伸縮性、発塵性の問題を解決すべく、従来、例えば特開２００６－１５２４８１号や特開平１－２０７４０５号に示すような一部若しくは全体に織物生地よりも通気性及び伸縮性に優れたニット生地を用いた無塵服が提案されている。

特開２００６－１５２４８１号公報特開平１－２０７４０５号公報

しかしながら、特開２００６－１５２４８１号のようにニット生地を部分的に用いたものは、確かに全体が織物生地のものよりも蒸れ感や動き易さは改善されるものの、防塵性の面からニット生地が用いられる範囲は局所的となるため、通気性、伸縮性に関して十分な改善効果は得られない。

また、特開平１－２０７４０５号のように全体を経編地で構成した場合、この経編地は織物生地より若干伸縮性が向上する程度であり、織物生地製の無塵服と比較して大幅な通気性、伸縮性の改善効果は得られないものであった。

本発明は、このような現状に鑑みなされたものであり、良好な防塵性を有しながらも通気性、伸縮性に優れ、作業者がクリーンルーム内で快適に作業を行うことができる無塵服を提供することを目的とする。

添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。

クリーンルームで着用する無塵服であって、ニット生地で構成され、このニット生地は、二層の横編みニットが積層されたダブルニット構造であり、さらに、このダブルニット構造は、表側に配される表側横編みニット３と裏側に配される裏側横編みニット４とが相互に編目の位置がずれた状態で積層されているものであることを特徴とする無塵服に係るものである。

また、請求項１記載の無塵服において、前記二層の横編みニットの表面側に位置する横編みニットに導電糸５が編み込まれていることを特徴とする無塵服に係るものである。

また、請求項１，２いずれか１項に記載の無塵服において、上着部１及びズボン部２の夫々が前記ニット生地で構成されていることを特徴とする無塵服に係るものである。

また、請求項３記載の無塵服において、前記上着部１と前記ズボン部２とが分離したツーピースタイプの構成であり、前記上着部１は、前身頃部よりも後身頃部の裾部が長く形成され、この後身頃部の裾部内側面に滑り止め部材６が付設されていることを特徴とする無塵服に係るものである。

本発明は上述のように構成したから、良好な防塵性を有しながらも、良好な通気性により蒸れにくく、さらに良好な伸縮性により動き易く、作業者がクリーンルーム内で快適に作業を行うことができる画期的な無塵服となる。

本実施例の上着部（前身頃部）を示す正面図である。本実施例の上着部（後身頃部）を示す背面図である。本実施例のフード部を示す説明正面図である。本実施例のズボン部を示す正面図である。本実施例の上着部のウエスト部を示す説明側断面図である。本実施例の横編みニット生地を示す概略構造図である。本実施例の横編みニット生地を示す説明分解図である。本実施例の通気性試験結果を示すグラフである。本実施例の防塵性試験結果を示すグラフである。本実施例の横編みニット生地の未洗濯及び５０回洗濯後の状態を示す説明図である。従来の無塵服のポンピング作用を示す説明図である。本実施例の空気透過状態を示す説明図である。

好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。

本発明は、横編みニット生地により構成されているから、織物生地や縦編み（経編み）ニット生地で構成されるものよりも、通気性、伸縮性に優れ、作業時に蒸れにくく、また、動き易くなるので、作業者は快適に作業を行うことができる。

すなわち、従来の無塵服は無塵服自体の通気性が低いため、作業者の動作によるポンピング作用により、図１１に示すように、フード開口部や袖口から無塵服内に空気と共に塵埃が放出されることがあったが、本発明は、従来の無塵服に比べて通気性が向上しているから、図１２に示すように、無塵服全体から無塵服内の空気のみが良好に透過排出され、無塵服内に空気がたまらず、従来の無塵服のようなポンピング作業による塵埃の放出が防止されるものとなる。

