JP7154054B2 - Immersion lens holder, immersion unit, lens with film, and film formation method - Google Patents

Immersion lens holder, immersion unit, lens with film, and film formation method Download PDF

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Description

本発明は、特に自動車等の車両に搭載される車載カメラに設けられるレンズに関わり、具体的には、前記レンズの表面に浸漬により膜を形成する成膜処理で用いられる浸漬用レンズ保持体、該レンズ保持体によってレンズが保持されて成る浸漬ユニット、浸漬ユニットにより膜が表面に成膜されて成る膜付きレンズ、および、前記浸漬ユニットを用いた成膜方法に関する。 The present invention particularly relates to a lens provided in an on-vehicle camera mounted in a vehicle such as an automobile. The present invention relates to an immersion unit in which a lens is held by the lens holder, a film-coated lens in which a film is formed on the surface by the immersion unit, and a film formation method using the immersion unit.

近年、自動車に車載カメラを搭載し、駐車をサポートしたり、画像認識により衝突防止を図ったりすることが行なわれており、さらにそれを自動運転に応用する試みもなされている。また、このような車載カメラ等のカメラモジュールは、一般に、複数のレンズが光軸に沿って並べられて成るレンズ群と、このレンズ群を収容保持する鏡筒と、レンズ群の少なくとも一個所のレンズ間に配置される絞り部材とを有するレンズユニットを備える（例えば、特許文献１参照）。 In recent years, automobiles are equipped with in-vehicle cameras to support parking and prevent collisions by image recognition. In general, a camera module such as an in-vehicle camera includes a lens group consisting of a plurality of lenses arranged along an optical axis, a lens barrel housing and holding the lens group, and at least one part of the lens group. A lens unit having an aperture member arranged between lenses is provided (see, for example, Patent Document 1).

このようなレンズユニットを構成するレンズの表面には、必要に応じて、反射防止膜、親水膜、撥水膜等が設けられるが、これらの膜を浸漬（ディッピング）によってレンズ表面に形成（成膜）する際には、例えば、図６および図7に示されるような成膜方法が採用される場合がある。 An antireflection film, a hydrophilic film, a water-repellent film, or the like is provided on the surface of the lens constituting such a lens unit as necessary. When forming a film, for example, a film forming method as shown in FIGS. 6 and 7 may be adopted.

すなわち、この成膜方法では、図５および図６に示されるように複数枚のレンズＬを保持してこれらの保持レンズＬを一括して薬液中に浸漬するためのトレイ型の浸漬用レンズ保持体１００が使用される。このレンズ保持体１００は、図５、図６および図８に示されるように、レンズＬを個別に保持する複数の保持穴１１０が形成されて成るトレイ型の本体１００ａと、本体１００ａの保持穴１１０に嵌挿されたレンズＬが本体１００ａから脱落しないように保持する蓋体１００ｂとによって構成され、図７に示されるような一連の成膜工程に晒される。 That is, in this film forming method, as shown in FIGS. 5 and 6, a tray-type immersion lens holder for holding a plurality of lenses L and immersing these holding lenses L collectively in a chemical solution is provided. A body 100 is used. As shown in FIGS. 5, 6 and 8, this lens holder 100 comprises a tray-type main body 100a formed with a plurality of holding holes 110 for individually holding lenses L, and holding holes in the main body 100a. The lid 100b holds the lens L inserted into the body 110 so that it does not come off from the main body 100a, and is subjected to a series of film formation processes as shown in FIG.

具体的には、まず最初に、薬液１２０、成膜されるべきレンズＬ、および、浸漬用レンズ保持体１００など、成膜処理に必要な素材を用意するための準備工程Ｓ１（図７参照）が行なわれた後、レンズＬが保持穴１１０にセットされた状態のレンズ保持体１００を挟持する挟持工程Ｓ２（図７参照）が行なわれる。その後、レンズ保持体１００が挟持された状態で、膜を構成する薬液１２０中にレンズ保持体１００全体が浸漬される浸漬工程Ｓ３（図６および図７参照）が行なわれ、所定時間にわたる浸漬後、レンズ保持体１００が薬液１２０中から引き上げられる引き上げ工程Ｓ４（図７参照）が行なわれる。薬液１２０中から引き上げられたレンズ保持体１００は、その後、余分に付着した薬液１２０を洗い落とすべくリンス液１３０中に浸漬されるリンス工程Ｓ５（図６および図７参照）に晒される。そして、最後に、成膜処理済みのレンズＬを保持するレンズ保持体１００全体に対してエアガン等のエア噴射装置（図示せず）から圧縮空気を吹き付けるエアブロー等による乾燥工程Ｓ６（図７参照）が行なわれて、レンズＬに付着した液体１２０（１３０）が乾燥される。 Specifically, first, a preparation step S1 (see FIG. 7) for preparing materials necessary for the film forming process, such as the chemical solution 120, the lens L to be film-formed, and the immersion lens holder 100. is carried out, the holding step S2 (see FIG. 7) is carried out for holding the lens holder 100 with the lens L set in the holding hole 110. As shown in FIG. After that, the immersion step S3 (see FIGS. 6 and 7) is performed in which the entire lens holder 100 is immersed in the chemical solution 120 forming the film while the lens holder 100 is held therebetween. Then, a lifting step S4 (see FIG. 7) is performed in which the lens holder 100 is lifted out of the liquid chemical 120. As shown in FIG. The lens holding body 100 pulled up from the chemical solution 120 is then subjected to a rinse step S5 (see FIGS. 6 and 7) in which it is immersed in a rinse solution 130 to wash off excess chemical solution 120 adhered thereto. Finally, a drying step S6 (see FIG. 7) is performed by blowing compressed air from an air injection device (not shown) such as an air gun onto the entire lens holder 100 holding the lens L that has undergone the film forming process. is performed to dry the liquid 120 (130) adhering to the lens L.

