JP7138194B2 - 画像検査装置 - Google Patents
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Description
パネル形状の検査対象の欠陥の有無を検査する画像検査装置であって、
前記検査対象に沿って移動しながら前記検査対象を順次撮像していくことで前記検査対象を走査するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラを支持する多関節ロボットと、
前記多関節ロボットを駆動し、前記ラインセンサカメラを前記検査対象に沿って移動させる駆動制御部と、
前記ラインセンサカメラによる走査により得られる前記検査対象の画像に基づいて前記欠陥の有無を検査する画像検査を行う画像検査部と、
前記多関節ロボットにより支持され、前記多関節ロボットにより前記ラインセンサカメラとともに移動し、前記検査対象のうち前記ラインセンサカメラにより撮像される領域を照明する照明ランプと、
を備え、
前記駆動制御部は、前記検査対象の同一領域を、前記ラインセンサカメラにより、前記ラインセンサカメラ及び前記照明ランプの前記検査対象の表面に沿った一定方向に対する位置関係が異なる複数態様それぞれにて走査するよう、前記多関節ロボットを駆動し、
前記画像検査部は、前記複数態様それぞれでの各走査により得られる前記検査対象の画像それぞれに対して前記画像検査を行い、
前記複数態様は、前記ラインセンサカメラの進行方向が同方向又は逆方向で前記位置関係が互いに逆の第1態様及び第2態様と、前記ラインセンサカメラの進行方向が前記第1態様及び前記第2態様と直交する方向であり、前記位置関係が互いに逆の第3態様及び第4態様と、を含む。
上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係る画像検査装置は、
パネル形状の検査対象の欠陥の有無を検査する画像検査装置であって、
前記検査対象に沿って移動しながら前記検査対象を順次撮像していくことで前記検査対象を走査するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラを支持する多関節ロボットと、
前記多関節ロボットを駆動し、前記ラインセンサカメラを前記検査対象に沿って移動させる駆動制御部と、
前記ラインセンサカメラによる走査により得られる前記検査対象の画像に基づいて前記欠陥の有無を検査する画像検査を行う画像検査部と、
前記多関節ロボットにより支持され、かつ、前記ラインセンサカメラが固定された固定部材と、
前記固定部材に固定されており、それぞれが前記検査対象のうち前記ラインセンサカメラにより撮像される領域を照明する複数の照明ランプと、
を備え、
前記複数の照明ランプは、当該複数の照明ランプの各光軸が前記ラインセンサカメラの光軸に対して異なる角度で傾く位置及び向きで前記固定部材に固定されており、
前記駆動制御部は、前記検査対象の同一領域を、前記ラインセンサカメラにより複数回走査するよう、前記多関節ロボットを駆動し、
前記複数回の走査には、前記複数の照明ランプのうち点灯させる照明ランプが異なる2回以上の回数の走査が含まれ、
前記画像検査部は、前記複数回の走査それぞれにより得られる各画像それぞれに対して前記画像検査を行う。
本発明の一実施形態に係る画像検査装置100は、図1に示す構成を有し、検査対象S(図2等)について欠陥の有無を検査する。ここでは、検査対象Sが、液晶表示パネルに使用されるカラーフィルタ基板であるものとする。画像検査装置100は、カラーフィルタ基板の製造工程において使用され、当該製造工程において欠陥の有無の検査を行う。
(ラインセンサカメラ135による走査)
画像検査装置100では、ラインセンサカメラ135による検査対象Sの走査は、複数の態様にて行われる。具体的に、画像検査装置100では、正反射照明(図6)での走査、反射暗視野照明(図7)での走査、及び、同方向暗視野照明(図8)での走査を行う。さらに、上記3つの走査それぞれについて、第1経路から第4経路での走査(図9~図12)が行われる。なお、上記各走査において、駆動制御部141は、照明カメラユニット130の光軸L1~L4の交点が検査対象Sの表面上に位置するよう、多関節ロボット110及び移動機構120を制御し、照明カメラユニット130を移動させる。また、上記各走査では、第1ランプ132~第3ランプ134のいずれかからの照明光のみで、検査対象Sが照明されるよう、第1ランプ132~第3ランプ134のいずれかが点灯し、かつ、照明カメラユニット130等の周囲は遮光される。