また、本発明のニット生地は、複数の横編みニットが積層されてなる複数層ニット構造になっているから、重なり合う横編みニットの編目が位置ずれることで、仮に内側の横編みニットの編目を通過してもその外側の横編みニットで塵埃を捕捉することができ、塵埃の通過を可及的に防止することとなり、優れた通気性を発揮しながらも良好な防塵性を有するものとなる。

しかも、織物生地や縦編みニット生地は、洗濯しても編目が詰まることが殆どなく、ゆえに通気性及び防塵性が殆ど変わらないが、横編みニット生地は洗濯することで着用感や動作性（伸縮性）が損なわれることがない程度に編目が詰まり、この編目が詰まることにより塵埃を捕捉するフィルター効果が向上し、良好な通気性を有しつつ高い防塵性を発揮するものとなる。

このように、本発明は、良好な防塵性を有しながらも、良好な通気性により蒸れにくく、さらに良好な伸縮性により動き易く、作業者がクリーンルーム内で快適に作業を行うことができる画期的な無塵服となる。

本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。

本実施例は、クリーンルームでの着用に好適な無塵服である。

なお、本実施例は、本発明の無塵服を図１～４に示すように上着部１とズボン部２とが分離しているツーピースタイプに構成した場合であるが、本発明の無塵服は、上着部とズボン部とが一体化されているつなぎタイプへの適用も勿論可能である。

以下、本実施例に係る構成各部について詳述する。

本実施例の上着部１は、図１に示すように、フード部１ａが一体的に設けられ、また、袖口部及びウエスト部は、着用した際に作業者と密着状態となるように良好な伸縮性を有し、やや細めの形状或いは窄まり形状に形成されている。

すなわち、本実施例の上着部１は、この袖口部及びウエスト部を上述のように構成して動作時にこれらの部分が作業者の体に密着（フィット）して、この袖口部及びウエスト部を通じて無塵服内部で生じた塵埃を外部に可及的に放出しないように構成されている。

また、上着部１は、前身頃部のウエスト部よりも後身頃部のウエスト部のほうが長めに形成され、さらに、この後身頃部のウエスト部内側面に滑り止め部材６が付設されていて、作業者が屈んだりしゃがんだりした際（前屈み状態になった際）に、後身頃部のウエスト部がずり上がり作業者の腰部が露出し塵埃が放出されることを可及的に防止するように構成されている。

具体的には、滑り止め部材６は帯状に形成されたウレタンゴムであり、後身頃部のウエスト部内側面に周方向に沿って付設されている。なお、滑り止め部材６の付設位置は、後身頃部のウエスト部内側面に限らず、例えば、ズボン部２のこの後身頃部のウエスト部内側面に対向する位置に付設しても良い。

また、上着部１は、図２に示すように、左右両方の肘部には通気性に優れたパッド部材７が内装されている。

またさらに、フード部１ａには、作業者が装着するインナーヘルメット（図示省略）のズレを防止するためのインナーヘルメットズレ防止部10が設けられている。

具体的には、インナーヘルメットズレ防止部10は、伸縮性を有する帯状部材からなり、図３に示すように、フード部１ａの額部内側面にその両端部が着設された状態で設けられていて、本実施例は、このインナーヘルメットズレ防止部10とフード部１ａとの間にインナーヘルメットの一部を入れ込むことでインナーヘルメットとフード部１ａとが一体化し、インナーヘルメットのフード部１ａに対するズレが防止され、インナーヘルメットのズレによる作業者の頭髪の露出やズレによって生じる擦れによる発塵を抑制するように構成されている。

