JP7127132B2 - Vacuum welding furnace and welding method - Google Patents

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Description

真空溶接炉及び溶接方法であり、真空溶接の技術分野に属する。 It is a vacuum welding furnace and welding method, and belongs to the technical field of vacuum welding.

ダイオード、トランジスタ、サイリスタ又はブリッジ等の電子部品を製造する際、トップシートとボトムシートとの間にチップを半田付けする必要があり、該プロセスは積層と呼ばれる。積層の具体的な作業プロセスは、以下の通りである。まず、ボトムシートの上側に半田ペーストを塗布し、チップをボトムシートの具体的な位置に置き、その後、下側に半田ペーストが塗布されたトップシートをボトムシートの上側に積み重ね、さらに、溶接金型のトップカバーを溶接金型の底板に蓋合わせ、最後に、溶接金型を溶接炉内に送り込んで溶接する。シートの溶接は、真空炉内で行う必要がある。 When manufacturing electronic components such as diodes, transistors, thyristors or bridges, it is necessary to solder the chips between the top and bottom sheets, a process called lamination. The specific working process of lamination is as follows. First, apply solder paste on the upper side of the bottom sheet, place the chip in a specific position on the bottom sheet, then stack the top sheet with solder paste on the lower side on the upper side of the bottom sheet, and then add the weld metal The top cover of the mold is fitted to the bottom plate of the welding mold, and finally the welding mold is fed into the welding furnace for welding. Welding of the sheets should be done in a vacuum furnace.

出願番号２０１４２０８２０４１８．２の中国実用新案特許は、連続型の真空溶接炉を開示し、使用過程において以下のような技術的問題がある。 A Chinese utility model patent with application number 201420820418.2 discloses a continuous vacuum welding furnace, which has the following technical problems in the process of use.

（１）加熱領域加熱領域加熱領域その機械テーブルに真空処理装置に連係する加熱領域が１つのみが設置され、半田ペーストを融解させて溶接効果を奏するためにシートを一定の温度に加熱する必要があり、シートの昇温は、移動の時間を必要とするため、加熱時間が長くなる。また、その加熱領域は、トップカバーに設置され、放射によってシートを加熱するため、伝熱効率が低く、さらにシートの加熱時間を長くし、その溶接効率を低下させてしまう。 (1) Heating area Heating area Heating area The machine table has only one heating area connected to the vacuum processing device, which needs to heat the sheet to a certain temperature in order to melt the solder paste and produce a welding effect. However, the heating time of the sheet is long because it takes time to move the sheet. In addition, the heating area is installed on the top cover and heats the sheet by radiation, so the heat transfer efficiency is low, and the heating time of the sheet is lengthened, thereby reducing the welding efficiency.

（２）伝動機構がシートを搬送しやすくするために、シートの両端が支持台から伸出しなければならず、伝動機構は、シート両端の伸出部を介してシートを持ち上げて搬送する。加熱後のシートが柔らかいため、シート両端の伸出する部分は、下へ曲がる。よって、シート両端のチップの位置とシートの接点との位置合わせができず、大量の不良品が発生してしまう。 (2) In order for the transmission mechanism to easily convey the sheet, both ends of the sheet must extend from the support base, and the transmission mechanism lifts and conveys the sheet through the extensions of the sheet at both ends. Since the sheet is soft after heating, the extending portions at both ends of the sheet are bent downward. Therefore, the positions of the chips on both ends of the sheet cannot be aligned with the contacts of the sheet, resulting in a large number of defective products.

（３）溶接後のシートの温度が高すぎ、冷却速度が遅く、真空処理装置から搬出されたシートは、酸化されやすい。また、機械テーブルから搬出されたシートの温度が依然として高すぎるため、作業者はシートを直接処理することができない。 (3) The temperature of the sheet after welding is too high, the cooling rate is slow, and the sheet carried out from the vacuum processing apparatus is easily oxidized. Also, the temperature of the sheets leaving the machine table is still too high for the operator to handle them directly.

本発明が解決しようとする技術的問題は、従来技術の問題点を解決し、シートの搬送過程においてシートを加熱し、溶接速度が速く、且つシートの酸化を回避する真空溶接炉及び溶接方法を提供することである。 The technical problem to be solved by the present invention is to provide a vacuum welding furnace and welding method that solves the problems of the prior art, heats the sheet during the sheet conveying process, increases the welding speed, and avoids oxidation of the sheet. to provide.

本発明がその技術的課題を解決するために用いる技術的解決手段は、溶接室と、炉蓋と、搬送機構とを含み、炉蓋は、溶接室の上側を蓋合わせされ、溶接室と炉蓋との間に溶接チャンバが形成し、溶接室の下部に溶接台が設けられた真空溶接炉であって、前記溶接台の供給端に近接する側は、加熱領域であり、溶接台の排出端に近接する側は、冷却領域であり、負圧吸引モジュールは、加熱領域の冷却領域に近接する一端の上側に設置され、炉蓋に昇降可能に取付けされ、負圧吸引モジュールの底部と加熱領域と囲み密閉した負圧チャンバを形成し、溶接室または炉蓋にシールドガス導入管が設置されることを特徴とする真空溶接炉である。 The technical solution used by the present invention to solve its technical problem includes a welding chamber, a furnace lid, and a conveying mechanism, the furnace lid is fitted on the upper side of the welding chamber, and the welding chamber and the furnace A vacuum welding furnace having a welding chamber formed between the lid and a welding table at the bottom of the welding chamber, the side of the welding table adjacent to the feed end being the heating zone and the discharge of the welding table. The side adjacent to the end is the cooling area, and the negative pressure suction module is installed on the upper side of one end of the heating area adjacent to the cooling area, is mounted on the furnace lid so as to be able to move up and down, and the bottom of the negative pressure suction module and the heating area. A vacuum welding furnace characterized by forming a sealed negative pressure chamber surrounded by a region and having a shield gas introduction pipe installed in the welding chamber or the furnace lid.

好ましくは、前記溶接台は、複数の加熱板と複数の冷却板とを含み、加熱領域は、複数の加熱板をつなぎ合わせて形成され、冷却領域は、複数の冷却板をつなぎ合わせて形成される。 Preferably, the welding table includes a plurality of heating plates and a plurality of cooling plates, the heating region is formed by connecting the plurality of heating plates, and the cooling region is formed by connecting the plurality of cooling plates. be.

好ましくは、各々の加熱板の両側のいずれにも電気加熱管が対称に設置され、加熱板の中央部にセンサ取付穴が設置され、センサ取付穴が２つの電気加熱管の間に設置された止まり穴であり、センサ取り付け穴に温度センサが取り付けられる。 Preferably, an electric heating tube is installed symmetrically on both sides of each heating plate, a sensor mounting hole is installed in the center of the heating plate, and a sensor mounting hole is installed between the two electric heating tubes. It is a blind hole and the temperature sensor is mounted in the sensor mounting hole.

好ましくは、各々の前記冷却板の両側に給水通路が対称に設置され、前記冷却板の少なくとも一端に２つの給水通路に連通する排水通路が設置される。 Preferably, water supply passages are symmetrically installed on both sides of each of the cooling plates, and a water discharge passage is installed at least one end of the cooling plate to communicate with the two water supply passages.

好ましくは、前記溶接室の下側に貯液カバーが設置され、貯液カバーの底部の両側は、側部から中央部に徐々に下への傾斜状であり、貯液カバー底部に貯液カバー排出管が設けられる。 Preferably, a liquid storage cover is installed under the welding chamber, both sides of the bottom of the liquid storage cover are gradually inclined downward from the side to the center, and the bottom of the liquid storage cover An exhaust pipe is provided.

好ましくは、前記シールドガス導入管は、主窒素導入管であり、前記炉蓋の両端のいずれにも主窒素導入管が設置され、前記炉蓋の中央部の両側に副窒素導入管が対称に設置され、副窒素導入管が溶接室に連通される。 Preferably, the shield gas introduction pipe is a main nitrogen introduction pipe, the main nitrogen introduction pipes are installed at both ends of the furnace lid, and the secondary nitrogen introduction pipes are symmetrically arranged on both sides of the central part of the furnace lid. installed, and a secondary nitrogen introduction pipe is communicated with the welding chamber.

好ましくは、前記炉蓋の下部の両側に吸気板が対称に設置され、吸気板の上部に設けられる上側へ開口する吸気口が炉蓋と囲み吸気チャンバを形成し、吸気板に吸気口と溶接室とを連通させる複数の噴気孔が間隔をおいて設置され、副窒素ガス導入管は、吸気口に連通される。 Preferably, intake plates are symmetrically installed on both sides of the lower part of the furnace lid, and an upwardly opening intake port provided on the upper part of the intake plate forms an intake chamber surrounding the furnace lid, and the intake plate is welded to the intake port. A plurality of fumaroles communicating with the chamber are provided at intervals, and the sub-nitrogen gas introduction pipe communicates with the intake port.

好ましくは、前記搬送機構は、搬送バーと、溶接室の下側に設置された昇降機構、並進機構及び開閉機構とを含み、搬送バーは、対称に２本設置され、且つその中央部が溶接室内に設置され、開閉機構は、同時に２本の搬送バーに連結し、その２本の搬送バーを開閉させるように駆動し、並進機構は、開閉機構に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその開閉機構を移動させるように駆動し、昇降機構は、並進機構に連結され、その並進機構を昇降させるように駆動し、各搬送バーのいずれにも複数の支持部が設けられ、溶接台の両端に、支持部に１対１に対応する退避口が設けられる。 Preferably, the transport mechanism includes a transport bar, and an elevating mechanism, a translation mechanism, and an opening/closing mechanism installed below the welding chamber. Installed indoors, the opening and closing mechanism is connected to two conveying bars at the same time and drives the two conveying bars to open and close, and the translation mechanism is connected to the opening and closing mechanism to move closer to or away from the discharge end. a lifting mechanism is coupled to the translation mechanism and drives the translation mechanism to move up and down; each carrier bar is provided with a plurality of supports; , the two ends of the welding table are provided with evacuation openings corresponding to the supporting parts in a one-to-one correspondence.

好ましくは、前記溶接室の両端のいずれにもエンドカバーによって封止され、各エンドカバーの両側のいずれにも搬送口が対称に設置され、搬送バーは、搬送口を通し開閉機構に連結され、エンドカバーの底部と溶接台とが間隔を置いて設置される。 Preferably, both ends of the welding chamber are sealed by end covers, transfer ports are symmetrically installed on both sides of each end cover, transfer bars are connected to an opening and closing mechanism through the transfer ports, The bottom of the end cover and the welding table are spaced apart.

好ましくは、前記溶接室の下側に搬送バーと１対１対応する搬送取付アームが設けられ、搬送取付アームの両端は、対応側の搬送バーの両端に連結され、開閉機構は、２つの搬送取付アームに連結される。 Preferably, a conveying mounting arm corresponding to the conveying bar is provided on the lower side of the welding chamber, and both ends of the conveying mounting arm are connected to both ends of the corresponding conveying bar, and the opening/closing mechanism is provided with two conveying arms. Connected to the mounting arm.

好ましくは、各前記エンドカバーの両側にバッフル板取付溝が対称に設置され、バッフル板取付溝の位置する平面が搬送バーの中心線に垂直であり、バッフル板取付溝内にバッフル板が摺動するように取り付けられ、バッフル板が搬送バーに摺動し且つ密封するように連結され、バッフル板が対応側のエンドカバーに連係され溶接室の端部を密封する。 Preferably, the baffle plate mounting grooves are symmetrically installed on both sides of each of the end covers, the plane on which the baffle plate mounting grooves are located is perpendicular to the center line of the carrier bar, and the baffle plate slides in the baffle plate mounting grooves. A baffle plate is slidably and sealingly connected to the carrier bar, and the baffle plate is associated with a corresponding end cover to seal the end of the welding chamber.

好ましくは、前記開閉機構は、水平に設置された開閉案内板と開閉動力モジュールとを含み、開閉案内板は、２本の搬送バーの間に設置され、開閉案内板の両側のいずれにも排出端に近接する方向に沿って徐々に内側への傾斜状の開閉案内部が設けられ、各搬送バーの下側のいずれにも開閉案内部と接し合う開閉案内輪が取り付けられ、２本の搬送バーの間に引張状態の開閉バネが設けられ、開閉動力モジュールは、開閉案内板に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその開閉案内板を移動させるように駆動する。 Preferably, the opening and closing mechanism includes a horizontally installed opening and closing guide plate and an opening and closing power module, wherein the opening and closing guide plate is installed between two conveying bars and discharged to either side of the opening and closing guide plate. An opening/closing guide portion gradually inclined inward is provided along the direction approaching the end, and an opening/closing guide wheel is attached to each of the lower sides of each of the conveying bars so as to contact the opening/closing guide portion. A tensioned opening/closing spring is provided between the bars, and the opening/closing power module is connected to the opening/closing guide plate to drive the opening/closing guide plate to move along the direction toward or away from the discharge end.

