JP7147156B2 - LASER PROCESSING RELEASE FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING LASER PROCESSED PRODUCT - Google Patents

Description

本発明は、レーザー加工用離型フィルム及びレーザー加工品の製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a release film for laser processing and a method for producing a laser processed product.

ポリエステルフィルムは機械的強度、耐熱性、耐薬品性等の特性を有することから、離型フィルムの基材として用いられている。ポリエステルフィルムを基材とした離型フィルムについては多くの技術改良が行われており、例えば特許文献１では基材のポリエステルフィルムと離型層の接着性及び離型性の改良を目的とする技術が開示されている。
また、ポリエステルフィルムの上記特性から、これを基材とする離型フィルムは、液晶ディスプレイ（以下、ＬＣＤと略記することがある。）用偏光板製造用、位相差板製造用、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略記することがある。）構成部材製造用、及び有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬと略記することがある。）構成部材製造用等、各種ディスプレイ構成部材製造用等、各種光学用途等に使用されている。 Polyester films are used as base materials for release films because they have properties such as mechanical strength, heat resistance, and chemical resistance. Many technical improvements have been made on the release film using a polyester film as a base material. is disclosed.
In addition, from the above properties of the polyester film, the release film using this as a base material is used for manufacturing polarizing plates for liquid crystal displays (hereinafter sometimes abbreviated as LCD), for manufacturing retardation plates, plasma display panels ( Hereinafter, it may be abbreviated as PDP.) For manufacturing structural members, and for manufacturing organic electroluminescence (hereinafter sometimes abbreviated as organic EL) structural members, various optical applications such as manufacturing display structural members etc. is used.

特開平５－１９４７６８号公報JP-A-5-194768

近年では離型フィルムを貼り合わせた製品の切断加工において、生産性向上の観点から、従来の切断刃からレーザーカットに切り替える場合がある。その際、離型フィルム使用上の問題点として、通常汎用的に使用されている離型フィルムを被加工品に貼り合わせたままでレーザーカットすると、所望する形状には切断可能な反面、フィルム端面にはフィルム由来の異物が発生し、被加工品に付着する問題があった。特に、異物の混入を嫌う光学用途には対応困難な場合があった。
しかしながら、上述の特許文献１のように接着性や離型性等の改良技術についてはこれまでにも多くの開示があるものの、離型フィルムを貼り合わせた被加工品のレーザー加工による離型フィルム由来の異物・変色といった問題には十分な検討がされていない。 In recent years, from the viewpoint of improving productivity, there are cases where conventional cutting blades are switched to laser cutting in the cutting of products laminated with a release film. At that time, as a problem in using the release film, if the release film, which is generally used for general purpose, is laser-cut while it is attached to the workpiece, it can be cut into the desired shape, but on the other hand, the film end face However, there is a problem that foreign matter derived from the film is generated and adheres to the processed product. In particular, it was sometimes difficult to cope with optical applications in which contamination by foreign matter is disliked.
However, although there have been many disclosures of techniques for improving adhesiveness and releasability, such as the above-mentioned Patent Document 1, a release film by laser processing of a workpiece laminated with a release film Problems such as contaminants and discoloration originating from the material have not been sufficiently investigated.

そこで本発明は、離型フィルムとしての性能を有しつつ、離型フィルムを被加工品に貼り合わせたままの状態でレーザー加工しても、フィルム由来の異物発生が極力少なくレーザー加工性が良好であり、光学用途等の異物混入を嫌う用途に対応可能な離型フィルム、及びレーザー加工品の製造方法を提供するものである。 Therefore, the present invention has the performance as a release film, even if laser processing is performed while the release film is attached to the workpiece, the generation of foreign matter derived from the film is as small as possible, and the laser processability is good. It is an object of the present invention to provide a release film and a method for manufacturing a laser-processed product that can be used in applications such as optical applications where contamination with foreign matter is not desired.

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、下記本発明を想到し、当該課題を解決できることを見出した。
すなわち、本発明は下記のとおりである。 As a result of intensive studies aimed at solving the above problems, the inventors of the present invention have conceived the following invention and found that the problems can be solved.
That is, the present invention is as follows.

［１］レーザー吸収剤を含有するポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有するレーザー加工用離型フィルム。
［２］前記レーザー加工用離型フィルムを、被加工品の少なくとも片面に被覆した後、該被加工品を赤外線領域の波長のレーザー光照射によって加工する工程を含むレーザー加工品の製造方法。 [1] A release film for laser processing having a release layer on at least one side of a polyester film containing a laser absorber.
[2] A method for producing a laser-processed product, which comprises a step of coating at least one surface of a work-piece with the release film for laser processing, and then processing the work-piece by irradiation with a laser beam having a wavelength in the infrared region.

本発明によれば、離型フィルムとしての性能を有しつつ、離型フィルムを被加工品に貼り合わせたままの状態でレーザー加工しても、フィルム由来の異物発生が極力少なくレーザー加工性が良好であり、光学用途等の異物混入を嫌う用途に対応可能な離型フィルム、及びレーザー加工品の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, while having the performance as a release film, even if laser processing is performed while the release film is attached to the workpiece, the generation of foreign matter derived from the film is as small as possible, and the laser processability is improved. It is possible to provide a release film which is good and can be used in applications such as optical applications in which contamination with foreign matter is not desired, and a method for producing a laser-processed product.

［レーザー加工用離型フィルム］
本発明に係るレーザー加工用離型フィルム（以下、単に離型フィルムと称すことがある。）は、レーザー吸収剤を含有するポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有するものである。 [Release film for laser processing]
The release film for laser processing according to the present invention (hereinafter sometimes simply referred to as release film) is a polyester film containing a laser absorber and having a release layer on at least one side thereof.

（ポリエステルフィルム）
ポリエステルフィルムは、ポリエステル層を層構成として含む離型フィルムの基材である。ポリエステルフィルムは、ポリエステル層の単層構成であってもよく、多層の積層構成であってもよい。例えば、２層、３層構成以外にも本発明の効果を損なわない限り、４層又はそれ以上の多層であってもよく、特に限定されるものではない。また、各ポリエステル層は１種又は２種以上のポリエステルを併用してもよい。
ポリエステルフィルムは、無延伸フィルム（シート）であっても延伸フィルムであってもよいが、延伸フィルムであることが好ましく、二軸延伸フィルムであることがより好ましい。 (polyester film)
A polyester film is a base material of a release film containing a polyester layer as a layer structure. The polyester film may have a single layer structure of a polyester layer, or may have a multi-layer laminated structure. For example, as long as the effects of the present invention are not impaired, a multi-layered structure of four or more layers may be used in addition to the two-layered or three-layered structure, and there is no particular limitation. Moreover, each polyester layer may use together 1 type(s) or 2 or more types of polyester.
The polyester film may be a non-stretched film (sheet) or a stretched film, preferably a stretched film, more preferably a biaxially stretched film.

〈ポリエステル〉
ポリエステル層に使用するポリエステルは、ホモポリエステルであってもよく、共重合ポリエステルであってもよい。
ホモポリエステルからなる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。
芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸等が挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４－シクロヘキサンジメタノール等が挙げられる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート等が挙げられる。 <polyester>
The polyester used for the polyester layer may be homopolyester or copolyester.
When it is made of homopolyester, it is preferably obtained by polycondensation of an aromatic dicarboxylic acid and an aliphatic glycol.
Examples of aromatic dicarboxylic acids include terephthalic acid and 2,6-naphthalene dicarboxylic acid, and examples of aliphatic glycols include ethylene glycol, diethylene glycol, 1,4-cyclohexanedimethanol and the like. Representative polyesters include polyethylene terephthalate and the like.