すなわち、インナーヘルメットは、ヘルメットの縁部から頭頂部に向かって形成されるスリットがヘルメットの周方向に亘って複数個所に設けられていて、作業者（着用者）の頭部形状に合わせて、このスリット間の部分が外方に弾性変形することで作業者の頭部に密着する構造となっており、本実施例は、このインナーヘルメットに設けられたスリット間の弾性変形部分をインナーヘルメットズレ防止部10に係合させる（入れ込む）ことによって、作業者の頭部とインナーヘルメットとフード部１ａとが一体的になり、作業者が動作した際のインナーヘルメットのフード部１ａに対するズレが可及的に防止され、このズレによる作業者の頭髪の露出やズレによって生じる擦れによる発塵が抑制されるように構成されている。

また、本実施例の上着部１は、複数の横編みニットが積層されてなる複数層ニット構造の横編みニット生地で構成されている。

具体的には、本実施例の横編みニット生地は、図６に示すように、二層のポリエステル繊維からなる横編みニットが積層されてなるダブルニット構造であり、且つ、図７に示すように、表側に配される表側横編みニット３と裏側に配される裏側横編みニット４とが相互に編目が位置ずれた状態、具体的には、編目が相互に１／２位置ずれた状態で積層されてなるものである。

すなわち、本実施例は、横編みニット生地を編目が１／２位置ずれたダブルニット構造とすることで、編目の大きさを実質的に半分の大きさにし、塵埃が通過しにくい編目となるように構成されている。

また、本実施例の上着部１は、静電気の帯電を防止するための導電糸５が編み込まれている構成とされている。

具体的には、本実施例においては、図７に示すように、表側横編みニット３を構成する糸（ポリエステル繊維束糸）に導電糸５が混ぜ入れられていて、表側横編みニット３の形成時に導電糸５が同時編み込みされ、上着部１の表側横編みニット３が導電糸編み込み表側横編みニット３とされている。なお、本実施例においては、導電糸５の編み込み位置をまばらにすることで導電性をコントロールし、静電気対策とフィルター効果の双方の効果が効率的に発揮されるように構成されている。

また、本実施例の上着部１は、パッド部材７が内装される腕部の前腕裏側部８に上述した横編みニット生地とは別の生地、具体的には、織物生地が用いられている。

すなわち、この前腕裏側部８は、作業中に接触や擦れが多い箇所であり、この接触や擦れによる劣化からの発塵を防止することを優先して、本実施例の上着部１は、前腕裏側部８においては横編みニット生地よりも耐久性の良い織物生地が用いられている。

また、本実施例のズボン部２は、上着部１と同様、二層の横編みニットが積層されてなるダブルニット構造であり、且つ、表側に配される表側横編みニット３（導電糸編み込み表側横編みニット３）と裏側に配される裏側横編みニット４とが相互に編目が位置ずれた状態、具体的には、編目が相互に１／２位置ずれた状態で積層されてなる横編みニット生地で構成されている。

また、ズボン部２は、図４に示すように、膝下部が二重構造になっていて、内側部はブーツ内に収納され、外側部がブーツの外に配される構成とされている。

また、膝位置には上着部１の肘位置に設けられるパッド部材７と同様のものが内装されている。

またさらに、本実施例のズボン部２は、パッド部材７が内装される膝部９は、作業中に接触や擦れが多い箇所であるため、上着部１の前腕裏側部８同様、この接触や擦れによる劣化からの発塵を防止することを優先して、本実施例のズボン部２は、この膝部９においては横編みニット生地よりも耐久性の良い織物生地が用いられている。

また、本実施例のズボン部２は、図４に示すように、ウエスト部にハンガー掛止用部材11が設けられていて、このハンガー掛止用部材11を介してハンガーに吊り下げ状態に掛けられる構成となっている。

具体的には、本実施例のハンガー掛止用部材11は、環状に形成され、ウエスト部の左右両側に内側に折り畳み収納自在に設けられていて、着用時は表側に露出せず、発塵源にならないように構成されている。

また、本実施例のズボン部２は、図４に示すように、裾部に作業者の足の裏に掛けまわされるループ部材12が設けられていて、このループ部材12を作業者の足の裏に掛けまわすことで裾部の上方へのずれ上がりが防止されるように構成されている。