特開２０１３－２３１９９３号公報JP 2013-231993 A

ところで、前述した従来のトレイ型の浸漬用レンズ保持体１００には、図８に示されるように、保持穴１１０に対するレンズＬの挿脱を行ない易くするなどの目的で、保持穴１１０同士の間や各保持穴１１０の周縁などに溝１１５が設けられている。そのため、例えば、薬液１２０中からレンズ保持体１００を引き上げた際あるいはレンズ保持体１００を水平状態から傾けた際などにおいて、これらの溝１１５や本体１００ａと蓋体１００ｂとの間などに存在する隙間１１７（図５の（ｂ）参照）などに溜まっていた薬液１２０が重力によりレンズ保持体１００上に沿って下方へ流れ落ちてレンズＬに再付着し、その再付着したレンズＬの部位で薬液１２０の膜厚が厚くなる（すなわち、薬液の付着量が部分的に偏った成膜ムラが生じる）。そして、それが前述したエアブロー等による乾燥工程Ｓ６後にレンズＬの表面上に線状の膜層膨出部１１９となって現れる（図９参照）。 By the way, as shown in FIG. 8, the above-described conventional tray-type immersion lens holder 100 has a gap between the holding holes 110 for the purpose of facilitating insertion and removal of the lens L into and from the holding holes 110 . A groove 115 is provided in the periphery of each holding hole 110 and the like. Therefore, for example, when the lens holder 100 is pulled up from the liquid chemical 120 or when the lens holder 100 is tilted from the horizontal state, the gap existing between the groove 115 and the main body 100a and the lid 100b is 117 (see FIG. 5(b)) flows down along the lens holder 100 due to gravity and reattaches to the lens L. becomes thicker (that is, film formation unevenness occurs in which the amount of the chemical adhered is partially uneven). Then, it appears as a linear film layer swelling portion 119 on the surface of the lens L after the drying step S6 by the air blow or the like described above (see FIG. 9).

また、前述したようにエアブロー等の乾燥工程Ｓ６によってレンズＬの表面上の薬液１２０を乾燥させると、未だ乾燥されていない薬液１２０が圧縮空気によって吹き飛ばされて飛散し、その飛沫がレンズＬの表面に再付着して、レンズＬの表面上に斑点状の飛沫痕１２１を生じさせる（図９参照）。また、エアブローによる乾燥のみでは、溝１１５や隙間１１７などに溜まっていた薬液１２０を完全に取り除くことが難しく、乾燥し終わるまでに長い時間を要するという問題もある。 Further, as described above, when the chemical solution 120 on the surface of the lens L is dried by the drying step S6 such as air blow, the chemical solution 120 that has not yet been dried is blown off by the compressed air and scattered, and the droplets form on the surface of the lens L. redeposits on the surface of the lens L to produce speckled droplets 121 (see FIG. 9). Moreover, it is difficult to completely remove the chemical liquid 120 accumulated in the grooves 115 and the gaps 117 only by drying by air blow, and there is also a problem that it takes a long time to complete the drying.

そして、以上のような膜層膨出部１１９や斑点状の飛沫痕１２１は、外観不良として見栄えが悪いだけでなく、レンズＬの光学特性にも悪影響を及ぼし、歩留まりを悪化させる。 The film layer bulging portion 119 and the spot-like droplet marks 121 as described above not only make the appearance poor, but also adversely affect the optical characteristics of the lens L, thereby deteriorating the yield.

