JP7158966B2 - ダイヤモンド基板、量子デバイス、量子システム、及び、ダイヤモンド基板の製造方法 - Google Patents
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Description
第1の実施形態のダイヤモンド基板は、窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの第1の元素を含み、3配位の第1の元素が4配位の第1の元素よりも多く、(111)面に対するオフ角が10度以下の表面を有するダイヤモンド層を、備える。
第2の実施形態のダイヤモンド基板は、窒素-空孔中心(NV中心)にかえて、リン-空孔中心(PV中心)、ヒ素-空孔中心(AsV)、アンチモン-空孔中心(SbV)、又は、ビスマス-空孔中心(BiV)を有する点で、第1の実施形態と異なっている。以下、第1の実施形態と重複する内容については、一部記述を省略する。
第3の実施形態のダイヤモンド基板は、窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの第1の元素を含み、第1の元素と水素が結合した第1の結合構造を有し、第1の結合構造は、第1の元素が4個の炭素と結合した第2の結合構造よりも多く、(111)面に対するオフ角が10度以下の表面を有するダイヤモンド層を、備える。
第4の実施形態のダイヤモンド基板は、ダイヤモンド層の表面の上の酸化物層と、ダイヤモンド層と酸化物層との間に位置し、窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの第2の元素を含む領域を、更に備える点で、第1の実施形態と異なっている。以下、第1の実施形態と重複する内容については、一部記述を省略する。
第5の実施形態の量子デバイス及び量子システムは、第1ないし第4の実施形態のダイヤモンド基板を有する。
第6の実施形態の量子磁気センサーは、第1ないし第4の実施形態のダイヤモンド基板を有する。
11 ダイヤモンド層
12 界面終端領域(領域)
13 保護層(酸化物層)
100 ダイヤモンド基板
400 ダイヤモンド基板
500 量子コンピュータ(量子システム)
501 量子演算チップ(量子デバイス)
502 量子メモリ(量子デバイス)
Claims (13)
- 窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの第1の元素を含み、3配位の前記第1の元素が4配位の前記第1の元素よりも多く、(111)面に対するオフ角が10度以下の表面を有するダイヤモンド層と、
前記ダイヤモンド層の前記表面の上の酸化物層と、
前記ダイヤモンド層と前記酸化物層との間に位置し、窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの第2の元素を含む領域と、
を備えるダイヤモンド基板。 - 前記3配位の前記第1の元素と、前記3配位の前記第1の元素と隣り合う空孔とを結ぶ方向が、95%以上の割合で[111]方向に揃う請求項1記載のダイヤモンド基板。
- 窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの第1の元素を含み、前記第1の元素と水素が結合した第1の結合構造を有し、前記第1の結合構造は、前記第1の元素が4個の炭素と結合した第2の結合構造よりも多く、(111)面に対するオフ角が10度以下の表面を有するダイヤモンド層と、
前記ダイヤモンド層の前記表面の上の酸化物層と、
前記ダイヤモンド層と前記酸化物層との間に位置し、窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの第2の元素を含む領域と、
を備えるダイヤモンド基板。 - 前記第1の元素と前記水素とを結ぶ方向が、95%以上の割合で[111]方向に揃う請求項3記載のダイヤモンド基板。
- 請求項1ないし請求項4いずれか一項記載のダイヤモンド基板を有する量子デバイス。
- 請求項1ないし請求項4いずれか一項記載のダイヤモンド基板を有する量子システム。
- 基板の上に、炭化水素、及び、窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの元素と、加熱触媒体法によって生成された原子状水素を含む雰囲気中で、(111)面に対するオフ角が10度以下の表面を有するダイヤモンド層を形成し、
非酸化性の雰囲気中で、1000℃以下の温度で第1の熱処理を行うダイヤモンド基板の製造方法。 - 前記第1の熱処理の際に、前記ダイヤモンド層に磁場を印加する請求項7記載のダイヤモンド基板の製造方法。
- 前記第1の熱処理の後に、前記ダイヤモンド層の上に酸化シリコン層を形成し、
窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの元素を含む雰囲気中で第2の熱処理を行う請求項7又は請求項8いずれか一項記載のダイヤモンド基板の製造方法。 - 基板の上に、炭化水素、及び、窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの元素と、加熱触媒体法によって生成された原子状水素を含む雰囲気中で、(111)面に対するオフ角が10度以下の表面を有するダイヤモンド層を形成し、
非酸化性の雰囲気中で、前記ダイヤモンド層に磁場を印加し、1300℃以下の温度で第1の熱処理を行うダイヤモンド基板の製造方法。 - 前記第1の熱処理を1150℃以上の温度で行う請求項10記載のダイヤモンド基板の製造方法。
- 前記第1の熱処理の後に、前記ダイヤモンド層の上に酸化シリコン層を形成し、
窒素(N)、リン(P)、ヒ素(As)、アンチモン(Sb)、及び、ビスマス(Bi)からなる群から選ばれる少なくとも一つの元素を含む雰囲気中で第2の熱処理を行う請求項10又は請求項11記載のダイヤモンド基板の製造方法。 - 前記第2の熱処理の際に、前記ダイヤモンド層に磁場を印加し、
前記第2の熱処理を1150℃以上の温度で行う請求項12記載のダイヤモンド基板の製造方法。
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