JP7148017B2

JP7148017B2 - 検査治具及びそれを備えた基板検査装置

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Publication number: JP7148017B2
Application number: JP2022505890A
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Inventors: 耕平津村
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Filing date: 2021-02-22
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Description

本発明は、検査治具及びそれを備えた基板検査装置に関する。

半導体ウェハを検査するために用いられる検査治具が知られている。前記検査治具として、特許文献１には、被検査体の検査用パッドに接触するプローブを有するプローブユニットと、セラミックス基板を含むスペーストランスフォーマと、ポゴピンユニットと、プリント回路基板とを備えた構成が特許文献１に開示されている。

前記スペーストランスフォーマは、一面に、プローブの配置パターンに対応した配線パターンを有する。前記一面にプローブユニットを接続することで、前記プローブと前記スペーストランスフォーマとが電気的に接続される。前記スペーストランスフォーマは、反対面に、前記プリント回路基板に対応した配線パターンを有する。前記スペーストランスフォーマと前記プリント回路基板とは、前記ポゴピンユニットを介して接続される。

また、プローブカードを用いて、半導体デバイスの電気的特性を検査する検査装置が知られている。前記検査装置では、前記プローブカードが有するプローブ針の先端を前記半導体デバイス上の端子に接触させて、前記半導体デバイスの検査を行う。このため、前記検査装置は、前記プローブカードと前記半導体デバイスを載置する載置台との位置合わせを行うための構成を有する。特許文献１には、プローブカードと、検査対象のウエハを搬送する搬送アームとを有し、前記プローブカードが有する切欠部に前記搬送アームが有する位置決めピンを嵌め合わせることで、前記プローブカードに対して前記搬送アームが対向する位置の位置合わせを行うウエハ検査装置が特許文献２に開示されている。

特開２０１９－１７８９６１号公報特開２０１３－１９１７３７号公報

ところで、プリント基板の検査に用いられる検査治具では、スペーストランスフォーマに相当する部材として、樹脂製の基板が用いられるのが一般的である。したがって、プリント基板の検査治具において、前記基板にポゴピンユニットのような電気接続部材を接触させて両者を電気的に接続する場合、前記基板が前記電気接続部材による押し付け力を受けて撓む可能性がある。前記基板が撓むと、前記電気接続部材と前記基板との電気的接触に不良が生じる可能性がある。そうすると、被検査基板の検査を安定して行えない可能性がある。

本発明の目的は、プリント基板の検査装置に用いられる検査治具及び前記検査器具を備えた基板検査装置において、検査治具に用いられる基板の撓みを抑制可能な構成を提供することである。

また、近年の半導体デバイスの大規模化及び微細化によって、検査対象の検査点が増加しつつある。これにより、検査装置において、検査治具が有するプローブの数も増加しつつある。前記検査対象の検査点が増加するにしたがって、前記検査治具を用いて検査対象を検査する際に、前記検査治具の基板が前記プローブから受ける厚み方向の力が増加する。これにより、前記基板が前記検査対象に対して厚み方向に変位する場合がある。

本発明の目的は、基板を用いた検査治具、及び前記検査治具を有する検査装置において、検査装置本体に対する前記基板の厚み方向の変位を抑制可能な構成を得ることである。

本発明の一実施形態に係る検査治具は、被検査基板が有する電気回路を検査する基板検査装置の検査処理部に取り付けられる検査治具である。前記検査治具は、前記検査処理部によって信号を検出される第１基板と、前記被検査基板に接触するプローブを有するプローブユニットと、一方の面が前記第１基板に対向し且つ前記第１基板の厚み方向に該第１基板と並んで位置し、前記プローブと電気的に接続される第２基板と、前記厚み方向において前記第１基板と前記第２基板との間に位置し且つ前記第１基板及び前記第２基板を電気的に接続する電気接続部と、前記第２基板を、前記第１基板に対して前記厚み方向に並んだ状態で保持し且つ前記第１基板側とは反対側で前記プローブユニットを保持する基板保持部と、を有する。前記基板保持部は、前記第２基板の前記プローブユニット側に位置する板状の第１保持板部と、前記第１保持板部を前記第１基板に対して前記厚み方向に並ぶ位置に位置付ける保持板支持部と、を有し、前記第１基板と前記第２基板との間で前記電気接続部を前記厚み方向に挟み込むことにより前記電気接続部を介して前記第１基板と前記第２基板とを電気的に接続した状態で、前記第２基板を保持する。

本発明の一実施形態に係る基板検査装置は、前記検査治具を備える。

また、本発明の一実施形態に係る検査治具は、基板または半導体を検査対象とする検査装置に取り付けられる検査治具である。この検査治具は、前記検査対象に接触し、電気信号を検出するプローブと、前記プローブを保持し、前記プローブが検出した電気信号を伝達する第２基板と、前記第２基板の前記プローブ側とは反対側で前記第２基板の厚み方向に並んで位置し、且つ、前記第２基板が伝達する電気信号を前記検査装置に伝達する第１基板と、前記第１基板及び前記第２基板を電気的に接続する電気接続部と、前記第１基板を前記検査装置に対して保持する板状の第１基板保持部と、前記第１基板側で前記第２基板を前記第１基板に対して保持する板状の第２基板保持部と、を有する。前記第２基板保持部は、前記第２基板保持部を平面で見て前記プローブと重なる位置で厚み方向に貫通するプローブ接続開口部と、厚み方向に貫通し前記電気接続部を収容する電気接続収容部と、前記第１基板に向かって突出する第１突起部と、を有する。前記第２基板保持部を平面で見て、前記第１突起部と前記プローブ接続開口部の中心との距離が、前記電気接続収容部と前記プローブ接続開口部の中心との距離よりも短く、少なくとも前記検査対象に前記プローブを接触させた際に、前記第１突起部が前記検査装置または前記第１基板保持部に接触する。

本発明の一実施形態に係る検査装置は、前記検査治具と、前記第１基板の信号を検出する検査処理部と、前記検査処理部を保持する板状の検査処理保持部と、を有する。前記検査処理保持部または第１基板保持部は、第１突起部が接触する第１被接触部を有する。

本発明の一実施形態によれば、プリント基板の検査装置に用いられる検査治具及び前記検査器具を備えた基板検査装置において、検査治具に用いられる基板の撓みを抑制可能な構成を提供できる。

また、本発明の一実施形態によれば、複数基板を用いた検査治具、及び前記検査治具を有する検査装置において、検査装置本体に対する前記複数の基板の厚み方向の変位を抑制可能な構成を得ることができる。

図１は、実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す斜視図である。図２は、基板検査装置の断面図である。図３は、平板部及び検査治具の連結構造を示す図である。図４は、検査治具の分解斜視図である。図５は、検査治具の分解斜視図である。図６は、第２基板を平板部から離間する方向に移動させた状態を示す図である。図７は、保持板支持部を平板部に対して水平方向に移動させた状態を示す図である。図８は、保持板支持部を基板保持部から取り外した状態を示す図である。図９は、第２基板を平板部に近づく方向に移動させた状態を示す図である。図１０は、実施形態に係る検査装置の概略構成を示す斜視図である。図１１は、図１０のＩＩ－ＩＩ線断面図である。図１２は、検査処理部側から見た検査治具の分解斜視図である。図１３は、プローブ側から見た検査治具の分解斜視図である。図１４は、第２基板保持部の平面図である。図１５は、図１４の部分拡大図である。

以下、図面を参照し、本発明の実施の形態を詳しく説明する。なお、図中の同一または相当部分については同一の符号を付してその説明は繰り返さない。また、各図中の構成部材は、各図中に記載されている寸法及び各構成部材の寸法比率に限定されない。

また、以下の説明において、“固定”、“接続”及び“取り付ける”等（以下、固定等）の表現は、部材同士が直接、固定等されている場合だけでなく、他の部材を介して固定等されている場合も含む。すなわち、以下の説明において、固定等の表現には、部材同士の直接的及び間接的な固定等の意味が含まれる。

また、以下の説明において、“等しい”等の表現は、完全に同じ場合だけでなく、誤差の範囲が含まれる。

（全体構成）
図１は、実施形態に係る基板検査装置１の概略構成を示す斜視図である。図２は、基板検査装置１の断面図である。図３は、平板部２及び検査治具４の連結構造を示す図である。基板検査装置１は、被検査基板Ｗが有する電気回路を検査する。被検査基板Ｗは、樹脂製のプリント基板である。

図１に示すように、基板検査装置１は、平板部２と、検査処理部３と、検査治具４と、検査基板載置テーブル５と、制御部７と、検査治具駆動部３０と、を備える。本実施形態では、一例として、検査処理部３の数が６つの場合について説明する。しかしながら、検査処理部の数は、６つより少なくてもよいし、６つより多くてもよい。

平板部２は、検査処理部３及び検査治具４を支持する部材である。図１及び図２に示すように、平板部２は、板状である。平板部２は厚み方向に貫通する矩形の開口部２ａを有する。本実施形態では、開口部２ａの数は、検査処理部３の数と同数の６つである。６つの開口部２ａは、３つずつ、２列に並んでいる。平板部２は、開口部２ａに検査処理部３の一部を収納することで、厚み方向の一方側で検査処理部３を支持する。平板部２は、厚み方向の他方側で検査治具４を支持する。

平板部２は、厚み方向に貫通する４つの連結孔２ｂを有する。図３に示すように、連結孔２ｂには、検査治具４の保持板支持部５３が貫通している。保持板支持部５３は、平板部２の一方側に突出している。

以下では、説明のため、平板部２の厚み方向を「Ｘ方向」と呼び、開口部２ａの列方向を「Ｙ方向」と呼び、３つの開口部２ａが並ぶ方向を「Ｚ方向」と呼ぶ。

検査処理部３は、制御部７の指令信号に応じて被検査基板Ｗの電気回路に信号を入力するとともに、被検査基板Ｗの出力信号を検出して制御部７に出力する。６つの検査処理部３のそれぞれの一部が、各開口部２ａ内に収容された状態で、平板部２に支持されている。これにより、検査処理部３は、平板部２の一方側に、Ｚ方向に３つずつで且つＹ方向に２列に並んでいる。

検査処理部３は、開口部２ａ内に収容された側の端面上に、複数の端子を含む端子部を有する。検査処理部３は、前記端子部を介して、検査治具４の第１基板１０と電気的に接続される。

検査治具４は、平板部２に対して、検査処理部３側とは反対側に取り付けられている。検査治具４は、検査処理部３と電気的に接続されている。また、検査治具４は、検査処理部３側とは反対側にプローブ７１を有する。プローブ７１の先端は、被検査基板Ｗが有する電気回路の端子に接触する。プローブ７１の先端が前記電気回路の端子に接触した状態で被検査基板Ｗの電気検査が行われる。検査治具４の詳細については、後述する。

検査基板載置テーブル５は、被検査基板Ｗを載置する。検査基板載置テーブル５は、検査基板載置テーブル５上に被検査基板Ｗを固定した状態で、検査治具４に近づく方向と検査治具４から離間する方向とに移動する。なお、検査治具４が検査基板載置テーブル５に対して移動してもよい。

本実施形態では、検査基板載置テーブル５は、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動する。さらに、検査基板載置テーブル５は、Ｘ軸回りに３６０度回転する。これにより、検査基板載置テーブル５は、被検査基板Ｗを検査治具４に対して精度良く位置付けることができる。