好ましくは、前記昇降機構は、昇降案内ブロックと搬送昇降シリンダとを含み、昇降案内ブロックの上側に排出端に近接する方向に沿って徐々に下への傾斜状の昇降案内部が設置され、並進機構の下側に昇降案内部と接し合う昇降案内輪が取り付けられ、搬送昇降シリンダのピストンロッドは、昇降案内ブロックに連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその昇降案内ブロックを移動させるように駆動する。 Preferably, the elevating mechanism includes an elevating guide block and a conveying elevating cylinder, and an elevating guide section is provided on the upper side of the elevating guide block so as to gradually slope downward in a direction of approaching the discharge end. An elevating guide wheel is attached to the lower side of the mechanism in contact with the elevating guide part, and the piston rod of the transfer elevating cylinder is connected to the elevating guide block, and moves the elevating guide block along the direction toward or away from the discharge end. drive to let

好ましくは、前記負圧吸引モジュールは、密封板と負圧吸引昇降シリンダとを含み、密封板は、加熱領域の上側に設置され、加熱領域と平行に設置され、密封板の底部と加熱領域とが密閉の負圧チャンバを形成し、負圧チャンバに負圧吸引管が連結される。 Preferably, the negative pressure suction module includes a sealing plate and a negative pressure suction lifting cylinder, the sealing plate is installed above the heating area and parallel to the heating area, and the bottom of the sealing plate and the heating area are separated from each other. forms a closed negative pressure chamber to which a negative pressure suction pipe is connected.

好ましくは、前記密封板は、炉蓋の下側に設置され、負圧吸引昇降シリンダが炉蓋の上側に設置され、負圧吸引昇降シリンダのピストンロッドが連結管を介して密封板に連結され、連結管が負圧チャンバと負圧吸引管とを連通させる。 Preferably, the sealing plate is installed under the furnace cover, the negative pressure suction lifting cylinder is installed above the furnace cover, and the piston rod of the negative pressure suction lifting cylinder is connected to the sealing plate through a connecting pipe. , the connecting pipe communicates the negative pressure chamber and the negative pressure suction pipe;

好ましくは、浄化モジュールをさらに含み、浄化モジュールの吸気端と排気端とのいずれも溶接室と連通する。 Preferably, it further includes a purification module, both the inlet end and the outlet end of the purification module communicating with the welding chamber.

好ましくは、前記浄化モジュールは、浄化箱と、浄化箱内に設置されたコイル及びストレーナとを含み、吸気端と排気端とが浄化箱の両側にそれぞれ設置され、ストレーナは、排気端に近接するように設置され、排気端を封止し、コイル内に循環するクーラントが充填され、浄化箱の排気端と溶接室との間にファンが設置される。 Preferably, the purification module includes a purification box, a coil and a strainer installed in the purification box, the intake end and the exhaust end are respectively installed on both sides of the purification box, and the strainer is adjacent to the exhaust end. , the exhaust end is sealed, the coil is filled with circulating coolant, and a fan is installed between the exhaust end of the septic box and the welding chamber.

好ましくは、上記の浄化モジュールは、浄化箱内に設置されたフィンをさらに含む。 Preferably, the above purification module further comprises fins located within the purification box.

上記の真空溶接炉における溶接方法であって、以下のステップを含む。 A welding method in the above vacuum welding furnace, comprising the following steps.

１）炉蓋は、前記溶接室を封止し、シールドガス導入管は、溶接室内にシールドガスを充填する。 1) A furnace lid seals the welding chamber, and a shield gas introduction pipe fills the welding chamber with shield gas.

２）搬送機構は、シートを１枚ずつ負圧チャンバ内に搬送し、加熱領域は、搬送中のシートを段階的に加熱する。 2) The transport mechanism transports the sheets one by one into the negative pressure chamber, and the heating area heats the sheets in stages during transport.

３）搬送機構は、負圧チャンバ内で溶接が完了したシートを排出端に搬送し、冷却領域はシート徐冷する。 3) The conveying mechanism conveys the sheet welded in the negative pressure chamber to the discharge end, and slowly cools the sheet in the cooling area.

従来技術に比べると、本発明の有益な効果は以下のとおりである。 Compared with the prior art, the beneficial effects of the present invention are as follows.

１、本真空溶接炉の加熱領域は、シートを加熱することができ、それによりシートを負圧チャンバ内で高速溶接させることができる。溶接室内にシールドガスが充填されているため、加熱過程においてシートが酸素と反応することを回避することができる。冷却領域は、シートを冷却することができるため、溶接室から搬出されるシートの温度を低減し、シートの酸化を回避するだけでなく、溶接されたシートを早急に処理するのに適する。また、シートの処理過程においてシートの温度が高すぎて変性しやすくなるため、処理過程にシートが変形し、不良率が増加するという問題が発生することはない。シートは、加熱領域又は冷却領域と直接接触し、熱伝導の方式により加熱及び冷却を実現し、放射を用いる加熱方式に比べて、加熱速度を大幅に向上させ、シートを迅速に昇温及び降温させることができ、エネルギーの消費を低減する。 1. The heating area of the present vacuum welding furnace can heat the sheet so that the sheet can be welded at high speed in the negative pressure chamber. Since the welding chamber is filled with shielding gas, the sheet can be prevented from reacting with oxygen during the heating process. The cooling zone can cool the sheet, thus reducing the temperature of the sheet leaving the welding chamber and avoiding oxidation of the sheet, as well as being suitable for rapid processing of the welded sheet. In addition, since the temperature of the sheet is too high during the processing of the sheet and the sheet tends to be denatured, there is no problem that the sheet is deformed during the processing and the defect rate increases. The sheet is in direct contact with the heating area or the cooling area, heating and cooling is achieved by heat conduction, and compared with the heating method using radiation, the heating rate is greatly improved, and the temperature of the sheet is rapidly increased and decreased. and reduce energy consumption.

２加熱領域は、複数の加熱板をつなぎ合わせて形成され、冷却領域は、複数の冷却板をつなぎ合わせて形成され、それにより溶接室内に複数のシートを同時に収容することができ、加熱領域が同時に複数のシートを加熱し、シートを迅速に溶接温度に達するようなことを可能にし、溶接速度を向上させる。 2 The heating zone is formed by connecting a plurality of hot plates, and the cooling zone is formed by connecting a plurality of cooling plates, so that multiple sheets can be accommodated in the welding chamber at the same time, and the heating zone is Heating multiple sheets at the same time allows the sheets to reach welding temperature quickly, increasing welding speed.

３、各加熱板のいずれにも電気加熱管及び温度センサが設置されるため、各加熱板は、独立した温度制御を実現する。それによりシートの搬送過程において徐々にシートを加熱することができ、加熱が速すぎるためシートが変形することを回避し、さらに加熱が速すぎて半田ペーストが融解して流出することにより、不良品が発生することを回避する。 3.Electric heating tubes and temperature sensors are installed on each hot plate, so that each hot plate achieves independent temperature control. Therefore, the sheet can be gradually heated during the sheet conveying process, so that the sheet is not deformed due to too fast heating, and the solder paste is melted and flowed out due to too fast heating, which can lead to defective products. to avoid occurring.

４、各冷却板のいずれにも給水通路と排水通路とが設置され、徐々にシートを降温させることを実現し、降温が速すぎるため凝固後の半田ペーストに亀裂が発生し、チップとシートとの接触が不良となり、不良品が発生することを回避し、シートの変形も回避できる。 4. Each cooling plate is equipped with a water supply channel and a water discharge channel to achieve a gradual temperature drop of the sheet, and the temperature drop is too fast to cause cracks in the solder paste after solidification, resulting in the chip and the sheet. It is possible to avoid the occurrence of defective products due to poor contact, and to avoid deformation of the sheet.

５、貯液カバーは、貯液カバー排出管を介して冷却領域において凝集し形成された液体を排出することができる。 5. The reservoir cover can discharge the liquid condensed and formed in the cooling area through the reservoir cover discharge pipe.

６、炉蓋の両端に主窒素ガス導入管が設けられ、炉蓋の中央部の両側に副窒素ガス導入管が対称に設けられることにより、窒素ガスを迅速に溶接室に充填し、溶接前の準備時間を短くし、使い勝手をよくすることを保証することができる。 6. The main nitrogen gas introduction pipes are installed at both ends of the furnace lid, and the secondary nitrogen gas introduction pipes are installed symmetrically on both sides of the central part of the furnace lid, so that the nitrogen gas can be quickly filled into the welding chamber, and the welding can be completed before welding. can ensure short preparation times and good usability.

７、副窒素ガス導入管は、吸気板によって窒素ガスを溶接室内に均一に噴入し、それにより溶接室内の空気を完全に排出することができ、加熱後のシートが酸素と反応することを回避する。 7. The auxiliary nitrogen gas introduction pipe can inject nitrogen gas uniformly into the welding chamber through the intake plate, so that the air in the welding chamber can be completely discharged, and the heated sheet can be prevented from reacting with oxygen. To avoid.

８、開閉機構は、２本の搬送バーを開閉させるように駆動し、昇降機構に連係して、支持部を溶接台の退避口内に伸ばし、シートの両端によってシートを持ち上げ、並進機構は、搬送バーによってシートを並進させるように駆動し、それによりシートの並進動作を完了させる。 8. The opening and closing mechanism drives the two conveying bars to open and close, and is linked to the lifting mechanism to extend the support part into the retraction opening of the welding table, lift the sheet by both ends of the sheet, and the translation mechanism to convey the sheet. The bar drives the sheet in translation, thereby completing the translational movement of the sheet.

９、搬送バーは、搬送口を通過し溶接室から伸出し、開閉機構に連結される。溶接室内のシートを搬送することを実現するだけでなく、シートを溶接室内に搬送し、さらに溶接室内の溶接されたシートを溶接室外に搬送することができ、溶接過程において炉蓋を開けることなくシートの搬入及び搬出を実現することができる。 9. The transfer bar passes through the transfer port, extends from the welding chamber, and is connected to the opening/closing mechanism. Not only can the sheet be conveyed in the welding chamber, but also the sheet can be conveyed into the welding chamber, and the welded sheet in the welding chamber can be conveyed out of the welding chamber, without opening the furnace lid during the welding process. Sheet loading and unloading can be realized.

１０、バッフル板は、搬送バーの移動とともにバッフル板取付溝内にて移動し、それにより早急に溶接室を封止することができ、シールドガスの漏洩を回避し、シールドガスの消費を低減し、溶接コストをさらに低減する。 10. The baffle plate moves in the baffle plate mounting groove along with the movement of the carrier bar, thereby quickly sealing the welding chamber, avoiding shield gas leakage, and reducing shield gas consumption. , to further reduce welding costs.

１１、開閉機構は、溶接室の下側の搬送取付アームに連結され、搬送バーの連結をしやすくする。 11. The opening and closing mechanism is connected to the lower carrier mounting arm of the welding chamber to facilitate the coupling of the carrier bar.

１２、開閉動力モジュールは、開閉案内板を移動させるように駆動し、開閉案内板の開閉案内部は、開閉案内輪によって２本の搬送バーを逆方向へ同期しつつ移動させるように駆動し、開閉バネは、開閉案内板の開閉案内部に開閉案内輪を常に圧着させることができ、さらに２本の搬送バーの開閉を実現し、シートを搬送しやすくし、さらに搬送バーが負圧吸引モジュールの動作を妨げることを回避することができ、搬送バーのストロークが安定し、エンドカバーを破損することがない。 12. The opening/closing power module drives the opening/closing guide plate to move, and the opening/closing guide part of the opening/closing guide plate drives the opening/closing guide wheels to synchronously move the two conveying bars in opposite directions, The opening and closing spring can always press the opening and closing guide wheel to the opening and closing guide part of the opening and closing guide plate, and realize the opening and closing of the two conveying bars, making it easy to convey the sheet. can be avoided, the stroke of the carrier bar is stabilized, and the end cover is not damaged.

１３、昇降シリンダは、昇降案内ブロックを並進させるように駆動し、昇降案内ブロックの昇降案内部は、昇降案内輪によって並進機構を昇降させるように駆動し、さらに２本の搬送バーの同期しつつの昇降を実現し、搬送バーの昇降動作が安定するように保証し、且つ昇降のストロークが特定され、溶接室を破損することがない。 13. The lift cylinder drives the lift guide block to translate, the lift guide part of the lift guide block drives the lift guide wheel to move the translation mechanism up and down, and the two conveyor bars are synchronized. to ensure that the lifting movement of the carrier bar is stable, and the lifting stroke is specified to prevent damage to the welding chamber.

１４、密封板と加熱領域とが囲み負圧チャンバを形成し、負圧吸引昇降シリンダは、密封板を昇降させるように駆動することができるため、シートの負圧チャンバへの搬入又は負圧チャンバからの搬出をしやすくする。 14. The sealing plate and the heating area form a negative pressure chamber, and the negative pressure suction lifting cylinder can be driven to lift and lower the sealing plate, so that the sheet can be carried into the negative pressure chamber or Make it easier to remove from

１５、負圧吸引昇降シリンダが連結管を介して密封板に連結され、その密封板を昇降させるように駆動し、負圧吸引管が連結管を介して負圧チャンバと連通し、密封板の取り付け及び連結をしやすくするだけでなく、負圧チャンバの負圧吸引をしやすくする。 15, the negative pressure suction lifting cylinder is connected to the sealing plate through the connecting pipe to drive the sealing plate to move up and down, the negative pressure suction pipe communicates with the negative pressure chamber through the connecting pipe, and the sealing plate It not only facilitates mounting and connection, but also facilitates vacuum suction of the vacuum chamber.

１６、浄化モジュールは、溶接室内のシールドガスを抽出し、シールドガス内のフラックスヒュームを除去することができ、半田ペーストが加熱されて過剰なフラックスヒュームが発生するため、シートの溶接に影響を与えることを回避する。 16, the purification module can extract the shielding gas in the welding chamber, remove the flux fumes in the shielding gas, and the solder paste will be heated to generate excessive flux fumes, which will affect the welding of the sheet avoid that.