一方、共重合ポリエステルのジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸が挙げられる。
グリコール成分としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等が挙げられる。 On the other hand, the dicarboxylic acid component of the copolyester includes isophthalic acid, phthalic acid, terephthalic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, adipic acid and sebacic acid.
Glycol components include ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, butanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol, neopentyl glycol and the like.

また、本発明においてポリエステルは、フィルム成形性（強度等）を良好とする観点から、好ましくは６０モル％以上、より好ましくは８０モル％以上が、エチレンテレフタレート単位であるポリエチレンテレフタレート等であることが好ましい。 In the present invention, from the viewpoint of improving film formability (strength, etc.), preferably 60 mol% or more, more preferably 80 mol% or more, of the polyester is polyethylene terephthalate or the like, which is an ethylene terephthalate unit. preferable.

ポリエステルの重合触媒としては、特に制限はなく、従来公知の化合物を使用することができる。例えば、アンチモン化合物、チタン化合物、ゲルマニウム化合物、マンガン化合物、アルミニウム化合物、マグネシウム化合物、カルシウム化合物等が挙げられる。重合触媒は１種又は２種以上を併用してもよい。 The polyester polymerization catalyst is not particularly limited, and conventionally known compounds can be used. Examples include antimony compounds, titanium compounds, germanium compounds, manganese compounds, aluminum compounds, magnesium compounds, calcium compounds and the like. The polymerization catalyst may be used singly or in combination of two or more.

〈レーザー吸収剤〉
ポリエステルフィルムは、レーザー吸収剤を含有することを必須要件とするものである。ポリエステルフィルムを構成する層のうち少なくとも１層を、レーザー吸収剤を含有したポリエステル層とすることで、上記ポリエステルフィルムとすることができる。
例えば、レーザー吸収剤を含有しないポリエステル層をＸ層、レーザー吸収剤を含有するポリエステル層をＹ層とした場合、Ｘ層／Ｙ層、Ｙ層／Ｙ層、Ｘ層／Ｙ層／Ｘ層、Ｙ層／Ｘ層／Ｙ層等の層構成とすることができる。中でも、レーザー吸収剤のブリードアウトの観点から、Ｘ層／Ｙ層／Ｘ層とすることが好ましい。この場合、複数のＸ層及びＹ層は、それぞれ同一であってもよく異なっていてもよい。 <Laser absorber>
The polyester film must contain a laser absorber. The polyester film can be obtained by using a polyester layer containing a laser absorber as at least one of the layers constituting the polyester film.
For example, when the polyester layer containing no laser absorber is the X layer and the polyester layer containing the laser absorber is the Y layer, X layer/Y layer, Y layer/Y layer, X layer/Y layer/X layer, A layer structure such as Y layer/X layer/Y layer can be employed. Among them, from the viewpoint of bleed-out of the laser absorbent, it is preferable to set the layer to X layer/Y layer/X layer. In this case, the plurality of X layers and Y layers may be the same or different.

ポリエステルフィルムに、レーザー吸収剤を含有させる目的は、粘着剤層を介して離型フィルムを被加工品に貼り合わせた状態でレーザー加工する際に、被加工品への離型フィルム由来の異物付着等が極力少ないレーザー加工を可能とすることにある。特に、レーザー光の吸収波長が赤外線領域（好ましくは１０００ｎｍ波長以上）にある場合、赤外線吸収に伴い、発生する熱エネルギーを効率的に利用してレーザー加工できる点で好ましい。
また、レーザー光の照射時に、貼り合わせている被加工品自体に過剰な熱エネルギーがかかることを離型フィルム自身で防止できることから、例えば、熱に敏感な電子回路等の電子部品をレーザー光の照射による損傷から保護することも可能となる。 The purpose of including a laser absorber in the polyester film is to prevent adhesion of foreign matter derived from the release film to the workpiece when laser processing is performed while the release film is attached to the workpiece via the adhesive layer. It is to enable laser processing with as little as possible. In particular, when the absorption wavelength of the laser light is in the infrared region (preferably 1000 nm or more), it is preferable in that laser processing can be performed by efficiently utilizing the heat energy generated along with the infrared absorption.
In addition, since the release film itself can prevent excessive heat energy from being applied to the workpiece itself when it is irradiated with laser light, it is possible to protect electronic parts such as electronic circuits that are sensitive to heat from laser light. It is also possible to protect against radiation damage.

レーザー吸収剤としては、例えば、アンチモン、インジウム、亜鉛及びタングステンから選ばれる１種又は２種以上の金属元素を含む金属化合物が挙げられる。好ましくは、アンチモンドープ酸化錫、錫ドープ酸化インジウム、アンチモンドープ酸化亜鉛及び酸化タングステンから選ばれる１種又は２種以上である。これらの中でも、赤外線領域（好ましくは１０００ｎｍ波長以上）の広範囲の波長領域において、レーザー吸収性が良好である観点から、より好ましくは酸化タングステンである。なお、アンチモンを含む金属化合物のうち、一般にポリエステルの重合用触媒として使用される三酸化アンチモンは、レーザー吸収剤には含まないものとする。 Examples of laser absorbers include metal compounds containing one or more metal elements selected from antimony, indium, zinc and tungsten. Preferably, one or more selected from antimony-doped tin oxide, tin-doped indium oxide, antimony-doped zinc oxide and tungsten oxide. Among these, tungsten oxide is more preferable from the viewpoint of good laser absorption in a wide wavelength range of infrared region (preferably 1000 nm wavelength or more). Among metal compounds containing antimony, antimony trioxide, which is generally used as a catalyst for polyester polymerization, is not included in the laser absorber.

レーザー吸収剤は、離型フィルムの光線透過率が波長１０００～１３００ｎｍの範囲において、好ましくは２０％以下、より好ましくは１０％以下となるように、ポリエステル層中に含有させる。離型フィルムの光線透過率が上記範囲内であればレーザー光を効果的に吸収させることができる。
また、上記離型フィルムは、例えばＪＩＳ Ｋ７１３６に準拠して測定した全光線透過率が、可視光領域（５５０ｎｍ波長下）での透明性確保の観点から、好ましくは７０％以上であり、より好ましくは８０％以上である。 The laser absorber is contained in the polyester layer so that the release film has a light transmittance of preferably 20% or less, more preferably 10% or less in the wavelength range of 1000 to 1300 nm. If the light transmittance of the release film is within the above range, the laser light can be effectively absorbed.
Further, the release film preferably has a total light transmittance measured in accordance with JIS K7136, for example, from the viewpoint of ensuring transparency in the visible light region (below 550 nm wavelength), preferably 70% or more, more preferably. is 80% or more.

