JP7152096B2 - トルクセンサ - Google Patents
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Description
トルクの作用によって弾性変形を生じる変形体と、
前記変形体に生じる弾性変形に基づいて、作用したトルクを示す電気信号を出力する検出回路と、を備え、
前記変形体は、
XYZ三次元座標系に対して固定された固定部と、
前記固定部とは異なる部位に設けられ、トルクの作用を受ける受力部と、
前記固定部と前記受力部とを連結し、前記受力部にトルクが作用することによって弾性変形を生じる変形部と、
前記変形部に接続された支持体と、この支持体によって支持された梁と、を有する梁構造体と、を有し、
前記梁には、当該梁の変位を計測するための計測点が規定されており、
前記検出回路は、前記変形体の弾性変形に起因して前記梁の前記計測点に生じる変位に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とするトルクセンサである。
前記変形体の前記受力部は、Z軸方向から見て、X軸及びY軸のうちの他方と重なるように位置付けられていて良い。
トルクの作用によってZ軸回りに回動する受力体と、を更に備え、
前記固定体は、前記変形体の前記固定部に接続され、
前記受力体は、前記変形体の前記受力部に接続されていて良い。
前記変位電極と前記固定電極とは、静電容量素子を構成し、
前記検出回路は、前記静電容量素子の静電容量値の変動量に基づいて、前記電気信号を出力するようになっていて良い。
Z軸方向から見て原点を取り囲むように配置され、トルクの作用によって弾性変形を生じる環状の変形体と、
前記変形体に生じる弾性変形に基づいて、作用したトルクを示す電気信号を出力する検出回路と、を備え、
前記変形体は、
XYZ三次元座標系に対して固定された2つの固定部と、
当該変形体の周方向において前記固定部と交互に位置付けられ、トルクの作用を受ける、2つの受力部と、
当該変形体の周方向において隣接する前記固定部と前記受力部とを連結し、前記受力部にトルクが作用することによって弾性変形を生じる4つの変形部と、
各変形部に1つずつ接続された4つの梁構造体と、を有し、
各梁構造体は、前記変形部に接続された支持体と、この支持体によって支持された梁と、を有し、
各梁には、当該各梁の変位を計測するための計測点が規定されており、
前記検出回路は、前記変形体の弾性変形に起因して各梁の前記計測点に生じる変位に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とするトルクセンサである。
前記2つの受力部は、Z軸方向から見て、前記変形体とX軸とが重なる部位にY軸対称に位置付けられていて良い。
W軸は、原点を通りY軸に対して45°の角度をなしていて良い。
トルクの作用によってZ軸回りに回動する受力体と、を更に備え、
前記固定体は、前記変形体の前記固定部に接続され、
前記受力体は、前記変形体の前記受力部に接続されていて良い。
各変位電極と前記固定電極とは、4組の静電容量素子を構成し、
前記検出回路は、前記4組の静電容量素子の静電容量値の変動量に基づいて、前記電気信号を出力するようになっていて良い。
前記検出回路は、前記第1静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第3静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、前記第2静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第4静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、の差、に基づいて、作用したトルクを示す電気信号を出力するようになっていて良い。
Z軸方向から見て原点を取り囲むように配置され、トルクの作用によって弾性変形を生じる環状の変形体と、
前記変形体に生じる弾性変形に基づいて、作用したトルクを示す電気信号を出力する検出回路と、を備え、
前記変形体は、
XYZ三次元座標系に対して固定された2つの固定部と、
当該変形体の周方向において前記固定部と交互に位置付けられ、トルクの作用を受ける、2つの受力部と、
当該変形体の周方向において隣接する前記固定部と前記受力部とを連結し、前記受力部にトルクが作用することによって弾性変形を生じる4つの変形部と、
各変形部の外周面に1つずつ接続された4つの外側梁構造体と、
各変形部の内周面に1つずつ接続された4つの内側梁構造体と、を有し、