そのため、図１０に示されるように、薬液溜まりを極力生じさせないように薬液を逃がす逃がし部１３０をレンズ保持体１００に設けて、レンズ保持体１００からの液抜けを改善することも提案されてきたが、薬液１２０が抜けて液量が少なくなる分、エアブローに伴う前述した飛沫痕１２１の発生を減らすことができるものの、薬液１２０が完全に抜け切らないため、成膜ムラの抑制には限界があり、レンズＬの表面上には依然として膜層膨出部１１９が生じていた。 Therefore, as shown in FIG. 10, it has been proposed to provide the lens holder 100 with a release portion 130 for releasing the chemical so as to prevent the chemical from pooling as much as possible, thereby improving the leakage of the liquid from the lens holder 100. However, since the liquid chemical 120 is removed and the amount of liquid is reduced, the generation of the above-described splash marks 121 due to the air blow can be reduced. There was still a film layer bulge 119 on the surface of the lens L.

本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであり、膜層膨出部や飛沫痕といった外観不良の発生を抑えて歩留まりを向上させることができるとともに、乾燥時間の短縮化も図ることができる浸漬用レンズ保持体、浸漬ユニット、膜付きレンズおよび成膜方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and can improve yield by suppressing appearance defects such as film layer bulges and splash marks, and can also shorten drying time. An object of the present invention is to provide an immersion lens holder, an immersion unit, a film-coated lens, and a film-forming method.

前記課題を解決するために、本発明は、レンズを薬液中に浸漬させてレンズ表面上に膜を形成するためにレンズを保持しつつ薬液中に浸漬される浸漬用レンズ保持体であって、
軸部と、
前記軸部からその径方向外側に延びるとともに、浸漬されるべきレンズを先端で保持する複数のレンズ保持部と、
を有することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an immersion lens holder that is immersed in a chemical solution while holding the lens in order to immerse the lens in the chemical solution to form a film on the surface of the lens, comprising:
a shaft;
a plurality of lens holding portions extending radially outward from the shaft portion and holding a lens to be immersed at its tip end;
characterized by having

上記構成の浸漬用レンズ保持体は、軸部からその径方向外側に延びる複数のレンズ保持部の先端でレンズを保持する構造、好ましくは、軸部が浸漬のために支持される基端部と該基端部の反対側の先端部とを有し、先端部から複数のレンズ保持部が放射状に延びる構造を成すため、複数のレンズを一度に薬液に浸漬できることは勿論のこと、トレイ型の浸漬用レンズ保持体のように保持穴同士を繋ぐ溝なども伴わないことから、浸漬後の薬液溜まりに起因するレンズへの薬液再付着による膜層膨出部の形成を回避できる。 The immersion lens holder configured as described above has a structure in which the lens is held at the distal ends of a plurality of lens holding portions extending radially outward from the shaft portion, preferably the shaft portion with a base end portion supported for immersion. Since it has a distal end portion opposite to the proximal end portion, and a plurality of lens holding portions radially extend from the distal end portion, not only can a plurality of lenses be immersed in the chemical solution at once, but also a tray-type lens can be used. Unlike the lens holder for immersion, there is no groove connecting the holding holes. Therefore, it is possible to avoid formation of a bulging portion of the film layer due to re-adhesion of the chemical solution to the lens caused by pooling of the chemical solution after immersion.

また、上記構成の浸漬用レンズ保持体は、軸部を有するため、この軸部を支持した状態でレンズに直接に触れることなく浸漬工程を行なうことができる。したがって、浸漬処理の簡略化及び効率化を実現できるとともに、正確な成膜処理も可能となる。 Further, since the immersion lens holder having the above structure has the shaft, the immersion process can be performed while supporting the shaft without directly touching the lens. Therefore, simplification and efficiency improvement of the immersion process can be realized, and an accurate film forming process can also be performed.

また、このような軸部は、軸部を中心とするレンズ保持体の回転、したがって、レンズ保持部を介して放射状に分布されたレンズの軸部周りの回転を可能にするため、レンズのスピン乾燥も実現し得る。そのようなスピン乾燥によれば、レンズに付着する液体が遠心力によって径方向外側にしか飛散しないため、薬液の飛沫がレンズの表面に再付着してレンズの表面上に斑点状の飛沫痕を生じさせることを防止できる。また、このようなスピン乾燥は、乾燥までに要する時間がエアブロー等による従来の乾燥工程と比べて格段に短いため、成膜処理時間を大幅に短縮でき有益である。 Such shanks also allow rotation of the lens holder about the shank, and thus rotation of the lenses radially distributed through the lens holder about the shank, thereby reducing the spin of the lens. Drying can also be achieved. According to such spin-drying, the liquid adhering to the lens is only spattered outward in the radial direction by centrifugal force, so droplets of the chemical liquid re-adhere to the surface of the lens, leaving spot-like droplets on the surface of the lens. You can prevent it from happening. In addition, such spin drying is much shorter than the conventional drying process using air blow or the like, so it is advantageous in that the film formation processing time can be greatly shortened.

