JP7127413B2 - 抵抗素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、特許文献1に記載された抵抗素子では、ワイヤボンディング時に、第2絶縁膜にクラックが発生すると、電極と抵抗層とが短絡する可能性がある。
本発明の実施形態に係る抵抗素子は、図1に示すように、半導体基板1の一方の面1a上に設けられた第1絶縁膜2と、第1絶縁膜2上にそれぞれ形成された抵抗層3a、第1補助膜3b及び第2補助膜3cのパターンとを基礎としている。図2に示すように、第1補助膜3bは、抵抗層3aから離間した平面パターンであり、第2補助膜3cは、第1補助膜3bとは異なる方向において、抵抗層3aから離間した平面パターンである。図1に示すように、抵抗層3a、第1補助膜3b、第2補助膜3cの上には、第2絶縁膜4(層間絶縁膜)、第1電極5a(表面電極)及び第2電極5b(表面電極)、並びに保護膜6がこの順に積層されている。図2のA-A方向から見た断面図が図1に対応する。本発明の実施形態に係る抵抗素子は、図2に示すように、例えば、第1電極5a及び第2電極5bが並んでいる方向を長手方向とする矩形形状の平面パターンを有している。本発明の実施形態に係る抵抗素子のチップサイズは、例えば2.8mm×2.5mm程度である。
また、本発明の実施形態に係る抵抗素子は、パッド領域の下方に、クラック8a,8bの受け皿を備えるため、クラック8a,8bの発生や進展を止めるために第1電極5aや第2電極5b、第2絶縁膜4、第1絶縁膜2を厚膜化する必要がなく、製造コストを低減できる。また、クラック発生をリジェクトする、スクリーニング試験の必要がなくなる。
ちなみに、例えば、半導体基板の一方の面側に抵抗層及び第1電極をこの順に設け、他方の面側に第2電極を設けた縦型の抵抗素子では、互いに対向する第1電極及び第2電極(パッド領域)からなる並行平板が容量成分となりうる。それゆえ、これらのパッド領域が、高周波動作環境において、寄生容量成分として抵抗動作特性を阻害する要因になる可能性がある。
また、抵抗層3aの厚み方向に電圧が印加されない構造となる点でも、第2絶縁膜4や第1絶縁膜2の厚膜化を必要としなくなり、製造コストを低減できる。さらに、半導体基板1の電気特性が抵抗値に影響しないので、半導体基板1の仕様が不問になり、材料コストを低減できる。したがって、本発明の実施形態に係る抵抗素子によれば、縦型の抵抗素子に比べ、高周波動作に優れ、製造コストが低い薄膜抵抗体を実現することができる。
次に、図5~図13を参照して、本発明の実施形態に係る抵抗素子の製造方法を説明する。なお、以下に述べる抵抗素子の製造方法や例示的に示した数値や材料等は一例であり、特許請求の範囲に記載した趣旨の範囲であれば、これ以外の種々の製造方法により実現可能であることは勿論である。
上記のように、本発明の実施形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなるであろう。
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に選択的に設けられた抵抗層と、
前記抵抗層から離間した第1補助膜と、
前記第1補助膜とは異なる方向において、前記抵抗層から離間した第2補助膜と、
前記抵抗層、並びに前記第1及び第2補助膜を被覆するように、前記第1絶縁膜上に設けられた第2絶縁膜と、
前記抵抗層に接続され、前記第1補助膜の上方となる前記第2絶縁膜上に配置された第1電極と、
前記第1電極と離間して前記抵抗層に接続され、前記第2補助膜の上方となる前記第2絶縁膜上に配置された第2電極と、
を備えることを特徴とする抵抗素子。 - 前記第1及び第2補助膜は、前記抵抗層と同じ材料からなることを特徴とする請求項1に記載の抵抗素子。
- 半導体基板上に第1絶縁膜を形成する工程と、
抵抗層、前記抵抗層から離間した第1補助膜、前記第1補助膜とは異なる方向において、前記抵抗層から離間した第2補助膜を、それぞれ前記第1絶縁膜上に選択的に形成する工程と、
前記抵抗層、並びに前記第1及び第2補助膜を被覆するように、前記第1絶縁膜上に第2絶縁膜を堆積する工程と、
前記抵抗層の前記第1補助膜側の一部を露出する第1コンタクトホール、前記抵抗層の前記第2補助膜側の一部を露出する第2コンタクトホールを、前記第2絶縁膜にそれぞれ開孔する工程と、
前記第1コンタクトホールを介して前記抵抗層に接続する第1電極を前記第1補助膜の上方に、前記第2コンタクトホールを介して前記抵抗層に接続する第2電極を前記第2補助膜の上方に、それぞれ形成する工程と
を含むことを特徴とする抵抗素子の製造方法。 - 前記第1及び第2補助膜は、前記抵抗層と同じ材料からなることを特徴とする請求項3に記載の抵抗素子の製造方法。
- 抵抗層、前記抵抗層から離間した第1補助膜、前記第1補助膜とは異なる方向において、前記抵抗層から離間した第2補助膜を、それぞれ前記第1絶縁膜上に選択的に形成する工程は、
前記第1絶縁膜上にポリシリコン層を形成する工程と、
前記ポリシリコン層をパターニングすることにより、前記抵抗層、前記第1補助膜および前記第2補助膜を形成する工程と、
を備えることを特徴とする請求項4に記載の抵抗素子の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018146880A JP7127413B2 (ja) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 抵抗素子及びその製造方法 |
US16/455,128 US11189685B2 (en) | 2018-08-03 | 2019-06-27 | Resistance element and manufacturing method of resistance element |
CN201910584376.4A CN110797326A (zh) | 2018-08-03 | 2019-07-01 | 电阻元件及其制造方法 |
DE102019117711.1A DE102019117711A1 (de) | 2018-08-03 | 2019-07-01 | Widerstandselement und herstellungsverfahren eines widerstandselements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018146880A JP7127413B2 (ja) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 抵抗素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020021909A JP2020021909A (ja) | 2020-02-06 |
JP7127413B2 true JP7127413B2 (ja) | 2022-08-30 |
Family
ID=69168229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018146880A Active JP7127413B2 (ja) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 抵抗素子及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11189685B2 (ja) |
JP (1) | JP7127413B2 (ja) |
CN (1) | CN110797326A (ja) |
DE (1) | DE102019117711A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7180359B2 (ja) * | 2018-12-19 | 2022-11-30 | 富士電機株式会社 | 抵抗素子 |
JP2022094379A (ja) | 2020-12-15 | 2022-06-27 | エイブリック株式会社 | 抵抗回路及び当該抵抗回路を備える電流検出回路 |
CN116995066B (zh) * | 2023-06-30 | 2024-06-04 | 宁波鼎声微电子科技有限公司 | 一种igbt单晶硅门极电阻器及其制造方法 |
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-
2018
- 2018-08-03 JP JP2018146880A patent/JP7127413B2/ja active Active
-
2019
- 2019-06-27 US US16/455,128 patent/US11189685B2/en active Active
- 2019-07-01 DE DE102019117711.1A patent/DE102019117711A1/de active Pending
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017045797A (ja) | 2015-08-25 | 2017-03-02 | 三菱電機株式会社 | トランジスタ素子及び半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110797326A (zh) | 2020-02-14 |
JP2020021909A (ja) | 2020-02-06 |
DE102019117711A1 (de) | 2020-02-06 |
US11189685B2 (en) | 2021-11-30 |
US20200044011A1 (en) | 2020-02-06 |
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