各外側梁構造体は、前記変形部に接続された外側支持体と、この外側支持体によって支持された外側梁と、を有し、
各内側梁構造体は、前記変形部に接続された内側支持体と、この内側支持体によって支持された内側梁と、を有し、
各内側梁及び各外側梁には、各梁の変位を計測するための計測点が規定されており、
前記検出回路は、前記変形体の弾性変形に起因して各内側梁に生じる変位、及び、当該弾性変形に起因して各外側梁に生じる変位、の少なくとも一方に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とするトルクセンサである。
前記2つの受力部は、Z軸方向から見て、前記変形体とX軸とが重なる部位にY軸対称に位置付けられていて良い。
前記4つの外側梁構造体の各計測点は、正のV軸上、正のW軸上、負のV軸上及び負のW軸上にそれぞれ位置付けられており、
前記4つの内側梁構造体の各計測点は、正のV軸上、正のW軸上、負のV軸上及び負のW軸上にそれぞれ位置付けられていて良い。
W軸は、原点を通りY軸に対して45°の角度をなしていて良い。
トルクの作用によってZ軸回りに回動する受力体と、を更に備え、
前記固定体は、前記変形体の前記固定部に接続され、
前記受力体は、前記変形体の前記受力部に接続されていて良い。
前記内側梁の各計測点に1つずつ配置された4つの内側変位電極と、これらの内側変位電極に対向配置され、前記受力体または前記固定体に接続された内側固定電極と、
前記外側梁の各計測点に1つずつ配置された4つの外側変位電極と、これらの外側変位電極に対向配置され、前記受力体または前記固定体に接続された外側固定電極と、を有し、
各内側変位電極と前記内側固定電極とは、4組の内側静電容量素子を構成しており、
各外側変位電極と前記外側固定電極とは、4組の外側静電容量素子を構成しており、
前記検出回路は、前記4組の内側静電容量素子の静電容量値の変動量、及び、前記4組の外側静電容量素子の静電容量値の変動量、の少なくとも一方に基づいて、前記電気信号を出力するようになっていて良い。
前記4組の外側静電容量素子は、Z軸方向から見て、XY平面の第1象限に配置された第1外側静電容量素子と、XY平面の第2象限に配置された第2外側静電容量素子と、XY平面の第3象限に配置された第3外側静電容量素子と、XY平面の第4象限に配置された第4外側静電容量素子と、を有し、
前記検出回路は、「前記第1内側静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第3内側静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、前記第2内側静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第4内側静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、の差」、及び、「前記第1外側静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第3外側静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、前記第2外側静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第4外側静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、の差」、の少なくとも一方に基づいて、前記電気信号を出力するようになっていて良い。
前記内側梁構造体は、前記内側梁と前記固定体とを連結する内側連結体を有していて良い。
以下に、添付の図面を参照して、本発明の第1の実施の形態によるトルクセンサについて詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施の形態によるトルクセンサの基本構造部100を示す概略平面図である。また、図2は、従来のトルクセンサの基本構造部100aであり、図1との差異を説明するための参考図である。
次に、上述した基本構造部100の作用について、図3及び図4を参照して説明する。
次に、図6は、図1の基本構造部100を採用したトルクセンサ100cの一例を示す概略平面図である。
次に、本発明の第2の実施の形態によるトルクセンサ200cについて説明する。
図7は、本発明の第2の実施の形態によるトルクセンサの基本構造部200を示す概略平面図である。
次に、上述した基本構造部200の作用について、図8及び図9を参照して説明する。
次に、図10は、図7の基本構造部200を採用したトルクセンサ200cの一例を示す概略平面図である。
T=C1-C2+C3-C4