以上のように、上記構成の浸漬用レンズ保持体によれば、膜層膨出部や飛沫痕といった外観不良の発生を抑え、従来のトレイ型の浸漬用レンズ保持体と比べて成膜ムラを飛躍的に改善できるため、歩留まりを向上させることができるとともに、乾燥時間の短縮化も図ることができる。 As described above, according to the immersion lens holder having the above configuration, appearance defects such as film layer bulges and splash marks are suppressed, and film formation unevenness is reduced compared to the conventional tray-type immersion lens holder. Since it can be dramatically improved, the yield can be improved and the drying time can be shortened.

また、上記構成において、レンズ保持部によるレンズの保持形態としては、着脱自在な保持、吸着、仮止め、嵌合など様々な形態が挙げられるが、レンズ保持部とレンズとが一体に固着されていても構わない。そのような固着保持の場合には、レンズ保持体のレンズ保持部から成膜済みのレンズを切断して膜付きレンズを得るようにすることが好ましい。これによれば、成膜されていない（成膜が不要な）レンズの切断面部位を比較基準としてレンズの他の表面部位の成膜状態を容易に評価することができる。すなわち、レンズの表面部位が均一に成膜されているか否か（あるいは、成膜がされているか否か）の判断基準として切断面を利用することができる。この点で、レンズ保持体（レンズ保持部）から切り出された膜付きレンズは有益である。また、レンズ保持部とレンズとが一体に固着されてレンズ保持部から成膜済みのレンズを切断して膜付きレンズを得るこのような形態では、レンズの射出成形後に金型から離型される成形体（中間生成物）を浸漬用レンズ保持体として援用することもできる。その場合には、レンズの射出成形後に金型から離型される成形体のスプルーに対応する部位によって軸部が形成され、成形体のランナーに対応する部位によってレンズ保持部が形成され、成形体のゲートに対応する部位でレンズがレンズ保持部に一体に固着されてもよい。 Further, in the above configuration, the form of holding the lens by the lens holding part includes various forms such as detachable holding, adsorption, temporary fixing, and fitting. I don't mind. In the case of such fixed holding, it is preferable to obtain a film-coated lens by cutting the film-formed lens from the lens holding portion of the lens holding body. According to this, it is possible to easily evaluate the film formation state of the other surface portion of the lens by using the cut surface portion of the lens where no film is formed (film does not need to be formed) as a comparison reference. In other words, the cut surface can be used as a criterion for determining whether or not the film is uniformly formed on the surface portion of the lens (or whether or not the film is formed). In this respect, a film-coated lens cut out from a lens holder (lens holder) is useful. Further, in such a form in which the lens holding portion and the lens are integrally fixed and the film-coated lens is obtained by cutting the film-formed lens from the lens holding portion, the lens is released from the mold after the injection molding of the lens. Molded bodies (intermediate products) can also be used as immersion lens holders. In this case, the shaft portion is formed by the portion corresponding to the sprue of the molded body released from the mold after injection molding of the lens, and the lens holding portion is formed by the portion corresponding to the runner of the molded body. The lens may be integrally fixed to the lens holding portion at a portion corresponding to the gate of .

また、本発明は、上記構成の浸漬用レンズ保持体によってレンズが保持されて成る浸漬ユニット、この浸漬ユニットにより膜が表面に成膜されて成る膜付きレンズ、および、浸漬ユニットを用いた成膜方法も提供する。 Further, the present invention provides an immersion unit in which a lens is held by the immersion lens holder having the above configuration, a film-coated lens in which a film is formed on the surface by the immersion unit, and a film formation using the immersion unit. We also provide a method.

本発明によれば、軸部からその径方向外側に延びる複数のレンズ保持部の先端でレンズを保持する構造によりレンズを浸漬処理して成膜できるため、膜層膨出部や飛沫痕といった外観不良の発生を抑えて歩留まりを向上させることができるとともに、乾燥時間の短縮化も図ることができる。 According to the present invention, since the lens can be immersed and film-formed by the structure in which the lens is held by the tips of a plurality of lens-holding portions extending radially outward from the shaft portion, the appearance of the film layer bulging portion and splash marks can be prevented. It is possible to suppress the occurrence of defects, improve the yield, and shorten the drying time.