正反射照明での走査を行う際、駆動制御部141は、多関節ロボット110及び移動機構120を駆動し、照明カメラユニット130を、図6に示す姿勢等を維持しながら、検査対象Sに沿って移動させる。正反射照明での走査では、図6に示すように、軸R13(照明カメラユニット130の中心軸)が検査対象Sの表面の垂線Hと一致するよう、照明カメラユニット130の姿勢が制御される。正反射照明での走査において、ランプ制御部142は、図6に示すように、第2ランプ133を点灯させ、第1ランプ132及び第3ランプ134を消灯させる。カメラ制御部143は、検査対象Sに沿って移動する照明カメラユニット130のラインセンサカメラ135に適宜のタイミング(詳細は後述)で撮像動作を行わせ、ラインセンサカメラ135に検査対象Sの走査を実行させる。正反射照明での走査では、点灯している第2ランプ133の光軸L2とラインセンサカメラ135の光軸L4とのそれぞれが垂線Hに対して反対方向に20度傾いている。ラインセンサカメラ135は、第2ランプ133が出射し、検査対象Sの表面が正反射した照明光を受光する。つまり、ラインセンサカメラ135は、正反射照明された検査対象Sを撮像(走査)する。
反射暗視野照明での走査を行う際、駆動制御部141は、多関節ロボット110及び移動機構120を駆動し、照明カメラユニット130を、図7に示す姿勢等を維持しながら、検査対象Sに沿って移動させる。反射暗視野照明での走査では、図7に示すように、軸R13(照明カメラユニット130の中心軸)が検査対象Sの表面の垂線Hに対して10度傾くよう、照明カメラユニット130の姿勢が制御される。反射暗視野照明での走査において、ランプ制御部142は、第3ランプ134を点灯させ、第1ランプ132及び第2ランプ133を消灯させる。カメラ制御部143は、検査対象Sに沿って移動する照明カメラユニット130のラインセンサカメラ135に適宜のタイミングで撮像動作を行わせ、ラインセンサカメラ135に検査対象Sの走査を実行させる。反射暗視野照明での走査では、点灯している第3ランプ134の光軸L3が垂線Hに対して60度傾いており、ラインセンサカメラ135の光軸L4が垂線Hに対して光軸L3とは反対方向に30度傾いている。ラインセンサカメラ135は、第3ランプ134が出射し、検査対象Sの表面が反射した照明光を受光する。つまり、ラインセンサカメラ135は、反射暗視野にて検査対象Sを撮像(走査)する。
同方向暗視野照明での走査を行う際、駆動制御部141は、多関節ロボット110及び移動機構120を駆動し、照明カメラユニット130を、図8に示す姿勢等を維持しながら、検査対象Sに沿って移動させる。同方向暗視野照明での走査では、図8に示すように、軸R13(照明カメラユニット130の中心軸)が検査対象Sの表面の垂線Hに対して40度傾くよう、照明カメラユニット130の姿勢が制御される。同方向暗視野照明での走査において、ランプ制御部142は、第1ランプ132を点灯させ、第2ランプ133及び第3ランプ134を消灯させる。カメラ制御部143は、検査対象Sに沿って移動する照明カメラユニット130のラインセンサカメラ135に適宜のタイミングで撮像動作を行わせ、ラインセンサカメラ135に検査対象Sの走査を実行させる。同方向暗視野照明での走査では、点灯している第1ランプ132の光軸L1が垂線Hから40°傾いており、ラインセンサカメラ135の光軸L4が垂線Hから光軸L1と同方向に60°傾いている。ラインセンサカメラ135は、第1ランプ132が出射し、検査対象Sの表面が反射した照明光を受光する。つまり、ラインセンサカメラ135は、同方向暗視野にて検査対象Sを撮像(走査)する。同方向暗視野照明と反射暗視野照明とは、ラインセンサカメラ135と検査対象を照明するランプ(第1ランプ132又は第3ランプ134)との位置関係が異なる。具体的に、前者は、ラインセンサカメラ135の光軸L4と第1ランプ132の光軸L1とが、垂線Hに対して同じ方向に傾いている一方、ラインセンサカメラ135の光軸L4と第3ランプ134の光軸L3とが、垂線Hを挟んで反対方向に傾いている点で相違している。
