JP7117842B2 - 誘導加熱装置 - Google Patents
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- 230000006698 induction Effects 0.000 title claims description 156
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 100
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 31
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000255925 Diptera Species 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000005087 graphitization Methods 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N methylidynetantalum Chemical compound [Ta]#C NFFIWVVINABMKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 238000005092 sublimation method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910003468 tantalcarbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
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- General Induction Heating (AREA)
Description
図1(a)は、本発明の第一実施形態に係る誘導加熱装置100の概略構成を示す斜視図である。図1(b)は、図1(a)の誘導加熱装置100の縦断面図である。
図4(a)は、本発明の第二実施形態に係る誘導加熱装置200の縦断面図である。誘導加熱装置200では、誘導制御部材203が、コイル202の軸と垂直な方向において、コイル202の周囲に配されている。すなわち、誘導制御部材203の内壁面がコイル202と対向している。誘導制御部材203以外の構成は、第一実施形態に係る誘導加熱装置100の構成と同様であり、誘導加熱装置100と同等の効果を奏する。
図6(a)は、本発明の第三実施形態に係る誘導加熱装置300の縦断面図である。誘導加熱装置300では、誘導制御部材303が、コイル302の軸と垂直な方向において、コイル302と容器301とで挟まれた空間に配されている。すなわち、誘導制御部材303の内壁面は容器301と対向し、誘導制御部材303の外壁面はコイル302と対向している。誘導制御部材303以外の構成は、第一実施形態に係る誘導加熱装置100の構成と同様であり、誘導加熱装置100と同等の効果を奏する。
図8(a)は、本発明の第四実施形態に係る誘導加熱装置400の概略構成を示す斜視図である。誘導加熱装置400では、コイル402が渦巻き形状(蚊取り線香形状)を有し、コイルの軸402a方向における一端側(上側)に容器401が配されている。誘導制御部材403は、コイル402を挟んで容器401と反対側に配されている。
100A、200A、300A、400A・・・誘導加熱装置の片側部分
101、201、301、401・・・容器
102、202、302、402・・・コイル
102A、202A、302A・・・リング部分
101a、102a、103a、401a、402a、403a・・・中心軸
102b、202b、302b・・・コイルの一端
102c、202c、302c・・・コイルの他端
103、103A、103B、203、303、403・・・誘導制御部材
104、104A、104B、204、304、404・・・駆動機構
105、205、305、405・・・断熱材
C・・・境界線
d、d1、d2、d3、d4・・・離間距離
M・・・被加熱体
t1・・・側壁の厚み
t2・・・軸方向の長さ
Claims (2)
- 被加熱体を収容する容器と、
前記容器の外側に配されたコイルと、
前記コイルに電流を流した際に発生する誘導磁界を制御する誘導制御部材と、
前記誘導制御部材を駆動する駆動機構と、を備えており、
前記コイルが螺旋形状を有し、前記コイルで囲まれる空間に前記容器が配されており、
前記誘導制御部材は両端が開口した円筒状であり、前記誘導制御部材の内径が前記容器の外径より大きく、
前記誘導制御部材が、前記コイルと前記容器とで挟まれた空間に配されていることを特徴とする誘導加熱装置。 - 前記誘導制御部材が、その軸が前記コイルの軸と平行となるように配されていることを特徴とする請求項1に記載の誘導加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017248347A JP7117842B2 (ja) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | 誘導加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017248347A JP7117842B2 (ja) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | 誘導加熱装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019114479A JP2019114479A (ja) | 2019-07-11 |
JP7117842B2 true JP7117842B2 (ja) | 2022-08-15 |
Family
ID=67222747
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017248347A Active JP7117842B2 (ja) | 2017-12-25 | 2017-12-25 | 誘導加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7117842B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005063753A (ja) | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Japan Ajax Magnethermic Co Ltd | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 |
US20070246459A1 (en) | 2006-04-24 | 2007-10-25 | Loveless Don L | Electric induction heat treatment of an end of tubular material |
JP2008103356A (ja) | 2008-01-04 | 2008-05-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 誘導加熱装置 |
JP2011178622A (ja) | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素結晶、その製造方法、その製造装置および坩堝 |
JP2012049066A (ja) | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Toshiba Home Technology Corp | 電磁調理器および保温部材 |
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2017
- 2017-12-25 JP JP2017248347A patent/JP7117842B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005063753A (ja) | 2003-08-08 | 2005-03-10 | Japan Ajax Magnethermic Co Ltd | 誘導加熱装置および誘導加熱方法 |
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JP2012049066A (ja) | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Toshiba Home Technology Corp | 電磁調理器および保温部材 |
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JP2019114479A (ja) | 2019-07-11 |
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