制御部７は、検査処理部３の動作を制御する。制御部７は、検査処理部３に対して被検査基板Ｗを検査する旨の指令信号を出力する。また、制御部７は、検査処理部３が被検査基板Ｗから受信した信号に基づいて、被検査基板Ｗの電気回路における不具合等を判定する。

検査治具駆動部３０は、検査治具４の変換ユニット９を、Ｘ方向に移動させる。また、
検査治具駆動部３０は、検査治具４の変換ユニット９を平板部２側に引き上げた状態で、
平板部２に対して保持する。これにより、検査処理部３と検査治具４とが電気的に接続される。検査治具駆動部３０の詳細については、後述する。

（検査治具）
次に、図１から図５を用いて、検査治具４について詳細に説明する。検査治具４は、第１基板１０を有する共通ユニット８と、第２基板４０を有する変換ユニット９と、第１基板１０及び第２基板４０を電気的に接続する電気接続部８０と、を備える。第１基板１０及び第２基板４０は、互いに対向し、且つ、平板部２に近い側から、第１基板１０及び第２基板４０の順に厚み方向に並んで位置している。

検査治具４は、保持板支持部５３を収容するＸ方向に延びる連結孔９０を有する。図４及び図５は、検査治具４から変換ユニット９を分離して示す斜視図である。なお、図４及び図５では、説明のため、保持板支持部５３の図示を省略している。

（共通ユニット）
図２、図４及び図５に示すように、共通ユニット８は、第１基板１０と、第１基板収容部２０とを有する。本実施形態では、検査治具４は、２つの共通ユニット８を有する。２つの共通ユニット８は、それぞれ、平板部２の３つ並んだ開口部２ａを覆う位置に取り付けられている（図２参照）。すなわち、各共通ユニット８は、開口部２ａに収容された検査処理部３の端面と対向している。２つの共通ユニット８の各構成部材は、共通ユニット８が平板部２に取り付けられた状態で、平板部２のＹ方向の中央線を中心としてＹ方向に対称に位置する。２つの共通ユニット８の構成は同一であるため、以下では、１つの共通ユニット８の構成について説明する。

第１基板１０は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる矩形の樹脂製のプリント基板である。第１基板１０には、電気回路が形成されている。図２に示すように、第１基板１０は、平板部２側の面上に、電気回路の一方側の端子を構成する本体側端子部１１を有する。また、第１基板１０は、第２基板４０側の面上に、電気回路の他方側の端子を構成する第２基板側端子部１２を有する。第１基板１０は、平板部２側の面上に３つの本体側端子部１１を有し、第２基板４０側の面上に３つの第２基板側端子部１２を有する。

本体側端子部１１は、各検査処理部３の端子部と接触する。これにより、第１基板１０に伝達された電気回路の信号が、検査処理部３に伝達される。３つの第２基板側端子部１２は、後述する電気接続部８０を介して、第２基板４０と電気的に接続されている。

図３及び図４に示すように、第１基板１０は、厚み方向に貫通する２つの連結孔１０ａを有する。連結孔１０ａには、保持板支持部５３が貫通している。連結孔１０ａは、連結孔９０の一部である。

第１基板収容部２０は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる板状である。第１基板収容部２０は、剛性の高い金属材料によって構成されている。前記金属材料は、例えば、アルミニウムを含む金属である。図２及び図４に示すように、第１基板収容部２０は、平板部２側に凹部２０ａを有する。第１基板１０は、凹部２０ａ内に収容されている。

図２及び図５に示すように、第１基板収容部２０は、凹部２０ａの底面に、厚み方向に貫通する３つの矩形の開口部２０ｂを有する。３つの開口部２０ｂは、第１基板収容部２０において３つの第２基板側端子部１２に対応する位置に位置している。すなわち、３つの開口部２０ｂによって、第２基板側端子部１２は、第１基板収容部２０から露出している。

図３及び図５に示すように、第１基板収容部２０は、厚み方向に貫通する２つの連結孔２０ｃを有する。連結孔２０ｃには、保持板支持部５３が貫通している。連結孔２０ｃは、連結孔９０の一部である。

既述のように、本実施形態では、検査治具４は、２つの共通ユニット８を有する。したがって、検査治具４は、６つの本体側端子部１１と、６つの第２基板側端子部１２と、６つの開口部２０ｂと、４つの連結孔２０ｃとを有する。すなわち、開口部２０ｂは、Ｚ方向に３つずつ且つＹ方向に２列に並んでいる。

２つの第１基板収容部２０は、それぞれ、凹部２０ａ内に第１基板１０を収容した状態で、平板部２に取り付けられている。

（変換ユニット）
図２に示すように、変換ユニット９は、第２基板４０と、基板保持部５０と、接続導線６０と、プローブユニット７０と、を有する。変換ユニット９は、共通ユニット８に固定されておらず、後述する保持構造によって共通ユニット８の６つの開口部２０ｂを覆う位置に取り付けられている。

第２基板４０は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる矩形の樹脂製のプリント基板である。第２基板４０は、中央に厚み方向に貫通するプローブ接続孔４０ａを有する。

図２及び図４に示すように、第２基板４０には、電気回路が形成されている。第２基板４０は、第１基板１０側の面上に、電気回路の一方側の端子を構成する第１基板側端子部４１を有する。また、第２基板４０は、第１基板１０側の面上に、電気回路の他方側の端子を構成するプローブ端子部４２を有する。第２基板４０は、第１基板１０側の面上に、６つの第１基板側端子部４１と、６つのプローブ端子部４２とを有する。

６つのプローブ端子部４２は、Ｘ方向から見て、プローブ接続孔４０ａを中心として周方向に等間隔に並んで位置している。

６つの第１基板側端子部４１は、第１基板１０の６つの第２基板側端子部１２とそれぞれ対向する位置に位置している。すなわち、６つの第１基板側端子部４１は、Ｘ方向から見て、第２基板４０の外周側に位置する。

図３に示すように、基板保持部５０は、第２基板４０を第１基板１０に対してＸ方向に並んだ状態で保持する。具体的には、基板保持部５０は、第２基板４０を第１基板１０側から保持する本体側保持板部５１と、第２基板４０をプローブ７１側から保持するプローブ側保持板部５２と、第２基板４０を第１基板１０に対して保持する保持板支持部５３とを有する。プローブ側保持板部５２は、第１保持板部である。本体側保持板部５１は、第２保持板部である。

本体側保持板部５１は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる板状である。本体側保持板部５１のＹ方向及びＺ方向の大きさは、第２基板４０のＹ方向及びＺ方向の大きさと同様である。本体側保持板部５１は、剛性の高い金属材料によって構成されている。前記金属材料は、例えば、アルミニウムを含む金属である。本体側保持板部５１は、第２基板４０の第１基板側に位置している。

図２及び図４に示すように、本体側保持板部５１は、厚み方向に貫通する６つの矩形の開口部５１ａを有する。６つの開口部５１ａは、本体側保持板部５１において、第１基板側端子部４１に対応する位置に位置している。すなわち、６つの開口部５１ａによって、第１基板側端子部４１は、本体側保持板部５１から露出している。

図４に示すように、本体側保持板部５１は、中央に、厚み方向に貫通するＸ方向から見て六角形状のプローブ接続孔５１ｂを有する。プローブ接続孔５１ｂは、本体側保持板部５１において、第２基板４０のプローブ端子部４２に対応する位置に位置している。すなわち、プローブ接続孔５１ｂによって、プローブ端子部４２は、本体側保持板部５１から露出している。

図３及び図４に示すように、本体側保持板部５１は、厚み方向に貫通する４つの収容孔５１ｃを有する。収容孔５１ｃは、連結孔９０の一部である。収容孔５１ｃは、Ｘ方向から見て、３つ並んだ開口部５１ａの間に位置する。収容孔５１ｃは、本体側保持板部５１の厚み方向に延びる軸部収容空間５１ｄと、本体側保持板部５１の第２基板４０側で、Ｙ方向において、プローブ接続孔５１ｂ側とは反対側に延びる爪部収容空間５１ｅとを有する。軸部収容空間５１ｄ内には、保持板支持部５３の軸部５４が収容されている。爪部収容空間５１ｅ内には、保持板支持部５３の爪部５５が収容されている。

プローブ側保持板部５２は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる板状である。プローブ側保持板部５２のＹ方向及びＺ方向の大きさは、本体側保持板部５１のＹ方向及びＺ方向の大きさと同様である。プローブ側保持板部５２の厚みは、本体側保持板部５１の厚みよりも小さい。プローブ側保持板部５２は、剛性の高い金属材料によって構成されている。前記金属材料は、例えば、アルミニウムを含む金属である。プローブ側保持板部５２は、第２基板４０のプローブ７１側に位置している。

図２に示すように、プローブ側保持板部５２は、中央に厚み方向に貫通するプローブ接続孔５２ａを有する。プローブ側保持板部５２のプローブ接続孔５２ａと第２基板４０のプローブ接続孔４０ａとは、Ｘ方向から見て同じ位置に位置している。

本体側保持板部５１及びプローブ側保持板部５２は、それらの間に第２基板４０を挟み込んだ状態で、図示しない固定部材によって互いに連結されている。このように、第２基板４０を厚み方向の両側から挟み込むことで、第２基板４０の厚み方向の変形を抑制することができる。

図３に示すように、保持板支持部５３は、棒状の部材である。保持板支持部５３は、軸部５４と、爪部５５とを有する。軸部５４は、Ｘ方向に延びる柱状である。爪部５５は、軸部５４の先端において、Ｙ方向に突出している。既述のように、保持板支持部５３は、平板部２の連結孔２ｂ、第１基板１０の連結孔１０ａ、第１基板収容部２０の連結孔２０ｃ、本体側保持板部５１の収容孔５１ｃに収容されている。

図２に示すように、接続導線６０は、第２基板４０と後述するプローブ７１とを電気的に接続する。接続導線６０の一方の端部は、第２基板４０のプローブ端子部４２に接続されている。接続導線６０の他方の端部は、第２基板４０のプローブ接続孔４０ａ及びプローブ側保持板部５２のプローブ接続孔５２ａを通って、プローブ７１に接続されている。

プローブユニット７０は、プローブ側保持板部５２の第２基板４０側とは反対側において、Ｘ方向から見て、プローブ接続孔５１ｂと重なる位置に取り付けられている。プローブユニット７０は、プローブ７１と、プローブ支持部７２とを有する。

プローブ７１は、Ｘ方向に延びる。プローブ７１は、先端が被検査基板Ｗの端子に接触することで、被検査基板Ｗが有する電気回路の信号を検出する。

プローブ７１の第２基板４０側の端部には、接続導線６０の一方の端部が電気的に接続されている。接続導線６０の他方の端部は、第２基板４０に電気的に接続されている。これにより、接続導線６０を介して、プローブ７１が検出した被検査基板Ｗが有する電気回路の信号が、第２基板４０に伝達される。

プローブ支持部７２は、基板保持部５０に対してプローブ７１を支持する。プローブ支持部７２は、図示しない固定部材によって、プローブ側保持板部５２に固定されている。前記固定部材は、例えば、ネジ、ボルト等である。これにより、プローブユニット７０は、第２基板保持部５０に保持される。

図２に示すように、電気接続部８０は、第１基板１０と第２基板４０との間に位置している。本実施形態では、検査治具４は、６つの電気接続部８０を有する。各電気接続部８０の第１基板１０側は、第１基板収容部２０の開口部２０ｂ内に収容され、図示しない固定部材によって、第１基板収容部２０に固定されている。各電気接続部８０の第２基板４０側は、本体側保持板部５１の開口部５１ａ内に収容されている。