画像検査装置100は、正反射照明で第1経路~第4経路の各経路での走査を行ったあと、反射暗視野照明で第1経路~第4経路の各経路での走査を行い、その後、同方向暗視野照明で第1経路~第4経路の各経路での走査を行う。
図9に第1経路K1を示す。第1経路K1は、検査対象Sの上方かつ左側に位置する照明カメラユニット130を、上から下に移動(実線参照)させ、その後、右方向にスライド(破線参照)させ、その後、下から上に移動させ(実線参照)、その後、右方向にスライド(破線参照)させ、以降、当該上下方向への移動(実線参照)及び右方向へのスライド(破線参照)を繰り返す経路である。駆動制御部141は、多関節ロボット110及び移動機構120を制御し、照明カメラユニット130を、第1ランプ132~第3ランプ134の長手方向が上下方向(走査時の進行方向)と直交し、かつ、第1ランプ132~第3ランプ134よりもラインセンサカメラ135の方が下方に位置する向きで、第1経路K1に沿って移動させる。駆動制御部141は、照明カメラユニット130を上から下及び下から上に移動させる期間(開始タイミング及び終了タイミング)をカメラ制御部143に通知する。カメラ制御部143は、前記通知に従って、ラインセンサカメラ135を制御し、照明カメラユニット130を上から下及び下から上に移動させる期間において、ラインセンサカメラ135に撮像動作を行わせ、これにより、第1ランプ132~第3ランプ134のいずれかにより照明された検査対象Sの表面をラインセンサカメラ135により走査する。カメラ制御部143は、照明カメラユニット130を右方向へスライド移動させるときは、走査を行わないようラインセンサカメラ135を制御する。つまり、ラインセンサカメラ135は、第1経路K1における実線部分において走査を行い、破線部分では走査を行わない。後述の第2経路K2~第4経路K4についても同様で、実線部分では走査が行われ、破線部分では走査が行われない。ラインセンサカメラ135は、走査時に、一ライン分のライン画像の画像データを波長帯ごとに個別に順次出力していく。
図10に第2経路K2を示す。第2経路K2は、検査対象Sの下方かつ右側に位置する照明カメラユニット130を、第1経路K1とは逆方向に移動させる経路である。駆動制御部141は、照明カメラユニット130を、第1ランプ132~第3ランプ134の長手方向が上下方向(走査時の進行方向)と直交し、かつ、第1ランプ132~第3ランプ134よりもラインセンサカメラ135の方が上方に位置する向き(つまり、各ランプとラインセンサカメラ135との検査対象Sの表面の所定方向(ここでは、例えば、上下方向)に対する位置関係が第1経路K1と逆の態様)で、第2経路K2に沿って移動させる。なお、第2経路K2は、第1経路K1と同じ経路であってもよい(但し、各ランプとラインセンサカメラ135との前記所定方向に対する位置関係は、第1経路K1と逆とする)。
図11に第3経路K3を示す。第3経路K3は、検査対象Sの左方かつ上側に位置する照明カメラユニット130を、左から右に移動(実線参照)させ、その後、下方にスライド(破線参照)させ、その後、右から左に移動させ(実線参照)、その後、下方にスライドさせ、以降、当該左右方向への移動(実線参照)及び下方へのスライド(破線参照)を繰り返す経路である。駆動制御部141は、照明カメラユニット130を、第1ランプ132~第3ランプ134の長手方向が左右方向(走査時の進行方向)と直交し、かつ、第1ランプ132~第3ランプ134よりもラインセンサカメラ135の方が右側に位置する向きで、第3経路K3に沿って移動させる。
図12に第4経路K4を示す。第4経路K4は、検査対象Sの右方かつ下側に位置する照明カメラユニット130を、第3経路K3とは逆方向に移動させる経路である。駆動制御部141は、照明カメラユニット130を、第1ランプ132~第3ランプ134の長手方向が左右方向(走査時の進行方向)と直交し、かつ、第1ランプ132~第3ランプ134よりもラインセンサカメラ135の方が左側に位置する向き(つまり、各ランプとラインセンサカメラ135との検査対象Sの表面の所定方向(ここでは、例えば、上下方向。左右方向としてもよい)に対する位置関係が第3経路K3と逆の態様)で、第4経路K4に沿って移動させる。なお、第4経路K4は、第3経路K3と同じ経路であってもよい(但し、第1ランプ132~第3ランプ134の各ランプとラインセンサカメラ135との前記所定方向に対する位置関係は、第3経路K3と逆とする)。