本発明の一実施の形態に係る浸漬用レンズ保持体によりレンズを保持した状態でレンズを成膜する成膜処理の概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram of a film forming process for forming a film on a lens while the lens is held by the immersion lens holder according to the embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態に係る成膜方法の処理工程図である。FIG. 4 is a processing process diagram of a film forming method according to an embodiment of the present invention; 浸漬用レンズ保持体によってレンズが保持されて成る本発明の一実施の形態に係る浸漬ユニットの概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of an immersion unit according to one embodiment of the present invention in which a lens is held by an immersion lens holder; FIG. 浸漬ユニットを用いたレンズのスピン乾燥工程の概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of a lens spin-drying process using an immersion unit. 従来のトレイ型の浸漬用レンズ保持体の一例を示し、（ａ）は浸漬用レンズ保持体の概略斜視図、（ｂ）は浸漬用レンズ保持体の部分側断面図である。An example of a conventional tray-type immersion lens holder is shown, (a) is a schematic perspective view of the immersion lens holder, and (b) is a partial side sectional view of the immersion lens holder. 従来のトレイ型の浸漬用レンズ保持体によりレンズを保持した状態でレンズを成膜する成膜処理の概念図である。FIG. 10 is a conceptual diagram of a film forming process for forming a lens while the lens is held by a conventional tray-type immersion lens holder. 図６に示されるトレイ型の浸漬用レンズ保持体を用いる従来の成膜方法の処理工程図である。FIG. 7 is a processing process diagram of a conventional film forming method using the tray-type immersion lens holder shown in FIG. 図６に示されるトレイ型の浸漬用レンズ保持体の部分平面図である。7 is a partial plan view of the tray-type immersion lens holder shown in FIG. 6. FIG. 外観不良としての膜層膨出部および飛沫痕が表面に形成されて成るレンズの平面図である。FIG. 10 is a plan view of a lens having a film layer bulging portion and splash marks as appearance defects formed on the surface; 薬液を逃がす逃がし部を有するレンズ保持体の部分平面図である。FIG. 4 is a partial plan view of a lens holder having a release portion for releasing a chemical solution;

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図３に示されるように、本発明の一実施の形態に係る浸漬用レンズ保持体（以下、単にレンズ保持体と称する）１は、レンズＬを薬液中に浸漬させてレンズＬの表面上に膜を形成するために使用され、それ自体がレンズＬを保持しつつ薬液中に浸漬されるようになっている。具体的には、この実施の形態に係るレンズ保持体１は、例えば樹脂材料によって形成され、垂直に延びる軸部２と、この軸部２からその径方向外側に延びるとともに、浸漬されるべきレンズＬを先端で保持する複数のレンズ保持部４とを有する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 3, an immersion lens holder (hereinafter simply referred to as a lens holder) 1 according to one embodiment of the present invention is formed by immersing a lens L in a chemical solution to obtain a liquid crystal on the surface of the lens L. It is used to form a film, and is designed to be immersed in a chemical solution while holding the lens L itself. Specifically, the lens holder 1 according to this embodiment is formed of, for example, a resin material, and includes a vertically extending shaft portion 2 and a lens to be immersed extending radially outwardly from the shaft portion 2. It has a plurality of lens holders 4 that hold L at the tip.

特に本実施の形態において、軸部２は、浸漬のために支持される基端部２ａと、基端部２ａの反対側の先端部２ｂとを有し、先端部２ｂから各レンズ保持部４が互いに９０°の角度間隔を隔てて同じ長さで放射状に水平に４本延びているが、レンズ保持部４が軸部２の先端部２ｂから延びている必要はなく、レンズ保持部４の数も４本に限定されない。例えば、軸部２の軸方向に沿って互いに隔てられた複数の部位からそれぞれレンズ保持部４が放射状に多段式に延びていてもよく、あるいは、レンズ保持部４が軸部２に対して角度を成して斜めに延びていても構わない。また、レンズ保持部４の延在形態も放射状に限らず、全てのレンズ保持部４が同じ長さである必要もない。また、レンズ保持部４によるレンズＬの保持形態としては、着脱自在な保持、吸着、仮止め、嵌合など様々な形態が挙げられる。 Particularly in this embodiment, the shaft portion 2 has a proximal end portion 2a supported for immersion and a distal end portion 2b on the opposite side of the proximal end portion 2a. extend radially and horizontally with the same length at an angular interval of 90° from each other. The number is also not limited to four. For example, the lens holding portions 4 may extend radially in multiple stages from a plurality of portions separated from each other along the axial direction of the shaft portion 2 , or the lens holding portions 4 may be arranged at an angle with respect to the shaft portion 2 . It does not matter if it extends obliquely. Further, the extending form of the lens holding portions 4 is not limited to radial, and all the lens holding portions 4 need not have the same length. In addition, as a form of holding the lens L by the lens holding part 4, there are various forms such as detachable holding, adsorption, temporary fixing, and fitting.

このようなレンズ保持体１は、各レンズ保持部４によりレンズＬを保持した浸漬ユニットＵ（レンズ保持体１とレンズＬとによって浸漬ユニットＵが形成される）の状態で薬液中に浸漬され、それにより、レンズＬを薬液中に浸漬させてレンズＬの表面上に膜を形成する。具体的には、この浸漬ユニットＵは、図１および図２に示されるような一連の成膜工程に晒される。 Such a lens holder 1 is immersed in a chemical solution in the state of an immersion unit U holding a lens L by each lens holding part 4 (the immersion unit U is formed by the lens holder 1 and the lens L), Thereby, the lens L is immersed in the chemical solution to form a film on the surface of the lens L. Specifically, this immersion unit U is exposed to a series of deposition steps as shown in FIGS.