１７、コイルは、クーラントを介して抽出されたシールドガスと熱交換を行い、シールドガスの温度を低減し、フラックスを液化させ、続いてストレーナを介してシールドガスを濾過することにより、フラックスをストレーナに残す。それによりフラックスとシールドガスとの分離を実現する。 17, the coil exchanges heat with the shielding gas extracted through the coolant, reduces the temperature of the shielding gas, liquefies the flux, and subsequently filters the shielding gas through the strainer, thereby transferring the flux to the strainer. leave in This achieves separation between the flux and the shielding gas.

１８、フィンは、クーラントとシールドガスとの熱交換面積を増加させることにより、シールドガスを迅速に降温させることができる。それによりシールドガス内のフラックスをより徹底的に除去することができる。 18. The fins increase the heat exchange area between the coolant and the shielding gas, thereby rapidly cooling the shielding gas. Thereby, the flux in the shielding gas can be removed more thoroughly.

１９、この溶接工程は、シールドガスにより溶接室内のシートを保護し、高温のシートが酸素と反応することを回避し、加熱領域がシートを徐々に加熱することにより、シートを負圧チャンバ内に移動した時に温度が溶接温度に達し又は溶接温度に近づくようにし、負圧チャンバ内での溶接時間において高速溶接を完了することができ、溶接時間を短縮し、溶接速度を向上させ、冷却領域がシートを徐々に冷却することができ、徹底的に冷却することを保証するだけでなく、冷却が速すぎるためシートが変形することを回避することができる。 19. This welding process protects the sheet in the welding chamber with a shielding gas to avoid the hot sheet from reacting with oxygen, and the heating zone heats the sheet gradually, thereby moving the sheet into the negative pressure chamber. Allow the temperature to reach or approach the welding temperature when moving, can complete high-speed welding during the welding time in the negative pressure chamber, shorten the welding time, improve the welding speed, and increase the cooling area The sheet can be cooled gradually, which not only ensures thorough cooling, but also avoids deformation of the sheet due to too fast cooling.

真空溶接炉の斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram of a vacuum welding furnace.

炉蓋の斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram of a furnace lid.

炉蓋の正面断面模式図である。It is a front cross-sectional schematic diagram of a furnace lid.

図３におけるＡ部の部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of a portion A in FIG. 3;

吸気板の正面断面模式図である。It is a front cross-sectional schematic diagram of an intake plate.

炉蓋を取り外した後の真空溶接炉の斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram of a vacuum welding furnace after removing a furnace cover.

図６におけるＢ部の部分拡大図である。FIG. 7 is a partially enlarged view of a B portion in FIG. 6;

溶接台の斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram of a welding stand.

溶接台の右側面模式図である。It is a right-side schematic diagram of a welding table.

加熱板の上面断面模式図である。It is a top surface cross-sectional schematic diagram of a heating plate.

冷却板の上面断面模式図である。It is a top surface cross-sectional schematic diagram of a cooling plate.

溶接室取付部材の正面断面模式図である。It is a front cross-sectional schematic diagram of a welding chamber attachment member.

取付ピンの正面断面模式図である。It is a front cross-sectional schematic diagram of a mounting pin.

負圧吸引モジュールの正面模式図である。It is a front schematic diagram of a negative pressure suction module.

搬送機構の斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram of a conveying mechanism.

搬送機構の正面模式図である。It is a front schematic diagram of a conveying mechanism.

フラックス浄化モジュールの斜視模式図である。It is a perspective schematic diagram of a flux purification module.

浄化モジュールの正面断面模式図である。It is a front cross-sectional schematic diagram of a purification module.

１：ラック、２：搬送機構、３：炉蓋シリンダ、４：炉蓋、５：主窒素ガス導入管、６：案内カバー、７：浄化導入管、８：浄化排気管、９：負圧吸引モジュール、１０：連結アーム、１１：スイングアーム、１２：取付アーム、１３：連結棒、１４：炉蓋取付板、１４０１：取付口、１５：ガスカバー、１６：副窒素ガス導入管、１７：吸気板、１７０１：吸気口、１７０２：噴気孔、１８：溶接室、１９：排出台、１９０１：排出台退避口、２０：溶接台、２１：供給台、２１０１：供給台退避口、２２：取付板、２３：調節バネ、２４：搬送バー、２５：密封カバー、２６：エンドカバー、２６０１：搬送口、２６０２：バッフル板取付溝、２７：バッフル板、２８：冷却板、２８０１：冷却板退避口、２８０２：給水通路、２８０３：排水通路、２８０４：冷却板取付孔、２９：給水管、３０：加熱板、３００１：加熱板退避口、３００２：電気加熱管取付孔、３００３：センサ取付孔、３００４：加熱板取付孔、３１：電気加熱管、３２：温度センサ、３３：貯液カバー、３３０１：貯液カバー排出管、３４：負圧吸引取付枠、３５：負圧吸引昇降シリンダ、３６：密封板、３７：連結管、３８：連結板、３９：取付ピン、３９０１：ねじ孔、４０：溶接室取付部材、４００１：固定部、４００２：段付孔、４１：並進板、４２：開閉取付棒、４３：開閉案内板、４４：開閉案内輪、４５：搬送取付アーム、４６：搬送昇降シリンダ、４７：昇降案内枠、４８：昇降案内ブロック、４９：並進枠、５０：並進枠ガイドレール、５１：並進板ガイドレール、５２：搬送取付板、５３：並進モータ、５４：並進モータ取付枠、５５：搬送移動枠、５６：開閉移動枠、５７：開閉モータ取付枠、５８：開閉モータ、５９：浄化モジュール、６０：給油箱、６１：浄化箱、６２：浄化箱導入管、６３：ストレーナ取付箱、６４：ストレーナ、６５：ファン、６６：フラックス回収バレル、６７：コイル、６８：フィン 1: rack, 2: transfer mechanism, 3: furnace cover cylinder, 4: furnace cover, 5: main nitrogen gas introduction pipe, 6: guide cover, 7: purification introduction pipe, 8: purification exhaust pipe, 9: negative pressure suction Module, 10: Connecting arm, 11: Swing arm, 12: Mounting arm, 13: Connecting rod, 14: Furnace lid mounting plate, 1401: Mounting port, 15: Gas cover, 16: Secondary nitrogen gas introduction pipe, 17: Intake Plate, 1701: Inlet, 1702: Fumarole, 18: Welding chamber, 19: Discharge table, 1901: Discharge table evacuation port, 20: Welding table, 21: Supply table, 2101: Supply table evacuation opening, 22: Mounting plate , 23: adjustment spring, 24: transfer bar, 25: sealing cover, 26: end cover, 2601: transfer port, 2602: baffle plate mounting groove, 27: baffle plate, 28: cooling plate, 2801: cooling plate evacuation port, 2802: water supply passage, 2803: drainage passage, 2804: cooling plate mounting hole, 29: water supply pipe, 30: heating plate, 3001: heating plate evacuation port, 3002: electric heating pipe mounting hole, 3003: sensor mounting hole, 3004: Heating plate mounting hole 31: Electric heating tube 32: Temperature sensor 33: Storage cover 3301: Storage cover discharge pipe 34: Negative pressure suction mounting frame 35: Negative pressure suction elevating cylinder 36: Sealing plate , 37: connecting pipe, 38: connecting plate, 39: mounting pin, 3901: screw hole, 40: welding chamber mounting member, 4001: fixed part, 4002: stepped hole, 41: translation plate, 42: opening and closing mounting rod, 43: Opening/closing guide plate, 44: Opening/closing guide wheel, 45: Transfer mounting arm, 46: Transfer lifting cylinder, 47: Lifting guide frame, 48: Lifting guide block, 49: Translation frame, 50: Translation frame guide rail, 51: translation plate guide rail, 52: transfer mounting plate, 53: translation motor, 54: translation motor mounting frame, 55: transfer movement frame, 56: opening/closing movement frame, 57: opening/closing motor mounting frame, 58: opening/closing motor, 59: purification Module, 60: Refueling Box, 61: Purification Box, 62: Purification Box Introduction Pipe, 63: Strainer Mounting Box, 64: Strainer, 65: Fan, 66: Flux Recovery Barrel, 67: Coil, 68: Fin

図１～図１８は、本発明の最適な実施例であり、以下、図１～図１８に合わせて本発明をさらに説明する。 1 to 18 are the preferred embodiments of the present invention, and the present invention will be further described in conjunction with FIGS. 1 to 18 below.

溶接室１８と、炉蓋４と、搬送機構２とを含み、炉蓋４は、溶接室１８の上側を蓋合わせされ、溶接室１８と炉蓋４との間に溶接チャンバが形成し、溶接室１８の下部に溶接台２０が設けられた真空溶接炉であって、溶接台２０の供給端に近接する側は、加熱領域であり、溶接台２０の排出端に近接する側は、冷却領域であり、負圧吸引モジュール９は、加熱領域の冷却領域に近接する一端の上側に設置され、炉蓋４に昇降可能に取付けされ、負圧吸引モジュール９の底部と加熱領域と囲み密閉した負圧チャンバを形成し、溶接室１８または炉蓋４にシールドガス導入管が設置される。本真空溶接炉の加熱領域は、シートを加熱することができ、それによりシートを負圧チャンバ内で高速溶接させることができる。溶接室１８内にシールドガスが充填されているため、加熱過程においてシートが酸素と反応することを回避することができる。冷却領域は、シートを冷却することができるため、溶接室１８から搬出されるシートの温度を低減し、シートの酸化を回避するだけでなく、溶接されたシートを早急に処理するのに適する。また、シートの処理過程においてシートの温度が高すぎて変性しやすくなるため、処理過程にシートが変形し、不良率が増加するという問題が発生することはない。シートは、加熱領域又は冷却領域と直接接触し、熱伝導の方式により加熱及び冷却を実現し、放射を用いる加熱方式に比べて、加熱速度を大幅に向上させ、シートを迅速に昇温及び降温させることができ、エネルギーの消費を低減する。 A welding chamber 18, a furnace lid 4, and a transport mechanism 2 are included, and the furnace lid 4 is capped on the upper side of the welding chamber 18, forming a welding chamber between the welding chamber 18 and the furnace lid 4, and welding A vacuum welding furnace having a welding table 20 at the bottom of a chamber 18, the side adjacent to the feed end of the welding table 20 being a heating zone and the side adjacent to the discharge end of the welding table 20 being a cooling zone. The negative pressure suction module 9 is installed on the upper side of one end of the heating region adjacent to the cooling region, and is attached to the furnace lid 4 so as to be able to move up and down. A pressure chamber is formed, and a shielding gas introduction pipe is installed in the welding chamber 18 or the furnace lid 4 . The heating zone of the present vacuum welding furnace can heat the sheet, thereby causing the sheet to be welded at high speed in the vacuum chamber. Since the welding chamber 18 is filled with shielding gas, the sheet can be prevented from reacting with oxygen during the heating process. The cooling zone is capable of cooling the sheet, thus reducing the temperature of the sheet exiting the welding chamber 18 and avoiding oxidation of the sheet, as well as being suitable for rapid processing of the welded sheet. In addition, since the temperature of the sheet is too high during the processing of the sheet and the sheet tends to be denatured, there is no problem that the sheet is deformed during the processing and the defect rate increases. The sheet is in direct contact with the heating area or the cooling area, heating and cooling is achieved by heat conduction, and compared with the heating method using radiation, the heating rate is greatly improved, and the temperature of the sheet is rapidly increased and decreased. and reduce energy consumption.

以下、具体的な実施例に合わせて本発明をさらに説明するが、当業者であれば、ここで図面に合わせた詳細な説明はより良く解釈するためのものであり、本発明の構造は必ずこれらの限られた実施例の範囲を超えるものであり、一部の同等の代替手段又は一般的な手段について本明細書はその説明を省略するが、依然として本発明の保護範囲に属することを理解すべきである。 The present invention will be further described below in conjunction with specific embodiments, but those skilled in the art will only be able to better interpret the detailed description here with the drawings, and the structure of the present invention must be It is understood that some equivalent alternatives or common means beyond the scope of these limited embodiments will be omitted from this description, but still fall within the protection scope of the present invention. Should.

具体的には、図１に示すように、溶接室１８は、上側へ開口する直方体筐体であり、溶接室１８の両端は、それぞれ供給端と排出端であり、溶接室１８は、ラック１の上側に取り付けられ、搬送機構２は、溶接室１８の下側のラック１に取付けられる。炉蓋４は、溶接室１８の上側に取り付けられ、溶接室１８の上側を封止する。負圧吸引モジュール９は、炉蓋４に設置され、且つ負圧吸引モジュール９の下端が炉蓋４を通過した後に溶接室１８内に伸び、負圧吸引モジュール９は、冷却領域と加熱領域との間に設置される。負圧吸引モジュール９は、複数設置されてもよく、それにより溶接速度を向上させ、１つ設置されてもよい。 Specifically, as shown in FIG. 1, the welding chamber 18 is a rectangular parallelepiped housing that opens upward, and both ends of the welding chamber 18 are a supply end and a discharge end, respectively. , and the transport mechanism 2 is attached to the rack 1 below the welding chamber 18 . The furnace lid 4 is attached to the upper side of the welding chamber 18 and seals the upper side of the welding chamber 18 . The negative pressure suction module 9 is installed on the furnace lid 4, and extends into the welding chamber 18 after the lower end of the negative pressure suction module 9 passes through the furnace lid 4, and the negative pressure suction module 9 is divided into a cooling area and a heating area. is placed between A plurality of negative pressure suction modules 9 may be installed to improve the welding speed, and one may be installed.