波長１０００～１３００ｎｍの範囲における光線透過率が、上記範囲を満足するためには、例えば、ポリエステルフィルム中のレーザー吸収剤の含有量により調整することができる。ポリエステルフィルム中のレーザー吸収剤含有量は、好ましくは０．１～３質量％であり、より好ましくは、０．２～２．５質量％であり、さらに好ましくは、０．５～２質量％である。該含有量が０．１質量％以上であれば、離型フィルム由来の異物の発生等がほとんどない良好なレーザー加工性を得ることができる。該含有量が３質量％以下であれば、例えば光学部材に用いることができる離型フィルムとして必要な透明性を得ることができる。通常、光学部材の品質検査は、部材の表面に離型フィルムが貼られた状態で、離型フィルムの上から検査光を透過させて行われる。このため、離型フィルムの透明性が高いと、光学部材の検査性が良好となる。 In order for the light transmittance in the wavelength range of 1000 to 1300 nm to satisfy the above range, for example, the content of the laser absorber in the polyester film can be adjusted. The laser absorber content in the polyester film is preferably 0.1 to 3% by mass, more preferably 0.2 to 2.5% by mass, still more preferably 0.5 to 2% by mass. is. When the content is 0.1% by mass or more, good laser processability can be obtained with little generation of foreign matter derived from the release film. When the content is 3% by mass or less, transparency required for a release film that can be used for optical members, for example, can be obtained. Generally, the quality inspection of an optical member is performed by allowing inspection light to pass through the release film while the release film is attached to the surface of the member. Therefore, when the release film has high transparency, the optical member can be easily inspected.

ポリエステル層中にレーザー吸収剤を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができる。 The method of adding the laser absorber to the polyester layer is not particularly limited, and conventionally known methods can be employed. For example, it can be added at any stage during the production of the polyester that constitutes each layer.

〈粒子〉
ポリエステル層中には、易滑性付与を主たる目的として粒子を配合することが好ましい。配合する粒子の種類は、易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではない。例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の無機粒子が挙げられる。これらの中でも易滑性付与の観点から、シリカ粒子を用いることが好ましい。
また、特公昭５９－５２１６号公報、特開昭５９－２１７７５５号公報等に記載されている耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらに、ポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる。
これら粒子は１種又は２種以上を併用してもよい。 <particle>
Particles are preferably blended into the polyester layer mainly for the purpose of imparting slipperiness. The type of particles to be blended is not particularly limited as long as the particles can impart easy lubricity. Examples thereof include inorganic particles such as silica, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, calcium sulfate, calcium phosphate, magnesium phosphate, kaolin, aluminum oxide and titanium oxide. Among these, silica particles are preferably used from the viewpoint of imparting lubricity.
Further, heat-resistant organic particles described in JP-B-59-5216, JP-A-59-217755, etc. may be used. Examples of other heat-resistant organic particles include thermosetting urea resin, thermosetting phenolic resin, thermosetting epoxy resin, benzoguanamine resin, and the like. Furthermore, precipitated particles obtained by precipitating and finely dispersing a part of a metal compound such as a catalyst during the polyester production process can also be used.
These particles may be used singly or in combination of two or more.

また、粒子はポリエステルフィルムの構成層のうち、少なくともポリエステルフィルムの最表面の層に粒子を含有させることが、易滑性の観点から好ましい。
使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。 From the standpoint of lubricity, it is preferable that the particles are contained in at least the outermost layer of the polyester film among the constituent layers of the polyester film.
The shape of the particles to be used is not particularly limited either, and any of spherical, lumpy, rod-like, flattened and the like may be used. Moreover, there are no particular restrictions on its hardness, specific gravity, color, and the like.

粒子の平均粒径は、好ましくは０．０１～３μｍであり、より好ましくは０．０１～２μｍである。平均粒径が０．０１μｍ以上であれば、粒子が凝集するおそれが少なく十分な分散性が得られ、３μｍ以下であれば、フィルムの表面粗度が粗くなりすぎず、後工程において離型層を塗設させる場合等に不具合が生じるおそれがない。
本発明において粒子の平均粒子径は、例えば実施例において後述する方法により測定することができる。 The average particle size of the particles is preferably 0.01-3 μm, more preferably 0.01-2 μm. If the average particle diameter is 0.01 μm or more, sufficient dispersibility can be obtained with little risk of particles aggregating. There is no possibility that trouble will occur when coating is applied.
In the present invention, the average particle size of particles can be measured, for example, by the method described later in Examples.

ポリエステル層中の粒子含有量は、好ましくは０．００１～５質量％であり、より好ましくは０．００５～３質量％である。粒子含有量が０．００１質量％以上であれば、ポリエステルフィルムに十分な易滑性が得られ、５質量％以下であれば、ポリエステルフィルムの透明性が保持される。
なお、ポリエステルフィルムが３層以上の積層構成である場合は、中間層には粒子を含有せず、表層のポリエステル層のみに粒子を含有することが好ましい。その場合は、表層中の粒子の含有量が上記の範囲であることが好ましい。 The particle content in the polyester layer is preferably 0.001 to 5% by weight, more preferably 0.005 to 3% by weight. If the particle content is 0.001% by mass or more, the polyester film will have sufficient slipperiness, and if it is 5% by mass or less, the transparency of the polyester film will be maintained.
In the case where the polyester film has a laminated structure of three or more layers, it is preferable that particles are not contained in the intermediate layer and particles are contained only in the surface polyester layer. In that case, the content of particles in the surface layer is preferably within the above range.

ポリエステル層中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階又はエステル交換反応終了後、粒子を添加し重縮合反応を進めてもよい。
また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールあるいは水等に分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、又は混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法等によって行われる。 The method for adding particles to the polyester layer is not particularly limited, and conventionally known methods can be employed. For example, it can be added at any stage of production of the polyester constituting each layer, but preferably after the esterification stage or the transesterification reaction, the particles may be added to proceed with the polycondensation reaction.
Alternatively, a kneading extruder with a vent is used to blend a slurry of particles dispersed in ethylene glycol or water with a polyester raw material, or a kneading extruder is used to blend dried particles and a polyester raw material. etc.

〈その他の成分〉
また、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル層中には、上述の粒子以外に必要に応じて従来公知の酸化防止剤、帯電防止剤、熱安定剤、潤滑剤、染料、顔料等を添加することができる。 <Other ingredients>
Further, in the polyester layer constituting the polyester film, conventionally known antioxidants, antistatic agents, heat stabilizers, lubricants, dyes, pigments, etc. can be added as necessary in addition to the above particles. .

〈ポリエステルフィルムの製造方法〉
ポリエステルフィルムの製造方法について具体的に説明するが、該製造方法は以下の製造例に何ら限定されるものではない。
まず、先に述べたポリエステル原料を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密着法及び／又は液体塗布密着法が好ましく採用される。
次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸される。その場合、まず、前記の未延伸シートを一方向にロール又はテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常７０～１２０℃程度であり、好ましくは８０～１１０℃であり、延伸倍率は、通常２．５～７倍程度であり、好ましくは３．０～６倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する延伸温度は、通常７０～１７０℃程度であり、延伸倍率は通常３．０～７倍程度であり、好ましくは３．５～６倍である。
そして、引き続き通常１８０～２７０℃程度の温度で緊張下又は３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。
上記の延伸においては、一方向の延伸を２段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うことが好ましい。 <Method for producing polyester film>
A method for producing a polyester film will be specifically described, but the production method is not limited to the following production examples.
First, it is preferable to obtain an unstretched sheet by cooling and solidifying a molten sheet extruded from a die using the polyester raw material described above with a cooling roll. In this case, it is necessary to increase the adhesion between the sheet and the rotating cooling drum in order to improve the flatness of the sheet, and the electrostatic application adhesion method and/or the liquid application adhesion method are preferably employed.
The resulting unstretched sheet is then biaxially stretched. In that case, first, the unstretched sheet is stretched in one direction by a roll or tenter type stretching machine. The stretching temperature is generally about 70 to 120° C., preferably 80 to 110° C., and the draw ratio is generally about 2.5 to 7 times, preferably 3.0 to 6 times. Next, the stretching temperature perpendicular to the stretching direction in the first stage is usually about 70 to 170° C., and the draw ratio is usually about 3.0 to 7 times, preferably 3.5 to 6 times.
Subsequently, heat treatment is performed at a temperature of about 180 to 270° C. under tension or under relaxation of 30% or less to obtain a biaxially oriented film.
In the above stretching, a method of stretching in one direction in two or more stages can also be employed. In that case, it is preferable that the stretching ratios in the two directions finally fall within the ranges described above.