画像検査部144は、ラインセンサカメラ135から走査時に順次出力されるライン画像の画像データを順次受け取り、記憶部145に格納していく。画像検査部144は、所定のタイミング(例えば、経路K1~K4における一つの実線部分の走査が終了したタイミング。駆動制御部141及びカメラ制御部143から通知されるものとする)で、記憶部145に格納した画像データを組み合わせ(一つの実線部分の走査で得られた複数のライン画像を組み合わせ)、一枚の撮像画像を生成する。ラインセンサカメラ135は、当該ラインセンサカメラ135が可能な最も狭い波長帯にて各ライン画像を出力するものとする(なお、全ての波長帯のライン画像を出力してもよいし、そのうちの一部の波長帯のライン画像を出力してもよい)。ここでのラインセンサカメラ135は、100以上(特に、100~600のうちのいずれかの数)の波長帯(バンド)のライン画像を出力できるハイパースペクトルカメラであるとよい。画像検査部144は、同じ波長帯の画像データ同士(一つの実線部分の走査で得られた複数のライン画像)を組み合わせ、一枚の撮像画像(ラインセンサカメラ135の走査により撮像された一枚の撮像画像)を生成する。画像検査部144は、例えば、第1経路K1での走査で、上から下に向けてラインセンサカメラ135による走査が行われたときには、記憶部145のRAM等に設けられた描画領域に、同じ波長帯のライン画像を古いものから順に上から下に配置し、一枚の撮像画像を生成する(この生成は、波長帯ごとに行われる)。画像検査部144は、例えば、第1経路K1での走査で、下から上にラインセンサカメラ135により走査が行われたときには、記憶部145のRAM等に設けられた描画領域に、同じ波長帯のライン画像を古いものから順に下から上に配置していく(この生成は、波長帯ごとに行われる)。これにより、各ランプとラインセンサカメラ135との前記所定方向に対する位置関係が同じであれば、ラインセンサカメラ135の走査方向によらず、同じ撮像画像が得られる。なお、前記位置関係が異なる場合には、ラインセンサカメラ135の走査方向が同じであっても、第1ランプ132~第3ランプ134による照明方向が異なるので異なる撮像画像が得られることになる(特に、暗視野照明の場合)。つまり、第1経路K1と第2経路K2とでは、異なる撮像画像が得られ、第3経路K3と第4経路K4とでも、異なる撮像画像が得られる。画像検査部144は、上記3つの照明態様(正反射照明、反射暗視野照明、同方向暗視野照明)それぞれ、及び、第1経路~第4経路それぞれについて、別々に撮像画像を生成する(同じ経路であっても、照明態様毎に異なる撮像画像が得られる)。
画像検査部144は、前記で生成した複数の撮像画像(合成後の撮像画像のみであってもよいし、合成前の撮像画像及び合成後の撮像画像の適宜の組み合わせであってもよい。合成前の撮像画像のみとしてもよい。また、合成前又は合成後の撮像画像の全ての撮像画像のうちの一部の複数の撮像画像であってもよい。)それぞれについて画像検査を行う(図13も参照)。例えば、画像検査部144は、記憶部145に格納した一の撮像画像に対して、エッジ強調等の画像処理を行い、その後、2値化処理を行う。上記正反射照明では、欠陥が生じた部分で他の正常な部分とは異なる光の干渉(例えば、透明な保護膜の上面で反射した照明光と、保護膜とカラーフィルタ層などとの境界で反射した照明光との光の干渉)等が生じ、又は、欠陥が生じた部分で照明光が正反射されず、撮像画像において当該欠陥が生じた部分が例えば暗く写る。このため、2値化の閾値としては、欠陥の部分が黒となる値を用意する(実験等により予め設定しておく)。上記反射暗視野照明及び同方向暗視野照明では、欠陥が生じた部分が照明光を乱反射等してラインセンサカメラ135に向けて反射するため、撮像画像において当該欠陥が生じた部分が明るく写る。このため、2値化の閾値としては、欠陥の部分が白となる値を用意する(実験等により予め設定しておく)。画像検査部144は、2値化後の画像における黒(正反射照明時)又は白(反射暗視野照明及び同方向暗視野照明時)の画素についてラベリング処理を行い、黒又は白の画素の集まりが所定の面積以上となった場合に、欠陥有りと判定する。なお、画像検査の方法として、例えば、欠陥形状を示すテンプレート画像を予め用意したパターンマッチング等を採用してもよい。