ラック１の両端に連結アーム１０が対称に設置され、連結アーム１０の上端は、上へ伸出し、且つ連結アーム１０の上端は、溶接室１８よりも高く設置される。炉蓋４の両端に取付アーム１２が対称に設置され、取付アーム１２は、水平に設置され、各取付アーム１２の一端は、炉蓋４に固定するように連結され、他端は、連結アーム１０の上端に回転可能に連結される。炉蓋４を開閉させるように駆動する炉蓋シリンダ３がさらに炉蓋４に連結され、炉蓋シリンダ３のピストンロッドは、連結棒１３及びスイングアーム１１を介して取付アーム１２に連結され、取付アーム１２の上端は、取付アーム１２の中央部に回転可能に連結され、取付アーム１２の下端は、連結棒１３の中央部に回転可能に連結され、連結棒１３の一端は、ラック１又は連結アーム１０に回転可能に連結され、他端は、炉蓋シリンダ３のピストンロッドに回転可能に連結され、それにより炉蓋４の自動的な開放と閉鎖とを実現する。 Connecting arms 10 are installed symmetrically on both ends of the rack 1 , the upper ends of the connecting arms 10 extend upward, and the upper ends of the connecting arms 10 are installed higher than the welding chamber 18 . Mounting arms 12 are symmetrically installed at both ends of the furnace lid 4, the mounting arms 12 are horizontally installed, one end of each mounting arm 12 is fixedly connected to the furnace lid 4, and the other end is a connecting arm. 10 is rotatably connected to the upper end. A furnace lid cylinder 3 for driving the furnace lid 4 to open and close is further connected to the furnace lid 4, and a piston rod of the furnace lid cylinder 3 is connected to a mounting arm 12 via a connecting rod 13 and a swing arm 11 to mount the furnace lid. The upper end of the arm 12 is rotatably connected to the central portion of the mounting arm 12, the lower end of the mounting arm 12 is rotatably connected to the central portion of the connecting rod 13, and one end of the connecting rod 13 is connected to the rack 1 or the connecting rod. It is rotatably connected to the arm 10 and the other end is rotatably connected to the piston rod of the hood cylinder 3 , thereby realizing automatic opening and closing of the hood 4 .

図２に示すように、炉蓋４は、上側の炉蓋カバーと下側の炉蓋取付板１４とを含み、炉蓋カバーは、下側へ開口する直方体筐体であり、炉蓋取付板１４は、直方体板であり、炉蓋カバーの下側に設置され、炉蓋カバーの下側の開口を封止する。取付アーム１２及び負圧吸引モジュール９は、いずれも炉蓋取付板１４に取付けられる。 As shown in FIG. 2, the furnace lid 4 includes an upper furnace lid cover and a lower furnace lid mounting plate 14. The furnace lid cover is a rectangular parallelepiped housing that opens downward and includes a furnace lid mounting plate. A cuboid plate 14 is installed under the furnace lid cover and seals the opening on the lower side of the furnace lid cover. Both the mounting arm 12 and the negative pressure suction module 9 are mounted on the furnace lid mounting plate 14 .

本実施形態において、シールドガスは、窒素ガスであり、シールドガス導入管は、主窒素ガス導入管５を含み、炉蓋取付板１４の両端のいずれにも主窒素ガス導入管５が設置され、主窒素ガス導入管５の上端は、炉蓋カバーから伸出し、各主窒素ガス導入管５の上側のいずれにも案内カバー６が設置され、案内カバー６は、対応側の主窒素ガス導入管５の上側に間隔をおいて設置され、主窒素ガス導入管５の上端と間隔をおいて設置され、案内カバー６は、円筒状であり、案内カバー６と主窒素ガス導入管５とのいずれも垂直に設置され、案内カバー６は、炉蓋カバーの上側に設置され、且つ案内カバー６と主窒素ガス導入管５とが同軸に設置され、案内カバー６は、主窒素ガス導入管５と連結される導管に対して案内することができる。各主窒素ガス導入管５と炉蓋取付板１４との間のいずれにもガスカバー１５が設置され、ガスカバー１５の上部の左右両側はいずれも下から上へ徐々に内側への傾斜状であり、ガスカバー１５は、炉蓋取付板１４と炉蓋カバーとの間に設置され、ガスカバー１５の下側は開口するように設置され、ガスカバー１５の下側は、炉蓋取付板１４に固定するように連結され、且つ炉蓋４の下側にガスカバー１５と溶接室１８とを連通させるための長孔が設置され、それによりシールドガスを均一に溶接室１８内に噴入することができる。 In this embodiment, the shield gas is nitrogen gas, the shield gas introduction pipe includes the main nitrogen gas introduction pipe 5, and the main nitrogen gas introduction pipe 5 is installed at both ends of the furnace lid mounting plate 14, The upper end of the main nitrogen gas introduction pipe 5 extends from the furnace lid cover, and a guide cover 6 is installed above each main nitrogen gas introduction pipe 5, and the guide cover 6 is attached to the main nitrogen gas introduction pipe on the corresponding side. 5, and is installed at a distance from the upper end of the main nitrogen gas introduction pipe 5. The guide cover 6 is cylindrical, and either the guide cover 6 or the main nitrogen gas introduction pipe 5 is installed vertically, the guide cover 6 is installed on the upper side of the furnace lid cover, and the guide cover 6 and the main nitrogen gas introduction pipe 5 are coaxially installed, and the guide cover 6 is connected to the main nitrogen gas introduction pipe 5 Guidance can be provided for the conduits to be connected. A gas cover 15 is installed between each main nitrogen gas introduction pipe 5 and the furnace lid mounting plate 14, and both left and right sides of the upper part of the gas cover 15 are gradually inclined inward from bottom to top. The gas cover 15 is installed between the furnace lid mounting plate 14 and the furnace lid cover. and a long hole is provided under the furnace lid 4 for communicating the gas cover 15 and the welding chamber 18, so that the shielding gas is uniformly injected into the welding chamber 18. be able to.

炉蓋取付板１４の上側にさらに浄化導入管７と浄化排気管８とが設置され、浄化導入管７と浄化排気管８とのいずれもガスカバー１５によって溶接室１８と連通し、浄化導入管７と浄化排気管８とは、負圧吸引モジュール９の同じ側に設置され、それにより窒素ガスの温度が低すぎ溶接室１８内でフラックスが液化され、シートの温度を低くし、さらにシートの溶接時間を延長させることを回避することができる。浄化排気管８は、浄化モジュール５９の吸気端と連通し、それにより半田ペースト内のフラックスが加熱されて発生するフラックスヒュームを除去することができ、フラックスヒュームがシートの溶接に影響を与えることを回避する。 A purification introduction pipe 7 and a purification exhaust pipe 8 are further installed on the upper side of the furnace lid mounting plate 14, and both of the purification introduction pipe 7 and the purification exhaust pipe 8 are communicated with the welding chamber 18 by a gas cover 15. 7 and the purification exhaust pipe 8 are installed on the same side of the negative pressure suction module 9, so that the temperature of the nitrogen gas is too low and the flux is liquefied in the welding chamber 18, which reduces the temperature of the sheet and further reduces the sheet temperature. Prolonging the welding time can be avoided. The purification exhaust pipe 8 communicates with the intake end of the purification module 59, so that the flux fumes generated by the heating of the flux in the solder paste can be removed, and the flux fumes affect the welding of the sheets. To avoid.

図３～図５に示すように、炉蓋取付板１４の中央部両側にさらに副窒素ガス導入管１６が対称に設置される。副窒素ガス導入管１６は、炉蓋取付板１４の上側に設置され、副窒素ガス導入管１６の排気端は、溶接室１８と連通し、それにより溶接室１８内に窒素ガスをより均一に噴入することができ、溶接室１８内の窒素ガスが完全に排出されることを保証し、シートが加熱された後に酸素と反応することを回避する。炉蓋取付板１４の中央部の下側に吸気板１７が設置され、吸気板１７は、長方形板であり、吸気板１７の上側に開口が上向きである吸気口１７０１が設置され、吸気口１７０１は、吸気板１７の長手方向に沿って設置された長孔であり、炉蓋取付板１４の各側のいずれにも２つの吸気板１７が設置され、且つ２つの吸気板１７は、炉蓋取付板１４の長手方向に沿って順に配列され、各吸気板１７のいずれにも長手方向に沿って複数の噴気孔１７０２が間隔をおいて設置され、それにより窒素ガスが均一に溶接室１８内に噴入されることを保証することができる。炉蓋取付板１４の下側に内側へ凹んだ取付口１４０１が設置され、取付口１４０１は、吸気板１７と１対１対応し、吸気板１７の上部は、炉蓋取付板１４の取付口１４０１内に取り付けられ、且つ各吸気板１７の吸気口１７０１は、いずれも炉蓋取付板１４の取付口１４０１と囲み吸気チャンバを形成し、副窒素ガス導入管１６の排気端は、吸気チャンバと連通し、それにより吸気チャンバ内に窒素ガスを噴入しやすくなる。 As shown in FIGS. 3 to 5, secondary nitrogen gas introduction pipes 16 are installed symmetrically on both sides of the central portion of the furnace lid mounting plate 14 . The sub-nitrogen gas introduction pipe 16 is installed on the upper side of the furnace lid mounting plate 14, and the exhaust end of the sub-nitrogen gas introduction pipe 16 communicates with the welding chamber 18, thereby making the nitrogen gas more uniform in the welding chamber 18. It can be injected, ensuring that the nitrogen gas in the welding chamber 18 is completely exhausted, avoiding reacting with oxygen after the sheet is heated. An intake plate 17 is installed under the central portion of the furnace lid mounting plate 14 , the intake plate 17 is a rectangular plate, and an intake port 1701 whose opening is upward is installed on the upper side of the intake plate 17 . is a long hole installed along the longitudinal direction of the intake plate 17, two intake plates 17 are installed on each side of the furnace lid mounting plate 14, and the two intake plates 17 are installed on the furnace lid A plurality of jet holes 1702 are arranged in order along the longitudinal direction of the mounting plate 14 , and each of the intake plates 17 is provided with a plurality of jet holes 1702 spaced apart along the longitudinal direction so that the nitrogen gas is uniformly distributed in the welding chamber 18 . can be guaranteed to be injected into A mounting hole 1401 recessed inward is installed on the lower side of the furnace lid mounting plate 14 , and the mounting hole 1401 corresponds to the suction plate 17 one-to-one, and the upper part of the suction plate 17 is the mounting hole of the furnace lid mounting plate 14 . 1401, and the intake port 1701 of each intake plate 17 surrounds the installation port 1401 of the furnace lid mounting plate 14 to form an intake chamber, and the exhaust end of the auxiliary nitrogen gas introduction pipe 16 forms the intake chamber. Communicate, thereby facilitating the injection of nitrogen gas into the intake chamber.

図６～図７に示すように、搬送機構２は、搬送バー２４と、溶接室１８の下側に設置された昇降機構、並進機構及び開閉機構とを含み、搬送バー２４の中央部は、溶接室１８内に設置され、溶接室１８の両端は、エンドカバー２６によって封止され、且つ各エンドカバー２６の両側のいずれにも搬送口２６０１が設置され、搬送バー２４は、溶接室１８の長手方向に沿って水平に設置され、且つ２本の搬送バー２４は、溶接室１８の両側に対称に設置され、各搬送バー２４の両端は、いずれもエンドカバー２６の搬送口２６０１を通過し伸出する。溶接室１８の下側に搬送取付アーム４５が水平に設置され、搬送取付アーム４５は、搬送バー２４と１対１対応し、対応側の搬送バー２４の下側に設置され、各搬送バー２４の両端のいずれも取付板２２によって対応側の搬送取付アーム４５に連結され、取付板２２の上端は、搬送バー２４に連結され、取付板２２の下端は、搬送取付アーム４５に連結され、昇降機構は、ラック１に取り付けられ、並進機構は、昇降機構に取り付けられ、開閉機構は、並進機構に取り付けられ、且つ開閉機構は、同時に２本の搬送バー２４に連結され、それにより２本の搬送バー２４の開閉、昇降及び並進動作を実現し、シートを搬送しやすくする。 As shown in FIGS. 6 and 7, the transport mechanism 2 includes a transport bar 24, and a lifting mechanism, a translation mechanism, and an opening/closing mechanism installed below the welding chamber 18. The center portion of the transport bar 24 is Installed in the welding chamber 18 , both ends of the welding chamber 18 are sealed by end covers 26 , and a transfer port 2601 is installed on both sides of each end cover 26 , and the transfer bar 24 is installed in the welding chamber 18 . Two conveying bars 24 are installed horizontally along the longitudinal direction and are symmetrically installed on both sides of the welding chamber 18 , and both ends of each conveying bar 24 pass through the conveying port 2601 of the end cover 26 . stretch out. A conveying mounting arm 45 is horizontally installed below the welding chamber 18 , and the conveying mounting arm 45 corresponds to the conveying bar 24 one by one, and is installed below the corresponding conveying bar 24 . are connected to the transport mounting arm 45 on the corresponding side by the mounting plate 22, the upper end of the mounting plate 22 is connected to the transport bar 24, and the lower end of the mounting plate 22 is connected to the transport mounting arm 45 for lifting and lowering. The mechanism is attached to the rack 1, the translation mechanism is attached to the lifting mechanism, the opening/closing mechanism is attached to the translation mechanism, and the opening/closing mechanism is simultaneously connected to the two carrier bars 24, so that the two The conveying bar 24 can be opened/closed, raised/lowered, and translated to facilitate sheet conveyance.