また、ポリエステルフィルム製造に関しては同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は、前記の未延伸シートを通常７０～１２０℃程度、好ましくは８０～１１０℃で温度コントロールされた状態で機械方向（縦方向）及び幅方向（横方向）に同時に延伸し配向させる方法である。延伸倍率は面積倍率で、通常４～５０倍程度であり、好ましくは７～３５倍であり、より好ましくは１０～２５倍である。
そして、引き続き通常１７０～２５０℃程度の温度で緊張下又は３０％以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。
上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動方式等、従来から公知の延伸方式を採用することができる。 A simultaneous biaxial stretching method can also be employed for polyester film production. In the simultaneous biaxial stretching method, the unstretched sheet is stretched simultaneously in the machine direction (longitudinal direction) and width direction (horizontal direction) while the temperature is controlled at about 70 to 120° C., preferably 80 to 110° C. It is a method of orienting. The draw ratio, in terms of area ratio, is usually about 4 to 50 times, preferably 7 to 35 times, more preferably 10 to 25 times.
Subsequently, heat treatment is usually performed at a temperature of about 170 to 250° C. under tension or under relaxation of 30% or less to obtain a stretched and oriented film.
Conventionally known stretching methods such as a screw method, a pantograph method, a linear drive method, and the like can be employed for the simultaneous biaxial stretching apparatus that employs the above-described stretching method.

さらに上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法（インラインコーティング）を施すことができる。塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に塗布層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に塗布層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。 Furthermore, a so-called coating and stretching method (in-line coating) can be applied, in which the film surface is treated during the stretching step of the polyester film described above. When a coating layer is provided on a polyester film by a coating and stretching method, coating can be performed simultaneously with stretching, and the thickness of the coating layer can be reduced according to the stretching ratio, producing a film suitable as a polyester film. can.

離型フィルムを構成するポリエステルフィルムの厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、好ましくは６～２５０μｍであり、より好ましくは１２～１８８μｍである。 The thickness of the polyester film constituting the release film is not particularly limited as long as it can be formed as a film, but it is preferably 6 to 250 μm, more preferably 12 to 188 μm.

〈固有粘度〉
ポリエステルの固有粘度は、フィルム成形性の観点から、好ましくは０．６０～０．８０ｄＬ／ｇである。
本発明においてポリエステルの固有粘度は、例えば全自動溶液粘度計を用いて測定することができるが、詳しくは実施例において後述する方法により測定することができる。 <Intrinsic viscosity>
The intrinsic viscosity of polyester is preferably 0.60 to 0.80 dL/g from the viewpoint of film formability.
In the present invention, the intrinsic viscosity of the polyester can be measured using, for example, a fully automatic solution viscometer, and can be measured in detail by the method described later in Examples.

（塗布層）
離型フィルムには、ポリエステルフィルムと離型層との塗膜密着性を良好とするために塗布層を形成することができる。
塗布層に関しては上述の塗布延伸法（インラインコーティング）を用いてもよく、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングを採用してもよく、何れの手法を採用してもよい。 (Coating layer)
A coating layer may be formed on the release film in order to improve the coating adhesion between the polyester film and the release layer.
With respect to the coating layer, the above-described coating and stretching method (in-line coating) may be used, or so-called offline coating may be employed in which the film is coated outside the system once produced, and any method may be employed. .

塗布層には必要に応じて消泡剤、塗布性改良剤、増粘剤、有機系潤滑剤、有機系高分子粒子、酸化防止剤、紫外線吸収剤、発泡剤、染料等を含有させることができる。 The coating layer may contain antifoaming agents, coatability improvers, thickeners, organic lubricants, organic polymer particles, antioxidants, ultraviolet absorbers, foaming agents, dyes, etc., if necessary. can.

（離型層）
離型フィルムを構成する離型層とは、離型性を有する層のことをいう。
離型性の程度は離型フィルムの用途により適宜特定されるが、例えば、アクリル系粘着剤層と離型層との剥離力（Ｆ）が、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離で、通常５～５００ｍＮ／ｃｍ程度だが、好ましくは１０～２０ｍＮ／ｃｍであり、より好ましくは１０～１６ｍＮ／ｃｍである。該剥離力が１０ｍＮ／ｃｍ以上であれば、剥離する必要がない状況において容易に離型フィルムが剥離する不具合が生じるおそれが少なく、２０ｍＮ／ｃｍ以下であれば離型フィルムの剥離が困難になるおそれは少ない。
本発明の離型フィルムの剥離力は、例えば実施例において後述する方法により測定することができる。 (release layer)
The release layer constituting the release film refers to a layer having releasability.
The degree of releasability is appropriately specified depending on the application of the release film. It is usually about 5 to 500 mN/cm, preferably 10 to 20 mN/cm, more preferably 10 to 16 mN/cm. If the peel force is 10 mN/cm or more, there is little possibility that the release film is easily peeled off in a situation where peeling is not necessary, and if it is 20 mN/cm or less, peeling of the release film becomes difficult. Not likely.
The peel strength of the release film of the present invention can be measured, for example, by the method described later in Examples.

〈樹脂成分〉
離型層は、離型性を良好とするために硬化型シリコーン樹脂の硬化物を含有することが好ましい。硬化型シリコーン樹脂を主成分とするタイプでもよいし、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂等の有機樹脂とのグラフト重合等による変性シリコーンタイプ等を使用してもよい。
硬化型シリコーン樹脂の種類としては付加型・縮合型・紫外線硬化型・電子線硬化型・無溶剤型等、何れの硬化反応タイプでも用いることができる。
硬化型シリコーン樹脂としては、例えばポリメチルハイドロジェンシロキサン、ポリメチルハイドロジェンシロキサン－ポリメチルシロキサン共重合物等のポリハイドロジェンシロキサン等が挙げられる。 <Resin component>
The release layer preferably contains a cured product of a curable silicone resin in order to improve releasability. A type containing a curable silicone resin as a main component may be used, or a modified silicone type obtained by graft polymerization with an organic resin such as a urethane resin, an epoxy resin, an alkyd resin, or the like may be used.
As the type of curable silicone resin, any curing reaction type such as addition type, condensation type, ultraviolet curing type, electron beam curing type, solventless type, etc. can be used.
Examples of curable silicone resins include polyhydrogensiloxanes such as polymethylhydrogensiloxane and polymethylhydrogensiloxane-polymethylsiloxane copolymers.