次に、本実施例と従来の無塵服との通気性及び防塵性に関する比較試験を行った結果について説明する。

［通気性試験］
本試験は、本実施例に用いられるダブルニット構造の横編みニット生地（以下、単に横編みニット生地と称す。）と従来の無塵服に用いられる一般的な平織タイプの織物生地（以下、単に織物生地と称す。）との通気性を、ＪＩＳＬ１０９６Ａ法に準じて、洗濯実施回数と関連させて計測した。なお、本実施例においては、未洗濯、１０回洗濯後、２０回洗濯後、３０回洗濯後、４０回洗濯後及び５０回洗濯後の夫々における各試料の通気性を計測した。

具体的には、各生地の試料（試験生地片）を試験機（フラジール形通気性試験）にセットし、加減抵抗器によって傾斜形気圧計が１２５Ｐａを示すように空気吸い込みファンを調整し、試料の表裏両面の圧力差を一定に保持する際の垂直形気圧計の示す圧力と使用した空気孔の種類とから試料を通過する空気量（単位：cm³/cm²・sec）を計測した。

図８は、横編みニット生地と織物生地の各計測結果を示すものである。この図８に示すように、織物生地は、全ての計測において空気通過量が３０（cm³/cm²・sec）に達しない結果（最も良い値が未洗濯状態の約２６（cm³/cm²・sec））であったのに対し、横編みニット生地は、未洗濯状態では、空気通過量が５０（cm³/cm²・sec）近い高い通気性を示し、また、洗濯の回数が増しても、常に３０（cm³/cm²・sec）以上の空気通過量を維持する良好な通気性を有する結果が得られた。なお、図８における各数値は、５回の計測結果の平均値である。

［防塵性試験］
本試験は、本実施例に用いられるダブルニット構造の横編みニット生地と従来の無塵服に用いられる一般的な平織タイプの織物生地との防塵性を、タンブリング法を用いて、洗濯実施回数と関連させて測定した。なお、本実施例においては、未洗濯及び５０回洗濯後の夫々における各試料の防塵性を測定（塵埃捕集効率を算出）した。

具体的には、先ず、各生地の試料（試験生地片）を透過装置にセットし、クリーンエアを吸引してパーティクルカウンター（MetOne社製製品名：２３７Ｂ）の値が０になることを確認した後、塵発生器の出口に試料をセットしない状態の透過装置をセットし、この試料無しの状態における塵数を測定（測定対象粒径：１μｍ以上３μｍ未満）した。

次に、透過装置に試料をセットし、この試料を透過した塵数（以下、透過塵数と称す。）を測定（測定対象粒径：１μｍ以上３μｍ未満）し、次式により塵埃捕集効率を算出した。

塵埃捕集効率（％）＝（（試料無し塵数－透過塵数）／試料無し塵数）×１００

なお、本実施例においては、各試料の透過塵数を測定した後、試料を取り外して、再度試料無しの状態における塵数を測定し、二回の試料無し状態における塵数の平均値を試料無し塵数とした。

また、塵数の測定は１分間ずつ１５回連続で測定して１５つの測定結果を得、この１５つの測定結果の最大値側２つと最小値側２つとの計４つの測定結果を除いた１１つの測定結果の平均値を測定値とした。

図９は、横編みニット生地と織物生地の夫々の未洗濯及び５０回洗濯後の塵埃捕集効率の算出結果を示すものである。この図９に示すように、織物生地は、未洗濯状態では約８０％と高い塵埃捕集効率を有しているが、５０回洗濯後では塵埃捕集効率は未洗濯状態の半分程度（約４０％）の塵埃捕集効率に低下している。これに対し、横編みニット生地は、未洗濯状態では約６０％と織物生地に比べてやや低い塵埃捕集効率であるが、５０回洗濯後は、約８０％と高い塵埃捕集効率になる結果が得られた。