この実施の形態では、第1ランプ132~第3ランプ134及びラインセンサカメラ135を有する照明カメラユニット130を多関節ロボット110により移動させるので、照明カメラユニット130を移動させる機構がコンパクトとなっている。
本発明は、上記実施の形態に限定されない。上記実施の形態について種々の変更を施してもよい。
検査対象Sは、パネル状のもの(四角形状でも、楕円形、円形、多角形状であってもよい)であればよく、例えば、液晶表示装置などを構成する、ガラス製の基材に透明電極を設けた基板であってもよい。また、検査対象Sは、液晶表示装置などを構成する、ガラス製の基材に各種回路を設け、保護膜を形成したものなどであってもよい。なお、前記各種回路に形成異常があったとき(例えばある部分の幅が意図したものより狭いなどのとき)は、カラーフィルタ層又はブラックマトリクス層を設ける場合と同様、当該形成異常による保護膜の欠陥が生じ得る。また、検査対象Sは、シリコンウェハーに所定の膜(例えば透明膜)を形成したものなどであってもよい。
多関節ロボットは、水平多関節ロボットであってもよい。また、多関節ロボットの軸数は、任意であるが、6軸以上であることが好ましい。6軸以上であることにより、照明カメラユニット130を精密に移動させることができる。
照明の態様は、上記に限らず他の照明の態様であってもよい。また、上記各照明態様における、検査対象Sの表面の垂線Hに対するラインセンサカメラ135の光軸L4の傾き(角度)、及び、検査対象Sの表面の垂線Hに対する第1ランプ132~第4ランプ134の光軸L1~L3それぞれの傾きは、適宜変更してもよい。なお、正反射照明のためのラインセンサカメラ135等の配置は、検査対象Sの表面の垂線Hに対する、ラインセンサカメラ135の光軸L4の傾きの角度と第2ランプ133の光軸L2の傾きの角度とが同じで、ラインセンサカメラ135と第2ランプ133とが前記垂線Hを挟んで反対に位置する配置であればよい。反射暗視野照明のためのラインセンサカメラ135等の配置は、検査対象Sの表面の垂線Hに対する、ラインセンサカメラ135の光軸L4の傾きの角度と第3ランプ134の光軸L3の傾きの角度とが異なり、ラインセンサカメラ135と第2カメラ133とが前記垂線Hを挟んで反対に位置する配置であればよい。同方向暗視野照明のためのラインセンサカメラ135等の配置は、検査対象Sの表面の垂線Hに対する、ラインセンサカメラ135の光軸L4の傾きの角度と第1ランプ132の光軸L2の傾きの角度とが異なり、ラインセンサカメラ135と第1ランプ133とが前記垂線Hに対して同方向に位置する配置であればよい。
ベース131は、ラインセンサカメラ135と、第1ランプ132~第4ランプ134と、の位置関係を、照明カメラユニット130を移動させて走査を行う前(画像検査を行う前)に調整する調整機構を備えてもよい。例えば、図14及び15に示すように、カメラ支持部131Cにスリット孔131CAを設け、当該スリット孔131CAを通りラインセンサカメラ135に螺号するネジ131Dによりラインセンサカメラ135をカメラ支持部131Cに取り付ける。これにより、ネジ131Dをゆるめ、ラインセンサカメラ135の向きや位置を調整し、ネジ131Dを締めることにより、ラインセンサカメラ135の向きや位置を調整できる。第1ランプ132~第4ランプ134についても同様に、向きや位置を調整できる機構を設けるとよい。これにより、各光軸L1~L4の向き等を微調整できる。
画像検査部144は、複数のライン画像を組みあわせた撮像画像のみに基づいて画像検査を行ってもよい。つまり、画像検査部144は、前記所望の波長帯の撮像画像を生成しなくてもよい(上記波長帯の異なる複数の撮像画像を合成しなくてもよい)。
上記では、3つの照明態様すべてにおいて、波長帯の異なる複数の撮像画像それぞれについて画像検査を行っているが、反射暗視野照明及び/又は同方向暗視野照明については、所定の波長帯の1つの撮像画像に基づいて画像検査を行ってもよい(マルチスペクトルカメラを使用しなくてもよい)。複数経路にて走査を行うのは、反射暗視野照明及び/又は同方向暗視野照明のみとして、正反射については単一の経路にて走査を行ってもよい。これらのようにすることで、効率の良い欠陥検査が可能となる。