具体的には、信越化学工業（株）製ＫＳ－７７４、ＫＳ－７７５、ＫＳ－７７８、ＫＳ－７７９Ｈ、ＫＳ－８４７Ｈ、ＫＳ－８５６、Ｘ－６２－２４２２、Ｘ－６２－２４６１、Ｘ－６２－１３８７、ＫＮＳ－３０５１、Ｘ－６２－１４９６、ＫＮＳ３２０Ａ、ＫＮＳ３１６、Ｘ－６２－１５７４Ａ／Ｂ、Ｘ－６２－７０５２、Ｘ－６２－７０２８Ａ／Ｂ、Ｘ－６２－７６１９、及びＸ－６２－７２１３；ダウ・コーニング・アジア（株）製ＤＫＱ３－２０２、ＤＫＱ３－２０３、ＤＫＱ３－２０４、ＤＫＱ３－２０５、及びＤＫＱ３－２１０；ＧＥ東芝シリコーン（株）製ＹＳＲ－３０２２、ＴＰＲ－６７００、ＴＰＲ－６７２０、ＴＰＲ－６７２１、ＴＰＲ６５００、ＴＰＲ６５０１、ＵＶ９３００、ＵＶ９４２５、ＸＳ５６－Ａ２７７５、ＸＳ５６－Ａ２９８２、ＵＶ９４３０、ＴＰＲ６６００、ＴＰＲ６６０４、及びＴＰＲ６６０５；東レ・ダウコーニング（株）製ＳＲＸ３５７、ＳＲＸ２１１、ＳＤ７２２０、ＬＴＣ７５０Ａ、ＬＴＣ７６０Ａ、ＳＰ７２５９、ＢＹ２４－４６８Ｃ、ＳＰ７２４８Ｓ、及びＢＹ２４－４５２等の市販品が挙げられる。
さらに離型層の剥離性等を調整するために剥離コントロール剤を併用してもよい。 Specifically, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. KS-774, KS-775, KS-778, KS-779H, KS-847H, KS-856, X-62-2422, X-62-2461, X- 62-1387, KNS-3051, X-62-1496, KNS320A, KNS316, X-62-1574A/B, X-62-7052, X-62-7028A/B, X-62-7619, and X-62 -7213; Dow Corning Asia Co., Ltd. DKQ3-202, DKQ3-203, DKQ3-204, DKQ3-205, and DKQ3-210; GE Toshiba Silicone Co., Ltd. YSR-3022, TPR-6700, TPR- 6720, TPR-6721, TPR6500, TPR6501, UV9300, UV9425, XS56-A2775, XS56-A2982, UV9430, TPR6600, TPR6604, and TPR6605; , BY24-468C, SP7248S, and BY24-452.
Furthermore, a release control agent may be used in combination to adjust the release property of the release layer.

〈離型層を設ける方法〉
離型フィルムを構成する離型層は上述の塗布延伸法（インラインコーティング）等のフィルム製造工程内において、ポリエステルフィルム上に設けられてもよく、一旦製造したフィルム上に系外で塗布する、いわゆるオフラインコーティングを採用しても良く、何れの手法を採用してもよい。
塗布延伸法（インラインコーティング）については以下に限定するものではないが、例えば、逐次二軸延伸においては特に１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前にコーティング処理を施すことができる。塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に離型層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に離型層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、ポリエステルフィルムとして好適なフィルムを製造できる。 <Method for providing release layer>
The release layer constituting the release film may be provided on the polyester film in the film manufacturing process such as the coating stretching method (inline coating) described above, and is applied outside the system on the film once manufactured. Off-line coating may be adopted, and any method may be adopted.
The coating and stretching method (in-line coating) is not limited to the following, but for example, in sequential biaxial stretching, coating treatment may be applied after the first stage of stretching is completed and before the second stage of stretching. can. When a release layer is provided on a polyester film by a coating and stretching method, it is possible to apply simultaneously with stretching, and the thickness of the release layer can be reduced according to the stretching ratio, making it a film suitable as a polyester film. can be manufactured.

ポリエステルフィルムに離型層を設ける方法として、リバースグラビアコート、ダイレクトグラビアコート、ロールコート、ダイコート、バーコート、カーテンコート等、従来公知の塗工方式を用いることができる。塗工方式に関しては「コーティング方式」槇書店、原崎勇次著、１９７９年発行に記載例がある。 Conventionally known coating methods such as reverse gravure coating, direct gravure coating, roll coating, die coating, bar coating and curtain coating can be used as a method for providing a release layer on a polyester film. Regarding the coating method, there is an example described in "Coating Method" by Yuji Harasaki, published by Maki Shoten in 1979.

離型層を形成する際の硬化条件に関しては特に限定されるわけではなく、オフラインコーティングにより離型層を設ける場合、通常１００～２００℃程度で３～４０秒間程度、好ましくは１２０～１８０℃で３～４０秒間を目安として熱処理を行うのがよい。また、必要に応じて熱処理と紫外線照射等の活性エネルギー線照射とを併用してもよい。なお、活性エネルギー線照射による硬化のためのエネルギー源としては、従来から公知の装置、及びエネルギー源を用いることができる。 The curing conditions for forming the release layer are not particularly limited, and when the release layer is provided by offline coating, it is usually heated at about 100 to 200° C. for about 3 to 40 seconds, preferably at 120 to 180° C. It is preferable to perform the heat treatment for 3 to 40 seconds as a guideline. Moreover, you may combine heat processing and active-energy-ray irradiation, such as ultraviolet irradiation, as needed. As an energy source for curing by irradiation with active energy rays, conventionally known devices and energy sources can be used.

離型層の塗工量（乾燥後）は塗工性の面から、好ましくは０．００５～１ｇ／ｍ^２であり、より好ましくは０．００５～０．５ｇ／ｍ^２であり、さらに好ましくは０．０１～０．２ｇ／ｍ^２である。塗工量が０．００５ｇ／ｍ^２以上であれば、塗工性の面からの安定性を有し、均一な塗膜を得ることができる。１ｇ／ｍ^２以下であれば、離型層自体の塗膜密着性及び硬化性等が低下するおそれが少なくなる。 The coating amount (after drying) of the release layer is preferably 0.005 to 1 g/m ² , more preferably 0.005 to 0.5 g/m ² , and still more preferably from the viewpoint of coatability. is between 0.01 and 0.2 g/m ² . When the coating amount is 0.005 g/m ² or more, a uniform coating film can be obtained with stability in terms of coatability. When the amount is 1 g/m ² or less, there is little possibility that the release layer itself will deteriorate in coating film adhesion, curability, and the like.

（その他の層）
本発明の離型フィルムは、ポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有するが、ポリエステルフィルムに離型層が設けられていない面がある場合、当該離型層が設けられていない面には本発明の主旨を損なわない範囲において、接着層、帯電防止層、オリゴマー析出防止層等の塗布層を設けてもよい。
離型フィルムを構成するポリエステルフィルムには予め、コロナ処理、プラズマ処理等の表面処理を施してもよい。 (Other layers)
The release film of the present invention has a release layer on at least one side of the polyester film. Coating layers such as an adhesive layer, an antistatic layer, and an oligomer deposition prevention layer may be provided within the scope of the invention.
The polyester film constituting the release film may be previously subjected to a surface treatment such as corona treatment or plasma treatment.