各搬送バー２４の一端と取付板２２との間に調節バネ２３が設置され、調節バネ２３は、搬送バー２４に外嵌され、搬送バー２４の調節バネ２３に近接する一端は、取付板２２に摺動するように連結され、調節バネ２３は、取付板２２の外側に設置され、調節バネ２３の一端は、取付板２２に支持され、他端は、搬送バー２４の端部に支持され、それにより軸方向において搬送バー２４の位置を調節しやすくなる。調節バネ２３は、さらに緩衝作用を果たし、搬送過程に発生する衝撃荷重によってシートを落下させることを回避する。 An adjustment spring 23 is installed between one end of each carrier bar 24 and the mounting plate 22 . The adjusting spring 23 is installed outside the mounting plate 22 , one end of the adjusting spring 23 is supported by the mounting plate 22 and the other end is supported by the end of the carrier bar 24 . , thereby facilitating adjustment of the position of the carrier bar 24 in the axial direction. The adjusting spring 23 also acts as a buffer to prevent the sheet from dropping due to the shock load generated during the transport process.

溶接室１８の両端のエンドキャップ２６の下側と溶接台２０の上側は、間隔をおいて設置され、それにより溶接室１８の両端に供給端と排出端とを形成し、且つ加熱領域に近接する一端は、溶接室１８の供給端であり、冷却領域に近接する一端は、溶接室１８の排出端である。各エンドカバー２６の両端のいずれにも垂直のバッフル板取付溝２６０２が設置され、バッフル板取付溝２６０２内にバッフル板２７が摺動するように取り付けられ、バッフル板２７は、搬送バー２４に摺動するように連結され、且つバッフル板２７と搬送バー２４との間は密閉するように設置され、バッフル板２７は、搬送口２６０１を封止し、それにより搬送バー２４がシートを搬送する過程においてバッフル板２７は搬送バー２４とともにエンドカバー２６の位置する平面内で移動し、バッフル板２７に常に搬送口２６０１を封止させることができ、窒素ガスの漏洩を回避し、さらに搬送口２６０１の大きさに対する制限を解除し、さらに搬送バー２４の移動軌跡を設置しやすくすることができる。バッフル板２７は、さらにエンドカバー２６と溶接台２０との間の隙間、即ち供給端又は排出端を封止し、搬送バー２４がシートを持ち上げる時に排出端を開放することができ、シートの溶接室１８への搬入又は溶接室１８からの搬出に便利であり、窒素ガスの漏洩を回避する。各搬送バー２４の両端のいずれにも密封カバー２５が取り付けられ、各搬送バー２４は密封カバー２５によってバッフル板２７に摺動且つ密閉するように連結される。 The undersides of the end caps 26 and the top side of the welding table 20 at opposite ends of the welding chamber 18 are spaced apart to form feed and discharge ends at opposite ends of the welding chamber 18 and close to the heating area. The end that faces is the supply end of the welding chamber 18 and the end that is adjacent to the cooling area is the discharge end of the welding chamber 18 . A vertical baffle plate mounting groove 2602 is provided at both ends of each end cover 26 , and a baffle plate 27 is slidably mounted in the baffle plate mounting groove 2602 , and the baffle plate 27 slides on the carrier bar 24 . The baffle plate 27 is movably connected and hermetically installed between the transport bar 24 and the baffle plate 27 seals the transport port 2601 so that the transport bar 24 transports the sheet. , the baffle plate 27 moves along with the transfer bar 24 in the plane where the end cover 26 is positioned, and the baffle plate 27 can always seal the transfer port 2601 to avoid leakage of nitrogen gas, and furthermore, the transfer port 2601 is closed. It is possible to remove the restrictions on the size and to facilitate setting of the moving locus of the conveying bar 24 . The baffle plate 27 further seals the gap between the end cover 26 and the welding table 20, i.e., the feed end or the discharge end, so that the discharge end can be opened when the conveying bar 24 lifts the sheet, allowing the sheet to be welded. It is convenient to carry into or out of the welding chamber 18 and avoids leakage of nitrogen gas. A sealing cover 25 is attached to either end of each carrier bar 24 and each carrier bar 24 is slidably and sealingly connected to a baffle plate 27 by the sealing cover 25 .

図８に示すように、溶接台２０は、複数の加熱板３０と複数の冷却板２８とを含み、複数の加熱板３０は、溶接室１８の長手方向に沿って順に設置され、加熱領域を形成し、複数の冷却板２８は、溶接室１８の長手方向に沿って順に設置され、冷却領域を形成し、且つ冷却領域は、排出端に近接するように設置される。負圧吸引モジュール９は、冷却領域に近接する一端の加熱板３０の上側に設置される。 As shown in FIG. 8, the welding table 20 includes a plurality of hot plates 30 and a plurality of cold plates 28, and the plurality of hot plates 30 are sequentially installed along the longitudinal direction of the welding chamber 18 to divide the heating area. Forming, a plurality of cold plates 28 are positioned in sequence along the length of the welding chamber 18 to form a cooling zone, and the cooling zone is positioned adjacent the discharge end. The negative pressure suction module 9 is installed above the heating plate 30 at one end adjacent to the cooling area.

各加熱板３０の両側に加熱板退避口３００１が対称に設置され、各冷却板２８の両端に冷却板退避口２８０１が対称に設置され、各搬送バー２４のいずれにも複数の支持部が間隔をおいて設置され、支持部は、加熱板退避口３００１又は冷却板退避口２８０１内に伸び、加熱板３０又は冷却板２８に水平に置かれたシートを持ち上げ、シート全体を冷却板２８又は加熱板３０に載置させることができ、シートが加熱され柔らかくなり、両端が変形することを回避し、負圧吸引モジュール９と加熱板３０とを密閉しやすくする。 Heating plate evacuation openings 3001 are symmetrically installed on both sides of each heating plate 30 , cooling plate evacuation openings 2801 are symmetrically installed on both ends of each cooling plate 28 , and a plurality of supporting portions are provided at intervals on each of the conveying bars 24 . The supporting part extends into the hot plate evacuation port 3001 or the cooling plate evacuation port 2801, lifts the sheet placed horizontally on the heating plate 30 or the cooling plate 28, and the whole sheet is covered with the cooling plate 28 or the heating plate. It can be placed on the plate 30 to prevent the sheet from being heated and softened and deformed at both ends, which facilitates the sealing between the negative pressure suction module 9 and the heating plate 30 .

各加熱板３０の両側のいずれにも電気加熱管３１が対称に取り付けられ、２つの電気加熱管３１の間の加熱板３０に温度センサ３２が設置され、それにより各加熱板３０に対する独立した制御を実現し、加熱板３０の排出端に近接する方向に沿い温度を徐々に増加させ、徐々にシートを加熱し、加熱が速すぎるため半田ペーストが滴下することを回避する。各冷却板２８のいずれにも給水管２９と排水管とが連結され、制御モジュールは、給水管２９の開閉を制御し、冷却板２８は、冷却水によって冷却板２８上のシートを降温し、且つ排出端に近接する方向に沿い、冷却板２８上の温度は徐々に低減し、それにより徐々にシートを降温し、降温が速すぎるため凝固した半田ペーストが亀裂することを回避する。 An electric heating tube 31 is mounted symmetrically on either side of each heating plate 30, and a temperature sensor 32 is installed on the heating plate 30 between the two electric heating tubes 31, so that each heating plate 30 is controlled independently. , gradually increasing the temperature along the direction close to the discharge end of the heating plate 30 to gradually heat the sheet and avoid the solder paste dripping due to too fast heating. A water supply pipe 29 and a water discharge pipe are connected to each cooling plate 28, the control module controls the opening and closing of the water supply pipe 29, the cooling plate 28 lowers the temperature of the sheet on the cooling plate 28 with the cooling water, And along the direction close to the discharge end, the temperature on the cooling plate 28 is gradually reduced, thereby gradually cooling the sheet and avoiding the cooling too fast to crack the solidified solder paste.

溶接室１８の供給端の外側に供給台２１が設置され、供給台２１の両端のいずれにも支持部に連係する供給台退避口２１０１が設置され、シートを供給台２１に載置するだけで、搬送機構２は、シートを溶接室１８内の溶接台２０に搬送することができる。溶接室１８の排出端に排出台１９が設置され、排出台１９の両端のいずれにも支持部に連係する排出台退避口１９０１が設置され、搬送機構２は、冷却後のシートを排出台１９に搬送し、それにより本真空溶接炉の連続的な溶接を実現し、炉蓋４を開けることなく、排出と供給とを実現することができる。 A supply table 21 is installed outside the supply end of the welding chamber 18 , and a supply table evacuation port 2101 linked to the support portion is installed at both ends of the supply table 21 . , the transport mechanism 2 can transport the sheet to the welding table 20 in the welding chamber 18 . A discharge table 19 is installed at the discharge end of the welding chamber 18 , and discharge table evacuation ports 1901 are provided at both ends of the discharge table 19 . , thereby realizing continuous welding of the present vacuum welding furnace, and realizing discharging and feeding without opening the furnace cover 4.

図９に示すように、溶接室１８の底部に貯液カバー３３が設置され、貯液カバー３３の両側は、側部から中央部へ徐々に下への傾斜状であり、且つ貯液カバー３３の中央部の両端に貯液カバー排出管３３０１が対称に設置され、貯液カバー３３は、冷却領域に液化して形成された水滴を収集し、溶接室１８の外に排出することができ、溶接室１８内にシートの溶接を妨げることを回避する。 As shown in FIG. 9, a liquid storage cover 33 is installed at the bottom of the welding chamber 18, both sides of the liquid storage cover 33 are gradually inclined downward from the sides to the center, and the liquid storage cover 33 Liquid storage cover discharge pipes 3301 are symmetrically installed at both ends of the central part of the liquid storage cover 33, and the liquid storage cover 33 can collect the water droplets formed by liquefying in the cooling area and discharge them out of the welding chamber 18, Avoid interfering with the welding of sheets in the welding chamber 18.

図１０に示すように、加熱板３０は、長方形板であり、加熱板３０の角部に加熱板取付孔３００４が設置される。加熱板３０の両側に電気加熱管取付孔３００２が対称に設置され、電気加熱管取付孔３００２は、水平に設置された貫通孔であり、各電気加熱管取付孔３００２内のいずれにも電気加熱管３１が取り付けられ、それにより均一に加熱することを保証することができる。加熱板３０の中央部にさらに水平のセンサ取付孔３００３が設置され、センサ取付孔３００３は、電気加熱管取付孔３００２と平行に設置された止まり穴であり、且つセンサ取付孔３００３の長さは、加熱板３０の長さの半分であり、温度センサ３２は、センサ取付孔３００３内に取り付けられ、それによりリアルタイムに加熱板３０の温度を検出することができる。 As shown in FIG. 10, the heating plate 30 is a rectangular plate, and the heating plate mounting holes 3004 are installed at the corners of the heating plate 30 . Electric heating pipe mounting holes 3002 are installed symmetrically on both sides of the heating plate 30, and the electric heating pipe mounting holes 3002 are horizontally installed through holes. A tube 31 is attached so that uniform heating can be ensured. A horizontal sensor mounting hole 3003 is further installed in the central part of the heating plate 30, the sensor mounting hole 3003 is a blind hole installed parallel to the electric heating tube mounting hole 3002, and the length of the sensor mounting hole 3003 is , is half the length of the hot plate 30, and the temperature sensor 32 is mounted in the sensor mounting hole 3003, thereby detecting the temperature of the hot plate 30 in real time.

図１１に示すように、冷却板２８は、長さと幅がそれぞれ加熱板３０の長さと幅に等しい長方形板であり、冷却板２８の角部に冷却板取付孔２８０４が設置され、冷却板２８の両側に水平の給水通路２８０２が対称に設置され、給水通路２８０２は、冷却板２８の長手方向に沿って設置され、且つ冷却板２８の一端に水平の排水通路２８０３が設置され、排水通路２８０３は、２つの給水通路２８０２を連通し、それにより冷却板２８全体の温度を均一にし、冷却効果に優れる。排水通路２８０３と給水通路２８０２との両端のいずれにも連結部が設置され、給水管２９と排水管とを連結しやすくする。 As shown in FIG. 11, the cooling plate 28 is a rectangular plate whose length and width are equal to the length and width of the heating plate 30, respectively. A horizontal water supply passage 2802 is installed symmetrically on both sides of the water supply passage 2802, the water supply passage 2802 is installed along the longitudinal direction of the cooling plate 28, and a horizontal drainage passage 2803 is installed at one end of the cooling plate 28, and the drainage passage 2803 communicates the two water supply passages 2802, thereby making the temperature of the entire cooling plate 28 uniform and excellent in cooling effect. Both ends of the drain passage 2803 and the water supply passage 2802 are provided with connecting portions to facilitate connection between the water supply pipe 29 and the drain pipe.

