JP7143740B2 - 画像検査装置および照明装置 - Google Patents
画像検査装置および照明装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7143740B2 JP7143740B2 JP2018222992A JP2018222992A JP7143740B2 JP 7143740 B2 JP7143740 B2 JP 7143740B2 JP 2018222992 A JP2018222992 A JP 2018222992A JP 2018222992 A JP2018222992 A JP 2018222992A JP 7143740 B2 JP7143740 B2 JP 7143740B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light emitting
- microlenses
- optical axis
- illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
上述の開示において、複数のマイクロレンズのうちの少なくとも一部のマイクロレンズの光軸が、少なくとも一部のマイクロレンズに対向する発光部の光軸とずれるように、複数のマイクロレンズが配置されている。
上述の開示において、照明部は、複数の照明要素に区画され、複数の照明要素のうちの少なくとも1つの照明要素において、少なくとも一部のマイクロレンズが、発光部のピッチよりも小さいピッチで配置されている。
上述の開示において、少なくとも一部のマイクロレンズは、規則性を乱すように配置される。
上述の開示において、照明部は、複数の発光部から出射される光のうち複数のマイクロレンズのそれぞれの周囲から漏れる光を遮るように構成された遮光部をさらに含む。
本開示の一例によれば、上述の開示において提供される画像検査装置が備える照明部を含む照明装置が提供される。
まず、図1を参照して、本発明が適用される場面の一例について説明する。図1は、本実施の形態に係る画像検査装置1の概要を示す模式図である。
次に、図2を参照しながら、画像検査装置1が適用される生産ラインの一例を説明する。図2は、本実施の形態に係る画像検査装置1が適用される生産ラインの一例を示す模式図である。
図3および図4を参照して、本実施の形態に係る照明装置の構成の一例を説明する。図3は、本実施の形態に係る照明装置の一例の一部断面を示す模式図である。図4は、本実施の形態に係る照明装置の一部を拡大した模式平面図である。
図12は、本実施の形態に係る画像検査装置によるパターン照明の1つの応用例を模式的に示す図である。図12に示されるように、制御装置100は、照明装置20からワークWに対して、ある照射パターンの光を照射させるとともに、その照射パターンが照射された状態でカメラ10にワークWを撮像させて画像データを取得する。図12には、いずれもリング状のパターンである、第1照射パターンおよび第2照射パターンが例示されている。このようなパターンは、たとえば図3に示された構成において、発光部31A,31Eを点灯させることによって実現可能である。
図20は、拡散反射面に対して位相シフト法を実施する際のパターン照明の変形例を説明するための図である。図21は、図20に示した位相シフト法(拡散反射)のための照明装置の照明パターンの別の例を説明するための図である。図20および図21に示された例では、特定の列(たとえば列C5)に配置された発光部31が発光する。列C5は、図17に示した列C4よりも外側(+Xの方向)に位置する。したがって撮像部(カメラ10)の光軸に対する光の出射角度が大きくなる。言い換えると、図16および図17に示された照射パターンよりも、照明装置20の発光面に対する光の出射角度は小さい。
図29は、変形例1に係る照明装置120の一部断面を示す模式図である。図3に示す照明装置20と比較して、照明装置120は、マイクロレンズアレイ40に替えてマイクロレンズアレイ140を備える。マイクロレンズアレイ140は、複数の発光部31にそれぞれ対向して配置された複数のマイクロレンズである、複数のレンズ141を含む。図29には、発光部31A~31Eにそれぞれ対向するレンズ141A~141Eが代表的に示されている。
以上のように、本実施の形態は以下のような開示を含む。
撮影画像を用いて対象物(W)を検査する画像検査装置(1)であって、
前記対象物(W)を撮影する撮影部(10)と、
前記対象物(W)と前記撮影部(10)との間に配置され、前記対象物(W)に向かう方向に光を照射するように構成されるとともに透光性を有する照明部(20,120,220,320)とを備え、
前記照明部(20,120,220,320)は、
マトリクス状に配列され、選択的に発光可能に構成された複数の発光部(31,31A-31E)と、
前記複数の発光部(31,31A-31E)の各々から発せられる前記光の照射方向を、各前記複数の発光部(31,31A-31E)の位置に対応した方向に制御するように構成された光学系(40,140,240,340)とを含む、画像検査装置。
前記光学系(40,140,240,340)は、
前記複数の発光部(31,31A-31E)にそれぞれ対向して設けられた複数のマイクロレンズ(41,41A-41E,141A-141E,241A-241E,341A-341E)を含む、構成1に記載の画像検査装置(1)。