そして、検出回路240は、予め格納されたテーブルを参照して、[式1]に基づいて得られる値から、作用したトルクを特定する。そして、特定されたトルクに対応する電気信号が、所定の出力端子(不図示)から出力される。
次に、本発明の第3の実施の形態によるトルクセンサ300cについて説明する。
図11は、本発明の第3の実施の形態によるトルクセンサの基本構造部300を示す概略平面図である。
次に、上述した基本構造部300の作用について、図12及び図13を参照して説明する。
次に、図14は、図11の基本構造部300を採用したトルクセンサ300cの一例を示す概略平面図である。
T1=C11-C12+C13-C14
T2=C21-C22+C23-C24
あるいは、[式2]に代えて、次の[式3]を用いて作用したトルクを計測することも可能である。この[式3]は、[式2]に示すT1とT2との和である。
T3=(C11+C21)-(C12+C22)+(C13+C13)-(C14+C24)
そして、検出回路340は、予め格納されたテーブルを参照して、[式2]または[式3]に基づいて得られる値から、作用したトルクを特定する。そして、特定されたトルクに対応する電気信号が、所定の出力端子(不図示)から出力される。
以上に示した各実施の形態では、梁構造体は、いわゆる片持ち梁として構成されていた。片持ち梁は、梁の一端が自由端となっているため、両持ち梁と比較して、共振周波数が低く、外部の振動の影響を受けやすい。例えば、各実施の形態によるトルクセンサ100c、200c、300cをモーターに直結した場合、各梁構造体(片持ち梁)とモーターの振動数(数KHz)とが一致してしまう可能性がある。更に、梁構造体は、外部環境において生じる振動の影響も受ける。この場合、トルクセンサ100c、200c、300cに設けられた梁構造体に生じる振動がノイズとして出力される電気信号に加えられることになる。すなわち、トルクセンサ100c、200c、300cが設置される環境において発生する振動の影響によって、当該トルクセンサ100c、200c、300cの出力も振動してしまい、作用するトルクが正確に検出できないおそれがある。
以上の各トルクセンサは、トルクが作用した結果、固定電極に対する変位電極の相対位置が変化した場合にも、静電容量素子を構成する一対の電極の実効対向面積が変化しないように、各静電容量素子を構成する固定電極および変位電極のうちの一方の面積を他方の面積よりも大きく設定することも考えられる。これは、面積が小さい方の電極(例えば変位電極)の輪郭を、面積が大きい方の電極(例えば固定電極)の表面に当該電極の法線方向に投影して正射影投影像を形成した場合、面積が小さい方の電極の投影像が、面積が大きい方の電極の表面内に完全に含まれるような状態である。この状態が維持されれば、両電極によって構成される静電容量素子の実効面積は、小さい方の電極の面積に等しくなり、常に一定になる。すなわち、力の検出精度を向上させることができる。
以上に示した各実施の形態及び変形例において、受力体20をXYZ三次元座標系に対して固定された固定体とし、固定体10をZ軸回りに回動可能な受力体として構成することも可能である。このようなトルクセンサの受力体(以上の各実施の形態及び変形例における固定体10に相当)に正のトルクが作用すると、変形体30、230、330には、以上の各実施の形態及び変形例による各トルクセンサにおいて受力体20に負のトルクが作用した場合と同様の弾性変形が生じる。その一方、このようなトルクセンサの受力体に負のトルクが作用すると、変形体30、230、330には、以上の各実施の形態及び変形例による各トルクセンサにおいて受力体20に正のトルクが作用した場合と同様の弾性変形が生じる。したがって、このトルクセンサによってトルクを計測する場合には、上述した[式1]~[式3]において、T、T1、T2及びT3を-T、-T1、-T2及び-T3にそれぞれ読み替えればよい。
11 固定体接続部
11e 第1延出部
12 固定体接続部
12e 第2延出部
13A~13D 第1~第4内側台座
20 受力体
21、22 受力体接続部
23 台座
23A~23D 第1~第4台座
24 第1突出部
25 第2突出部
30、30a 変形体
31 梁構造体
31b 梁
31f 支持体
32、34 受力部
33、35 固定部
36、36a 変形部
40 検出回路
100、100a 基本構造部
100c トルクセンサ
200 基本構造部
200c、201c、202c トルクセンサ
230 変形体
231A~231D 第1~第4梁構造体
231Ab~231Db 第1~第4梁(第1~第4外側梁)
231Ac~231Dc 第1~第4連結体