すなわち、まず最初に、薬液２０、成膜されるべきレンズＬ、および、レンズ保持体１など、成膜処理に必要な素材を用意するための準備工程Ｓ１（図２参照）が行なわれる。その後、レンズ保持体１によってレンズＬが保持されて成る浸漬ユニットＵ全体が膜を構成する薬液２０中に浸漬される浸漬工程Ｓ３（図１および図２参照）が行なわれる。この場合、浸漬ユニットＵは、軸部２の基端部２ａが支持された状態でＡ液２０ａ中に浸漬される。具体的には、浸漬ユニットＵは、例えば、軸部２の基端部２ａが手で把持された状態で手作業により薬液２０中に浸漬される。あるいは、浸漬ユニットＵは、軸部２の基端部２ａが機械的な支持手段によって支持されて自動的に薬液２０中に浸漬される。 That is, first, a preparation step S1 (see FIG. 2) is performed for preparing materials required for the film forming process, such as the chemical liquid 20, the lens L to be filmed, and the lens holder 1. FIG. After that, an immersion step S3 (see FIGS. 1 and 2) is performed in which the entire immersion unit U in which the lens L is held by the lens holder 1 is immersed in the chemical liquid 20 forming the film. In this case, the immersion unit U is immersed in the A liquid 20a while the base end 2a of the shaft 2 is supported. Specifically, the immersion unit U is immersed in the chemical solution 20 manually, for example, while the base end 2a of the shaft 2 is held by hand. Alternatively, the immersion unit U is automatically immersed in the chemical solution 20 with the base end 2a of the shaft 2 supported by mechanical support means.

所定時間にわたる浸漬後、浸漬ユニットＵが薬液２０中から引き上げられる引き上げ工程Ｓ４（図２参照）が行なわれる。薬液２０中から引き上げられた浸漬ユニットＵは、その後、余分に付着した薬液２０を洗い落とすべくリンス液３０中に浸漬されるリンス工程Ｓ５（図１および図２参照）に晒される。この場合も、浸漬ユニットＵは、軸部２の基端部２ａが支持された状態でリンス液３０中に浸漬される。 After the immersion for a predetermined period of time, a lifting step S4 (see FIG. 2) is performed in which the immersion unit U is lifted out of the chemical solution 20. FIG. The immersion unit U lifted out of the chemical solution 20 is then subjected to a rinsing step S5 (see FIGS. 1 and 2) in which it is immersed in a rinse solution 30 to wash off excess chemical solution 20. FIG. Also in this case, the immersion unit U is immersed in the rinse liquid 30 with the base end 2a of the shaft 2 supported.

そして、最後に、成膜処理済みのレンズＬをレンズ保持体１により保持して成る浸漬ユニットＵ全体をレンズ保持体１の軸部２を中心に回転させてレンズＬを乾燥させるスピン乾燥工程Ｓ６Ａ（図２および４参照）が行なわれて、レンズＬに付着した薬液２０が乾燥される（リンス液３０が吹き飛ばされる）。この場合、浸漬ユニットＵは、軸部２が機械的に支持された状態で回転機等によって自動的に回転されてもよく、あるいは、軸部２が手で支持された状態で手動回転されてもよい。 Finally, a spin drying step S6A in which the lens L is dried by rotating the entire immersion unit U, which holds the film-formed lens L by the lens holder 1, around the shaft portion 2 of the lens holder 1. (see FIGS. 2 and 4) are performed to dry the chemical solution 20 adhering to the lens L (the rinse solution 30 is blown off). In this case, the immersion unit U may be automatically rotated by a rotary machine or the like while the shaft 2 is mechanically supported, or may be manually rotated while the shaft 2 is supported by hand. good too.

以上説明したように、本実施の形態のレンズ保持体１（浸漬ユニットＵ）は、軸部２からその径方向外側に延びる複数のレンズ保持部４の先端でレンズＬを保持する構造、具体的には、軸部２が浸漬のために支持される基端部２ａと該基端部２ａの反対側の先端部２ｂとを有し、先端部２ｂから複数のレンズ保持部４が放射状に延びる構造を成すため、複数のレンズＬを一度に薬液に浸漬できることは勿論のこと、前述したトレイ型の浸漬用レンズ保持体１００のように保持穴１１０同士を繋ぐ溝１１５なども伴わないことから、浸漬後の薬液溜まりに起因するレンズＬへの薬液再付着による膜層膨出部１１９（図９参照）の形成を回避できる。 As described above, the lens holder 1 (immersion unit U) of the present embodiment has a structure in which the lens L is held at the tips of the plurality of lens holders 4 extending radially outward from the shaft 2. has a base end portion 2a supported for immersion and a tip portion 2b on the opposite side of the base end portion 2a, and a plurality of lens holding portions 4 radially extend from the tip portion 2b. In order to form the structure, not only can a plurality of lenses L be immersed in the chemical solution at once, but there is no groove 115 connecting the holding holes 110 like the tray type immersion lens holder 100 described above. It is possible to avoid the formation of the film layer bulging portion 119 (see FIG. 9) due to re-adhesion of the chemical solution to the lens L due to the chemical solution pooling after the immersion.