照明カメラユニット130は、多関節ロボット110以外の駆動装置により駆動させてもよい。複数の照明態様のうち少なくとも一部の照明態様は、ラインセンサカメラ135の向き(検査対象Sの表面の垂線Hに対する光軸L4の角度)を一定とし、点灯させるランプ(異なる向き及び位置に設けられたランプ。上記では第1ランプ132~第3ランプ134)を異ならせたものでもよい。複数の照明態様のうち少なくとも一部の照明態様は、点灯させるランプは共通で、ラインセンサカメラ135ないし照明カメラユニット130の向き(検査対象Sの表面の垂線Hに対する光軸L4の角度)が異なってもよい。
照明カメラユニット130に、検査対象Sとの距離を測定するためのセンサを取り付け、駆動制御部141は、検査対象Sに対する走査時において、当該センサにより、検査対象Sと照明カメラユニット130との距離が一定になるよう、多関節ロボット110を制御してもよい。
照明カメラユニット130側にて、ライン画像を組みあわせて一枚の撮像画像を生成するようにしてもよい。
本明細書で開示する構成を以下に列挙する。なお、下記(A)及び(B)の各構成は、互いに組みあわせてもよい。
前記検査対象に沿って移動しながら前記検査対象を順次撮像していくことで前記検査対象を走査するラインセンサカメラ(例えば、ラインセンサカメラ135)と、
前記ラインセンサカメラを支持する多関節ロボット(例えば、多関節ロボット110)と、
前記多関節ロボットを駆動し、前記ラインセンサカメラを前記検査対象に沿って移動させる駆動制御部(例えば、駆動制御部141)と、
前記ラインセンサカメラによる走査により得られる前記検査対象の画像(例えば、ライン画像、ライン画像を組みあわせた所定の波長帯の撮像画像、複数の波長帯の画像を組みあわせた撮像画像)に基づいて前記欠陥の有無を検査する画像検査を行う画像検査部(例えば、画像検査部144)と、
を備える画像検査装置。
ようにしてもよい。
前記駆動制御部は、前記検査対象の同一領域(例えば、検査対象Sの一部の領域)を、前記ラインセンサカメラにより、前記ラインセンサカメラ及び前記照明ランプの前記検査対象の表面に沿った一定方向(例えば、上下方向又は左右方向)に対する位置関係が異なる複数態様(例えば、第1経路K1~第4経路K4での走査)それぞれにて走査するよう、前記多関節ロボットを駆動し、
前記画像検査部は、前記複数態様それぞれでの各走査により得られる前記検査対象の画像それぞれに対して前記画像検査を行う、
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
前記固定部材に固定されており、それぞれが前記検査対象のうち前記ラインセンサカメラにより撮像される領域を照明する複数の照明ランプ(例えば、第1ランプ132~第3ランプ134)と、をさらに備え、
前記複数の照明ランプは、当該複数の照明ランプの各光軸が前記ラインセンサカメラの光軸に対して異なる角度で傾く位置及び向きで前記固定部材に固定されており、
前記駆動制御部は、前記検査対象の同一領域を、前記ラインセンサカメラにより複数回走査するよう(例えば、正反射照明、反射暗視野照明、同方向暗視野照明による走査)、前記多関節ロボットを駆動し、
前記複数回の走査には、前記複数の照明ランプのうち点灯させる照明ランプが異なる2回以上の回数の走査が含まれ(例えば、第1ランプ132~第3ランプ134のいずれかを点灯させる)、
前記画像検査部は、前記複数回の走査それぞれにより得られる各画像それぞれに対して前記画像検査を行う、
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
検査対象を撮像するマルチスペクトルカメラ(例えば、ラインセンサカメラ135)と、
前記マルチスペクトルカメラにより前記検査対象を撮像して得られる、波長帯が異なる複数の画像(例えば、波長帯A~Bの撮像画像、波長帯A~Cの撮像画像、及び、波長帯C~Fの撮像画像・・・など。波長帯A、B、C・・・F・・・の各撮像画像すべて又はこれらのうちの一部の複数枚の撮像画像であってもよい。)それぞれごとに前記欠陥の有無を検査する画像検査を行う画像検査部(例えば、画像検査部144)と、
を備える画像検査装置。
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
前記マルチスペクトルカメラは、前記検査対象からの正反射光を受光することで前記検査対象を撮像し、
前記画像検査部は、前記マルチスペクトルカメラが前記正反射光を受光して得られる前記複数の画像それぞれごとに欠陥の有無を検査する、
