JP7133923B2 - 成形型、光学素子、及び光学素子の製造方法 - Google Patents
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Description
また、光学素子は、センサー面の裏側の被照射面の散乱光の使用が規定される全域において前記被照射面における散乱光量の大小と線形の相関性を有するSpc値が100〔1/mm〕以下であり、光透過性を有する基材と、当該基材の計測対象側の表面を覆って被照射面として機能するとともに表側に前記センサー面を有する金属膜とを備えており、基材は、樹脂で形成されていてもよい。
図面を参照して、本発明の一実施形態に係る成形型、光学素子及びその製造方法について説明する。
ここで、Z(x,y)は、対象表面の位置(x,y)における高さであり、nは、対象表面上の山頂点の数を示す。
以下、成形型や光学素子の具体的な実施例について説明する。まず、固定金型41のコア部51の素材を加工し、その端部に成形面51tを形成する。成形面51tの形成に際しては、まず研削を行い、その後鏡面研磨を行った。コア部51の材料としては、STAVAX(商標)又はアンビロイ(商標)を用いた。成形面51tの仕上げとしての鏡面研磨には、ラップ研磨盤を用いて、普通研磨と超研磨との2種類を行った。普通研磨と超研磨との違いは研磨剤であり、超研磨用の研磨剤Bは、普通研磨の研磨剤Aを改良してより滑らかな面を形成できるようにしたものである。このように条件を変えて得た多数のコア部51について、キーエンス製のVX-250で対物レンズ×50を使用して、表面形状の測定を行った。以下の表1は、コア部51(つまり、試作したコア部Y、Z、A~F)の鏡面の材質、鏡面の研磨方法、表面粗さ(Ra(算術平均粗さ)、Rq(二乗平均平方根高さ)、Rz(最大高さ)又はRt(最大断面高さ))、及びSpc値をまとめたものである。
〔表1〕
〔表2〕
以上の表2において、散乱光量(散乱光SLの光量)については、コア部Eによって作製した基材Eから作製した光学素子Eで得た散乱光量を基準として他のコアA~D、F、Y、Zによって作製した基材A~D、F、Y、Zから得た光学素子A~D、F、Y、Zの散乱光量を規格化した。また、性能(S/N比)の判定欄については、十分な感度で標的物質82を検出できた場合を記号「◎」で示し、標的物質82を明確に検出できたなかった場合を記号「×」で示し、ノイズレベルが高いながらも辛うじて標的物質82を検出できた場合を記号「○」で示している。
Claims (12)
- 表面プラズモンを利用した計測に用いられる光学素子の基材用の成形型であって、
前記基材の計測対象側の表面に形状を転写するための成形面の散乱光の使用が規定される全域において前記光学素子の被照射面における散乱光量の大小と線形の相関性を有するSpc値が100〔1/mm〕以下である成形型。 - 前記成形面のSpc値が30〔1/mm〕以上である、請求項1に記載の成形型。
- 前記成形面のSpc値が40〔1/mm〕以上60〔1/mm〕以下である、請求項1及び2のいずれか一項に記載の成形型。
- 前記基材は、射出成形、熱プレス成形、UV硬化成形、及び熱硬化成形のいずれかによって形成され、
前記基材の計測対象側の表面に形状を転写する成形面を有する金属又は樹脂製のコア部と、前記コア部を周囲から保持する周囲型とを有し、
前記コア部において、前記成形面の散乱光の使用が規定される全域は、Spc値を評価する対象である、請求項1~3のいずれか一項に記載の成形型。 - 表面プラズモンを利用した計測に用いられる光学素子であって、
センサー面の裏側の被照射面の散乱光の使用が規定される全域において前記被照射面における散乱光量の大小と線形の相関性を有するSpc値が28〔1/mm〕以上100〔1/mm〕以下である光学素子。 - 光透過性を有する基材と、当該基材の計測対象側の表面を覆って前記被照射面として機能するとともに表側に前記センサー面を有する金属膜とを備える、請求項5に記載の光学素子。
- 表面プラズモンを利用した計測に用いられる光学素子であって、
センサー面の裏側の被照射面の散乱光の使用が規定される全域において前記被照射面における散乱光量の大小と線形の相関性を有するSpc値が100〔1/mm〕以下であり、
光透過性を有する基材と、当該基材の計測対象側の表面を覆って前記被照射面として機能するとともに表側に前記センサー面を有する金属膜とを備えており、
前記基材は、樹脂で形成されている光学素子。 - 前記基材は、熱可塑性樹脂、UV硬化性樹脂、及び熱硬化性樹脂のいずれか1つである、請求項7に記載の光学素子。
- 前記基材は、成形型を用いた成形によって形成されている、請求項7及び8のいずれか一項に記載の光学素子。
- 前記金属膜は、金、銀、アルミニウム、白金、銅、チタン、及びクロムのいずれか1つ、又はこれらの2つ以上を含む合金で形成されている、請求項6~9のいずれか一項に記載の光学素子。
- 表面プラズモンを利用した計測に用いられる光学素子の製造方法であって、
光学素子の基材は成形型を用いて成形され、
前記成形型のうち前記基材の計測対象側の表面に形状を転写するための成形面の散乱光の使用が規定される全域において前記光学素子の被照射面における散乱光量の大小と線形の相関性を有するSpc値が30〔1/mm〕以上100〔1/mm〕以下である光学素子の製造方法。 - 前記成形型は、前記基材の計測対象側の表面に形状を転写するとともにSpc値を評価する対象として、金属製のコア部を有し、
前記金属製のコア部は、炭素鋼、アルミニウム合金、銅合金、超硬、及びチタン合金のいずれか1つ以上を含んでいる、請求項11に記載の光学素子の製造方法。
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