図１２～図１３に示すように、溶接室１８は、ラック１の上側に設置され、溶接室１８は、溶接室取付部材４０によってラック１に固定するように連結される。溶接室１８の両側には、複数の溶接室取付部材４０が対称に設置され、溶接室取付部材４０の下側の両端に下へ突出した固定部４００１が対称に設置され、固定部４００１に貫通孔が設置され、溶接室取付部材４０は、固定部４００１の貫通孔内に設置されたボルトによってラック１に固定するように連結される。溶接室取付部材４０の両端に段付孔４００２が対称に設置され、段付孔４００２の上部の直径は、下部の直径より大きく、各段付孔４００２のいずれにも取付ピン３９が取り付けられ、取付ピン３９は、円筒状であり、且つ取付ピン３９の下端にねじ孔３９０１が同軸設置され、ねじ孔３９０１は、取付ピン３９に設置された止まり穴であり、取付ピン３９の直径は、段付孔４００２上部の直径に等しく、取付ピン３９の下端は、段付孔４００２の上部内に伸び、ボルトによって溶接室取付部材４０に固定するように連結される。加熱板３０の加熱板取付孔３００４は、取付ピン３９の上部に外嵌され、加熱板３０の取り付けを完了させ、冷却板２８の冷却板取付孔２８０４は、取付ピン３９の上部に外嵌され、冷却板２８の取り付けを完了させ、着脱しやすくなる。 As shown in FIGS. 12-13, the welding chamber 18 is installed above the rack 1 and the welding chamber 18 is fixedly connected to the rack 1 by a welding chamber mounting member 40 . A plurality of welding chamber mounting members 40 are symmetrically installed on both sides of the welding chamber 18, and fixed portions 4001 protruding downward are symmetrically installed at both ends of the lower side of the welding chamber mounting members 40, and penetrate through the fixed portions 4001. A hole is provided and the welding chamber mounting member 40 is fixedly connected to the rack 1 by a bolt placed in a through hole of the fixing part 4001 . Stepped holes 4002 are symmetrically installed at both ends of the welding chamber mounting member 40, the upper diameter of the stepped holes 4002 is larger than the lower diameter, each stepped hole 4002 is mounted with a mounting pin 39, The mounting pin 39 is cylindrical, and a threaded hole 3901 is coaxially installed in the lower end of the mounting pin 39, the threaded hole 3901 is a blind hole installed in the mounting pin 39, and the diameter of the mounting pin 39 is stepped. Equal to the diameter of the upper portion of the stepped hole 4002, the lower end of the mounting pin 39 extends into the upper portion of the stepped hole 4002 and is fixedly connected to the welding chamber mounting member 40 by a bolt. The hot plate mounting holes 3004 of the hot plate 30 are fitted over the mounting pins 39 to complete the mounting of the hot plate 30 , and the cooling plate mounting holes 2804 of the cooling plate 28 are fitted over the mounting pins 39 . , completes the installation of the cooling plate 28 and facilitates attachment and detachment.

図１４に示すように、負圧吸引モジュール９は、負圧吸引取付枠３４と、密封板３６と、連結管３７と、負圧吸引昇降シリンダ３５とを含み、負圧吸引取付枠３４は、炉蓋取付板１４の上側に取り付けられ、負圧吸引昇降シリンダ３５は、負圧吸引取付枠３４に取り付けられ、負圧吸引昇降シリンダ３５のピストンロッドは、下へ垂直に設置され、制御モジュールは、負圧吸引昇降シリンダ３５の下への移動を制御し、密封板３６は、炉蓋取付板１４の下側に設置され、密封板３６は、水平に設置されており、密封板３６の底部は、内側へ凹み、密封板３６の底面の密封板３６を取り囲む外縁にシールリングが設置され、密封板３６と加熱板３０とが囲み負圧チャンバを形成し、溶接されるシートは、負圧チャンバ内に設置され、負圧吸引昇降シリンダ３５のピストンロッドに水平の連結板３８が取り付けられ、連結板３８は、炉蓋取付板１４の上側に設置され、連結管３７は、連結板３８と密封板３６との間に設置され、連結管３７は、炉蓋取付板１４に摺動且つ密封するように連結され、連結管３７の下端は、負圧チャンバと連通し、連結管３７の上端に負圧吸引管が連結される。 As shown in FIG. 14, the negative pressure suction module 9 includes a negative pressure suction mounting frame 34, a sealing plate 36, a connecting pipe 37, and a negative pressure suction lifting cylinder 35. The negative pressure suction mounting frame 34 includes: Installed on the upper side of the furnace lid mounting plate 14, the negative pressure suction lifting cylinder 35 is mounted on the negative pressure suction mounting frame 34, the piston rod of the negative pressure suction lifting cylinder 35 is installed vertically downward, and the control module is , to control the downward movement of the negative pressure suction lifting cylinder 35, the sealing plate 36 is installed under the furnace lid mounting plate 14, the sealing plate 36 is installed horizontally, and the bottom of the sealing plate 36 is recessed inward, a sealing ring is installed on the outer edge surrounding the sealing plate 36 on the bottom surface of the sealing plate 36, the sealing plate 36 and the heating plate 30 surround and form a negative pressure chamber, and the sheets to be welded are subjected to a negative pressure A horizontal connecting plate 38 is attached to the piston rod of the negative pressure suction lifting cylinder 35, the connecting plate 38 is installed above the furnace lid mounting plate 14, and the connecting pipe 37 is connected to the connecting plate 38. The connecting pipe 37 is installed between the sealing plate 36 and is slidably and sealingly connected to the furnace lid mounting plate 14 , the lower end of the connecting pipe 37 communicates with the negative pressure chamber, and the upper end of the connecting pipe 37 A negative pressure suction pipe is connected to.

図１５～１６に示すように、溶接室１８の下側には、並進板４１が間隔をおいて設置され、搬送取付アーム４５は、並進板４１と溶接室１８との間に設置され、搬送取付アーム４５は、取付座によって並進板４１に摺動するように取り付けられ、並進機構は、並進板４１に連結され、シートの搬送方向に沿って並進板４１を並進させるように駆動する。並進板４１の下側に水平の搬送取付板５２が間隔をおいて設置され、搬送取付板５２の上部の両側に並進板ガイドレール５１が対称に設置され、並進板ガイドレール５１は、搬送バー２４の中心線と平行に設置され、並進板４１は、下側に設置された並進板スライダによって並進板ガイドレール５１に摺動するように取り付けられ、搬送取付板５２は、昇降機構に取り付けられ、昇降機構とともに昇降する。 As shown in FIGS. 15 and 16, a translation plate 41 is installed under the welding chamber 18 at intervals, and a transfer mounting arm 45 is installed between the translation plate 41 and the welding chamber 18 to transfer The mounting arm 45 is slidably mounted on the translation plate 41 by a mounting seat, and the translation mechanism is connected to the translation plate 41 and drives the translation plate 41 to translate along the sheet conveying direction. A horizontal conveying mounting plate 52 is installed under the translating plate 41 at intervals, and a translating plate guide rail 51 is symmetrically installed on both sides of the upper part of the conveying mounting plate 52. 24, the translation plate 41 is slidably attached to the translation plate guide rail 51 by the translation plate slider installed on the lower side, and the transfer mounting plate 52 is attached to the lifting mechanism. , moves up and down with the lifting mechanism.

昇降機構は、水平に設置された並進枠４９と、昇降案内ブロック４８と、昇降案内枠４７と、搬送昇降シリンダ４６とを含み、ラック１に水平の並進枠ガイドレール５０が取り付けられ、並進枠ガイドレール５０は、並進板ガイドレール５１と平行に設置され、並進枠４９は、下側の並進枠スライダによって並進枠ガイドレール５０に摺動するように取り付けられる。搬送昇降シリンダ４６は、ラック１に水平に取り付けられ、且つ搬送昇降シリンダ４６のピストンロッドは、並進枠４９の方向に向けて設置され、搬送昇降シリンダ４６のピストンロッドは、並進枠４９に連結され、シートの搬送方向に沿い並進枠４９を移動させるように駆動する。並進枠４９の両側のいずれにも昇降案内ブロック４８が対称に設置され、昇降案内ブロック４８の上側に昇降案内部が設置され、昇降案内部は、搬送昇降シリンダ４６に近接する方向に沿い徐々に上への傾斜状であり、昇降案内枠４７は、昇降案内ブロック４８と１対１対応し、昇降案内枠４７の下側に昇降案内輪が回転可能に取り付けられ、昇降案内輪は、対応側の昇降案内ブロック４８の昇降案内部と接し合い、搬送取付板５２の昇降を実現する。ラック１に垂直の昇降ガイドレールが設置され、昇降取付板５２は、昇降スライダによって昇降ガイドレールに摺動するように取り付けられ、搬送取付板５２を案内する。 The lifting mechanism includes a horizontally installed translation frame 49, a lifting guide block 48, a lifting guide frame 47, and a transport lifting cylinder 46. A horizontal translation frame guide rail 50 is attached to the rack 1, and a translation frame The guide rails 50 are installed parallel to the translation plate guide rails 51, and the translation frame 49 is slidably mounted on the translation frame guide rails 50 by the lower translation frame slider. The transfer lift cylinder 46 is horizontally attached to the rack 1 , the piston rod of the transfer lift cylinder 46 is installed facing the translation frame 49 , and the piston rod of the transfer lift cylinder 46 is connected to the translation frame 49 . , to move the translation frame 49 along the sheet conveying direction. Elevation guide blocks 48 are symmetrically installed on both sides of the translation frame 49 , and an elevation guide part is installed on the upper side of the elevation guide block 48 . The lift guide frame 47 has a one-to-one correspondence with the lift guide block 48. A lift guide wheel is rotatably attached to the lower side of the lift guide frame 47, and the lift guide wheel is on the corresponding side. , the lift guide block 48 is in contact with the lift guide portion of the lift guide block 48 to realize the lift of the transfer mounting plate 52 . A vertical lifting guide rail is installed on the rack 1 , and the lifting mounting plate 52 is mounted by a lifting slider so as to slide on the lifting guide rail to guide the transfer mounting plate 52 .

並進機構は、並進枠モータ取付枠５４と、搬送移動枠５５と、並進モータ５３とを含み、並進モータ取付枠５４は、搬送取付板５２の下側に設置され、並進モータ５３は、並進モータ取付枠５４に取り付けられ、並進モータ５３の出力軸は、水平に設置され、シートの搬送方向と平行に設置される。並進モータ５３に同軸に並進ねじが取り付けられ、並進ねじは、並進モータ５３とともに同期しつつ回転し、搬送移動枠５５は、並進モータ取付枠５４に摺動するように取り付けられ、搬送移動枠５５に並進ねじに連係する並進ナットが設置される。搬送移動枠５５の上側は、搬送取付板５２を通過した後に並進板４１に連結され、並進板４１を同期しつつ移動させるように駆動し、搬送移動枠５５と搬送取付板５２とが摺動するように設置される。 The translation mechanism includes a translation frame motor mounting frame 54, a transfer movement frame 55, and a translation motor 53, the translation motor mounting frame 54 being installed under the transfer mounting plate 52, and the translation motor 53 being the translation motor Attached to the mounting frame 54, the output shaft of the translational motor 53 is installed horizontally and parallel to the sheet conveying direction. A translation screw is coaxially attached to the translation motor 53 , and the translation screw rotates in synchronization with the translation motor 53 . A translation nut is installed in the body to communicate with the translation screw. The upper side of the transfer movement frame 55 is connected to the translation plate 41 after passing through the transfer mounting plate 52 , and drives the translation plate 41 to move while being synchronized, so that the transfer movement frame 55 and the transfer mounting plate 52 slide. is installed to

開閉機構は、開閉取付棒４２と、開閉案内板４３と、開閉移動枠５６と、開閉モータ取付枠５７と、開閉モータ移動枠５６と、開閉動力モジュールとを含み、本実施例において、開閉動力モジュールは、開閉モータ５８である。開閉モータ取付枠５７は、搬送取付板５２の下側に設置され、開閉モータ取付枠５７の上側は、並進板４１に連結され、並進板４１とともに同期しつつ移動し、開閉モータ取付枠５７は、搬送取付板５２に摺動するように連結される。開閉モータ５８は、開閉モータ取付枠５７に取り付けられる。開閉移動枠５６は、開閉モータ取付枠５７に摺動するように取り付けられ、開閉モータ５８の出力軸に開閉ねじが同軸に取り付けられ、開閉移動枠５６に開閉ねじに連係する開閉ナットが設置され、開閉モータ５８は、ねじナットのペアによって開閉移動枠５６をシートの搬送方向に沿い並進させるように駆動する。並進板４１の上側に取付棒スライダが設置され、開閉取付棒４２は、取付棒スライダに摺動するように取り付けられ、取付棒は、シートの搬送方向に沿い設置され、開閉移動枠５６の上側は、閉取付棒４２に連結され、開閉取付棒４２を同期しつつ移動させるように駆動し、開閉移動枠５６は、搬送取付板５２に摺動するように連結される。開閉取付棒４２の両端のいずれにも開閉案内板４３が設置され、開閉案内板４３の両側のいずれにも開閉案内部が設置され、開閉案内部は、シートの搬送方向に沿い徐々に内側への傾斜状であり、各搬送取付アーム４５の両端のいずれにも開閉案内輪４４が取り付けられ、開閉案内輪４４と開閉案内板４３の開閉案内部が接し合うように２つの搬送取付アーム４５の間にさらに開閉バネが設置される。並進板４１にさらに取付アームガイドレールが取り付けられ、取付アームガイドレールは、開閉取付棒４２と垂直に設置され、搬送取付アーム４５は、開閉スライダによって取付アームガイドレールに摺動するように取り付けられる。 The opening/closing mechanism includes an opening/closing mounting rod 42, an opening/closing guide plate 43, an opening/closing movement frame 56, an opening/closing motor mounting frame 57, an opening/closing motor movement frame 56, and an opening/closing power module. The module is the open/close motor 58 . The opening/closing motor mounting frame 57 is installed on the lower side of the transfer mounting plate 52, and the upper side of the opening/closing motor mounting frame 57 is connected to the translation plate 41 and moves in synchronism with the translation plate 41. , is slidably connected to the carrier mounting plate 52 . The opening/closing motor 58 is attached to the opening/closing motor mounting frame 57 . The opening/closing movement frame 56 is slidably attached to the opening/closing motor mounting frame 57, the opening/closing screw is coaxially attached to the output shaft of the opening/closing motor 58, and the opening/closing movement frame 56 is provided with an opening/closing nut linked to the opening/closing screw. , the opening/closing motor 58 drives the opening/closing movement frame 56 by means of a pair of screw nuts so as to translate the opening/closing movement frame 56 along the sheet conveying direction. A mounting bar slider is installed on the upper side of the translation plate 41 , and the opening/closing mounting bar 42 is slidably mounted on the mounting bar slider. are connected to the closing mounting rod 42 to drive the opening and closing mounting rod 42 to move in synchronism, and the opening and closing movement frame 56 is slidably connected to the conveying mounting plate 52 . An opening/closing guide plate 43 is installed on both ends of the opening/closing mounting rod 42, and an opening/closing guide portion is installed on both sides of the opening/closing guide plate 43. The opening/closing guide portion gradually moves inward along the sheet conveying direction. An opening/closing guide wheel 44 is attached to both ends of each conveying/mounting arm 45, and the two conveying/mounting arms 45 are arranged so that the opening/closing guide wheel 44 and the opening/closing guide portion of the opening/closing guide plate 43 are in contact with each other. An opening/closing spring is further installed between them. A mounting arm guide rail is further mounted on the translation plate 41, the mounting arm guide rail is installed perpendicular to the opening/closing mounting bar 42, and the conveying mounting arm 45 is mounted by the opening/closing slider so as to slide on the mounting arm guide rail. .