前記複数のマイクロレンズ(41,41A-41E,341A-341E)のうちの少なくとも一部のマイクロレンズの光軸(42,42A-42E,342A-342E)が、前記少なくとも一部のマイクロレンズに対向する発光部(31,31A-31E)の光軸(32,32A-32E)とずれるように、前記複数のマイクロレンズ(41,41A-41E,341A-341E)が配置されている、構成2に記載の画像検査装置(1)。
前記照明部(20,120,220,320)は、複数の照明要素(21)に区画され、
前記複数の照明要素(21)のうちの少なくとも1つの照明要素において、前記少なくとも一部のマイクロレンズ(41,41A-41E,341A-341E)が、前記発光部(31,31A-31E)のピッチ(P1)よりも小さいピッチ(P2)で配置されている、構成3に記載の画像検査装置(1)。
前記少なくとも一部のマイクロレンズ(41,41A-41E,341A-341E)は、規則性を乱すように配置される、構成4に記載の画像検査装置(1)。
前記複数のマイクロレンズ(141A-141E,241A-241E)のうちの少なくとも一部のマイクロレンズの光軸(142A-142E,242A-242E)が、前記少なくとも一部のマイクロレンズに対向する発光部(32,32A-32E)の光軸に対して傾けられるように、前記複数のマイクロレンズ(141A-141E,241A-241E)が配置されている、構成2に記載の画像検査装置(1)。
前記照明部(20,120,220,320)は、
前記複数の発光部(31,31A-31E)から出射される光のうち前記複数のマイクロレンズ(41,41A-41E,141A-141E,241A-241E,341A-341E)のそれぞれの周囲から漏れる光を遮るように構成された遮光部(44)をさらに含む、構成2から構成6のいずれか1項に記載の画像検査装置(1)。
前記照明部は、
前記複数のマイクロレンズのうちの少なくとも一部のマイクロレンズと、前記少なくとも一部のマイクロレンズに対向する発光部との間に配置された遮光部(45)をさらに含み、
前記遮光部(45)は、前記少なくとも一部のマイクロレンズの光軸に対してずれた位置に形成されたピンホール(46)を有する、構成2に記載の画像検査装置(1)。
前記照明部は、
前記複数の発光部からの光を拡散させる光拡散部(47)をさらに備える、構成8に記載の画像検査装置(1)。
構成1から構成9のいずれか1項に記載の前記照明部を含む、照明装置(20,120,220,320)。
Claims (10)
- 撮影画像を用いて対象物を検査する画像検査装置であって、
前記対象物を撮影する撮影部と、
前記対象物と前記撮影部との間に配置され、前記対象物に向かう方向に光を照射するように構成されるとともに透光性を有する照明部とを備え、
前記照明部は、
マトリクス状に配列され、選択的に発光可能に構成された複数の発光部と、
前記複数の発光部の各々から発せられる前記光を、各前記複数の発光部の位置ごとに予め定められた方向に導くように構成された光学系とを含む、画像検査装置。 - 前記光学系は、
前記複数の発光部にそれぞれ対向して設けられた複数のマイクロレンズを含むマイクロレンズアレイである、請求項1に記載の画像検査装置。 - 前記複数のマイクロレンズのうちの少なくとも一部のマイクロレンズの光軸が、前記少なくとも一部のマイクロレンズに対向する発光部の光軸とずれるように、前記複数のマイクロレンズが配置されている、請求項2に記載の画像検査装置。
- 前記照明部は、複数の照明要素に区画され、
前記複数の照明要素のうちの少なくとも1つの照明要素において、前記少なくとも一部のマイクロレンズが、前記発光部のピッチよりも小さいピッチで配置されている、請求項3に記載の画像検査装置。 - 前記少なくとも一部のマイクロレンズは、規則性を乱すように配置される、請求項4に記載の画像検査装置。
- 前記複数のマイクロレンズのうちの少なくとも一部のマイクロレンズの光軸が、前記少なくとも一部のマイクロレンズに対向する発光部の光軸に対して傾けられるように、前記複数のマイクロレンズが配置されている、請求項2に記載の画像検査装置。
- 前記照明部は、
前記複数の発光部から出射される光のうち前記複数のマイクロレンズのそれぞれの周囲から漏れる光を遮るように構成された遮光部をさらに含む、請求項2から請求項6のいずれか1項に記載の画像検査装置。 - 前記照明部は、
前記複数のマイクロレンズのうちの少なくとも一部のマイクロレンズと、前記少なくとも一部のマイクロレンズに対向する発光部との間に配置された遮光部をさらに含み、
前記遮光部は、前記少なくとも一部のマイクロレンズの光軸に対してずれた位置に形成されたピンホールを有する、請求項2に記載の画像検査装置。 - 前記照明部は、
前記複数の発光部からの光を拡散させる光拡散部をさらに備える、請求項8に記載の画像検査装置。 - 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の前記照明部を含む、照明装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP19151181.5A EP3524967B1 (en) | 2018-02-07 | 2019-01-10 | Image inspection device and lighting device |
CN201910026273.6A CN110118776B (zh) | 2018-02-07 | 2019-01-11 | 图像检查装置以及照明装置 |