電気接続部８０は、第１基板１０側に、第１接続部８１を有する。第１接続部８１は、第１基板１０の第２基板側端子部１２と接触する複数の接触端子を含む。電気接続部８０は、第２基板４０側に、第２接続部８２を有する。第２接続部８２は、第２基板４０の第１基板側端子部４１と接触する複数の接触端子を含む。第１接続部８１及び第２接続部８２のうち少なくとも一部は、弾性部材の弾性力によってＸ方向に伸縮可能である。

本実施形態では、電気接続部８０は、ポゴピンによって構成されている。すなわち、第１接続部８１が第１基板１０の第２基板側端子部１２に押しつけられ、第２接続部８２が第２基板４０の第１基板側端子部４１に押しつけられている。これにより、第１基板１０及び第２基板４０は、電気接続部８０を介して電気的に接続されている。

以上の構成の検査治具４により、プローブ７１、接続導線６０、第２基板４０のプローブ端子部４２及び第１基板側端子部４１、電気接続部８０、第１基板１０の第２基板側端子部１２及び本体側端子部１１を介して、被検査基板Ｗの電気検査を行うことができる。なお、第２基板４０では、プローブ端子部４２における端子間の間隔よりも、第１基板側端子部４１における端子間の間隔を広くすることができる。第１基板１０では、第２基板側端子部１２における端子間の間隔よりも、本体側端子部１１における端子間の間隔を広くすることができる。これにより、検査治具４は、被検査基板Ｗの端子間の間隔が非常に狭い場合であっても、本体側端子部１１の端子間の間隔を検査処理部３によって信号を検出可能な間隔にすることができる。

（保持構造）
次に、第２基板４０の保持構造について、図３を用いて、説明する。図３に示すように、検査治具４と平板部２とは、保持板支持部５３によって連結されている。

保持板支持部５３の爪部５５は、収容孔５１ｃのＹ方向に延びる爪部収容空間５１ｅ内に収容されている。保持板支持部５３の軸部５４は、本体側保持板部５１の収容孔５１ｃの軸部収容空間５１ｄ、第１基板収容部２０の連結孔２０ｃ、第１基板１０の連結孔１０ａ、平板部２の連結孔２ｂに収容されている。

保持板支持部５３の爪部５５は、収容孔５１ｃの爪部収容空間５１ｅに収容された状態で、Ｘ方向の両側を本体側保持板部５１と第２基板４０とで挟まれている。これにより、保持板支持部５３を平板部２側に移動させることで、第２基板４０を平板部２側に引き寄せることができる。第２基板４０を平板部２側に引き寄せた状態で、検査治具駆動部３０は、保持板支持部５３を平板部２に対して保持する。これにより、保持板支持部５３は、第２基板４０を第１基板１０に対して、Ｘ方向に並んだ状態で保持する。また、このようにして、保持板支持部５３が、本体側保持板部５１を検査処理部３に対して固定することにより、プローブ側保持板部５２を第１基板１０に対してＸ方向に並ぶ位置に位置付けることができる。これにより、保持板支持部５３によって本体側保持板部５１を容易に支持することができる。したがって、プローブ側保持板部５２を第２基板４０に対してＸ方向に並ぶ位置に容易に位置付けることができる。

本実施形態では、本体側保持板部５１の厚みは、プローブ側保持板部５２の厚みよりも大きい。これにより、本体側保持板部５１を介して基板保持部５０を平板部２に対して保持する構成において、基板保持部５０の剛性を確保できる。また、この構成により、基板保持部５０を平板部２に対してより確実に支持できる。

また、基板検査装置１では、保持板支持部５３を介して第２基板４０を第１基板１０側に引き寄せることで、第１基板１０と第２基板４０とが電気的に接続される。既述のように、電気接続部８０は、第１基板１０の端子及び第２基板４０の端子にそれぞれ電気的に接触する複数の接触端子を有し、前記複数の接触端子のうち少なくとも一部は、Ｘ方向に伸縮可能である。このような構成では、電気接続部８０の接触端子の少なくとも一部によって、第２基板４０はＸ方向に反力を受けて変形しやすくなる。このような第２基板４０が反力を受ける構成において、上述の保持構造を適用することにより、第２基板４０の変形をより確実に抑制できる。よって、第２基板４０が、Ｘ方向に撓むことで電気接続部８０と離間することを抑制することができるため、安定した電気接続を行うことができる。

また、基板保持部５０において開口部５１ａは、Ｘ方向から見て、本体側保持板部５１の外周側に位置している。すなわち、開口部５１ａに電気接続部８０が収容された状態で、電気接続部８０は、Ｘ方向に見て、第２基板４０の外周側に位置している。電気接続部８０が第２基板４０の外周側に位置する場合、第２基板４０は変形をより生じやすい。このような構成に対して、上述の保持構造を適用することにより、第２基板４０の変形をより確実に抑制できる。

なお、保持板支持部５３は、本体側保持板部５１と検査処理部３とを、Ｘ方向に貫通して延びる棒状の部材である。保持板支持部５３は、該保持板支持部５３の先端部に、保持板支持部５３の延伸方向に対して交差する方向に延びる爪部５５を有し、本体側保持板部５１は、Ｘ方向から見て、保持板支持部５３の先端部を収容する収容孔５１ｃを有する。収容孔５１ｃは、Ｘ方向から見て、プローブユニット７０側とは異なる方向に延びて、保持板支持部５３の爪部５５を収容する爪部収容空間５１ｅを有する。

このように、保持板支持部５３の爪部５５を収容する爪部収容空間５１ｅは、プローブユニット７０側とは異なる方向に延びている。したがって、爪部収容空間５１ｅがプローブユニット７０側に延びる構成に比べて、本体側保持板部５１のプローブユニット７の周囲において、本体側保持板部５１の厚み方向の変形を抑制することができる。

（検査治具駆動部）
次に、検査治具駆動部３０について、説明する。図１及び図２に示すように、検査治具駆動部３０は、駆動支持部３１と、第１駆動部３２と、第２駆動部３３とを有する。駆動支持部３１は、平板状であり、平板部２の厚み方向に平板部２と並んで位置している。駆動支持部３１は、Ｙ方向に移動可能に平板部２に支持されている。変換ユニット９の保持板支持部５３は、駆動支持部３１を厚み方向に貫通している。

第１駆動部３２は、保持板支持部５３を駆動支持部３１及び平板部２に対してＸ方向に移動させる。これにより、保持板支持部５３を収容する本体側保持板部５１を平板部２に対してＸ方向に移動させることができる。

また、第１駆動部３２は、保持板支持部５３を移動させた状態を維持することができる。これにより、平板部２に対する本体側保持板部５１の厚み方向の位置を固定することができる。第１駆動部３２は、例えば、エアシリンダで構成されている。

第２駆動部３３は、駆動支持部３１を平板部２に対してＹ方向に移動させる。すなわち、第２駆動部３３によって、駆動支持部３１を貫通する保持板支持部５３は、平板部２に対してＹ方向に移動する。詳細は後述するが、これにより、保持板支持部５３を本体側保持板部５１から取り外すことができる。第２駆動部３３は、例えば、エアシリンダで構成されている。

（変換ユニットの交換方法）
次に、変換ユニット９を交換する方法について、図６から図９を用いて説明する。

変換ユニット９を基板検査装置１から取り外す場合、まず、図６に示すように、第１駆動部３２は、保持板支持部５３をＸ方向における検査治具４側に移動させる。これにより、変換ユニット９を、平板部２から離間させることができる。次に、図７に示すように、第２駆動部３３は、保持板支持部５３をＹ方向におけるプローブユニット７０側に移動させる。これにより、保持板支持部５３の爪部５５が収容孔５１ｃの爪部収容空間５１ｅから抜き出される。その後、図８に示すように、保持板支持部５３を変換ユニット９から取り外すことができる。

別の変換ユニット９を基板検査装置１に取り付ける場合は、まず、別の変換ユニット９の収容孔５１ｃに保持板支持部５３を挿入する。次に、第２駆動部３３は、保持板支持部５３をＹ方向におけるプローブユニット７０側とは反対側に移動させる。これにより、保持板支持部５３の爪部５５が収容孔５１ｃの爪部収容空間５１ｅ内に収容される。その後、第１駆動部３２は、保持板支持部５３をＸ方向における平板部２側に移動させる。これにより、図９に示すように、別の変換ユニット９を基板検査装置１に取り付けることができる。

上述した手順で、変換ユニット９を交換することで、第２基板４０を交換することができる。これにより、基板検査装置１の検査処理部３によって信号を検出される共通ユニット８が有する第１基板１０の電気回路は、被検査基板Ｗの電気回路が異なる場合でも共通の回路構成とする一方、第２基板４０を被検査基板Ｗの電気回路に応じて交換することができる。すなわち、異なる電気回路を有する被検査基板Ｗの検査を可能な検査治具４が得られる。したがって、被検査基板Ｗの電気回路に応じて、第２基板４０だけを交換すればよいため、短期間且つ安価に製造可能な検査治具４を得ることができる。

以上のように、本実施形態に係る検査治具４は、被検査基板Ｗが有する電気回路を検査する基板検査装置１の検査処理部３に取り付けられる検査治具である。検査治具４は、検査処理部３によって信号を検出される第１基板１０と、被検査基板Ｗに接触するプローブ７１を有するプローブユニット７０と、一方の面が第１基板１０に対向し且つ第１基板１０の厚み方向に該第１基板１０と並んで位置し、前記プローブと電気的に接続される第２基板４０と、前記厚み方向において第１基板１０と第２基板４０との間に位置し且つ第１基板１０及び第２基板４０を電気的に接続する電気接続部８０と、第２基板４０を、第１基板１０に対して厚み方向に並んだ状態で保持し且つ前記第１基板側とは反対側で前記プローブユニット７０を保持する基板保持部５０と、を有する。基板保持部５０は、第２基板４０のプローブユニット７０側に位置する板状のプローブ側保持板部５２と、プローブ側保持板部５２を第１基板１０に対して前記厚み方向に並ぶ位置に位置付ける保持板支持部５３と、を有する。基板保持部５０は、第１基板１０と第２基板４０との間で電気接続部８０を前記厚み方向に挟み込むことにより電気接続部８０を介して第１基板１０と第２基板４０とを電気的に接続した状態で、第２基板４０を保持する。

上述の構成では、第１基板１０と第２基板４０との間に厚み方向に挟み込まれた電気接続部８０によって第２基板４０が厚み方向に力を受けても、プローブ側保持板部５２によって第２基板４０の厚み方向の変形を抑制することができる。しかも、上述の構成により、被検査基板Ｗの電気回路に応じて、検査治具４の第２基板４０のみを交換することができる。すなわち、基板検査装置１の検査処理部３によって信号を検出される第１基板１０の電気回路は、被検査基板Ｗの電気回路が異なる場合でも共通の回路構成とする一方、第２基板４０を被検査基板Ｗの電気回路に応じて交換することで、異なる電気回路を有する被検査基板の検査を可能な検査治具４が得られる。よって、上述の構成を有する検査治具４を有する基板検査装置１は、異なる電気回路を有する被検査基板Ｗの検査を容易に行うことができる。