図１７～１８に示すように、浄化モジュール５９は、浄化箱６１と、浄化箱６１内に設置されたコイル６７及びストレーナ６４とを含み、浄化箱６１は、直方体筐体であり、浄化箱６１の一側に浄化箱導入管６２が連結され、浄化箱６１の他側に浄化箱排気管が連結されており、浄化箱排気管と溶接室１８との間にファン６５が設置される。コイル６７は、浄化箱６１内に設置され、コイル６７にさらに給油箱６０が連結され、給油箱６０の排油口は、循環ポンプを介してコイル６７の一端と連通し、コイル６７の他端は、給油箱６０と連通して、冷却油の循環を実現する。浄化箱６１内にさらにコイル６７に連結されたフィン６８が設置され、それにより窒素ガスとより速く熱交換を行い、窒素ガスの温度を低減することができる。浄化箱６１の浄化箱排気管に近接する側にストレーナ取付箱６３が設置され、浄化箱の排気管は、ストレーナ取付箱６３によって浄化箱６１と連通し、ストレーナ６４は、ストレーナ取付箱６３内に垂直に設置され、冷却後の窒素ガスは、ストレーナ６４を通過した後に浄化箱排気管を介して排出され、再び溶接室１８内に輸送され、ストレーナ６４は、液化後のフラックスを濾過し、それにより窒素ガス内のフラックスヒュームを除去するのに用いられる。 As shown in FIGS. 17-18, the purification module 59 includes a purification box 61, a coil 67 and a strainer 64 installed within the purification box 61, the purification box 61 being a cuboid housing. A purification box introduction pipe 62 is connected to one side, a purification box exhaust pipe is connected to the other side of the purification box 61 , and a fan 65 is installed between the purification box exhaust pipe and the welding chamber 18 . The coil 67 is installed in the purification box 61, and the oil supply box 60 is further connected to the coil 67. The oil drain port of the oil supply box 60 communicates with one end of the coil 67 via a circulation pump, and the other end of the coil 67. communicates with the oil filling box 60 to achieve circulation of cooling oil. A fin 68 connected to the coil 67 is further installed in the purification box 61 so that it can exchange heat with the nitrogen gas faster and reduce the temperature of the nitrogen gas. A strainer mounting box 63 is installed on the side of the purification box 61 adjacent to the purification box exhaust pipe, and the purification box exhaust pipe communicates with the purification box 61 through the strainer mounting box 63. The vertically installed nitrogen gas is discharged through the purification box exhaust pipe after passing through the strainer 64 and is transported into the welding chamber 18 again. The strainer 64 filters the liquefied flux and is used to remove flux fumes in nitrogen gas.

浄化箱６１の下側にさらにフラックス回収バレル６６が設置され、浄化箱６１の下側は、フラックス回収バレル６６に近接する一端が他端より低い傾斜状であり、それにより降温し液化された液体をフラックス回収バレル６６内に流れ込むようにすることができる。 A flux recovery barrel 66 is further installed on the lower side of the purification box 61, and the lower side of the purification box 61 is inclined such that one end adjacent to the flux recovery barrel 66 is lower than the other end, thereby lowering the temperature and liquefying the liquid. may flow into the flux collection barrel 66.

上記の真空溶接炉の溶接方法であって、以下のステップを含む。 A welding method for the above vacuum welding furnace, comprising the following steps.

１）炉蓋４は、溶接室１８を封止し、シールドガス導入管は、溶接室１８内にシールドガスを充填する。 1) The furnace lid 4 seals the welding chamber 18, and the shield gas introduction pipe fills the welding chamber 18 with the shield gas.

溶接室１８に、主窒素ガス導入管５および副窒素ガス導入管１６を介して窒素ガスが充填され、溶接室１８全体が窒素ガスで充満され、溶接室１８内の空気が完全に排出される。同時に、電気加熱管３１が加熱板３０を加熱し、給水管２９が冷却板２８内に冷却水を通水する。 The welding chamber 18 is filled with nitrogen gas through the main nitrogen gas introduction pipe 5 and the auxiliary nitrogen gas introduction pipe 16, the entire welding chamber 18 is filled with nitrogen gas, and the air in the welding chamber 18 is completely exhausted. . At the same time, the electric heating tube 31 heats the heating plate 30 and the water supply tube 29 passes cooling water through the cooling plate 28 .

２）搬送機構２は、シートを１枚ずつ負圧チャンバ内に搬送し、加熱領域は、搬送中のシートを段階的に加熱する。 2) The transport mechanism 2 transports the sheets one by one into the negative pressure chamber, and the heating area heats the sheets in stages during transport.

シートを供給台２１に載置し、昇降機構が搬送バー２４を下へ移動させるように駆動し、開閉機構が２本の搬送バー２４を下へシートに近接する位置に移動させるように駆動し、供給台２１上の供給台退避口２１０１と位置合わせ、昇降機構が再び搬送バー２４を下へ移動させるように駆動し、支持部を供給台退避口２１０１内に位置するようにし、続いて開閉機構が再び２本の搬送バー２４を内側へ移動させるように駆動し、支持部をシート両端の下側に移動させるように制御する。昇降機構は、搬送バー２４を上へ移動させるように駆動し、シートの持ち上げを完了させ、同時に供給端のバッフル板２７により供給端をオープンにさせ、並進機構が搬送バー２４を溶接室１８の排出端に近接する方向へ移動させるように駆動し、シートを溶接室１８内の加熱板３０に搬送する。搬送機構２は、逐次に搬送し、それによりシートを各加熱板３０により加熱した後、負圧吸引モジュール９の真下の加熱板３０に入る。 A sheet is placed on the supply table 21, the lifting mechanism drives the conveying bar 24 to move downward, and the opening/closing mechanism drives the two conveying bars 24 to move downward to a position close to the sheet. , aligns with the supply table withdrawal opening 2101 on the supply table 21, and the lifting mechanism drives the conveying bar 24 again to move downward so that the support portion is positioned in the supply table withdrawal opening 2101, and then opened and closed. The mechanism again drives the two transport bars 24 inward and controls the supports to move under the sheet edges. The lift mechanism drives the transport bar 24 to move upward to complete the sheet lifting, while the feed end baffle plate 27 opens the feed end, and the translation mechanism moves the transport bar 24 out of the welding chamber 18 . Driven to move toward the discharge end, the sheet is conveyed to the heating plate 30 within the welding chamber 18 . The transport mechanism 2 sequentially transports the sheet so that the sheet is heated by each hot plate 30 before entering the hot plate 30 directly below the negative pressure suction module 9 .

負圧吸引昇降シリンダ３５が密封板３６を下へ移動させるように駆動し、密封板３６とその真下の加熱板３０とが囲み密封した負圧チャンバに形成するようにし、同時に負圧吸引管が負圧チャンバ内のガスを抽出し、負圧チャンバ内を負圧ないし真空状態に維持するようにし、半田ペースト内の気泡が確実に溢れ出るようにし、溶接の品質を保証する。溶接完了後に負圧吸引昇降シリンダ３５は、密封板３６を上昇させるように駆動する。 The negative pressure suction lifting cylinder 35 is driven to move the sealing plate 36 downward, so that the sealing plate 36 and the heating plate 30 directly below it form a surrounding and sealed negative pressure chamber, and at the same time the negative pressure suction pipe is opened. To extract the gas in the negative pressure chamber, maintain the negative pressure or vacuum state in the negative pressure chamber, ensure that the bubbles in the solder paste overflow, and ensure the welding quality. After welding is completed, the negative pressure suction lifting cylinder 35 is driven to lift the sealing plate 36 .

３）搬送機構２は、負圧チャンバ内で溶接が完了したシートを排出端に搬送し、冷却領域はシートを徐冷する。 3) The conveying mechanism 2 conveys the sheet welded in the negative pressure chamber to the discharge end, and the cooling area slowly cools the sheet.

搬送機構２は、引き続き、排出端に向けてシートを搬送し、順次に各冷却板２８により冷却した後に排出台１９上に移動し、シートの溶接を完了する。 The conveying mechanism 2 continues to convey the sheet toward the discharge end, sequentially cools the sheet by the respective cooling plates 28, and then moves it onto the discharge table 19 to complete the welding of the sheet.

以上の説明は、本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明を限定するものではなく、如何なる当業者であっても、以上に開示された技術的内容により同等に変更された同等の実施例に変更又は変形することができる。但し、本発明の技術的解決手段の内容から逸脱することなく、本発明と均等の範囲で以上の実施例に対して行われる如何なる簡単な修正、同等の変更及び変形は、依然として本発明の技術的解決手段の保護範囲に属する。 The above descriptions are only preferred embodiments of the present invention, and are not intended to limit the present invention. can be changed or transformed into However, without departing from the content of the technical solution of the present invention, any simple modifications, equivalent changes and variations made to the above embodiments within the scope equivalent to the present invention are still subject to the technical aspects of the present invention. belongs to the protection scope of the legal solution.

Claims (19)

