JP7184464B2 - 環状の砥石の製造方法 - Google Patents
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Description
3a,3b 砥石部
5 環状の基台
5a 把持部
7 第1の層
9 第2の層
11 砥粒
13a,13b 写真
15 結合材
17 孔
2 めっき浴槽
6 ニッケル電極
8 スイッチ
10 直流電源
12 回転駆動源
14 ファン
16 ニッケルめっき液
18 添加剤
20a,20b 基台
22a,22b マスク
24a,24b めっき層
26 撮像ユニット
Claims (3)
- 中央に貫通孔を有する砥石部を備え、
該砥石部は、第1の層と、多孔質構造を有する第2の層と、が該貫通孔の貫通方向に沿って交互に積層され、両面が該第1の層で構成される計3層以上の積層構造を含む環状の砥石の製造方法であって、
砥粒が混入されたニッケルめっき液と、該多孔質構造の形成に寄与する添加剤と、が収容されためっき浴槽を準備するめっき浴槽準備工程と、
ニッケル電極と、一部が環状に露出された基台と、を該めっき浴槽に浸漬する浸漬工程と、
該基台を陰極とし、該ニッケル電極を陽極として該ニッケルめっき液に直流電流を流すことで、該基台の環状に露出された表面にニッケルを含む結合材で固定された該砥粒を含むめっき層を堆積させるめっき層形成工程と、を備え、
該めっき層形成工程では、該直流電流の電流密度を所定値未満の電流密度と、該所定値以上の電流密度と、に交互に変えることで、該第1の層と、該第2の層と、を交互に積層させ、最外層が該第2の層で構成された該めっき層を形成し、
該めっき層形成工程の後、該めっき層の該最外層を撮像し、該最外層を構成する第2の層が有する多孔質構造の気孔率に関する情報を取得する気孔率検査工程と、
該気孔率検査工程の後、該めっき層の該最外層を除去し、該最外層が除去されためっき層で構成される該砥石部を形成する砥石部形成工程と、
該めっき層形成工程の後、該基台の全部又は一部を除去して該めっき層の該基台で覆われていた領域の全部又は一部を露出させる基台除去工程と、
をさらに備えることを特徴とする環状の砥石の製造方法。 - 請求項1に記載の環状の砥石の製造方法であって、
該基台除去工程では、該基台の全部を除去し、
該砥石部のみからなる環状の砥石を製造することを特徴とする請求項1に記載の環状の砥石の製造方法。 - 請求項1に記載の環状の砥石の製造方法であって、
該基台除去工程では、該基台の一部を除去し、
該砥石部及び該基台で構成される該環状の砥石を製造することを特徴とする請求項1に記載の環状の砥石の製造方法。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2002166370A (ja) | 2000-12-04 | 2002-06-11 | Noritake Diamond Ind Co Ltd | 電着砥石およびその製造方法 |
JP2013018099A (ja) | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Suntool Co Ltd | 多孔性構造体の製造方法及び多孔性構造体 |
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Family Cites Families (3)
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---|---|---|---|---|
JPS6080562A (ja) * | 1983-10-07 | 1985-05-08 | Disco Abrasive Sys Ltd | 電着砥石 |
JPH0798997B2 (ja) * | 1992-09-04 | 1995-10-25 | 株式会社イケックス工業 | 金属の電着方法 |
JPH0970759A (ja) * | 1995-09-06 | 1997-03-18 | Mitsubishi Materials Corp | 切れ味に優れた超砥粒多孔質Ni電着砥石およびその製造法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002166370A (ja) | 2000-12-04 | 2002-06-11 | Noritake Diamond Ind Co Ltd | 電着砥石およびその製造方法 |
JP2013018099A (ja) | 2011-07-13 | 2013-01-31 | Suntool Co Ltd | 多孔性構造体の製造方法及び多孔性構造体 |
JP2016168655A (ja) | 2015-03-13 | 2016-09-23 | 株式会社ディスコ | 電着砥石の製造方法 |
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