［レーザー加工品の製造方法］
また本発明は、上述のレーザー加工用離型フィルムを、被加工品の少なくとも片面に被覆した後、該被加工品を赤外線領域の波長のレーザー光照射によって加工する工程を含む、レーザー加工品の製造方法に係るものである。
上述のレーザー加工用離型フィルムを、被加工品に被覆したままレーザー光照射により加工しても、離型フィルム由来の異物の発生等がほとんど生じないため被加工品の汚染を抑制することができる。また、上述のレーザー加工用離型フィルムは、離型フィルムとしての性能を有しているため、レーザー加工時において離型フィルムが被加工品から剥離することなく、またレーザー加工後に加工品から離型フィルムを容易に剥離することができる。 [Method for producing laser-processed product]
The present invention also provides a laser-processed product, comprising a step of coating the above-described release film for laser processing on at least one side of a workpiece, and then processing the workpiece by irradiating the workpiece with a laser beam having a wavelength in the infrared region. It relates to a manufacturing method.
Even if the above-mentioned release film for laser processing is coated on a workpiece and processed by laser light irradiation, almost no foreign matter derived from the release film occurs, so contamination of the workpiece can be suppressed. can. In addition, since the above-mentioned release film for laser processing has performance as a release film, the release film does not peel off from the workpiece during laser processing, and the release film does not separate from the workpiece after laser processing. The mold film can be easily peeled off.

（光学部材）
上記製造方法が奏する効果から、被加工品として異物の混入を嫌う光学部材が好適である。
光学部材としては、例えば、スマートフォン、タブレット及びパソコン等のＬＣＤ用偏光板、位相差板等のＬＣＤ構成部材製造用、ＰＤＰ構成部材製造用、並びに有機ＥＬ構成部材製造用等の各種ディスプレイ構成部材製造用の他、各種光学用途の部材が挙げられる。 (optical member)
Because of the effects of the above-described manufacturing method, an optical member that does not allow contamination by foreign matter is suitable as a work piece.
As an optical member, for example, for manufacturing LCD structural members such as polarizing plates for LCDs such as smartphones, tablets and personal computers, retardation plates, etc., for manufacturing PDP structural members, and for manufacturing various display structural members such as organic EL structural members. In addition to optical applications, members for various optical applications can be mentioned.

（レーザー光照射）
本発明の離型フィルムは、特に赤外線領域におけるレーザー加工性（切断、マーキング、トリミング、穴あけ等）が良好である。このことから、上記製造方法において被加工品は、好ましくは波長１０００～１３００ｎｍ、より好ましくは１０６０ｎｍのレーザー光の照射条件で加工されることによって、発明の効果を好適に発揮することができる。また、レーザー光の１パルスあたりのエネルギー密度は、レーザー加工性向上の観点から好ましくは１００～８００ｍＪ／ｃｍ^２である。また、レーザー光の繰り返し周波数は、レーザー加工性向上の観点から好ましくは６０～１５０Ｈｚである。
離型フィルムが被加工品の片面に被覆されている場合、レーザー光照射は、離型フィルム側からでも被加工品側からでもよいが、フィルム由来の異物発生低減の観点から被加工品側から照射することが好ましい。 (Laser beam irradiation)
The release film of the present invention has good laser processability (cutting, marking, trimming, drilling, etc.), particularly in the infrared region. For this reason, the object to be processed in the above production method can preferably exhibit the effects of the invention by being processed under irradiation conditions of laser light with a wavelength of preferably 1000 to 1300 nm, more preferably 1060 nm. In addition, the energy density per pulse of laser light is preferably 100 to 800 mJ/cm ² from the viewpoint of improving laser processing properties. Further, the repetition frequency of the laser light is preferably 60 to 150 Hz from the viewpoint of improving the laser processability.
When the release film is coated on one side of the work piece, the laser light irradiation may be from the release film side or the work piece side. Irradiation is preferred.

（粘着層）
レーザー加工用離型フィルムは、被加工品の少なくとも片面に粘着層を介して、被加工品と離型フィルムの離型層とが対向するように被覆することができる。粘着層を構成する粘着剤は、特に限定されないが、光学部材との接着性や低アウトガス性の観点からアクリル系粘着剤を使用することが好ましい。
アクリル系粘着剤は、官能基含有モノマーと、アクリル酸エステル、メタアクリル酸エステル等の他のモノマーとを共重合して得られるアクリル系共重合体が主成分として構成されるものが挙げられる。粘着剤には、必要に応じて溶媒、架橋剤、粘着付与剤、充填剤、着色剤、酸化防止剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤等をさらに含んでいてもよい。 (adhesive layer)
The release film for laser processing can be coated on at least one side of the workpiece with an adhesive layer interposed therebetween so that the workpiece and the release layer of the release film face each other. The pressure-sensitive adhesive that constitutes the pressure-sensitive adhesive layer is not particularly limited, but it is preferable to use an acrylic pressure-sensitive adhesive from the viewpoint of adhesion to optical members and low outgassing.
The acrylic pressure-sensitive adhesive includes, as a main component, an acrylic copolymer obtained by copolymerizing a functional group-containing monomer with another monomer such as an acrylic acid ester or a methacrylic acid ester. The pressure-sensitive adhesive may further contain a solvent, a cross-linking agent, a tackifier, a filler, a coloring agent, an antioxidant, an antistatic agent, an ultraviolet absorber, and the like, as necessary.

以下、本発明を実施例及び比較例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these.

本発明で用いた測定法及び評価法は次のとおりである。
（１）ポリエステルの固有粘度（ｄＬ／ｇ）の測定
ポリエステル（粒子を含む場合は粒子を除去したポリエステル）１ｇを精秤し、フェノール／テトラクロロエタン＝５０／５０（質量比）の混合溶媒１００ｍｌを加えて溶解させ、全自動溶液粘度計（センテック社製、「ＤＴ５５３」）を用いて３０℃で測定した。
（２）シリカ粒子の平均粒径（ｄ_５０：μｍ）の測定
遠心沈降式粒度分布測定装置（（株）島津製作所社製、「ＳＡ－ＣＰ３型」）を使用して測定した等価球形分布における積算（質量基準）５０％の値を平均粒径とした。 The measurement methods and evaluation methods used in the present invention are as follows.
(1) Measurement of intrinsic viscosity of polyester (dL / g) Polyester (polyester with particles removed if it contains particles) 1 g was accurately weighed, and 100 ml of a mixed solvent of phenol / tetrachloroethane = 50/50 (mass ratio) was added. It was added and dissolved, and measured at 30° C. using a fully automatic solution viscometer (manufactured by Sentech, “DT553”).
(2) Measurement of average particle diameter (d ₅₀ : μm) of silica particles The value of 50% of the integration (mass basis) was taken as the average particle size.

（３）離型フィルムの剥離性（離型性）評価
実施例及び比較例で得られた離型フィルムの離型層表面に、両面粘着テープ（日東電工（株）製、「Ｎｏ．３１Ｂ」、アクリル系粘着剤）の片面を貼り付けた後、５０ｍｍ×３００ｍｍのサイズにカットし、室温にて１時間放置後、引張試験機（（株）インテスコ製「インテスコモデル２００１型」）を使用し、引張速度３００ｍｍ／分の条件下、１８０°剥離で、剥離力を測定し、評価した。
なお、表１中に示したカッコ内の数値は剥離力（ｍＮ／ｃｍ）の測定値である。
（評価基準）
＜３００ｍｍ／分での剥離力＞
○：１０～２０ｍＮ／ｃｍの範囲（適切な剥離力）。
×：１０ｍＮ／ｃｍより小さい、もしくは、２０ｍＮ／ｃｍより大きい。 (3) Evaluation of peelability (releasability) of release film On the surface of the release layer of the release films obtained in Examples and Comparative Examples, a double-sided adhesive tape (Nitto Denko Co., Ltd., "No. 31B" , acrylic adhesive), cut it into a size of 50 mm × 300 mm, leave it at room temperature for 1 hour, and then use a tensile tester (“Intesco Model 2001” manufactured by Intesco Co., Ltd.) Then, the peel force was measured and evaluated by 180° peeling under the condition of a tensile speed of 300 mm/min.
The values in parentheses shown in Table 1 are measured peel strength (mN/cm).
(Evaluation criteria)
<Peel force at 300 mm/min>
◯: Range of 10 to 20 mN/cm (appropriate peel strength).
x: smaller than 10 mN/cm or larger than 20 mN/cm.

（４）光線透過率の測定
実施例及び比較例で得られた離型フィルムについて、分光光度計（（株）日立ハイテクフィールディング製、「Ｕ－３３１０」）により、波長１１００ｎｍでの光線透過率を測定し、評価した。
なお、表１中に示したカッコ内の数値は光線透過率（％）の測定値である。
（評価基準）
○：光線透過率が１０％以下。
△：光線透過率が１０％を越えて２０％以下。
×：光線透過率が２０％を越える。 (4) Measurement of light transmittance For the release films obtained in Examples and Comparative Examples, a spectrophotometer (manufactured by Hitachi High-Tech Fielding Co., Ltd., "U-3310") was used to measure light transmittance at a wavelength of 1100 nm. measured and evaluated.
The values in parentheses shown in Table 1 are measured values of light transmittance (%).
(Evaluation criteria)
○: Light transmittance is 10% or less.
Δ: Light transmittance exceeds 10% and is 20% or less.
x: Light transmittance exceeds 20%.

（５）離型フィルムのレーザー加工性評価（実用特性代用評価）
実施例及び比較例で得られた離型フィルムの離型面上に粘着剤（東洋インキ社製、「オリバインＢＰＳ６４２１」、溶剤型アクリル系粘着剤）を塗布した後、ガラスパネル（厚み：０．３３ｍｍ）と貼り合わせた状態で、ガラスパネル側から、ＹＡＧレーザー（エネルギー密度：６００ｍＪ／ｃｍ^２、周波数：２０Ｈｚ、波長：１０６０ｎｍ）を照射し、ガラスパネルを６０ｍｍ×１３０ｍｍサイズに切断した。切断面を光学顕微鏡により観察し、評価した。
（評価基準）
○：離型フィルム由来の異物付着がない。
△：離型フィルム由来の異物が極微量（異物の存在を目視で確認するのが困難）付着している。
×：離型フィルム由来の異物が明瞭（異物の存在を目視で容易に確認可能）に付着している。 (5) Laser processability evaluation of release film (practical property substitute evaluation)
After applying an adhesive ("Oribain BPS6421", solvent-based acrylic adhesive, manufactured by Toyo Ink Co., Ltd.) on the release surface of the release film obtained in Examples and Comparative Examples, a glass panel (thickness: 0.00) was applied. 33 mm), a YAG laser (energy density: 600 mJ/cm ² , frequency: 20 Hz, wavelength: 1060 nm) was irradiated from the glass panel side to cut the glass panel into a size of 60 mm×130 mm. The cut surface was observed with an optical microscope and evaluated.
(Evaluation criteria)
Good: No adhesion of foreign matter originating from the release film.
Δ: A very small amount of foreign matter derived from the release film adheres (it is difficult to visually confirm the presence of the foreign matter).
x: A foreign substance originating from the release film is clearly adhered (existence of the foreign substance can be easily confirmed by visual observation).

〈ポリエステルの製造〉
［製造例１］（ポリエステルＡ）
ジメチルテレフタレート１００質量部、エチレングリコール６０質量部及び酢酸マグネシウム・４水塩０．０９質量部を反応器にとり、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了した。次いで、エチレングリコールスラリーエチルアシッドフォスフェート０．０４質量部、三酸化アンチモン０．０３質量部、１００分で温度を２８０℃、圧力を１５ｍｍＨｇに達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に０．３ｍｍＨｇとした。４時間後、系内を常圧に戻し、固有粘度０．６１ｄＬ／ｇのポリエステルＡを得た。 <Production of polyester>
[Production Example 1] (Polyester A)
100 parts by mass of dimethyl terephthalate, 60 parts by mass of ethylene glycol, and 0.09 parts by mass of magnesium acetate tetrahydrate are placed in a reactor, heated to raise the temperature and methanol is distilled off, and transesterification is performed for 4 hours from the start of the reaction. The temperature was raised to 230° C. over a period of time to substantially complete the transesterification reaction. Next, 0.04 parts by mass of ethyl acid phosphate and 0.03 parts by mass of antimony trioxide in an ethylene glycol slurry were heated to 280° C. and a pressure of 15 mmHg in 100 minutes. 0.3 mmHg. After 4 hours, the pressure inside the system was returned to normal pressure to obtain polyester A having an intrinsic viscosity of 0.61 dL/g.

［製造例２］（ポリエステルＢ）
ジメチルテレフタレート１００質量部、エチレングリコール６０質量部及び酢酸マグネシウム・４水塩０．０９質量部を反応器にとり、加熱昇温すると共にメタノールを留去し、エステル交換反応を行い、反応開始から４時間を要して２３０℃に昇温し、実質的にエステル交換反応を終了した。次いで、エチレングリコールスラリーエチルアシッドフォスフェート０．０４質量部、三酸化アンチモン０．０３質量部、平均粒径１．５μｍのシリカ粒子を０．０１質量部添加した後、１００分で温度を２８０℃、圧力を１５ｍｍＨｇに達せしめ、以後も徐々に圧力を減じ、最終的に０．３ｍｍＨｇとした。４時間後、系内を常圧に戻し、固有粘度０．６１ｄＬ／ｇのポリエステルＢを得た。 [Production Example 2] (Polyester B)
100 parts by mass of dimethyl terephthalate, 60 parts by mass of ethylene glycol, and 0.09 parts by mass of magnesium acetate tetrahydrate are placed in a reactor, heated to raise the temperature and methanol is distilled off, and transesterification is performed for 4 hours from the start of the reaction. The temperature was raised to 230° C. over a period of time to substantially complete the transesterification reaction. Next, 0.04 parts by mass of ethyl acid phosphate, 0.03 parts by mass of antimony trioxide, and 0.01 parts by mass of silica particles having an average particle size of 1.5 μm were added to an ethylene glycol slurry, and the temperature was raised to 280° C. in 100 minutes. , the pressure reached 15 mmHg, and thereafter the pressure was gradually reduced to 0.3 mmHg. After 4 hours, the pressure inside the system was returned to normal pressure to obtain Polyester B having an intrinsic viscosity of 0.61 dL/g.

［製造例３］（ポリエステルＣ）
ポリエステルＡ中に酸化タングステン微粒子（富士色素（株）社製：ＦＵＪＩ－ＥＬ ＭＷＯ３ ♯４３３）を１０質量部添加する以外は製造例１と同様にして、固有粘度０．６２ｄＬ／ｇのポリエステルＣを得た。 [Production Example 3] (Polyester C)
Polyester C having an intrinsic viscosity of 0.62 dL/g was prepared in the same manner as in Production Example 1, except that 10 parts by mass of tungsten oxide fine particles (manufactured by Fuji Pigment Co., Ltd.: FUJI-EL MWO3 #433) was added to Polyester A. Obtained.