本実施形態では、基板保持部５０は、第２基板４０に対して第１基板１０側に位置する板状の本体側保持板部５１をさらに有する。プローブ側保持板部５２及び本体側保持板部５１は、第２基板４０を前記厚み方向に挟み込んだ状態で固定されている。

このように、第２基板４０を、基板保持部５０のプローブ側保持板部５２及び本体側保持板部５１によって厚み方向に挟み込むことにより、第２基板４０の厚み方向の変形をより確実に抑制できる。

また、本実施形態に係る基板検査装置１は、検査治具４を備える。これにより、検査治具に用いられる基板の撓みを抑制可能な基板検査装置を得られる。

（その他の実施形態）
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。

前記実施形態では、基板検査装置１が６つの検査処理部３を有する場合を例として説明した。このため、平板部２は、６つの開口部２ａを有し、２つの第１基板収容部２０は、併せて、６つの開口部２０ｂを有し、本体側保持板部５１は、６つの開口部５１ａを有する。しかしながら、検査処理部の数に応じた電気接続を構成することができれば、各部材の開口部の数はいくつであってもよい。

前記実施形態では、基板検査装置１が６つの検査処理部３を有する場合を例として説明した。このため、２つの第１基板１０は、併せて、６つの本体側端子部１１と６つの第２基板側端子部１２とを有し、第２基板４０は、６つの第１基板側端子部４１と６つのプローブ端子部４２とを有する。そして、基板検査装置１は、６つの電気接続部８０を有する。しかしながら、検査処理部の数に応じて電気接続できれば、各部材の端子部の数は、いくつであってもよい。また、電気接続部の数は、いくつであってもよい。

前記実施形態では、基板検査装置１は、２つの共通ユニット８を有する。しかしながら、共通ユニットの数は、２つ以外であってもよい。

前記実施形態では、電気接続部８０は、共通ユニット８に取り付けられている。しかしながら、電気接続部は、第２基板及び第１基板に挟み込まれて保持される構成であってもよい。

前記実施形態では、第２基板４０を保持する基板保持部５０は、本体側保持板部５１とプローブ側保持板部５２とを有する。しかしながら、基板保持部は、本体側保持板部を有さない構成であってもよい。

前記実施形態では、保持板支持部５３は、本体側保持板部５１と接続されている。しかしながら、保持板支持部は、変換ユニットを平板部に対して移動させることができれば、基板保持部のいずれの構成部品に接続されていてもよい。

前記実施形態では、保持板支持部５３は、本体側保持板部５１に離脱可能に接続されている。しかしながら、保持板支持部は、本体側保持板部５１に固定されていて、平板部に離脱可能に接続されている構成であってもよい。

前記実施形態では、開口部２ａ、１０ａ、５１ａは、Ｘ方向から見て矩形状である。しかしながら、開口部は、開口部に収容される部材の端子部と、開口部によって露出される部材の端子部との電気的接続を妨げない形状であればよい。

前記実施形態では、プローブ接続孔５１ｂは、Ｘ方向から見て六角形状である。しかしながら、プローブ接続孔は他の形状であってもよい。

前記実施形態では、連結孔２０ｃは、３つ並んだ開口部５１ａの間に位置する。しかしながら、連結孔の位置は、プローブ側保持板部を第１基板に対してＸ方向に並ぶ位置に位置付けることができる位置であればよい。

（全体構成）
本実施形態に係る検査装置１は、検査対象Ｗが有する電気回路を検査する。本実施形態では、検査対象Ｗは、回路基板である。なお、検査対象Ｗは、半導体ウエハ、半導体チップ、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐｓｉｚｅｐａｃｋａｇｅ）、ＷＬＰ（ＷａｆｅｒＬｅｖｅｌＰａｃｋａｇｅ）、ＦＯＷＬＰ（ＦａｎＯｕｔＷａｆｅｒＬｅｖｅｌＰａｃｋａｇｅ）または半導体素子等の電子部品でもよい。

図１０に示すように、検査装置１は、検査処理保持部２と、検査処理部３と、検査治具４と、検査基板載置テーブル５と、治具保持部６と、制御部７と、を備える。本実施形態では、一例として、検査処理部３の数が６つの場合について説明する。しかしながら、検査処理部の数は、６つより少なくてもよいし、６つより多くてもよい。

検査処理保持部２は、検査処理部３及び検査治具４を支持する部材である。検査処理保持部２は、保持本体部３０と、第１被接触部３１と、を有する。

図１０から図１２に示すように、保持本体部３０は、板状である。保持本体部３０は厚み方向に貫通する矩形の検査処理収容部２ａを有する。本実施形態では、検査処理収容部２ａの数は、検査処理部３の数と同数の６つである。６つの検査処理収容部２ａは、３つずつ、２列に並んでいる。保持本体部３０は、検査処理収容部２ａ内に検査処理部３の一部を収納することで、厚み方向の一方側で検査処理部３を支持する。

以下では、説明のため、保持本体部３０の厚み方向を「Ｘ方向」と呼び、検査処理収容部２ａの列方向を「幅方向」または「Ｙ方向」と呼び、３つの検査処理収容部２ａが並ぶ方向を「Ｚ方向」と呼ぶ。

保持本体部３０は、保持本体部３０の厚み方向に貫通する４つの連結孔２ｂを有する。連結孔２ｂには、後述する連結部材９１が収容されている。連結部材９１は、保持本体部３０の一方側に突出して、保持本体部３０に対して治具固定部９１ａによって固定されている。

第１被接触部３１は、保持本体部３０の連結部材９１が突出する側とは反対側の面から保持本体部３０の厚み方向に延びる円柱状の部材である。第１被接触部３１の先端は、第１突起部６１と接触している。本実施形態では、検査処理保持部２は、４つの第１被接触部３１を有する。４つの第１被接触部３１の高さは同じである。第１突起部６１については、後述する。

検査処理部３は、制御部７の指令信号に応じて検査対象Ｗの電気回路に信号を入力するとともに、検査対象Ｗの出力信号を検出して制御部７に出力する。検査処理部３は、Ｘ方向に長い直方体状である。検査処理部３は、一部が検査処理保持部２の検査処理収容部２ａ内に収容されている。本実施形態では、既述のように検査処理部３の数は６つである。６つの検査処理部３のそれぞれの一部が、各検査処理収容部２ａ内に収容された状態で、検査処理保持部２に支持されている。これにより、検査処理部３は、検査処理保持部２の一方側に、Ｚ方向に３つずつで且つＹ方向に２列に並んでいる。

検査処理部３は、検査処理収容部２ａ内に収容された側の端面上に、複数の端子を含む端子部を有する。検査処理部３は、前記端子部を介して、検査治具４の第１基板１０と電気的に接続される。

検査治具４は、検査処理保持部２の検査処理部３側とは反対側に取り付けられている。検査治具４は、検査処理部３と電気的に接続されている。また、検査治具４は、検査処理部３側とは反対側にプローブ７１を有する。プローブ７１の先端は、検査対象Ｗが有する電気回路の端子に接触する。プローブ７１の先端が前記電気回路の端子に接触した状態で、検査処理部３から、検査治具４を介して検査対象Ｗの電気回路に信号が入力されるとともに、前記電気回路の出力信号が検査治具４を介して検査処理部３に伝達される。検査治具４の詳細については、後述する。

検査基板載置テーブル５は、検査対象Ｗを載置する。検査基板載置テーブル５は、検査基板載置テーブル５上に検査対象Ｗを固定した状態で、検査治具４に近づく方向と検査治具４から離間する方向とに移動する。なお、検査治具４が検査基板載置テーブル５に対して移動してもよい。

本実施形態では、検査基板載置テーブル５は、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動する。さらに、検査基板載置テーブル５は、Ｘ軸回りに３６０度回転する。これにより、検査基板載置テーブル５に載置された検査対象Ｗは、検査治具４のプローブ７１の先端に接触する位置に位置付けられる。

治具保持部６は、検査処理保持部２に対して、検査治具４を固定する。詳細には、治具保持部６は、検査治具４における本体側保持板部５１のＹ方向の両側を保持して、検査治具４を保持本体部３０側に引き寄せて固定する。

連結部材９１は、検査治具４の本体側保持板部５１を検査処理保持部２に対して連結する棒状の部材である。連結部材９１は、検査処理保持部２、第１基板１０、第１基板保持部２０及び本体側保持板部５１を貫通している。連結部材９１の先端部分は、本体側保持板部５１の連結孔５１ｃ内に収容されている。連結部材９１は、一方側が、本体側保持板部５１に対して固定されている。連結部材９１は、他方側が、検査処理保持部２に対して固定されている。これにより、本体側保持板部５１によって保持される第２基板４０が、第１基板１０に対して厚み方向に並んで位置付けられる。

制御部７は、検査処理部３の動作を制御する。制御部７は、検査処理部３に対して検査対象Ｗの指令信号を出力する。また、制御部７は、検査処理部３が検査対象Ｗから受信した信号に基づいて、検査対象Ｗの電気回路における不具合等を判定する。

（検査治具）
次に、図１０から図１５を用いて、検査治具４について詳細に説明する。検査治具４は、第１基板ユニット８と、第２基板ユニット９とを有する。

検査治具４は、連結部材９１を収容するＸ方向に延びる連結孔９０を有する。

（第１基板ユニット）
図１１から図１３に示すように、第１基板ユニット８は、第１基板１０と、第１基板保持部２０とを有する。本実施形態では、検査治具４は、２つの第１基板ユニット８を有する。２つの第１基板ユニット８は、それぞれ、検査処理保持部２の３つ並んだ検査処理収容部２ａを覆う位置に取り付けられている。すなわち、各第１基板ユニット８は、検査処理収容部２ａに収容された検査処理部３の端面と対向している。２つの第１基板ユニット８の各構成部材は、第１基板ユニット８が検査処理保持部２に取り付けられた状態で、検査処理保持部２のＹ方向の中央線を中心としてＹ方向に対称に位置する。２つの第１基板ユニット８の構成は同一であるため、以下では、１つの第１基板ユニット８の構成について説明する。

第１基板１０は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる矩形の樹脂製の回路基板である。図１１に示すように、第１基板１０は、保持本体部３０側の面上に３つの本体側端子部１１を有し、第２基板４０側の面上に３つの第２基板側端子部１２を有する。各本体側端子部１１と各第２基板側端子部１２とは電気的に接続されている。

３つの本体側端子部１１は、３つの検査処理部３とそれぞれ対向している。各本体側端子部１１は、各検査処理部３の端子部と接触する。これにより、第１基板１０に伝達された電気回路の信号が、検査処理部３に伝達される。３つの第２基板側端子部１２は、後述する電気接続部８０を介して、第２基板４０と電気的に接続されている。

図１２に示すように、第１基板１０は、厚み方向に貫通する２つの連結孔１０ａを有する。連結孔１０ａは連結孔９０の一部である。

第１基板保持部２０は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる板状である。第１基板保持部２０は、第１基板１０を保持するために十分な強度を有する材料、例えば、アルミニウムを含む金属によって構成される。図１１及び図１２に示すように、第１基板保持部２０は、保持本体部３０側に凹部２０ａを有する。第１基板１０は、凹部２０ａ内に収容されている。

図１１及び図１３に示すように、第１基板保持部２０は、凹部２０ａの底面に、厚み方向に貫通する３つの矩形の第１接続収容部２０ｂを有する。３つの第１接続収容部２０ｂは、第１基板保持部２０において、３つの第２基板側端子部１２に対応する位置に位置している。すなわち、３つの第１接続収容部２０ｂによって、第２基板側端子部１２は、第１基板保持部２０から露出している。