また、本実施の形態のレンズ保持体１は、軸部２を有するため、この軸部２を支持した状態でレンズＬに直接に触れることなく浸漬工程を行なうことができる。したがって、浸漬処理の簡略化及び効率化を実現できるとともに、正確な成膜処理も可能となる。 Further, since the lens holder 1 of the present embodiment has the shaft portion 2, the immersion process can be performed without directly touching the lens L while supporting the shaft portion 2. FIG. Therefore, simplification and efficiency improvement of the immersion process can be realized, and an accurate film forming process can also be performed.

また、このような軸部２は、軸部２を中心とするレンズ保持体１の回転、したがって、レンズ保持部４を介して放射状に分布されたレンズＬの軸部２周りの回転を可能にするため、レンズＬのスピン乾燥も実現し得る。そのようなスピン乾燥によれば、レンズＬに付着する液体が遠心力によって径方向外側にしか飛散しないため、薬液の飛沫がレンズＬの表面に再付着してレンズＬの表面上に斑点状の飛沫痕１２１（図９参照）を生じさせることを防止できる。また、このようなスピン乾燥は、乾燥までに要する時間が前述した従来の乾燥工程Ｓ６と比べて格段に短い（同一条件で比較すると、従来の乾燥工程Ｓ６が３～４時間を要するのに対し、スピン乾燥は３０秒～１分で済む）ため、成膜処理時間を大幅に短縮でき有益である。 In addition, such a shaft 2 enables rotation of the lens holder 1 around the shaft 2, and thus rotation of the lenses L radially distributed via the lens holder 4 around the shaft 2. Therefore, spin drying of the lens L can also be realized. According to such spin drying, the liquid adhering to the lens L is only scattered outward in the radial direction due to the centrifugal force, so the droplets of the chemical liquid adhere to the surface of the lens L again and form spots on the surface of the lens L. It is possible to prevent the generation of splash marks 121 (see FIG. 9). In addition, such spin drying requires a much shorter time than the conventional drying step S6 described above (compared under the same conditions, the conventional drying step S6 requires 3 to 4 hours. , spin drying can be completed in 30 seconds to 1 minute).

以上のように、本実施の形態のレンズ保持体１によれば、膜層膨出部や飛沫痕といった外観不良の発生を抑え、従来のトレイ型の浸漬用レンズ保持体と比べて成膜ムラを飛躍的に改善できるため、歩留まりを向上させることができるとともに、乾燥時間の短縮化も図ることができる。 As described above, according to the lens holder 1 of the present embodiment, appearance defects such as film layer bulges and splash marks are suppressed, and film formation unevenness is reduced compared to the conventional tray-type immersion lens holder. can be dramatically improved, the yield can be improved, and the drying time can be shortened.

以上、本発明の一実施の形態について説明してきたが、本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。例えば、前述した実施の形態において、成膜処理（成膜方法）は、１回の浸漬工程および１回のリンス工程を含むが、これらの工程の数は、１回に限定されず、複数回であってもよい。また、薬液の種類も、１種類に限定されず、複数種類であってもよい。また、前述したように、レンズ保持部４によるレンズＬの保持形態としては、着脱自在な保持、吸着、仮止め、嵌合など様々な形態が挙げられるが、レンズ保持部４とレンズＬとが一体に固着されていても構わない。そのような固着保持の場合には、レンズ保持体１のレンズ保持部４から成膜済みのレンズを切断して（切り出して）膜付きレンズを得るようにすることが好ましい。これによれば、成膜されていない（成膜が不要な）膜付きレンズの切断面部位を比較基準として膜付きレンズの他の表面部位の成膜状態を容易に評価することができる。すなわち、膜付きレンズの表面部位が均一に成膜されているか否か（あるいは、成膜がされているか否か）の判断基準として切断面を利用することができる。この点で、レンズ保持体１（レンズ保持部４）から切り出された膜付きレンズは有益である。なお、この場合、成膜処理は、レンズ保持体のレンズ保持部から成膜済みのレンズを切断して膜付きレンズを得る切断工程を更に含むこととなる。 An embodiment of the present invention has been described above, but the present invention can be modified in various ways without departing from the scope of the invention. For example, in the above-described embodiments, the film formation process (film formation method) includes one immersion step and one rinse step, but the number of these steps is not limited to one, and multiple times. may be Also, the type of chemical solution is not limited to one type, and may be plural types. Further, as described above, the form of holding the lens L by the lens holding part 4 includes various forms such as detachable holding, adsorption, temporary fixing, and fitting. It does not matter if they are fixed together. In the case of such fixed holding, it is preferable to cut (cut out) the film-formed lens from the lens holding portion 4 of the lens holding body 1 to obtain the film-coated lens. According to this, it is possible to easily evaluate the film formation state of other surface portions of the film-coated lens with reference to a cut surface portion of the film-coated lens that is not formed (film does not need to be formed). That is, the cut surface can be used as a criterion for determining whether or not the film is uniformly formed on the surface portion of the film-coated lens (or whether or not the film is formed). In this respect, the film-coated lens cut out from the lens holder 1 (lens holder 4) is useful. In this case, the film forming process further includes a step of cutting the film-formed lens from the lens holding portion of the lens holding body to obtain a film-coated lens.