231Af~231Df 第1~第4支持体
231Dc 第4連結体
231Df 第4支持体
232、234 受力部
233、235 固定部
236A~236D 第1~第4変形部
240 検出回路
300 基本構造部
300c トルクセンサ
330 変形体
331A~331D 第1~第4外側梁構造体
331Ab~331Db 第1~第4外側梁
331Af~331Df 第1~第4外側支持体
331E~331H 第1~第4内側梁構造体
331Eb~331Hb 第1~第4内側梁
331Ef~331Hf 第1~第4内側支持体
332、334 受力部
333、335 固定部
336A~336D 第1~第4変形部
340 検出回路
Claims (27)
- XYZ三次元座標系におけるZ軸まわりのトルクを検出するトルクセンサであって、
トルクの作用によって弾性変形を生じる変形体と、
前記変形体に生じる弾性変形に基づいて、作用したトルクを示す電気信号を出力する検出回路と、を備え、
前記変形体は、
XYZ三次元座標系に対して固定された固定部と、
前記固定部とは異なる部位に設けられ、トルクの作用を受ける受力部と、
前記固定部と前記受力部とを連結し、前記受力部にトルクが作用することによって弾性変形を生じる変形部と、
前記変形部に接続された支持体と、この支持体によって支持された梁と、を有する梁構造体と、を有し、
前記梁には、当該梁の変位を計測するための計測点が規定されており、
前記検出回路は、前記変形体の弾性変形に起因して前記梁の前記計測点に生じる変位に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とするトルクセンサ。 - 前記変形体の前記変形部は、Z軸方向から見て、原点を中心とする円弧に沿った形状を有している
ことを特徴とする請求項1に記載のトルクセンサ。 - 前記変形体の前記固定部は、Z軸方向から見て、X軸及びY軸のうちの一方と重なるように位置付けられており、
前記変形体の前記受力部は、Z軸方向から見て、X軸及びY軸のうちの他方と重なるように位置付けられている
ことと特徴とする請求項1または2に記載のトルクセンサ。 - XY平面上に、原点を通りX軸およびY軸に対して所定の角度をなすV軸およびW軸を定義した場合に、前記梁の前記計測点は、V軸上またはW軸上に位置付けられている
ことを特徴とする請求項3に記載のトルクセンサ。 - XYZ三次元座標系に対して固定された固定体と、
トルクの作用によってZ軸回りに回動する受力体と、を更に備え、
前記固定体は、前記変形体の前記固定部に接続され、
前記受力体は、前記変形体の前記受力部に接続されている
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のトルクセンサ。 - 前記検出回路は、前記梁の前記計測点に配置された変位電極と、この変位電極に対向配置され、前記受力体または前記固定体に接続された固定電極と、を有し、
前記変位電極と前記固定電極とは、静電容量素子を構成し、
前記検出回路は、前記静電容量素子の静電容量値の変動量に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とする請求項5に記載のトルクセンサ。 - XYZ三次元座標系におけるZ軸まわりのトルクを検出するトルクセンサであって、
Z軸方向から見て原点を取り囲むように配置され、トルクの作用によって弾性変形を生じる環状の変形体と、
前記変形体に生じる弾性変形に基づいて、作用したトルクを示す電気信号を出力する検出回路と、を備え、
前記変形体は、
XYZ三次元座標系に対して固定された2つの固定部と、
当該変形体の周方向において前記固定部と交互に位置付けられ、トルクの作用を受ける、2つの受力部と、
当該変形体の周方向において隣接する前記固定部と前記受力部とを連結し、前記受力部にトルクが作用することによって弾性変形を生じる4つの変形部と、
各変形部に1つずつ接続された4つの梁構造体と、を有し、
各梁構造体は、前記変形部に接続された支持体と、この支持体によって支持された梁と、を有し、
各梁には、当該各梁の変位を計測するための計測点が規定されており、
前記検出回路は、前記変形体の弾性変形に起因して各梁の前記計測点に生じる変位に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とするトルクセンサ。 - 前記2つの固定部は、Z軸方向から見て、前記変形体とY軸とが重なる部位にX軸対称に位置付けられており、
前記2つの受力部は、Z軸方向から見て、前記変形体とX軸とが重なる部位にY軸対称に位置付けられている