図１３に示すように、第１基板保持部２０は、厚み方向に貫通する２つの連結孔２０ｃを有する。連結孔２０ｃは連結孔９０の一部である。

第１基板保持部２０は、第２基板４０側の面に第２被接触部２１を有する。第２被接触部２１は、第１基板保持部２０において、後述する本体側保持板部５１の第２突起部６２に対応する位置に位置している。第２突起部６２については、後述する。なお、第１基板保持部２０は、本体側保持板部５１が有する第１突起部６１に対応する位置に位置する第１被接触部を有していてもよい。

既述のように、本実施形態では、検査治具４は、２つの第１基板ユニット８を有する。したがって、検査治具４は、６つの本体側端子部１１と、６つの第２基板側端子部１２と、６つの第１接続収容部２０ｂと、４つの連結孔２０ｃとを有する。すなわち、第１接続収容部２０ｂは、Ｚ方向に３つずつ且つＹ方向に２列に並んでいる。

２つの第１基板保持部２０は、それぞれ、凹部２０ａ内に第１基板１０を収容した状態で、検査処理保持部２に取り付けられている。

（第２基板ユニット）
図１１に示すように、第２基板ユニット９は、第２基板４０と、本体側保持板部５１と、プローブ側保持板部５２と、接続導線５５と、プローブユニット７０と、を有する。第２基板ユニット９は、第１基板ユニット８の６つの第１接続収容部２０ｂを覆う位置に取り付けられている。第２基板ユニット９は、治具保持部６及び連結部材９１によって検査処理保持部２に対して固定されている。

第２基板４０は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる矩形の樹脂製の回路基板である。第２基板４０は、中央に厚み方向に貫通するプローブ接続孔４０ａを有する。

図１１及び図１２３に示すように、第２基板４０は、第１基板１０側の面上に、６つの第１基板側端子部４１と、６つのプローブ接続端子部４２とを有する。各第１基板側端子部４１と各プローブ接続端子部４２とは電気的に接続されている。

６つのプローブ接続端子部４２は、Ｘ方向から見て、プローブ接続孔４０ａを中心として周方向に等間隔に並んで位置している。

図１１から図１３に示すように、本体側保持板部５１は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる板状である。本体側保持板部５１のＹ方向の長さは、第２基板４０のＹ方向の長さよりも長い。本体側保持板部５１のＺ方向の長さは、第２基板４０のＺ方向の長さと同様である。本体側保持板部５１は、第２基板４０を保持するために十分な強度を有する材料、例えば、アルミニウムを含む金属によって構成される。本体側保持板部５１は、第２基板保持部である。

本体側保持板部５１は、第２基板４０を第１基板１０に対して厚み方向に並んだ状態で保持する。本体側保持板部５１は、第２基板４０を第１基板１０側から保持する。

本体側保持板部５１は、Ｙ方向の両側を治具保持部６によって保持されて、検査処理保持部２に対して固定されている。

図１２及び図１４に示すように、本体側保持板部５１は、厚み方向に貫通し、本体側保持板部５１を平面で見て、本体側保持板部５１の中央に位置する六角形状のプローブ接続開口部５１ｂを有する。プローブ接続開口部５１ｂは、本体側保持板部５１において、第２基板４０のプローブ接続端子部４２に対応する位置に位置している。すなわち、プローブ接続開口部５１ｂによって、プローブ接続端子部４２は、本体側保持板部５１から露出している。プローブ接続開口部５１ｂは、開口部である。

図１４に示すように、本体側保持板部５１は、厚み方向に貫通する６つの矩形の第２接続収容部５１ａを有する。６つの第２接続収容部５１ａは、本体側保持板部５１において、第１基板側端子部４１に対応する位置に位置している。すなわち、６つの第２接続収容部５１ａは、本体側保持板部５１を平面で見て、プローブ接続開口部５１ｂよりも本体側保持板部５１のＹ方向の一方側及びＹ方向の他方側に、それぞれ、Ｚ方向に３つずつ一列に並んで位置している。６つの第２接続収容部５１ａによって、第１基板側端子部４１は、本体側保持板部５１から露出している。第２接続収容部５１ａは、電気接続収容部である。

本体側保持板部５１は、厚み方向に貫通する４つの連結孔５１ｃを有する。連結孔５１ｃは、Ｘ方向から見て、３つ並んだ第２接続収容部５１ａの間に位置する。連結孔５１ｃには、連結部材９１の先端部が収容されている。連結孔５１ｃは連結孔９０の一部である。

本体側保持板部５１は、第１基板１０側の面に円柱状の突起部６１，６２を有する。本体側保持板部５１は、突起部６１，６２によって、検査処理保持部２側へ変位することが抑制されている。突起部６１，６２の詳細については、後述する。

図１１から図１３に示すように、プローブ側保持板部５２は、Ｙ方向及びＺ方向に延びる板状である。プローブ側保持板部５２のＹ方向及びＺ方向の長さは、本体側保持板部５１のＹ方向及びＺ方向の長さと同様である。プローブ側保持板部５２の厚みは、本体側保持板部５１の厚みよりも小さい。プローブ側保持板部５２は、第２基板４０を保持するために十分な強度を有する材料、例えば、アルミニウムを含む金属によって構成されている。

プローブ側保持板部５２は、第２基板４０を挟んで本体側保持板部５１側とは反対側に位置している。すなわち、本体側保持板部５１、第２基板４０及びプローブ側保持板部５２は、第１基板１０側から、本体側保持板部５１、第２基板４０、プローブ側保持板部５２の順にそれらの厚み方向に並んでいる。

図１１に示すように、プローブ側保持板部５２は、中央に厚み方向に貫通するプローブ接続孔５２ａを有する。プローブ側保持板部５２のプローブ接続孔５２ａと第２基板４０のプローブ接続孔４０ａとは、Ｘ方向から見て同じ位置に位置している。

図１１に示すように、接続導線５５は、第２基板４０と後述するプローブ７１とを電気的に接続する。接続導線５５の一方の端部は、第２基板４０のプローブ接続端子部４２に接続されている。接続導線５５の他方の端部は、第２基板４０のプローブ接続孔４０ａ及びプローブ側保持板部５２のプローブ接続孔５２ａを通って、プローブ７１に接続されている。
プローブユニット７０は、本体側保持板部５１を平面で見て、プローブ接続開口部５１ｂと重なる位置でプローブ側保持板部５２に取り付けられている。プローブユニット７０は、プローブ７１と、プローブ支持部７２とを有する。

プローブ７１は、Ｘ方向に延びる針状部材である。プローブ７１の先端が検査対象Ｗの端子に接触することで、検査対象Ｗが有する電気回路の信号を検出する。

図１１に示すように、プローブ７１の第２基板側の端部には、接続導線５５の一方の端部が電気的に接続されている。接続導線５５の他方の端部は、第２基板４０に電気的に接続されている。これにより、プローブ７１を介して、検査対象Ｗが有する電気回路の信号が、第２基板４０に伝達される。

プローブ支持部７２は、本体側保持板部５１に対してプローブ７１を支持する。プローブ支持部７２は、図示しない固定部材によって、プローブ側保持板部５２に固定されている。

図１１に示すように、電気接続部８０は、第１基板１０と第２基板４０との間に位置している。本実施形態では、検査治具４は、６つの電気接続部８０を有する。各電気接続部８０の第１基板１０側は、第１基板保持部２０の第１接続収容部２０ｂ内に収容され、図示しない固定部材によって、第１基板保持部２０に固定されている。各電気接続部８０の第２基板４０側は、本体側保持板部５１の第２接続収容部５１ａ内に収容されている。

電気接続部８０は、第１基板１０側に、第１基板１０の第２基板側端子部１２と接触する第１接続部８１を有する。電気接続部８０は、第２基板４０側に、第２基板４０の第１基板側端子部４１と接触する第２接続部８２を有する。

本実施形態では、第１接続部８１及び第２接続部８２は、ポゴピンによって構成されている。すなわち、第１接続部８１が第１基板１０の第２基板側端子部１２に押し付けられ、第２接続部８２が第２基板４０の第１基板側端子部４１に押し付けられている。これにより、第１基板１０及び第２基板４０は、電気接続部８０を介して電気的に接続されている。

このとき、第２基板４０は、電気接続部８０の反力を受けるため、第１基板１０側とは反対側に変形しやすい。しかしながら、第２基板４０は、第１基板１０側とは反対側から保持するプローブ側保持板部５２によって保持されている。これにより、電気接続部８０が第２基板４０に電気的に接触した状態で、第２基板４０が厚み方向に変形するのを抑制する。

以上の構成により、検査治具４は、検査対象Ｗが有する電気回路の信号を、プローブ７１、第２基板４０のプローブ接続端子部４２及び第１基板側端子部４１、電気接続部８０、第１基板１０の第２基板側端子部１２及び本体側端子部１１を介して検査処理部３に伝達する。なお、第２基板４０では、プローブ接続端子部４２における端子間の間隔よりも、第１基板側端子部４１における端子間の間隔を広くすることができる。第１基板１０では、第２基板側端子部１２における端子間の間隔よりも、本体側端子部１１における端子間の間隔を広くすることができる。これにより、検査治具４は、検査対象Ｗの端子間の間隔が非常に狭い場合であっても、本体側端子部１１の端子間の間隔を検査処理部３によって信号を検出可能な間隔にすることができる。

（突起部）
次に、本体側保持板部５１が有する突起部６１，６２について、図１１から図１５を用いて詳細に説明する。

図１２に示すように、突起部６１，６２は、円柱状である。突起部６１，６２は、本体側保持板部５１の第１基板１０側の面から第１基板１０に向かって突出している。本実施形態では、突起部６１，６２は、本体側保持板部５１の一部である。例えば、突起部６１，６２は、本体側保持板部５１の突起部６１，６２以外の部分を厚み方向に削ることで作製されている。図１４に示すように、突起部６１，６２は、断面形状が円形である。よって、本体側保持板部５１を削る際に角を形成する必要がない。これにより、突起部６１，６２を容易に作製することができる。なお、突起部６１，６２は、本体側保持板部５１と別に作製されて、本体側保持板部５１に取り付けられてもよい。この場合、突起部６１，６２の断面形状が円形のため、突起部６１，６２を取り付ける際に、本体側保持板部５１に対する軸方向から見た角度を考慮しなくてよい。また、突起部６１，６２は、本体側保持板部５１をプレス加工することにより作製されてもよい。

図１４に示すように、本実施形態では、突起部６１，６２は、本体側保持板部５１を平面で見て、本体側保持板部５１の中央側に位置する４つの第１突起部６１と、本体側保持板部５１の外周側に位置する４つの第２突起部６２とを含む。

本実施形態では、４つの第１突起部６１の高さは同じある。また、４つの第２突起部６２の高さは同じである。

４つの第１突起部６１は、本体側保持板部５１のプローブ接続開口部５１ｂの周囲に位置している。詳細には、図１５に示すように、本体側保持板部５１を平面で見て、各第１突起部６１とプローブ接続開口部５１ｂの中心Ｏとの距離Ｌ１は、第２接続収容部５１ａとプローブ接続開口部５１ｂの中心Ｏとの距離Ｌ２よりも短い。また、本体側保持板部５１を平面で見て、各第１突起部６１とプローブ接続開口部５１ｂの中心Ｏとの距離Ｌ１は、本体側保持板部５１に対して連結部材９１が接続されている連結孔５１ｃとプローブ接続開口部５１ｂの中心Ｏとの距離Ｌ３よりも短い。また、各第１突起部６１は、連結部材９１を収容する連結孔５１ｃよりも本体側保持板部５１のＹ方向の中央側に位置している。４つの第１突起部６１は、本体側保持板部５１を平面で見て、プローブ接続開口部５１ｂを挟んだＺ方向の両側に、それぞれ２つずつ並んで位置している。図１１に示すように、４つの第１突起部６１は、検査処理保持部２に向かって突起している。

