JP7147865B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
上面13bの幅方向寸法=0.338μm。
2…支持基板
2A…高音速支持基板
3…高音速部材
4…低音速膜
5…圧電体
5a…上面
5b…溝
5b1…底面
6…IDT電極
7,8…反射器
11…第1の電極指
11a…下面
11b…上面
11c…側面
11d…側面
12…第2の電極指
13…第1の誘電体膜
13a…下面
13b…上面
13c…第1の側面
13d…第2の側面
21…弾性波フィルタ
30…複合フィルタ装置
31~34…帯域通過型フィルタ
41…弾性波装置
42…フィレット
43…弾性波装置
51…弾性波装置
61…弾性波装置
62…第2の誘電体膜
62a…下面
62b…上面
62c…第3の側面
62d…第4の側面
71…弾性波装置
81…弾性波装置
91…弾性波装置
101…弾性波装置
111…弾性波装置
201A,201B…デュプレクサ
202…アンテナ素子
203…RF信号処理回路
211,212…フィルタ
214…ローノイズアンプ回路
221,222…フィルタ
224…ローノイズアンプ回路
225…スイッチ
230…高周波フロントエンド回路
231,232…フィルタ
234a,234b…パワーアンプ回路
240…通信装置
244a,244b…パワーアンプ回路
P1~P3…並列腕共振子
S1~S4…直列腕共振子
Claims (20)
- 互いに対向する一方主面及び他方主面を有する圧電体と、
前記圧電体の前記一方主面上に設けられており、複数本の電極指を有するIDT電極と、
前記圧電体の前記他方主面側に配置されており、前記圧電体を伝搬する弾性波の音速よりも、伝搬するバルク波の音速が高い高音速部材と、
前記電極指の上面に設けられている第1の誘電体膜とを備え、
前記IDT電極の前記電極指間に、誘電体が存在しない部分があり、
前記誘電体からなるフィレットが少なくとも1つの電極指間に設けられており、
前記フィレットが、前記IDT電極における前記電極指の側面から、前記電極指と前記圧電体における前記一方主面との境界を通り、さらに前記電極指間における前記一方主面の一部に至っており、
前記電極指の延びる方向と直交する方向の断面において、前記フィレットの外表面が、断面における前記電極指の前記側面と前記圧電体の前記一方主面との境界であるコーナー部に向かって凹んでいる曲線である、弾性波装置。 - 互いに対向する一方主面及び他方主面を有する圧電体と、
前記圧電体の前記一方主面上に設けられており、複数本の電極指を有するIDT電極と、
前記圧電体の前記他方主面側に配置されている高音速部材と、
前記電極指の上面に設けられている第1の誘電体膜とを備え、
前記高音速部材は、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、シリコン、サファイア、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶、アルミナ、ジルコニア、コ-ジライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、マグネシア、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜またはダイヤモンドのうち少なくとも1種の材料または少なくとも1種の材料の混合物を主成分とする媒質からなり、
前記IDT電極の前記電極指間に、誘電体が存在しない部分があり、
前記誘電体からなるフィレットが少なくとも1つの電極指間に設けられており、
前記フィレットが、前記IDT電極における前記電極指の側面から、前記電極指と前記圧電体における前記一方主面との境界を通り、さらに前記電極指間における前記一方主面の一部に至っており、
前記電極指の延びる方向と直交する方向の断面において、前記フィレットの外表面が、断面における前記電極指の前記側面と前記圧電体の前記一方主面との境界であるコーナー部に向かって凹んでいる曲線である、弾性波装置。 - 前記電極指間の全領域において、前記第1の誘電体膜が存在しない、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記第1の誘電体膜の膜厚が、前記IDT電極の電極指ピッチで定まる波長λの4%以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記電極指間において、前記圧電体の前記一方主面に溝が設けられている、請求項1~4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記電極指が順テーパー形状を有する、請求項1~5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1の誘電体膜が、順テーパー形状を有し、前記順テーパー形状のテーパー角度θ1が88°以下である、請求項1~6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記テーパー角度θ1が50°以上である、請求項7に記載の弾性波装置。
- 前記テーパー角度θ1が60°以上、80°以下である、請求項7または8に記載の弾性波装置。
- 互いに対向する一方主面及び他方主面を有する圧電体と、
前記圧電体の前記一方主面上に設けられており、複数本の電極指を有するIDT電極と、
前記圧電体の前記他方主面側に配置されており、前記圧電体を伝搬する弾性波の音速よりも、伝搬するバルク波の音速が高い高音速部材と、
前記電極指の上面に設けられている第1の誘電体膜とを備え、
前記IDT電極の前記電極指間に、誘電体が存在しない部分があり、
前記第1の誘電体膜が、順テーパー形状を有し、前記順テーパー形状のテーパー角度θ1が88°以下である、弾性波装置。 - 前記テーパー角度θ1が50°以上である、請求項10に記載の弾性波装置。
- 前記テーパー角度θ1が60°以上、80°以下である、請求項10または11に記載の弾性波装置。
- 前記圧電体と前記電極指との間に設けられた第2の誘電体膜をさらに備える、請求項1~12のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極の電極指間の全領域において、前記第2の誘電体膜が存在しない、請求項13に記載の弾性波装置。
- 前記第1の誘電体膜及び前記第2の誘電体膜が、それぞれ順テーパー形状を有し、
前記第1の誘電体膜の順テーパー形状のテーパー角度をθ1、前記第2の誘電体膜の順テーパー形状のテーパー角度をθ2としたときに、θ1>θ2である、請求項13または14に記載の弾性波装置。 - 前記第1の誘電体膜及び前記第2の誘電体膜が、それぞれ順テーパー形状を有し、
前記第1の誘電体膜の順テーパー形状のテーパー角度をθ1、前記第2の誘電体膜の順テーパー形状のテーパー角度をθ2としたときに、θ1<θ2である、請求項13または14に記載の弾性波装置。 - 前記第1の誘電体膜の密度をD1、前記第2の誘電体膜の密度をD2としたときに、D2>D1である、請求項13~16のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記高音速部材が、高音速材料を主体とする高音速支持基板である、請求項1または10に記載の弾性波装置。
- 前記高音速部材と、前記圧電体との間に配置されており、伝搬するバルク波の音速が、前記圧電体を伝搬するバルク波の音速よりも低い、低音速膜をさらに備える、請求項1または10に記載の弾性波装置。
- 前記第1の誘電体膜が酸化ケイ素膜である、請求項1~19のいずれか1項に記載の弾性波装置。
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