ようにしてもよい。
Claims (8)
- パネル形状の検査対象の欠陥の有無を検査する画像検査装置であって、
前記検査対象に沿って移動しながら前記検査対象を順次撮像していくことで前記検査対象を走査するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラを支持する多関節ロボットと、
前記多関節ロボットを駆動し、前記ラインセンサカメラを前記検査対象に沿って移動させる駆動制御部と、
前記ラインセンサカメラによる走査により得られる前記検査対象の画像に基づいて前記欠陥の有無を検査する画像検査を行う画像検査部と、
前記多関節ロボットにより支持され、前記多関節ロボットにより前記ラインセンサカメラとともに移動し、前記検査対象のうち前記ラインセンサカメラにより撮像される領域を照明する照明ランプと、
を備え、
前記駆動制御部は、前記検査対象の同一領域を、前記ラインセンサカメラにより、前記ラインセンサカメラ及び前記照明ランプの前記検査対象の表面に沿った一定方向に対する位置関係が異なる複数態様それぞれにて走査するよう、前記多関節ロボットを駆動し、
前記画像検査部は、前記複数態様それぞれでの各走査により得られる前記検査対象の画像それぞれに対して前記画像検査を行い、
前記複数態様は、前記ラインセンサカメラの進行方向が同方向又は逆方向で前記位置関係が互いに逆の第1態様及び第2態様と、前記ラインセンサカメラの進行方向が前記第1態様及び前記第2態様と直交する方向であり、前記位置関係が互いに逆の第3態様及び第4態様と、を含む、
画像検査装置。 - 前記多関節ロボットは、六軸以上の多関節ロボットである、
請求項1に記載の画像検査装置。 - 前記照明ランプは、暗視野照明を行う位置及び向きで配置されている、
請求項1又は2に記載の画像検査装置。 - パネル形状の検査対象の欠陥の有無を検査する画像検査装置であって、
前記検査対象に沿って移動しながら前記検査対象を順次撮像していくことで前記検査対象を走査するラインセンサカメラと、
前記ラインセンサカメラを支持する多関節ロボットと、
前記多関節ロボットを駆動し、前記ラインセンサカメラを前記検査対象に沿って移動させる駆動制御部と、
前記ラインセンサカメラによる走査により得られる前記検査対象の画像に基づいて前記欠陥の有無を検査する画像検査を行う画像検査部と、
前記多関節ロボットにより支持され、かつ、前記ラインセンサカメラが固定された固定部材と、
前記固定部材に固定されており、それぞれが前記検査対象のうち前記ラインセンサカメラにより撮像される領域を照明する複数の照明ランプと、
を備え、
前記複数の照明ランプは、当該複数の照明ランプの各光軸が前記ラインセンサカメラの光軸に対して異なる角度で傾く位置及び向きで前記固定部材に固定されており、
前記駆動制御部は、前記検査対象の同一領域を、前記ラインセンサカメラにより複数回走査するよう、前記多関節ロボットを駆動し、
前記複数回の走査には、前記複数の照明ランプのうち点灯させる照明ランプが異なる2回以上の回数の走査が含まれ、
前記画像検査部は、前記複数回の走査それぞれにより得られる各画像それぞれに対して前記画像検査を行う、
画像検査装置。 - 前記駆動制御部は、前記複数回の走査のうちの2回以上の回数の走査それぞれにて、前記ラインセンサカメラの光軸の前記検査対象の表面の垂線に対する角度が異なるよう、前記多関節ロボットを駆動する、
請求項4に記載の画像検査装置。 - 前記複数の照明ランプは、前記検査対象の表面の垂線に対して前記ラインセンサカメラの光軸と同じ方向に傾いた光軸にて暗視野照明を行う位置に設けられた第1照明ランプと、正反射照明を行う位置に設けられた第2照明ランプと、前記検査対象の表面の垂線に対して前記ラインセンサカメラの光軸と反対方向に傾いた光軸にて暗視野照明を行う位置に設けられた第3照明ランプと、を含む、
請求項4又は5に記載の画像検査装置。 - 前記固定部材は、前記ラインセンサカメラと前記複数の照明ランプとの位置関係を調整する調整機構を備える、
請求項4~6のいずれか1項に記載の画像検査装置。 - 前記検査対象は、パネル状の基材の表面に膜が形成された基板である、
請求項1~7のいずれか1項に記載の画像検査装置。
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