なお、ここで、距離Ｌ１は、各第１突起部６１とプローブ接続開口部５１ｂの中心Ｏとの最短距離を言う。また、距離Ｌ２は、第２接続収容部５１ａの外縁とプローブ接続開口部５１ｂの中心Ｏとの最短距離を言う。また、距離Ｌ３は、連結孔５１ｃの外縁とプローブ接続開口部５１ｂの中心Ｏまでの最短距離を言う。

図１４に示すように、４つの第２突起部６２は、本体側保持板部５１を平面で見てプローブ接続開口部５１ｂよりも本体側保持板部５１の外周側に位置している。詳細には、４つの第２突起部６２のうち２つの第２突起部６２は、それぞれ、本体側保持板部５１のＹ方向一方側で列状に３つ並んだ第２接続収容部５１ａよりも外周側で、且つ、前記列状に３つ並んだ第２接続収容部５１ａのうち隣り合う第２接続収容部５１ａから実質的に等しい距離に位置している。４つの第２突起部６２のうち他の２つの第２突起部６２は、それぞれ、本体側保持板部５１のＹ方向他方側で列状に３つ並んだ第２接続収容部５１ａよりも外周側で、且つ、列状に３つ並んだ第２接続収容部５１ａのうち隣り合う第２接続収容部５１ａから実質的に等しい距離に位置している。図１１に示すように、４つの第２突起部６２は、第１基板保持部２０に向かって突起している。

なお、ここで、隣り合う第２接続収容部５１ａから実質的に等しい距離とは、隣り合う第２接続収容部５１ａにおいて互いに最も近づいた外縁の位置を基準点とした実質的に等しい距離を言う。また、プローブ接続開口部５１ｂよりも本体側保持板部５１の外周側とは、本体側保持板部５１においてプローブ接続開口部５１ｂの外縁よりも外周部分を意味する。本体側保持板部５１の第２接続収容部５１ａよりも外周側とは、本体側保持板部５１において第２接続収容部５１ａの外縁よりも外周部分を意味する。

図１１に示すように、４つの第１突起部６１の先端は、検査処理保持部２が有する第１被接触部３１に接触する。これにより、４つの第１突起部６１によって、本体側保持板部５１は、検査処理保持部２側に変位することを抑制される。また、４つの第２突起部６２の先端は、第１基板保持部２０が有する第２被接触部２１（図１３参照）に接触する。これにより、４つの第２突起部６２によって、本体側保持板部５１は、検査処理保持部２側に変位することを抑制される。

なお、本実施形態では、検査処理保持部２は第１突起部６１と接触する第１被接触部３１を有し、第１基板保持部２０は第２突起部６２と接触する第２被接触部２１を有する。しかしながら、検査処理保持部は第２突起部と接触する第２被接触部を有し、第１基板保持部は第１突起部と接触する第１被接触部を有してもよい。

次に、以上の構成を有する検査装置１における、第１突起部６１及び第２突起部６２の効果について説明する。

検査装置１では、検査対象Ｗが有する電気回路の信号は、プローブ７１、第２基板４０、第１基板１０を介して検査処理部３に伝達される。プローブ７１、第２基板４０、第１基板１０及び検査処理部３は、それぞれ、プローブユニット７０、本体側保持板部５１、第１基板保持部２０及び検査処理保持部２に保持されている。また、第２基板４０は、第２接続収容部５１ａ内に収容された電気接続部８０を介して、第１基板１０と電気的に接続されている。

したがって、検査時に、プローブ７１が検出した検査対象Ｗの信号を検査処理部３に安定して伝達するためには、電気接続部８０の第２接続部８２に対する第２基板４０の第１基板側端子部４１の位置を一定に保ち、電気接続部８０の第２接続部８２と本体側保持板部５１によって保持される第２基板４０の第１基板側端子部４１との電気的な接続状態を良好に維持しなければならない。このため、本体側保持板部５１は、第１基板保持部２０及び検査処理保持部２に対する厚み方向の変位を抑制する必要がある。

本体側保持板部５１は、本体側保持板部５１を平面で見てプローブ７１と重なる位置に厚み方向に貫通するプローブ接続開口部５１ｂを有する。そのため、本体側保持板部５１の剛性はプローブ接続開口部５１ｂの周囲で低下している。また、本体側保持板部５１は、電気接続部８０との接続位置に第２接続収容部５１ａを有する。そのため、本体側保持板部５１の剛性は第２接続収容部５１ａの周囲で低下している。

また、本体側保持板部５１は、第２接続収容部５１ａの周囲で、電気接続部８０からの接触圧によって、プローブ７１側に変位される力を受けている。また、本体側保持板部５１は、連結孔５１ｃの位置で、検査処理保持部２に対して連結部材９１によって固定されている。また、本体側保持板部５１は、プローブ接続開口部５１ｂよりも本体側保持板部５１の外周側で、検査処理保持部２側に引き寄せられている。このため、例えば、本体側保持板部５１は、一部が厚み方向に変形したり、一部が第１基板保持部２０に対して傾斜したりする可能性がある。

さらに、本体側保持板部５１は、検査対象Ｗの検査時に、プローブ７１からの接触圧を受けて、プローブ接続開口部５１ｂの周囲で、検査処理保持部２側に変位する力を受ける。このように、プローブ接続開口部５１ｂの周囲が検査処理保持部２側に変位する力を受けることで、本体側保持板部５１の中央部分であるプローブ接続開口部５１ｂの周囲が検査処理保持部２側に変位する。この際、電気接続部８０よりも外側にある本体側保持板部５１の外周側は、電気接続部８０を支点として検査処理保持部２側とは反対側に変位する。これにより、電気接続部８０の第２接続部８２から第２基板４０の第１基板側端子部４１の一部が離隔し、電気接続部８０と第２基板４０との間で接触不良が生じる可能性がある。

また、検査対象Ｗの検査時に、本体側保持板部５１のプローブ接続開口部５１ｂの周囲が検査処理保持部２側に変位することにより、プローブ７１は、検査に必要な力で検査対象Ｗに押圧されない可能性がある。

しかしながら、検査装置１では、本体側保持板部５１は、プローブ接続開口部５１ｂの周囲で、検査処理保持部２と接触する第１突起部６１を有する。これにより、本体側保持板部５１は、プローブ接続開口部５１ｂの周囲が、検査処理保持部２側に変位することが抑制される。したがって、本体側保持板部５１は、電気接続部８０の第２接続部８２に対する第２基板４０の第１基板側端子部４１の位置を一定に保ち、第２接続収容部５１ａに収容される電気接続部８０と本体側保持板部５１が保持する第２基板４０との間の接触不良を抑制することができる。また、プローブ接続開口部５１ｂに位置するプローブユニット７０の検査処理保持部２側への変位が抑制されるため、検査時に検査対象Ｗに必要な力でプローブ７１を接触させることができる。

また、検査装置１では、本体側保持板部５１は、第２接続収容部５１ａの周囲に第１基板保持部２０と接触する第２突起部６２を有する。これにより、本体側保持板部５１は、第２接続収容部５１ａの周囲で、第１基板保持部２０側に変位することが抑制される。

したがって、検査装置１では、第１突起部６１によって、本体側保持板部５１の検査処理保持部２に対する検査処理保持部２側への変位が抑制される。また、第１突起部６１によって、プローブユニット７０の本体側保持板部５１及び検査処理保持部２に対する検査処理保持部２側への変位が抑制される。また、第２突起部６２によって、電気接続部８０の位置での本体側保持板部５１の第１基板保持部２０に対する検査処理保持部２側への変位が抑制される。これにより、プローブユニット７０が支持するプローブ７１、本体側保持板部５１が保持する第２基板４０、第１基板保持部２０が保持する第１基板１０及び検査処理保持部２が支持する検査処理部３の間で検査対象Ｗの信号を安定して伝達することができる。

上記実施形態では、本体側保持板部５１は、４つの第１突起部６１と４つの第２突起部６２を有する。しかしながら、本体側保持板部は、少なくとも一つの第１突起部６１を有していればよい。また、本体側保持板部５１の検査処理保持部２側への変位を抑制するためには、本体側保持板部５１は、少なくとも一つの第２突起部６２を有するのが好ましい。

なお、本体側保持板部５１の検査処理保持部２側への変位を抑制するためには、本体側保持板部５１は、複数の第１突起部６１を有するのが好ましい。この場合、複数の第１突起部６１は、本体側保持板部５１を平面で見て、プローブ接続開口部５１ｂを挟んで対向する位置に位置しているのが好ましい。これにより、本体側保持板部５１は、検査対象Ｗの検査時に、プローブ７１からの接触圧を受けて、プローブ接続開口部５１ｂの周囲で、検査処理保持部２側に変位する力を受けても、プローブ接続開口部５１ｂを挟んだ両側の位置で検査処理保持部２側への変位を抑制できる。したがって、プローブ接続開口部５１ｂに対して一方側にのみ第１突起部６１がある構成に比べて、プローブ接続開口部５１ｂの周囲で本体側保持板部５１が検査処理保持部２側へ変位することを抑制しやすくなる。

また、本体側保持板部５１がプローブ接続開口部５１ｂを挟んで対向する位置に複数の第１突起部６１を有する構成において、複数の第１突起部６１のうち少なくとも２つの第１突起部６１は、本体側保持板部５１を平面で見て、プローブ接続開口部５１ｂを挟む２カ所のうち一方に位置しているのが好ましい。これにより、プローブ接続開口部５１ｂの周囲における少なくとも３箇所で、本体側保持板部５１を検査処理保持部２と接触させることができる。よって、本体側保持板部５１の厚み方向において、少なくとも３箇所でプローブユニット７０の検査処理保持部２側への変位を抑制することができる。したがって、プローブ接続開口部５１ｂの周囲で本体側保持板部５１が検査処理保持部２側へ変位することをより抑制しやすくなる。

以上説明したように、検査治具４は、基板または半導体を検査対象とする検査装置に取り付けられる検査治具である。検査治具４は、前記検査対象に接触し、電気信号を検出するプローブ７１と、プローブ７１を保持し、プローブ７１が検出した電気信号を伝達する第２基板４０と、第２基板４０のプローブ７１側とは反対側で第２基板４０の厚み方向に並んで位置し、且つ、第２基板４０が伝達する電気信号を検査装置に伝達する第１基板１０と、第１基板１０及び第２基板４０を電気的に接続する電気接続部８０と、第１基板１０を検査装置１に対して保持する板状の第１基板保持部２０と、第１基板１０側で第２基板４０を第１基板１０に対して保持する板状の本体側保持板部５１と、を有する。本体側保持板部５１は、本体側保持板部５１を平面で見てプローブ７１と重なる位置で厚み方向に貫通するプローブ接続開口部５１ｂと、厚み方向に貫通し電気接続部８０を収容する第２接続収容部５１ａと、第１基板１０に向かって突出する第１突起部６１と、を有する。本体側保持板部５１を平面で見て、第１突起部６１とプローブ接続開口部５１ｂの中心との距離が、第２接続収容部５１ａとプローブ接続開口部５１ｂの中心との距離よりも短い。少なくとも前記検査対象にプローブ７１を接触させた際に、第１突起部６１が検査装置１または第１基板保持部２０に接触する。

第２基板４０を保持する本体側保持板部５１が、本体側保持板部５１を厚み方向に貫通するプローブ接続開口部５１ｂを有する場合、本体側保持板部５１の剛性はプローブ接続開口部５１ｂの周囲で低下する。そのため、第１基板１０に対して第２基板４０が厚み方向に変位する可能性がある。これに対し、上述の構成では、本体側保持板部５１は、プローブ接続開口部５１ｂの周囲に、検査処理保持部２または第１基板保持部２０に接触する第１突起部６１を有する。すなわち、第１突起部６１により、本体側保持板部５１は、第１突起部６１が位置する本体側保持板部５１のプローブ接続開口部５１ｂの周囲で、本体側保持板部５１を検査処理保持部２または第１基板保持部２０に接触させることができる。これにより、プローブ接続開口部５１ｂの周囲及び第２接続収容部５１ａの周囲で、本体側保持板部５１によって保持される第２基板４０が、検査処理保持部２または第１基板保持部２０側へ変位することを抑制できる。よって、複数の第１突起部６１を有する本体側保持板部５１は、電気接続部８０の第２接続部８２に対する第２基板４０の第１基板側端子部４１の位置を一定に保ち、第２基板４０と電気接続部８０との間の電気接触を安定させることができる。また、検査時に検査対象Ｗに必要な力でプローブ７１を接触させることができる。

また、第２接続収容部５１ａは、本体側保持板部５１を平面で見て、プローブ接続開口部５１ｂよりも本体側保持板部５１の幅方向一方側及び幅方向他方側の少なくとも一側で列状に並ぶ複数の第２接続収容部５１ａを含み、第２突起部６２は、本体側保持板部５１を平面で見て、隣り合う第２接続収容部５１ａから実質的に等しい距離に位置する。

第２突起部６２によって、第２接続収容部５１ａの周囲で、本体側保持板部５１を検査処理保持部２または第１基板保持部２０に接触させることができる。したがって、第２接続収容部５１ａの周囲で、本体側保持板部５１が検査処理保持部２側または第１基板保持部２０側に変位することが抑制される。しかも、第２突起部６２の数は、複数の第２接続収容部５１ａに対して実質的に等しい距離に少なくとも１つあればよい。よって、第２接続収容部５１ａの数よりも少ない数の第２突起部６２で、本体側保持板部５１における第２接続収容部５１ａの周囲の検査処理保持部２側または第１基板保持部２０側への変位を抑制することができる。

また、本実施形態では、プローブ接続開口部５１ｂは、本体側保持板部５１を平面で見て、本体側保持板部５１の中央に位置する。複数の第２接続収容部５１ａは、本体側保持板部５１を平面で見て、プローブ接続開口部５１ｂよりも本体側保持板部５１の幅方向一方側及び幅方向他方側に、それぞれ、幅方向に直交する直交方向に３つずつ一列に並んで位置する。第１突起部６１は、４つの第１突起部６１を含み、本体側保持板部５１を平面で見て、前記４つの連結部材９１よりも本体側保持板部５１の幅方向中央側に位置するとともに、前記４つの第１突起部６１のうち２つの第１突起部６１が前記プローブ接続開口部５１ｂを挟んで他の２つの第１突起部６１とは反対側に位置する。第２突起部６２は、本体側保持板部５１を平面で見て、前記複数の第２接続収容部５１ａの中央よりも本体側保持板部５１の幅方向一方の外側において、隣り合う第２接続収容部５１ａから実質的に等しい距離に位置し、複数の第２接続収容部５１ａの中央よりも本体側保持板部５１の幅方向他方の外側において、隣り合う第２接続収容部５１ａから実質的に等しい距離に位置する。

第２接続収容部５１ａを６つ有する検査治具４は、プローブ接続開口部５１ｂの周囲の４か所に、検査処理保持部２または第１基板保持部２０に接触する第１突起部６１を有する。また、検査治具４は、Ｙ方向において、第１突起部６１よりも本体側保持板部５１の一方の外側及び他方の外側に位置する第２接続収容部５１ａの周囲に、第２突起部６２を有する。これにより、本体側保持板部５１の中央側の４つの第１突起部６１と、本体側保持板部５１のＹ方向一方及び他方に少なくとも一つずつ位置する第２突起部６２とで、本体側保持板部５１が、検査処理保持部２または第１基板保持部２０に対して検査処理保持部２側に変位することを抑制できる。したがって、本体側保持板部５１は、電気接続部８０の第２接続部８２に対する第２基板４０の第１基板側端子部４１の位置を一定に保ち、第２接続収容部５１ａに収容される電気接続部８０と本体側保持板部５１が保持する第２基板４０との間の接触不良を抑制することができる。

また、検査装置１は、上述の構成を有する検査治具４と、第１基板１０の信号を検出する検査処理部３と、検査処理部３を保持する板状の検査処理保持部２と、を有する。検査処理保持部２または第１基板保持部２０は、第１突起部６１が接触する第１被接触部３１を有する。

検査装置１の検査治具４は、プローブ接続開口部５１ｂの周囲に、第１被接触部３１に接触する第１突起部６１を有する。これにより、検査治具４の本体側保持板部５１は、プローブ接続開口部５１ｂの周囲で、検査処理保持部２側に変位することが抑制される。よって、本体側保持板部５１に保持されるプローブユニット７０の検査対象Ｗに対する検査処理保持部２側への変位を抑制することができる。したがって、電気接続部８０よりも外側にある本体側保持板部５１の外周側は、検査処理保持部２側とは反対側への変位が抑制される。つまり、本体側保持板部５１は、電気接続部８０の第２接続部８２から第２基板４０の第１基板側端子部４１の一部が離隔しにくい。すなわち、本体側保持板部５１は、電気接続部８０の第２接続部８２に対する第２基板４０の第１基板側端子部４１の位置を一定に保ち、第２接続収容部５１ａに収容される電気接続部８０と本体側保持板部５１が保持する第２基板４０との間の接触不良を抑制することができる。また、検査時に検査対象Ｗに必要な力でプローブ７１を接触させることができる検査装置が得られる。

また、検査装置１では、突起部は、本体側保持板部５１を平面で見て第２接続収容部５１ａよりも本体側保持板部５１の外周側に位置し、且つ、検査装置１または本体側保持板部５１に接触する第２突起部６２を含む。検査処理保持部２または第１基板保持部２０は、第２突起部６２が接触する第２被接触部２１を有する。

検査装置１の検査治具４は、本体側保持板部５１の外周側に、第２被接触部２１に接触する第２突起部６２を有する。これにより、検査治具４の本体側保持板部５１は、本体側保持板部５１の外周側で、検査処理部３に対して厚み方向に変位することが抑制される。よって、本体側保持板部５１の検査処理保持部２側への変位を抑制することができる。したがって、本体側保持板部５１は、電気接続部８０の第２接続部８２に対する第２基板４０の第１基板側端子部４１の位置を一定に保ち、検査治具４と検査処理部３との電気接触を安定させることができる。また、検査時に検査対象Ｗに必要な力でプローブ７１を接触させることができる。

また、検査装置１は、本体側保持板部５１を検査装置１に対して連結する連結部材９１をさらに有する。本体側保持板部５１を平面で見て、第１突起部６１とプローブ接続開口部５１ｂの中心Ｏとの距離が、連結部材９１とプローブ接続開口部５１ｂの中心との距離
よりも短い。

検査装置１が連結部材９１を有する場合、本体側保持板部５１は、連結部材９１が収容されている連結孔５１ｃの位置で、検査処理保持部２側に押し付けられる力を受けて、本体側保持板部５１が検査処理保持部２側に変位する可能性がある。しかしながら、第１突起部６１が、連結部材９１が接続されている位置よりもプローブ接続開口部５１ｂの近くに位置するため、プローブ接続開口部５１ｂの周囲において、本体側保持板部５１が検査処理保持部２または第１基板保持部２０に対して検査処理保持部２側に変位することを抑制できる。したがって、検査治具４と検査処理部３との電気接触を安定させることができる。また、検査時に検査対象Ｗに必要な力でプローブ７１を接触させることができる。

前記実施形態では、検査装置１が６つの検査処理部３を有する場合を例として説明した。このため、検査処理保持部２は、６つの検査処理収容部２ａを有し、２つの第１基板保持部２０は、併せて、６つの第１接続収容部２０ｂを有し、本体側保持板部５１は、６つの第２接続収容部５１ａを有する。しかしながら、検査処理部の数に応じた電気接続を構成することができれば、各部材の開口部の数はいくつであってもよい。

前記実施形態では、検査装置１が６つの検査処理部３を有する場合を例として説明した。このため、２つの第１基板１０は、併せて、６つの本体側端子部１１と６つの第２基板側端子部１２とを有し、第２基板４０は、６つの第１基板側端子部４１と６つのプローブ接続端子部４２とを有する。そして、検査装置１は、６つの電気接続部８０を有する。しかしながら、検査処理部の数に応じて電気接続できれば、各部材の端子部の数は、いくつであってもよい。また、電気接続部の数は、いくつであってもよい。

前記実施形態では、検査装置１は、２つの第１基板ユニット８を有する。しかしながら、第１基板ユニットの数は、１つであってもよいし、２つより多くてもよい。

前記実施形態では、電気接続部８０は、第１基板ユニット８に取り付けられている。しかしながら、電気接続部は、第２基板及び第１基板に挟み込まれて保持される構成であってもよい。

前記実施形態では、連結部材９１は、一方側が検査処理保持部２に対して固定され、他方側が本体側保持板部５１に対して固定されている。しかしながら、連結部材は、検査処理保持部と第２基板保持板部とを互いに離間させることができれば、いずれの構成部品に対して固定されていてもよい。

前記実施形態では、検査処理収容部２ａ、１０ａ、５１ａは、Ｘ方向から見て矩形状である。しかしながら、検査処理収容部は、検査処理収容部に収容される部材の端子部と、検査処理収容部によって露出される部材の端子部との電気的接続を妨げない形状であればよい。

前記実施形態では、プローブ接続開口部５１ｂは、Ｘ方向から見て六角形状である。しかしながら、プローブ接続開口部は他の形状であってもよい。

前記実施形態では、連結孔２０ｃは、３つ並んだ第２接続収容部５１ａの間に位置する。しかしながら、連結孔の位置は、プローブ側保持板部を第１基板に対してＸ方向に並ぶ位置に位置付けることができる位置であればよい。

前記実施形態では、４つの第１被接触部３１の高さは同じである。また、４つの第１突起部の高さは同じである。しかしながら、４つの第１被接触部の高さは互いに異なっていてもよい。また、４つの第１突起部の高さは互いに異なっていてもよい。なお、各第１被接触部の高さと、前記第１被接触部に接触する第１突起部の高さを合計した長さが、４つの組み合わせに対して同じであることが好ましい。

前記実施形態では、第１被接触部３１は、保持本体部３０の検査治具４側の面から延びる円柱状の部材である。しかしながら、第１被接触部は、円柱状でなくてもよい。第１被接触部は、保持本体部の検査治具４側の面上に位置していてもよい。