ことを特徴とする請求項7に記載のトルクセンサ。 - XY平面上に、原点を通りX軸およびY軸に対して所定の角度をなすV軸およびW軸を定義した場合に、各梁の前記計測点は、正のV軸上、正のW軸上、負のV軸上及び負のW軸上にそれぞれ位置付けられている
ことを特徴とする請求項7または8に記載のトルクセンサ。 - V軸は、原点を通りX軸に対して45°の角度をなしており、
W軸は、原点を通りY軸に対して45°の角度をなしている
ことを特徴とする請求項9に記載のトルクセンサ。 - XYZ三次元座標系に対して固定された固定体と、
トルクの作用によってZ軸回りに回動する受力体と、を更に備え、
前記固定体は、前記変形体の前記固定部に接続され、
前記受力体は、前記変形体の前記受力部に接続されている
ことを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載のトルクセンサ。 - 前記検出回路は、前記梁の各計測点に配置された4つの変位電極と、これらの変位電極に対向配置され、前記受力体または前記固定体に接続された固定電極と、を有し、
各変位電極と前記固定電極とは、4組の静電容量素子を構成し、
前記検出回路は、前記4組の静電容量素子の静電容量値の変動量に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とする請求項11に記載のトルクセンサ。 - 前記4組の静電容量素子は、Z軸方向から見て、XY平面の第1象限に配置された第1静電容量素子と、XY平面の第2象限に配置された第2静電容量素子と、XY平面の第3象限に配置された第3静電容量素子と、XY平面の第4象限に配置された第4静電容量素子と、を有し、
前記検出回路は、前記第1静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第3静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、前記第2静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第4静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、の差、に基づいて、作用したトルクを示す電気信号を出力する
ことを特徴とする請求項12に記載のトルクセンサ。 - 前記固定電極は、それぞれの静電容量素子ごとに個別の電極として構成されている
ことを特徴とする請求項12または13に記載のトルクセンサ。 - XYZ三次元座標系におけるZ軸まわりのトルクを検出するトルクセンサであって、
Z軸方向から見て原点を取り囲むように配置され、トルクの作用によって弾性変形を生じる環状の変形体と、
前記変形体に生じる弾性変形に基づいて、作用したトルクを示す電気信号を出力する検出回路と、を備え、
前記変形体は、
XYZ三次元座標系に対して固定された2つの固定部と、
当該変形体の周方向において前記固定部と交互に位置付けられ、トルクの作用を受ける、2つの受力部と、
当該変形体の周方向において隣接する前記固定部と前記受力部とを連結し、前記受力部にトルクが作用することによって弾性変形を生じる4つの変形部と、
各変形部の外周面に1つずつ接続された4つの外側梁構造体と、
各変形部の内周面に1つずつ接続された4つの内側梁構造体と、を有し、
各外側梁構造体は、前記変形部に接続された外側支持体と、この外側支持体によって支持された外側梁と、を有し、
各内側梁構造体は、前記変形部に接続された内側支持体と、この内側支持体によって支持された内側梁と、を有し、
各内側梁及び各外側梁には、各梁の変位を計測するための計測点が規定されており、
前記検出回路は、前記変形体の弾性変形に起因して各内側梁に生じる変位、及び、当該弾性変形に起因して各外側梁に生じる変位、の少なくとも一方に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とするトルクセンサ。 - 前記2つの固定部は、Z軸方向から見て、前記変形体とY軸とが重なる部位にX軸対称に位置付けられており、
前記2つの受力部は、Z軸方向から見て、前記変形体とX軸とが重なる部位にY軸対称に位置付けられている
ことを特徴とする請求項15に記載のトルクセンサ。 - XY平面上に、原点を通りX軸およびY軸に対して所定の角度をなすV軸およびW軸を定義した場合に、
前記4つの外側梁構造体の各計測点は、正のV軸上、正のW軸上、負のV軸上及び負のW軸上にそれぞれ位置付けられており、
前記4つの内側梁構造体の各計測点は、正のV軸上、正のW軸上、負のV軸上及び負のW軸上にそれぞれ位置付けられている
ことを特徴とする請求項15または16に記載のトルクセンサ。 - V軸は、原点を通りX軸に対して45°の角度をなしており、
W軸は、原点を通りY軸に対して45°の角度をなしている
ことを特徴とする請求項17に記載のトルクセンサ。 - XYZ三次元座標系に対して固定された固定体と、
トルクの作用によってZ軸回りに回動する受力体と、を更に備え、
前記固定体は、前記変形体の前記固定部に接続され、
前記受力体は、前記変形体の前記受力部に接続されている
ことを特徴とする請求項15乃至18のいずれか一項に記載のトルクセンサ。 - 前記検出回路は、
前記内側梁の各計測点に1つずつ配置された4つの内側変位電極と、これらの内側変位電極に対向配置され、前記受力体または前記固定体に接続された内側固定電極と、
前記外側梁の各計測点に1つずつ配置された4つの外側変位電極と、これらの外側変位電極に対向配置され、前記受力体または前記固定体に接続された外側固定電極と、を有し、
各内側変位電極と前記内側固定電極とは、4組の内側静電容量素子を構成しており、
各外側変位電極と前記外側固定電極とは、4組の外側静電容量素子を構成しており、
前記検出回路は、前記4組の内側静電容量素子の静電容量値の変動量、及び、前記4組の外側静電容量素子の静電容量値の変動量、の少なくとも一方に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とする請求項19に記載のトルクセンサ。 - 前記4組の内側静電容量素子は、Z軸方向から見て、XY平面の第1象限に配置された第1内側静電容量素子と、XY平面の第2象限に配置された第2内側静電容量素子と、XY平面の第3象限に配置された第3内側静電容量素子と、XY平面の第4象限に配置された第4内側静電容量素子と、を有し、
前記4組の外側静電容量素子は、Z軸方向から見て、XY平面の第1象限に配置された第1外側静電容量素子と、XY平面の第2象限に配置された第2外側静電容量素子と、XY平面の第3象限に配置された第3外側静電容量素子と、XY平面の第4象限に配置された第4外側静電容量素子と、を有し、
前記検出回路は、「前記第1内側静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第3内側静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、前記第2内側静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第4内側静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、の差」、及び、「前記第1外側静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第3外側静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、前記第2外側静電容量素子の静電容量値の変動量と前記第4外側静電容量素子の静電容量値の変動量との和と、の差」、の少なくとも一方に基づいて、前記電気信号を出力するようになっている
ことを特徴とする請求項20に記載のトルクセンサ。 - 前記内側固定電極及び前記外側固定電極は、それぞれの内側静電容量素子及び外側静電容量素子ごとに個別の電極として構成されている
ことを特徴とする請求項20または21に記載のトルクセンサ。 - 前記検出回路は、前記4組の外側静電容量素子の静電容量値の変動量に基づいて計測されたトルクと、前記4組の内側静電容量素子の静電容量値の変動量に基づいて計測されたトルクと、を比較することによって、前記トルクセンサが正常に機能しているか否かを判定するようになっている
ことを特徴とする請求項20乃至22のいずれか一項に記載のトルクセンサ。 - 前記変形体は、Z軸方向から見て、X軸及びY軸に関して対称的な形状を有している
ことを特徴とする請求項7乃至23のいずれか一項に記載のトルクセンサ。 - 前記変形体は、Z軸方向から見て、原点を中心とする円環の形状を有している
ことを特徴とする請求項7乃至24のいずれか一項に記載のトルクセンサ。 - 前記梁構造体は、前記梁と前記固定体または前記受力体とを連結する連結体を有している
ことを特徴とする請求項5、6、11または12に記載のトルクセンサ。 - 前記外側梁構造体は、前記外側梁と前記受力体とを連結する外側連結体を有しており、
前記内側梁構造体は、前記内側梁と前記固定体とを連結する内側連結体を有している
ことを特徴とする請求項19乃至23のいずれか一項に記載のトルクセンサ。
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