また、図１０は、未洗濯の横編みニット生地の状態及び５０回洗濯後の横編みニット生地の状態を示すものである。この図１０に示すように、横編みニット生地は洗濯することで糸を形成している繊維束が広がると共に編目が詰まり、この編目が詰まることで塵埃を捕捉するフィルター効果が向上し、未洗濯状態よりも洗濯後のほうが塵埃捕集効率が高くなり、また、編目が詰まる一方で繊維束が広がることで編目が詰まることによる通気性の低下を抑制し、良好な通気性を有しつつ高い塵埃捕集効率（フィルター効果）を発揮する結果が得られたと推測する。なお、織物生地に関しては図示していないが、同様の確認を行った結果、繊維束の拡がりや編目の詰まりなど状態変化は殆ど見られなかった。

以上のように構成される本実施例の作用効果について以下に説明する。

本実施例は、上着部１及びズボン部２の略全体が横編みニット生地により構成されているから、織物生地や縦編み（経編み）ニット生地で構成されるものよりも、通気性、伸縮性に優れ、作業時に蒸れにくく、また、動き易くなるので、作業者は快適に作業を行うことができる。

また、本実施例は、編目を１／２位置ずらせたダブルニット構造の横編みニット生地により構成されているから、重なり合う表側横編みニット３と裏側横編みニット４の編目が相互に位置ずれることで実質的な編目が小さくなり、さらに、裏側横編みニット４を通過しても表側横編みニット３で塵埃を捕捉することができ、塵埃の通過を可及的に低減し、優れた通気性を発揮しながらも良好な防塵性を発揮するものとなる。

しかも、本実施例は、洗濯による編目の詰まり作用により塵埃を捕捉するフィルター効果が向上し、良好な通気性を有しつつ高い防塵性を発揮するものとなる。

また、本実施例は、作業中に接触や擦れが生じることが多い上着部１の前腕裏側部８及びズボン部２の膝部９にパッド部材７を設けると共に、この部分を横編みニット生地よりも耐久性の良い織物生地を用いているから、前腕裏側部８及び膝部９が接触や擦れによって劣化しにくく、劣化による生地からの塵埃の発生が可及的に低減されることとなる。

またさらに、本実施例は、上着部１の後身頃部のウエスト部が前身頃部のウエスト部よりも長く形成されると共に、この後身頃部のウエスト部の内側面部に滑り止め部材６が設けられているから、作業者が屈んだりしゃがんだりする前屈み状態になっても、上着部１において後身頃部のウエスト部がずり上がり作業者の腰部が露出することが防止されるから、この前屈み動作による作業者からの塵埃の放出が可及的に防止されるものとなる。

このように、本実施例は、防塵性、通気性、伸縮性に優れ、快適に着用することができ、クリーンルームでの使用に好適な従来にない画期的な無塵服となる。

なお、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。

１上着部
２ズボン部
３表側横編みニット
４裏側横編みニット
５導電糸
６滑り止め部材

Claims

クリーンルームで着用する無塵服であって、ニット生地で構成され、このニット生地は、二層の横編みニットが積層されたダブルニット構造であり、さらに、このダブルニット構造は、表側に配される表側横編みニットと裏側に配される裏側横編みニットとが相互に編目の位置がずれた状態で積層されているものであることを特徴とする無塵服。
請求項１記載の無塵服において、前記二層の横編みニットの表面側に位置する横編みニットに導電糸が編み込まれていることを特徴とする無塵服。
請求項１，２いずれか１項に記載の無塵服において、上着部及びズボン部の夫々が前記ニット生地で構成されていることを特徴とする無塵服。
請求項３記載の無塵服において、前記上着部と前記ズボン部とが分離したツーピースタイプの構成であり、前記上着部は、前身頃部よりも後身頃部の裾部が長く形成され、この後身頃部の裾部内側面に滑り止め部材が付設されていることを特徴とする無塵服。