前記実施形態では、第１突起部６１は、本体側保持板部５１を平面で見て、プローブ接続開口部５１ｂを挟んだＺ方向の両側に、それぞれ２つずつ並んで位置している。しかしながら、第１突起部は、本体側保持板部を平面で見て、プローブ接続開口部を挟んだＹ方向の両側に、それぞれ２つずつ並んで位置していてもよい。

前記実施形態では、第２突起部６２は、本体側保持板部５１のＹ方向一方側及び他方側で３つ並んだ第２接続収容部５１ａよりも外周側に位置している。しかしながら、第２突起部は、本体側保持板部を平面で見て、プローブ接続開口部よりも本体側保持板部の外周側に位置する構成であってもよい。これにより、前記本体側保持板部の外周側で、前記本体側保持板部の第１基板保持部または検査処理保持部に対する厚み方向の変形を抑制することができる。また、第２突起部は、本体側保持板部を平面で見て、第２接続収容部の中央より前記本体側保持板部のＹ方向外側に位置する構成であってもよい。これにより、第２接続収容部の中央よりも本体側保持板部のＹ方向外側で、前記本体側保持板部の厚み方向の変形を抑制することができる。したがって、前記本体側保持板部は、前記第２接続収容部の周囲で、第１基板保持部または検査処理保持部に対する厚み方向の変形を抑制することができる。

前記実施形態では、第２突起部６２は、３つ並んだ第２接続収容部５１ａのうち隣り合う第２接続収容部５１ａから実質的に等しい距離に位置している。しかしながら、第２突起部は、３つ並んだ第２接続収容部のうち隣り合う第２接続収容部から異なる距離に位置していてもよい。例えば、第２接続収容部５１ａよりも本体側保持板部のＹ方向外側で任意の位置に位置していてもよい。

本発明は、プローブを用いて複数種類の基板を検査する基板検査装置に適用可能である。

また、本発明は、複数の基板を有する検査治具を用いて、回路基板の検査をする検査装置に適可能である。

１基板検査装置、検査装置２平板部、検査処理保持部２ａ開口部、検査処理収容部２ｂ連結孔３検査処理部４検査治具５検査基板載置テーブル６治具保持部７制御部８共通ユニット、第１基板ユニット９変換ユニット、第２基板ユニット１０第１基板１０ａ連結孔１１本体側端子部１２第２基板側端子部２０第１基板収容部、第１基板保持部２０ａ凹部２０ｂ開口部、第１接続収容部２０ｃ連結孔２１第２被接触部３０検査治具駆動部、保持本体部３１駆動支持部、第１被接触部３２第１駆動部３３第２駆動部４０第２基板４０ａプローブ接続孔４１第１基板側端子部４２プローブ端子部、プローブ接続端子部５０基板保持部５１本体側保持板部（第２保持板部）、本体側保持板部（第２基板保持部）５１ａ開口部、第２接続収容部（電気接続収容部）５１ｂプローブ接続孔、プローブ接続開口部５１ｃ収容孔、連結孔５１ｄ軸部収容空間、１ｅ爪部収容空間５２プローブ側保持板部（第１保持板部）５２ａプローブ接続孔５３保持板支持部５４軸部５５爪部、接続導線６０接続導線６１第１突起部６２第２突起部７０プローブユニット７１プローブ７２プローブ支持部８０電気接続部８１第１接続部８２第２接続部９０連結孔９１連結部材９１ａ治具固定部、Ｗ被検査基板、検査対象

Claims

被検査基板が有する電気回路を検査する基板検査装置の検査処理部に取り付けられる検査治具であって、
前記検査処理部によって信号を検出される第１基板と、
前記被検査基板に接触するプローブを有するプローブユニットと、
一方の面が前記第１基板に対向し且つ前記第１基板の厚み方向に該第１基板と並んで位置し、前記プローブと電気的に接続される第２基板と、
前記厚み方向において前記第１基板と前記第２基板との間に位置し且つ前記第１基板及び前記第２基板を電気的に接続する電気接続部と、
前記第２基板を、前記第１基板に対して前記厚み方向に並んだ状態で保持し且つ前記第１基板側とは反対側で前記プローブユニットを保持する基板保持部と、
を有し、
前記基板保持部は、
前記第２基板の前記プローブユニット側に位置する板状の第１保持板部と、
前記第１保持板部を前記第１基板に対して前記厚み方向に並ぶ位置に位置付ける保持板支持部と、
を有し、前記第１基板と前記第２基板との間で前記電気接続部を前記厚み方向に挟み込むことにより前記電気接続部を介して前記第１基板と前記第２基板とを電気的に接続した状態で、前記第２基板を保持する、検査治具。
請求項１に記載の検査治具において、
前記基板保持部は、前記第２基板に対して前記第１基板側に位置する板状の第２保持板部をさらに有し、
前記第１保持板部及び前記第２保持板部は、前記第２基板を前記厚み方向に挟み込んだ状態で固定されている、
検査治具。
請求項２に記載の検査治具において、
前記保持板支持部は、前記第２保持板部を前記検査処理部に対して固定することにより、前記第１保持板部を前記第１基板に対して前記厚み方向に並ぶ位置に位置付ける、検査治具。
請求項３に記載の検査治具において、
前記保持板支持部は、
前記第２保持板部と前記検査処理部とを前記厚み方向に貫通して延びる棒状の部材であり、
前記保持板支持部の先端部に、前記保持板支持部の延伸方向に対して交差する方向に延びる爪部を有し、
前記第２保持板部は、前記厚み方向から見て、前記保持板支持部の先端部を収容する収容孔を有し、
前記収容孔は、前記厚み方向から見て、前記プローブユニット側とは異なる方向に延びて、前記保持板支持部の爪部を収容する爪部収容空間を有する、検査治具。
請求項２から４のいずれか一つに記載の検査治具において、
前記第１保持板部の厚みは、前記第２保持板部の厚みよりも小さい、検査治具。
請求項１から５のいずれか一つに記載の検査治具において、
前記電気接続部は、前記第１基板の端子及び前記第２基板の端子にそれぞれ電気的に接触する複数の接触端子を有し、
前記複数の接触端子のうち少なくとも一部は、前記厚み方向に伸縮可能である、検査治具。
請求項１から６のいずれか一つに記載の検査治具において、
前記電気接続部は、前記第２基板を厚み方向に見て、前記第２基板の外周側に位置する、検査治具。
請求項１から７のいずれか一つに記載の検査治具を備えた基板検査装置。
基板または半導体を検査対象とする検査装置に取り付けられる検査治具であって、
前記検査治具は、前記検査対象に接触し、電気信号を検出するプローブと、
前記プローブを保持し、前記プローブが検出した電気信号を伝達する第２基板と、
前記第２基板の前記プローブ側とは反対側で前記第２基板の厚み方向に並んで位置し、
且つ、前記第２基板が伝達する電気信号を前記検査装置に伝達する第１基板と、
前記第１基板及び前記第２基板を電気的に接続する電気接続部と、
前記第１基板を前記検査装置に対して保持する板状の第１基板保持部と、
前記第１基板側で前記第２基板を前記第１基板に対して保持する板状の第２基板保持部と、を有し、
前記第２基板保持部は、前記第２基板保持部を平面で見て前記プローブと重なる位置で厚み方向に貫通するプローブ接続開口部と、厚み方向に貫通し前記電気接続部を収容する電気接続収容部と、前記第１基板に向かって突出する第１突起部と、を有し、
前記第２基板保持部を平面で見て、前記第１突起部と前記プローブ接続開口部の中心との距離が、前記電気接続収容部と前記プローブ接続開口部の中心との距離よりも短く、
少なくとも前記検査対象に前記プローブを接触させた際に、前記第１突起部が前記検査装置または前記第１基板保持部に接触する、
検査治具。
請求項９に記載の検査治具において、
前記第１突起部は、複数の第１突起部を含み、
前記複数の第１突起部は、前記第２基板保持部を平面で見て、前記プローブ接続開口部を挟んで対向する位置に位置している、
検査治具。
請求項１０に記載の検査治具において、
前記複数の第１突起部のうち少なくとも２つの第１突起部は、前記第２基板保持部を平面で見て、前記プローブ接続開口部を挟む２カ所のうち一方に位置している、
検査治具。
請求項９に記載の検査治具において、
第２突起部をさらに有し、
前記第２突起部は、前記第２基板保持部を平面で見て前記プローブ接続開口部よりも前記第２基板保持部の外周側に位置し、且つ、前記検査装置または前記第１基板保持部に接触する、検査治具。
請求項１２に記載の検査治具において、
前記第２突起部は、前記第２基板保持部を平面で見て、前記電気接続収容部の中央より前記第２基板保持部の幅方向外側に位置する、
検査治具。
請求項１２または１３に記載の検査治具において、
前記電気接続収容部は、前記第２基板保持部を平面で見て、前記プローブ接続開口部よりも前記第２基板保持部の幅方向一方側及び幅方向他方側の少なくとも一側で列状に並ぶ複数の電気接続収容部を含み、
前記第２突起部は、前記第２基板保持部を平面で見て、隣り合う電気接続収容部から実質的に等しい距離に位置する、
検査治具。
請求項１４に記載の検査治具において、
前記プローブ接続開口部は、前記第２基板保持部を平面で見て、前記第２基板保持部の中央に位置し、
前記複数の電気接続収容部は、前記第２基板保持部を平面で見て、前記プローブ接続開口部よりも前記第２基板保持部の幅方向一方側及び幅方向他方側に、それぞれ、幅方向に直交する直交方向に３つずつ一列に並んで位置し、
前記第１突起部は、４つの第１突起部を含み、前記第２基板保持部を平面で見て、前記複数の電気接続収容部よりも前記第２基板保持部の幅方向中央側に位置するとともに、前記４つの第１突起部のうち２つの第１突起部が前記プローブ接続開口部を挟んで他の２つの第１突起部とは反対側に位置し、
前記第２突起部は、前記第２基板保持部を平面で見て、前記複数の電気接続収容部の中央よりも前記第２基板保持部の幅方向一方の外側において、隣り合う電気接続収容部から等しい距離に位置し、前記複数の電気接続収容部の中央よりも前記第２基板保持部の幅方向他方の外側において、隣り合う電気接続収容部から等しい距離に位置する、
検査治具。
請求項９から１５のいずれか一つに記載の検査治具において、
前記突起部は、円柱状である、検査治具。
請求項９から１６のいずれか一つに記載の検査治具と、
前記第１基板の信号を検出する検査処理部と、
前記検査処理部を保持する板状の検査処理保持部と、
を有し、
前記検査処理保持部または第１基板保持部は、第１突起部が接触する第１被接触部を有する、検査装置。
請求項１７に記載の検査装置において、
前記第２基板保持部を平面で見て前記プローブ接続開口部よりも前記第２基板保持部の外周側に位置し、且つ、前記検査装置または前記第１基板保持部に接触する第２突起部をさらに有し、
前記検査処理保持部または第１基板保持部は、前記第２突起部が接触する第２被接触部を有する、検査装置。
請求項１７または１８に記載の検査治具において、
前記第２基板保持部を前記検査装置に対して連結する連結部材をさらに有し、
前記第２基板保持部を平面で見て、前記第１突起部と前記プローブ接続開口部の中心との距離が、前記連結部材と前記プローブ接続開口部の中心との距離よりも短い、
検査装置。