US16/248,810 US11567013B2 (en) | 2018-02-07 | 2019-01-16 | Image inspection device and lighting device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018019875 | 2018-02-07 | ||
JP2018019875 | 2018-02-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019138893A JP2019138893A (ja) | 2019-08-22 |
JP7143740B2 true JP7143740B2 (ja) | 2022-09-29 |
Family
ID=67693774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018222992A Active JP7143740B2 (ja) | 2018-02-07 | 2018-11-29 | 画像検査装置および照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7143740B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114271005A (zh) | 2019-07-29 | 2022-04-01 | 凯迪迪爱通信技术有限公司 | 控制装置、控制方法以及程序 |
JP7448858B2 (ja) | 2020-10-02 | 2024-03-13 | 日亜化学工業株式会社 | 光源装置及び導光アレイ部 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003098093A (ja) | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Ccs Inc | 検査用照明装置 |
JP2004502168A (ja) | 2000-06-28 | 2004-01-22 | テラダイン・インコーポレーテッド | 自動光学検査システム用の照明装置 |
WO2007026690A1 (ja) | 2005-08-31 | 2007-03-08 | Ccs Inc. | 同軸光照射装置 |
JP2010112735A (ja) | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Imac Co Ltd | 検査用照明装置 |
US20130169859A1 (en) | 2010-09-10 | 2013-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Imaging apparatus |
US20150253129A1 (en) | 2014-03-06 | 2015-09-10 | Omron Corporation | Inspection apparatus |
JP2016014632A (ja) | 2014-07-03 | 2016-01-28 | 日星電気株式会社 | 照明装置 |
US20160123892A1 (en) | 2014-10-31 | 2016-05-05 | Kla-Tencor Corporation | Illumination system, inspection tool with illumination system, and method of operating an illumination system |
US20170315273A1 (en) | 2014-11-21 | 2017-11-02 | Konica Minolta, Inc. | Lens array and light source unit |
US20170374355A1 (en) | 2014-12-22 | 2017-12-28 | Google Inc. | Integrated Camera System Having Two Dimensional Image Capture and Three Dimensional Time-of-Flight Capture With A Partitioned Field of View |
US20170374244A1 (en) | 2016-06-27 | 2017-12-28 | Krishna Swaminathan | Compact, low cost vcsel projector for high performance stereodepth camera |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6022124A (en) * | 1997-08-19 | 2000-02-08 | Ppt Vision, Inc. | Machine-vision ring-reflector illumination system and method |
WO1999022224A1 (en) * | 1997-10-29 | 1999-05-06 | Vista Computer Vision Ltd. | Illumination system for object inspection |
KR101033737B1 (ko) * | 2005-08-26 | 2011-05-09 | 씨씨에스 가부시키가이샤 | 광 조사 장치 및 광학 부재 |