溶接室（１８）と、炉蓋（４）と、搬送機構（２）とを含み、炉蓋（４）は、溶接室（１８）の上側を蓋合わせされ、溶接室（１８）と炉蓋（４）との間に溶接チャンバが形成され、溶接室（１８）の下部に溶接台（２０）が設けられた真空溶接炉であって、前記溶接台（２０）の供給端に近接する側は、加熱領域であり、溶接台（２０）の排出端に近接する側は、冷却領域であり、負圧吸引モジュール（９）は、加熱領域の冷却領域に近接する一端の上側に設置され、炉蓋（４）に昇降可能に取付けされ、負圧吸引モジュール（９）の底部と加熱領域とが囲んで密閉した負圧チャンバを形成し、溶接室（１８）または炉蓋（４）にシールドガス導入管が設置され、
前記溶接台（２０）は、複数の加熱板（３０）と複数の冷却板（２８）とを含み、加熱領域は、複数の加熱板（３０）をつなぎ合わせて形成され、冷却領域は、複数の冷却板（２８）をつなぎ合わせて形成される、
ことを特徴とする真空溶接炉。 It includes a welding chamber (18), a furnace lid (4), and a transfer mechanism (2), the furnace lid (4) being capped on the welding chamber (18) and connecting the welding chamber (18) and the furnace lid. (4), and a welding table (20) is provided in the lower part of the welding chamber (18), the side close to the feed end of the welding table (20) is a heating zone, the side close to the discharge end of the welding table (20) is a cooling zone, the negative pressure suction module (9) is installed above one end of the heating zone close to the cooling zone, Liftably mounted on the furnace lid (4), the bottom of the negative pressure suction module (9) and the heating area surround to form a sealed negative pressure chamber, shielding the welding chamber (18) or the furnace lid (4) A gas inlet pipe is installed,
The welding table (20) includes a plurality of hot plates (30) and a plurality of cold plates (28), wherein the heating zone is formed by connecting the plurality of hot plates (30) and the cooling zone is a plurality of formed by joining together the cooling plates (28) of
A vacuum welding furnace characterized by: 前記各々の加熱板（３０）の両側のいずれにも電気加熱管（３１）が対称に設置され、加熱板（３０）の中央部にセンサ取付穴（３００３）が設置され、センサ取付穴（３００３）が２つの電気加熱管（３１）の間に設置された止まり穴であり、センサ取り付け穴（３００３）に温度センサ（３２）が取り付けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。 Electric heating pipes (31) are symmetrically installed on both sides of each heating plate (30), and a sensor mounting hole (3003) is installed in the center of the heating plate (30). ) is a blind hole installed between two electric heating tubes (31), and a temperature sensor (32) is mounted in the sensor mounting hole (3003). Furnace. 各々の前記冷却板（２８）の両側に給水通路（２８０２）が対称に設置され、前記冷却板（２８）の少なくとも一端に２つの給水通路（２８０２）に連通する排水通路（２８０３）が設置される、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。 Water supply passages (2802) are symmetrically installed on both sides of each of the cooling plates (28), and a water discharge passage (2803) communicating with the two water supply passages (2802) is installed at least one end of the cooling plate (28). The vacuum welding furnace according to claim 1, characterized in that: 前記溶接室（１８）の下側に貯液カバー（３３）が設置され、貯液カバー（３３）の底部の両側は、側部から中央部に徐々に下への傾斜状であり、貯液カバー（３３）底部に貯液カバー排出管（３３０１）が設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。 A liquid storage cover (33) is installed under the welding chamber (18), and both sides of the bottom of the liquid storage cover (33) gradually slope downward from the side to the center, The vacuum welding furnace according to claim 1, characterized in that a reservoir cover discharge pipe (3301) is provided at the bottom of the cover (33). 前記シールドガス導入管は、主窒素導入管（５）であり、前記炉蓋（４）の両端のいずれにも主窒素導入管（５）が設置され、前記炉蓋（４）の中央部の両側に副窒素導入管（１６）が対称に設置され、副窒素導入管（１６）が溶接室（１８）に連通される、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。 The shield gas introduction pipe is the main nitrogen introduction pipe (5), and the main nitrogen introduction pipe (5) is installed at both ends of the furnace lid (4), and the main nitrogen introduction pipe (5) is installed at the center of the furnace lid (4). 2. The vacuum welding furnace according to claim 1, characterized in that the secondary nitrogen introduction pipes (16) are symmetrically installed on both sides, and the secondary nitrogen introduction pipes (16) are communicated with the welding chamber (18). 前記炉蓋（４）の下部の両側に吸気板（１７）が対称に設置され、吸気板（１７）の上部に設けられる上側へ開口する吸気口（１７０１）が炉蓋（４）と囲み吸気チャンバを形成し、吸気板（１７）に吸気口（１７０１）と溶接室（１８）とを連通させる複数の噴気孔（１７０２）が間隔をおいて設置され、副窒素ガス導入管（１６）は、吸気口（１７０１）に連通される、ことを特徴とする請求項５に記載の真空溶接炉。 Intake plates (17) are symmetrically installed on both sides of the lower part of the furnace lid (4), and an intake port (1701) opening upward provided in the upper part of the intake plate (17) surrounds the furnace lid (4). A plurality of fumaroles (1702) are provided at intervals to form a chamber, and the intake plate (17) communicates between the intake port (1701) and the welding chamber (18). , and the air inlet (1701). 前記搬送機構（２）は、搬送バー（２４）と、溶接室（１８）の下側に設置された昇降機構、並進機構及び開閉機構とを含み、搬送バー（２４）は、対称に２本設置され、且つその中央部が溶接室（１８）内に設置され、開閉機構は、同時に２本の搬送バー（２４）に連結し、その２本の搬送バー（２４）を開閉させるように駆動し、並進機構は、開閉機構に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその開閉機構を移動させるように駆動し、昇降機構は、並進機構に連結され、その並進機構を昇降させるように駆動し、各搬送バー（２４）のいずれにも複数の支持部が設けられ、溶接台（２０）の両端に、支持部に１対１に対応する退避口が設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。 The transfer mechanism (2) includes a transfer bar (24), and an elevating mechanism, a translation mechanism and an opening/closing mechanism installed below the welding chamber (18). is installed, and its central part is installed in the welding chamber (18), the opening and closing mechanism is connected to the two carrying bars (24) at the same time, and is driven to open and close the two carrying bars (24) The translation mechanism is connected to the opening/closing mechanism and drives the opening/closing mechanism to move along the direction toward or away from the discharge end, and the lifting mechanism is connected to the translation mechanism to raise/lower the translation mechanism. Each carrier bar (24) is provided with a plurality of support parts, and both ends of the welding table (20) are provided with evacuation openings corresponding to the support parts on a one-to-one basis. The vacuum welding furnace according to claim 1, wherein 前記溶接室（１８）の両端のいずれにもエンドカバー（２６）によって封止され、各エンドカバー（２６）の両側のいずれにも搬送口（２６０１）が対称に設置され、搬送バー（２４）は、搬送口（２６０１）を通し開閉機構に連結され、エンドカバー（２６）の底部と溶接台（２０）とが間隔を置いて設置される、ことを特徴とする請求項７に記載の真空溶接炉。 Both ends of the welding chamber (18) are sealed by end covers (26), and transfer ports (2601) are symmetrically installed on both sides of each end cover (26), and a transfer bar (24) is connected to the opening and closing mechanism through the transfer port (2601), and the bottom of the end cover (26) and the welding table (20) are spaced apart from each other. welding furnace. 前記溶接室（１８）の下側に、搬送バー（２４）と１対１対応する搬送取付アーム（４５）が設けられ、搬送取付アーム（４５）の両端は、対応側の搬送バー（２４）の両端に連結され、開閉機構は、２つの搬送取付アーム（４５）に連結される、ことを特徴とする請求項７に記載の真空溶接炉。 A transfer mounting arm (45) corresponding to the transfer bar (24) is provided on the lower side of the welding chamber (18). 8. Vacuum welding furnace according to claim 7, characterized in that the opening and closing mechanism is connected to two transport mounting arms (45). 前記開閉機構は、水平方向に設置された開閉案内板（４３）と開閉動力モジュールとを含み、開閉案内板（４３）は、２本の搬送バー（２４）の間に設置され、開閉案内板（４３）の両側のいずれにも排出端に近接する方向に沿って徐々に内側への傾斜状の開閉案内部が設けられ、各搬送バー（２４）の下側のいずれにも開閉案内部と接し合う開閉案内輪（４４）が取り付けられ、２本の搬送バー（２４）の間に引張状態の開閉バネが設けられ、開閉動力モジュールは、開閉案内板（４３）に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿って開閉案内板を移動させるように駆動すること、を特徴とする請求項７に記載の真空溶接炉。 The opening and closing mechanism includes a horizontally installed opening and closing guide plate (43) and an opening and closing power module, wherein the opening and closing guide plate (43) is installed between two conveying bars (24) to (43) are provided with opening/closing guides gradually inclined inward along the direction of approaching the discharge end, and both sides of each conveying bar (24) are provided with opening/closing guides. The contacting opening and closing guide wheels (44) are installed, the tensioned opening and closing springs are provided between the two conveying bars (24), the opening and closing power module is connected to the opening and closing guide plate (43), and is connected to the discharge end. 8. The vacuum welding furnace according to claim 7, wherein the opening/closing guide plate is driven to move along the approaching or separating direction. 前記昇降機構は、昇降案内ブロック（４８）と搬送昇降シリンダ（４６）とを含み、昇降案内ブロック（４８）の上側に排出端に近接する方向に沿って徐々に下への傾斜状の昇降案内部が設置され、並進機構の下側に昇降案内部と接し合う昇降案内輪が取り付けられ、搬送昇降シリンダ（４６）のピストンロッドは、昇降案内ブロック（４８）に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿って昇降案内ブロック（４８）を移動させるように駆動する、ことを特徴とする請求項７に記載の真空溶接炉。 The elevating mechanism includes an elevating guide block (48) and a conveying elevating cylinder (46). A lift guide wheel is attached to the lower side of the translation mechanism and is in contact with the lift guide part. 8. Vacuum welding furnace according to claim 7, characterized in that it is driven to move the lifting guide block (48) along the direction of separation. 各前記エンドカバー（２６）の両側にバッフル板取付溝（２６０２）が対称に設置され、バッフル板取付溝（２６０２）の位置する平面が搬送バー（２４）の中心線に垂直であり、バッフル板取付溝（２６０２）内にバッフル板（２７）が摺動するように取り付けられ、バッフル板が搬送バー（２４）に摺動し且つ密封するように連結され、バッフル板（２７）が対応側のエンドカバー（２６）に連係され溶接室（１８）の端部を密封する、ことを特徴とする請求項８に記載の真空溶接炉。 The baffle plate mounting grooves (2602) are symmetrically installed on both sides of each end cover (26), the plane in which the baffle plate mounting grooves (2602) are located is perpendicular to the center line of the carrier bar (24), and the baffle plate A baffle plate (27) is slidably mounted in the mounting groove (2602), the baffle plate is slidably and sealingly connected to the carrier bar (24), and the baffle plate (27) is on the corresponding side. 9. Vacuum welding furnace according to claim 8, characterized in that it is associated with an end cover (26) to seal the end of the welding chamber (18). 前記溶接室（１８）の下側に、搬送バー（２４）と１対１対応する搬送取付アーム（４５）が設けられ、搬送取付アーム（４５）の両端は、対応側の搬送バー（２４）の両端に連結され、開閉機構は、２つの搬送取付アーム（４５）に連結される、ことを特徴とする請求項８に記載の真空溶接炉。 A transfer mounting arm (45) corresponding to the transfer bar (24) is provided on the lower side of the welding chamber (18). 9. Vacuum welding furnace according to claim 8, characterized in that the opening and closing mechanism is connected to two transport mounting arms (45). 前記負圧吸引モジュール（９）は、密封板（３６）と負圧吸引昇降シリンダ（３５）とを含み、密封板（３６）は、加熱領域の上側に設置され、加熱領域と平行に設置され、密封板（３６）の底部と加熱領域とが密閉の負圧チャンバを形成し、負圧チャンバに負圧吸引管が連結される、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。 Said negative pressure suction module (9) includes a sealing plate (36) and a negative pressure suction lifting cylinder (35), the sealing plate (36) is installed above the heating area and parallel to the heating area. 2. The vacuum welding furnace according to claim 1, characterized in that the bottom of the sealing plate (36) and the heating area form a closed vacuum chamber, and a vacuum suction pipe is connected to the vacuum chamber. 前記密封板（３６）は、炉蓋（４）の下側に設置され、負圧吸引昇降シリンダ（３５）が炉蓋（４）の上側に設置され、負圧吸引昇降シリンダ（３５）のピストンロッドが連結管（３７）を介して密封板（３６）に連結され、連結管（３７）が負圧チャンバと負圧吸引管とを連通させる、ことを特徴とする請求項１４に記載の真空溶接炉。 The sealing plate (36) is installed under the furnace cover (4), the negative pressure suction lift cylinder (35) is installed above the furnace cover (4), and the piston of the negative pressure suction lift cylinder (35) is 15. Vacuum according to claim 14, characterized in that the rod is connected to the sealing plate (36) via a connecting tube (37), the connecting tube (37) providing communication between the vacuum chamber and the vacuum suction tube. welding furnace. 浄化モジュール（５９）をさらに含み、浄化モジュール（５９）の吸気端と排気端とのいずれも溶接室（１８）と連通する、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉。 The vacuum welding furnace of claim 1, further comprising a purification module (59), wherein both the inlet and outlet ends of the purification module (59) communicate with the welding chamber (18). 前記浄化モジュール（５９）は、浄化箱（６１）と、浄化箱（６１）内に設置されたコイル（６７）及びストレーナ（６４）とを含み、吸気端と排気端とが浄化箱（６１）の両側にそれぞれ設置され、ストレーナ（６４）は、排気端に近接するように設置され、排気端を封止し、コイル（６７）内に循環するクーラントが充填され、浄化箱（６１）の排気端と溶接室（１８）との間にファン（６５）が設置される、ことを特徴とする請求項１６に記載の真空溶接炉。 Said purification module (59) includes a purification box (61), a coil (67) and a strainer (64) installed in the purification box (61), the inlet end and the outlet end of the purification box (61) The strainer (64) is installed close to the exhaust end, sealing the exhaust end, filled with coolant circulating in the coil (67), and the exhaust of the purification box (61) 17. Vacuum welding furnace according to claim 16, characterized in that a fan (65) is installed between the end and the welding chamber (18). 前記浄化モジュール（５９）は、浄化箱（６１）内に設置されたフィン（６８）をさらに含むこと、を特徴とする請求項１７に記載の真空溶接炉。 18. The vacuum welding furnace of claim 17, wherein the purification module (59) further comprises fins (68) located within the purification box (61). 請求項１から１８のいずれか１項に記載の真空溶接炉における溶接プロセスであって、１）炉蓋（４）は、溶接室（１８）を封止し、シールドガス導入管は、溶接室（１８）内にシールドガスを充填するステップと、２）搬送機構（２）は、シートを１枚ずつ負圧チャンバ内に搬送し、加熱領域は、搬送中のシートを段階に加熱するステップと、３）搬送機構（２）は、負圧チャンバ内で溶接が完了したシートを排出端に搬送し、冷却領域は、シートを徐冷するステップと、を含む、ことを特徴とする真空溶接炉の溶接プロセス。 Welding process in a vacuum welding furnace according to any one of claims 1 to 18, characterized in that 1) the furnace lid (4) seals the welding chamber (18) and the shielding gas inlet pipe closes the welding chamber. (18) is filled with a shielding gas; and 2) the transport mechanism (2) transports the sheets one by one into the negative pressure chamber, and the heating area heats the sheets in stages during transport. 3) The conveying mechanism (2) conveys the sheet welded in the negative pressure chamber to the discharge end, and the cooling area slowly cools the sheet. welding process.
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