［製造例４］（ポリエステルＤ）
ポリエステルＡ中に酸化タングステン微粒子（富士色素（株）社製：ＦＵＪＩ－ＥＬ ＭＷＯ３ ♯４０１）を１０質量部添加する以外は製造例１と同様にして、固有粘度０．６２ｄＬ／ｇのポリエステルＤを得た。 [Production Example 4] (Polyester D)
Polyester D having an intrinsic viscosity of 0.62 dL/g was prepared in the same manner as in Production Example 1, except that 10 parts by mass of tungsten oxide fine particles (manufactured by Fuji Pigment Co., Ltd.: FUJI-EL MWO3 #401) was added to Polyester A. Obtained.

〈離型フィルムの製造〉
［実施例１］
ポリエステルＡ、Ｂをそれぞれ９０質量％、１０質量％の割合で混合した混合原料を最外層（表層）の原料とし、ポリエステルＡ、Ｃをそれぞれ９０質量％、１０質量％の割合で中間層の原料として、２台の押出機に各々を供給した。その後、各々２８５℃で溶融した後、４０℃に設定した冷却ロール上に、２種３層（表層／中間層／表層）の層構成で共押出しし、冷却固化させて未延伸シートを得た。
次いで、ロール周速差を利用してフィルム温度８５℃で縦方向に３．４倍延伸した後、テンターに導き、横方向に１２０℃で４．３倍延伸し、２２５℃で５秒間熱処理を行った後、横方向に３％弛緩し、厚さ３８μｍ（表層２μｍ、中間層３４μｍ）のポリエステルフィルムを得た。フィルムは両端部をスリットして１０００ｍｍ幅で１２０００ｍ長のフィルムロールとした。
その後、下記離型剤組成からなる離型剤を、塗布量（乾燥後）が０．１ｇ／ｍ^２になるようにリバースグラビアコート方式により塗設し、１２０℃、３０秒間熱処理した後、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの評価結果を表１に示す。 <Production of release film>
[Example 1]
A mixed raw material obtained by mixing polyesters A and B at a ratio of 90% by weight and 10% by weight, respectively, is used as a raw material for the outermost layer (surface layer), and polyesters A and C at a ratio of 90% by weight and 10% by weight, respectively. As such, each was fed to two extruders. After that, each was melted at 285°C, and then co-extruded on a cooling roll set at 40°C in a layer structure of 2 types and 3 layers (surface layer/intermediate layer/surface layer), cooled and solidified to obtain an unstretched sheet. .
Next, after stretching 3.4 times in the longitudinal direction at a film temperature of 85 ° C. using the difference in roll peripheral speed, it is guided to a tenter, stretched 4.3 times in the horizontal direction at 120 ° C., and heat-treated at 225 ° C. for 5 seconds. After that, the film was relaxed by 3% in the transverse direction to obtain a polyester film having a thickness of 38 μm (surface layer: 2 μm, middle layer: 34 μm). Both ends of the film were slit to form a film roll having a width of 1000 mm and a length of 12000 m.
After that, a release agent having the following release agent composition was applied by a reverse gravure coating method so that the coating amount (after drying) was 0.1 g/m ² , heat-treated at 120 ° C. for 30 seconds, and then released. A mold film was obtained. Table 1 shows the evaluation results of the obtained release film.

（離型剤組成）
・硬化型シリコーン樹脂（ＫＳ－８４７Ｈ：信越化学工業（株）製、付加型シリコーン樹脂）：９９質量％
・硬化剤（ＰＬ－５０Ｔ：信越化学工業（株）製）：１質量％
上記組成からなる離型剤を、メチルエチルケトン／トルエン混合溶媒（混合比率は１：１）で希釈し、濃度２質量％の塗布液を作成した。 (Release agent composition)
・ Curing type silicone resin (KS-847H: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., addition type silicone resin): 99% by mass
・ Curing agent (PL-50T: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.): 1% by mass
A release agent having the above composition was diluted with a mixed solvent of methyl ethyl ketone/toluene (mixing ratio: 1:1) to prepare a coating liquid having a concentration of 2% by mass.

［実施例２～実施例６及び比較例１］
表１に示すポリエステルフィルムの原料配合とした以外は、実施例１と同様にして製造し、離型フィルムを得た。得られた離型フィルムの評価結果を表１に示す。
［比較例２］
離型層を設けない以外は、実施例１と同様にして製造し、ポリエステルフィルムを得た。得られたフィルムの評価結果を表１に示す。 [Examples 2 to 6 and Comparative Example 1]
A release film was obtained in the same manner as in Example 1, except that the raw materials for the polyester film shown in Table 1 were blended. Table 1 shows the evaluation results of the obtained release film.
[Comparative Example 2]
A polyester film was obtained in the same manner as in Example 1, except that no release layer was provided. Table 1 shows the evaluation results of the obtained film.

本発明の離型フィルムは、被加工品に被覆したままレーザー光照射により加工しても、離型フィルム由来の異物の発生等がほとんど生じないため、例えば、各種光学部材に好適であり、また光学部材をレーザー光照射で加工してレーザー加工品を製造する方法に好適に利用できる。 The release film of the present invention is suitable for various optical members, for example, because even if it is processed by laser light irradiation while it is coated on a workpiece, it hardly causes the generation of foreign matter derived from the release film. It can be suitably used for a method of manufacturing a laser-processed product by processing an optical member with laser light irradiation.

Claims (6)

レーザー吸収剤を含有するポリエステルフィルムの少なくとも片面に離型層を有し、
前記ポリエステルフィルムが、レーザー吸収剤を含有しない層／レーザー吸収剤を含有する層／レーザー吸収剤を含有しない層の３層構成を有し、
前記レーザー吸収剤が、アンチモンドープ酸化錫、錫ドープ酸化インジウム、アンチモンドープ酸化亜鉛及び酸化タングステンから選ばれる１種又は２種以上である、
レーザー加工用離型フィルム。 Having a release layer on at least one side of a polyester film containing a laser absorber,
The polyester film has a three-layer structure of a layer containing no laser absorber / a layer containing a laser absorber / a layer containing no laser absorber,
The laser absorber is one or more selected from antimony-doped tin oxide, tin-doped indium oxide, antimony-doped zinc oxide and tungsten oxide.
Release film for laser processing. 前記レーザー吸収剤が、酸化タングステンである、請求項１に記載のレーザー加工用離型フィルム。 The release film for laser processing according to claim 1, wherein the laser absorber is tungsten oxide. 前記ポリエステルフィルム中の前記レーザー吸収剤の含有量が、０．１～３質量％である、請求項１又は２に記載のレーザー加工用離型フィルム。 3. The release film for laser processing according to claim 1, wherein the content of said laser absorber in said polyester film is 0.1 to 3% by mass. 光線透過率が、波長１０００～１３００ｎｍ領域において２０％以下である、請求項１～３のいずれかに記載のレーザー加工用離型フィルム。 The release film for laser processing according to any one of claims 1 to 3, which has a light transmittance of 20% or less in a wavelength range of 1000 to 1300 nm. 請求項１～４のいずれかに記載のレーザー加工用離型フィルムを、被加工品の少なくとも片面に被覆した後、該被加工品を赤外線領域の波長のレーザー光照射によって加工する工程を含むレーザー加工品の製造方法。 A laser comprising a step of coating the release film for laser processing according to any one of claims 1 to 4 on at least one side of a workpiece, and then processing the workpiece by irradiating the workpiece with a laser beam having a wavelength in the infrared region. Process for manufacturing processed goods. 前記被加工品が、光学部材である、請求項５に記載のレーザー加工品の製造方法。 6. The method of manufacturing a laser-processed product according to claim 5, wherein the processed product is an optical member.