JP5703561B2 (ja) * | 2009-12-29 | 2015-04-22 | オムロン株式会社 | 照明装置および照明装置の製造方法 |
-
2018
- 2018-11-29 JP JP2018222992A patent/JP7143740B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004502168A (ja) | 2000-06-28 | 2004-01-22 | テラダイン・インコーポレーテッド | 自動光学検査システム用の照明装置 |
JP2003098093A (ja) | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Ccs Inc | 検査用照明装置 |
WO2007026690A1 (ja) | 2005-08-31 | 2007-03-08 | Ccs Inc. | 同軸光照射装置 |
JP2010112735A (ja) | 2008-11-04 | 2010-05-20 | Imac Co Ltd | 検査用照明装置 |
US20130169859A1 (en) | 2010-09-10 | 2013-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Imaging apparatus |
US20150253129A1 (en) | 2014-03-06 | 2015-09-10 | Omron Corporation | Inspection apparatus |
JP2016014632A (ja) | 2014-07-03 | 2016-01-28 | 日星電気株式会社 | 照明装置 |
US20160123892A1 (en) | 2014-10-31 | 2016-05-05 | Kla-Tencor Corporation | Illumination system, inspection tool with illumination system, and method of operating an illumination system |
US20170315273A1 (en) | 2014-11-21 | 2017-11-02 | Konica Minolta, Inc. | Lens array and light source unit |
US20170374355A1 (en) | 2014-12-22 | 2017-12-28 | Google Inc. | Integrated Camera System Having Two Dimensional Image Capture and Three Dimensional Time-of-Flight Capture With A Partitioned Field of View |
US20170374244A1 (en) | 2016-06-27 | 2017-12-28 | Krishna Swaminathan | Compact, low cost vcsel projector for high performance stereodepth camera |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019138893A (ja) | 2019-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110186928B (zh) | 图像检查装置以及图像检查方法 | |
JP7187782B2 (ja) | 画像検査装置 | |
JP7176600B2 (ja) | 画像検査装置および画像検査方法 | |
CN109804238B (zh) | 光学检查装置 | |
CN110118776B (zh) | 图像检查装置以及照明装置 | |
JP7143740B2 (ja) | 画像検査装置および照明装置 | |
JP2006284212A (ja) | ムラ検査装置およびムラ検査方法 | |
TWI470368B (zh) | 凸狀圖樣形成方法、曝光裝置及光罩 | |
JP4281495B2 (ja) | 照明装置 | |
JP2005055196A (ja) | 基板検査方法及びその装置 | |
CN112964635A (zh) | 一种芯片检测方法以及*** | |
CN110118787B (zh) | 图像检查装置 | |
JP5541646B2 (ja) | ライン照明装置 | |
JP7459525B2 (ja) | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及びプログラム | |
WO2024042933A1 (ja) | 検査装置 | |
JP3661546B2 (ja) | レンズアレイの検査装置およびレンズアレイの検査方法 | |
JP2004212202A (ja) | 透光体の外観検査方法及び装置 | |
JP2020091132A (ja) | 透光性部材の表面欠陥検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220816 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7143740 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |