JP7130631B2 - 導体の製造方法、配線基板の製造方法及び導体形成用組成物の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は上記事情に鑑み、大気中で実施でき、表面の平滑性に優れる導体を形成可能な導体の製造方法、配線基板の製造方法及び導体形成用組成物の製造方法を提供することを課題とする。
<1>ケト酸と銅イオンとから形成される第一の銅錯体と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体と、を含む組成物を基板に付与して組成物層を形成する工程と、前記組成物層にレーザ照射を行って銅を析出させる工程と、を含む導体の製造方法。
<2>第二の銅錯体がアミン系銅錯体である、<1>に記載の導体の製造方法。
<3> 前記レーザ照射がCO2レーザ又はErレーザを用いて行われる、<1>又は<2>に記載の導体の製造方法。
<4>前記レーザ照射がパターン状に行われる、<1>~<3>のいずれか1項に記載の導体の製造方法。
<5>大気中で行われる、<1>~<4>のいずれか1項に記載の導体の製造方法。
<6>前記基板が樹脂基板である、<1>~<5>のいずれか1項に記載の導体の製造方法。
<7>基板と、前記基板上に配置される銅配線とを備える配線基板の製造方法であり、ケト酸と銅イオンとから形成される第一の銅錯体と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体と、を含む組成物を前記基板に付与して組成物層を形成する工程と、前記組成物層にレーザ照射を行って銅を析出させる工程と、を含む配線基板の製造方法。
<8>第二の銅錯体がアミン系銅錯体である、<7>に記載の配線基板の製造方法。
<9>前記レーザ照射がCO2レーザ又はErレーザを用いて行われる、<7>又は<8>に記載の配線基板の製造方法。
<10>前記レーザ照射がパターン状に行われる、<7>~<9>のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
<11>大気中で行われる、<7>~<10>のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
<12>前記基板が樹脂基板である、<7>~<11>のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
<13>ケト酸と銅イオンとから構成される第一の銅錯体と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体と、を含む導体形成用組成物。
<14>第一の銅錯体がケト酸銅錯体である、<13>に記載の導体形成用組成物。
<15>第二の銅錯体がアミン系銅錯体である、<13>又は<14>に記載の導体形成用組成物。
本開示において「工程」との語には、他の工程から独立した工程に加え、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の目的が達成されれば、当該工程も含まれる。
本開示において「~」を用いて示された数値範囲には、「~」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において各成分は該当する物質を複数種含んでいてもよい。組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、各成分の含有率又は含有量は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率又は含有量を意味する。
本開示の導体の製造方法は、ケト酸と銅イオンとから形成される第一の銅錯体と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体と、を含む組成物を基板に付与して組成物層を形成する工程と、前記組成物層にレーザ照射を行って銅を析出させる工程と、を含む。
本開示の配線基板の製造方法は、基板と、前記基板上に配置される銅配線とを備える配線基板の製造方法であって、ケト酸と銅イオンとから形成される第一の銅錯体と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体と、を含む組成物を基板に付与して組成物層を形成する工程と、前記組成物層にレーザ照射を行って銅を析出させる工程と、を含む。
本開示の導体形成用組成物は、ケト酸と銅イオンから構成される第一の銅錯体と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体と、を含む。
(組成物の調製)
α-ケト酸(グリオキシル酸)を水酸化ナトリウムで中和し、α-ケト酸のナトリウム塩を得た。このα-ケト酸ナトリウム塩を水に溶解し、硫酸銅を水に溶解したものを加えた。この混合液を撹拌すると、薄い青色の沈殿物としてα-ケト酸銅錯体が析出した。析出したα-ケト酸銅錯体を回収し、アミノエタノールとエタノールの混合溶媒に溶解させた。この溶液に、ギ酸銅をメチルアミンのメタノール溶液に溶解させたものを添加して、メチルアミン銅錯体を生成し、第一の銅錯体としてα-ケト酸銅錯体と、第二の銅錯体としてメチルアミン銅錯体と、を含む組成物を調製した。
組成物中のα-ケト酸銅錯体とメチルアミン銅錯体のモル比は1:1とし、α-ケト酸銅錯体とメチルアミン銅錯体の合計の組成物全体における含有率は銅濃度として1M(mol/L)とした。
調製した組成物をガラス基板上に塗布し、CO2レーザ(レーザ出力:6W)をパターン状(パターン幅:200μm)に大気中で照射した。照射部には、銅が析出した。照射後の基板をアミノエタノール溶液に浸漬し、銅が析出した部分以外の組成物層を除去した。次いで乾燥し、導体が表面に形成された基板を得た。
銅錯体としてα-ケト酸銅錯体のみを含むこと以外は上記と同様にして組成物を調製し、この組成物を用いた以外は上記と同様にして基板上に導体を形成した。次いで、両者の導体の表面の状態を光学顕微鏡で観察した。その結果、図1に示すように、α-ケト酸銅錯体のみを含む組成物を用いて形成した導体(左)に比べ、α-ケト酸銅錯体とメチルアミン銅錯体を含む組成物を用いて形成した導体(右)の方が表面の平滑性に優れていた。
(組成物の調製)
α-ケト酸銅(グリオキシル酸銅)0.85gを2-アミノエタノール1mlとエタノール2mlの混合物に溶解させ、1.7Mのグリオキシル酸銅溶液を調製した。別で、ギ酸銅・4水和物1.105gを40%メチルアミンメタノール3mlに溶解させ、1.7Mのメチルアミン銅錯体溶液を調製した。この二つの溶液を混合することで、第一の銅錯体としてα-ケト酸銅錯体と、第二の銅錯体としてメチルアミン銅錯体と、を含む組成物を調製した。
調製した組成物をスライドガラスにスピンコーティング(3000rpm、30秒)し、マイクロコンタクトスタンパーを押し当てて、スタンパーに組成物を付着させ、これをアルミナ基板にスタンピングして、微細パターンの組成物層を作製した。80℃、10分でプレベイクを行い、CO2レーザを照射して(レーザと組成物層間の距離:145mm、掃引速度:20mm/s、出力:8.0W)、導体を得た。次いで、導体の無電解銅めっきを行った。無電解銅めっきは、上村工業株式会社製の「スルカップELC-SP」を用いて、60℃、3、6、9及び15分の条件で実施した。これにより、パターン幅が約5μmの銅配線を形成した。
(組成物の調製)
α-ケト酸銅(グリオキシル酸銅)0.5gを2-アミノエタノール1mlとエタノール2mlの混合物に溶解させ、1.0Mのグリオキシル酸銅溶液を調製した。別で、ギ酸銅・4水和物0.65gを40%メチルアミンメタノール3mlに溶解させ、1.0Mのメチルアミン銅錯体溶液を調製した。この二つの溶液を混合することで、第一の銅錯体としてα-ケト酸銅錯体と、第二の銅錯体としてメチルアミン銅錯体と、を含む組成物を調製した。
ポリイミドフィルムの片面に、UV照射(10mW/cm2、ポリイミドフィルムとUVランプ間の距離:2.0cm)を2分間実施した。次いで、調製した組成物をUV照射したポリイミドフィルム上にスピンコーティング(2000rpm、30秒)し、プレベイク(80℃、10分)を行って組成物層を形成した。次いで、CO2レーザをパターン状(パターン幅:200μm)に照射(レーザと組成物層間の距離:140mm、掃引速度:20mm/s、出力:2.0W)した。その後、純水で非照射領域の組成物層を除去し、エタノールで乾燥することで、パターン状の導体を得た。次いで、導体の無電解銅めっきを行った。無電解銅めっきは、上村工業株式会社製の「スルカップELC-SP」を用いて、60℃、10分の条件で実施した。これにより、パターン幅が約200μmの銅配線を形成した。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、および技術規格は、個々の文献、特許出願、および技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に援用されて取り込まれる。
Claims (14)
- ケト酸と銅イオンとから形成される第一の銅錯体の溶液と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体(ただし、ピペリジン環又はピペラジン環を有する多価のアミノ化合物が銅イオンと配位結合したものを除く)の溶液と、を混合して組成物を得る工程と、前記組成物を基板に付与して組成物層を形成する工程と、前記組成物層にレーザ照射を行って銅を析出させる工程と、を含み、第一の銅錯体と第二の銅錯体のモル比(第一の銅錯体:第二の銅錯体)が9:1~1:9の範囲内である、導体の製造方法。
- 第二の銅錯体がアミン系銅錯体である、請求項1に記載の導体の製造方法。
- 前記レーザ照射がCO2レーザ又はErレーザを用いて行われる、請求項1又は請求項2に記載の導体の製造方法。
- 前記レーザ照射がパターン状に行われる、請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の導体の製造方法。
- 大気中で行われる、請求項1~請求項4のいずれか1項に記載の導体の製造方法。
- 前記基板が樹脂基板である、請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の導体の製造方法。
- 基板と、前記基板上に配置される銅配線とを備える配線基板の製造方法であり、ケト酸と銅イオンとから形成される第一の銅錯体の溶液と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体(ただし、ピペリジン環又はピペラジン環を有する多価のアミノ化合物が銅イオンと配位結合したものを除く)の溶液と、を混合して組成物を得る工程と、前記組成物を前記基板に付与して組成物層を形成する工程と、前記組成物層にレーザ照射を行って銅を析出させる工程と、を含み、第一の銅錯体と第二の銅錯体のモル比(第一の銅錯体:第二の銅錯体)が9:1~1:9の範囲内である、配線基板の製造方法。
- 第二の銅錯体がアミン系銅錯体である、請求項7に記載の配線基板の製造方法。
- 前記レーザ照射がCO2レーザ又はErレーザを用いて行われる、請求項7又は請求項8に記載の配線基板の製造方法。
- 前記レーザ照射がパターン状に行われる、請求項7~請求項9のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
- 大気中で行われる、請求項7~請求項10のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
- 前記基板が樹脂基板である、請求項7~請求項11のいずれか1項に記載の配線基板の製造方法。
- ケト酸と銅イオンとから構成される第一の銅錯体の溶液と、窒素原子を含有する配位子と銅イオンとから形成される第二の銅錯体(ただし、ピペリジン環又はピペラジン環を有する多価のアミノ化合物が銅イオンと配位結合したものを除く)の溶液と、を混合する工程を含み、第一の銅錯体と第二の銅錯体のモル比(第一の銅錯体:第二の銅錯体)が9:1~1:9の範囲内である、導体形成用組成物の製造方法。
- 第二の銅錯体がアミン系銅錯体である、請求項13に記載の導体形成用組成物の製造方法。
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