また、レンズ保持部４とレンズＬとが一体に固着されてレンズ保持部４から成膜済みのレンズを切断して膜付きレンズを得るこのような形態では、レンズの射出成形後に金型から離型される成形体（中間生成物）を浸漬用レンズ保持体として援用することもできる。その場合には、レンズの射出成形後に金型から離型される成形体のスプルーに対応する部位によって軸部が形成され、成形体のランナーに対応する部位によってレンズ保持部が形成され、成形体のゲートに対応する部位でレンズがレンズ保持部に一体に固着されてもよい。 Further, in such a form in which the lens holding portion 4 and the lens L are integrally fixed and the film-coated lens is obtained by cutting the film-formed lens from the lens holding portion 4, the lens is separated from the mold after injection molding. Molded bodies (intermediate products) can also be used as immersion lens holders. In this case, the shaft portion is formed by the portion corresponding to the sprue of the molded body released from the mold after injection molding of the lens, and the lens holding portion is formed by the portion corresponding to the runner of the molded body. The lens may be integrally fixed to the lens holding portion at a portion corresponding to the gate of .

１ 浸漬用レンズ保持体
２ 軸部
２ａ 基端部
２ｂ 先端部
４ レンズ保持部
Ｌ レンズ
Ｌ’ 膜付きレンズ
Ｕ 浸漬ユニット REFERENCE SIGNS LIST 1 lens holder for immersion 2 shaft 2a base end 2b tip 4 lens holder L lens L' lens with film U immersion unit

Claims (2)

レンズを薬液中に浸漬させてレンズ表面上に膜を形成する成膜方法であって、
軸部と該軸部からその径方向外側に延びる複数のレンズ保持部とを有する浸漬用レンズ保持体の前記レンズ保持部にレンズを保持させた浸漬ユニットの状態で、前記軸部を支持しつつ前記レンズを前記レンズ保持体と共に薬液中に浸漬する浸漬工程と、
前記浸漬工程の後、レンズを保持する前記レンズ保持体をその軸部を中心に回転させて余分に付着した液体を除去する工程と、
を含むことを特徴とする成膜方法。 A film formation method for forming a film on the lens surface by immersing the lens in a chemical solution,
An immersion unit in which a lens is held by the lens holding portion of an immersion lens holder having a shaft portion and a plurality of lens holding portions extending radially outward from the shaft portion while supporting the shaft portion. an immersion step of immersing the lens in a chemical solution together with the lens holder;
After the immersion step, a step of rotating the lens holding body that holds the lens around its shaft to remove extra adhered liquid ;
A film forming method comprising: 前記レンズ保持体の前記レンズ保持部から成膜済みのレンズを切断して膜付きレンズを得る切断工程を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の成膜方法。 2. The film forming method according to claim 1 , further comprising a step of cutting the film-formed lens from the lens holding portion of the lens holding body to obtain a film-coated lens.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004009675A (en) 2002-06-11 2004-01-15 Konica Minolta Holdings Inc Treating method for material of product
JP2005104161A (en) 2004-12-27 2005-04-21 Hoya Corp Injection compression molding method of lens
JP2011081173A (en) 2009-10-07 2011-04-21 Hoya Corp Lens holding device, method for holding lens, and method for treating surface of lens
JP2011137975A (en) 2009-12-28 2011-07-14 Fujifilm Corp Cover member, lens unit and production method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3244192B2 (en) * 1992-06-05 2002-01-07 セイコーエプソン株式会社 Hard coating method and apparatus for manufacturing plastic lens for spectacles
JP3320302B2 (en) * 1996-04-10 2002-09-03 ホーヤ株式会社 Injection compression molding method for lenses
DE69738050T2 (en) * 1996-12-17 2008-05-15 Hoya Corp. PLASTIC PROBELINSE, INJECTION ARTICLES AND INJECTION DEVICE

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004009675A (en) 2002-06-11 2004-01-15 Konica Minolta Holdings Inc Treating method for material of product
JP2005104161A (en) 2004-12-27 2005-04-21 Hoya Corp Injection compression molding method of lens
JP2011081173A (en) 2009-10-07 2011-04-21 Hoya Corp Lens holding device, method for holding lens, and method for treating surface of lens
JP2011137975A (en) 2009-12-28 2011-07-14 Fujifilm Corp Cover member, lens unit and production method

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