JP7116541B2 - 回転機械の翼の状態の監視センサ及びセンサの位置調節方法 - Google Patents

Description

本開示は、回転機械の翼の状態の監視センサ及びセンサの位置調節方法に関する。

回転機械では、翼やロータ軸などの各部の状態を監視するために監視センサが設けられる場合がある。このような監視センサで監視対象物を適切に監視するためには、監視対象物に対して監視センサを適切な位置に配置する必要がある。例えば、圧縮機のロータ軸の径方向の変位を検出するセンサに関し、径方向外側のケーシングに取り付けられたセンサとロータ軸との距離を調節可能にするセンサの取付け構造が知られている（特許文献１参照）。

特開２０１２－８８２００号公報

例えば、回転機械の動翼の振動を検出する場合、動翼の振動を検出するためのセンサは、動翼の径方向外側のケーシングに取り付けられることが多い。
しかし、回転機械の運転中には、運転による温度上昇により動翼やケーシングが熱伸び等によって変形し、動翼とセンサとの相対位置が変化することがある。例えば、動翼とセンサとの相対位置がケーシングの軸方向に変化すると、センサの検出範囲から動翼が逸脱してしまうおそれがある。そのため、センサの位置をケーシングの軸方向に調節可能とすることが望まれる。
しかし、上述した特許文献１に記載されたセンサの取付け構造では、センサとロータ軸との距離が調節可能であるが、センサの位置をケーシングの軸方向に調節することができない。

上述の事情に鑑みて、本発明の少なくとも一実施形態は、熱伸び等によって翼やケーシングが変形しても翼の状態を監視できる、回転機械の翼の状態の監視センサを提供することを目的とする。

（１）本発明の少なくとも一実施形態に係る回転機械の翼の状態の監視センサは、
回転機械の翼の状態を監視するためのセンサと、
前記回転機械のケーシングに固定されるように構成された第１部分と、
前記センサを保持するとともに、前記ケーシングの軸方向における前記センサの位置を調節可能に前記第１部分に支持された第２部分と、を備える。

上記（１）の構成では、回転機械の運転中の温度上昇により翼やケーシングが熱伸び等によって変形し、翼とセンサとの相対位置がケーシングの軸方向に変化しても、センサの位置をケーシングの軸方向に変更できるので、翼の状態を監視できる。

（２）幾つかの実施形態では、上記（１）の構成において、
前記第２部分は、前記第２部分の中心軸周りに前記第１部分に対して回動可能に構成され、
前記センサは、前記第１部分の中心軸に対して偏心した位置に設けられる。

上記（２）の構成では、第１部分の中心軸がケーシングの径方向に沿うように第１部分をケーシングに固定すれば、第２部分の中心軸周りに第２部分を第１部分に対して回動させることで、センサの位置をケーシングの軸方向に移動できる。

（３）幾つかの実施形態では、上記（１）又は（２）の構成において、
前記第１部分は、前記第１部分の中心軸に対して同芯の円形状の凹部又は凸部により構成される第１嵌合部を含み、
前記第２部分は、前記第１嵌合部の前記凹部又は前記凸部と嵌合する円形の凸部又は凹部により構成される第２嵌合部を含む。

上記（３）の構成では、第１嵌合部に対して第２嵌合部が第１部分の中心軸に対する径方向への位置ずれを規制しながら第１部分に対して第２部分を回動できる。

（４）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（３）の何れかの構成において、
前記第１部分は、複数の締結部材がそれぞれ挿通される複数の第１孔部を有する第１フランジ部を含み、
前記第２部分は、前記複数の締結部材がそれぞれ挿通される複数の第２孔部を有し、前記複数の締結部材によって前記第１フランジ部と結合される第２フランジ部を含み、
前記第１フランジ部と前記第２フランジ部とは相対的に回動可能であり、
前記複数の第１孔部又は前記複数の第２孔部の少なくとも一方は、前記第１フランジ部と前記第２フランジ部との相対的な回動の方向に沿って延在する長孔である。

上記（４）の構成では、締結部材が挿通される複数の第１孔部又は複数の第２孔部の少なくとも一方が長孔であるので、長孔の延在範囲内において第１部分に対して第２部分を任意の角度位置で固定できる。

（５）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（４）の何れかの構成において、前記センサは、前記第１部分の中心軸と平行である前記センサの中心軸周りに回動可能に前記第２部分で保持される。

中心軸に対して非対称な構造であって、翼に対して所定の配向で測定することが必要なセンサを用いる場合、センサの配向が調節可能であることが望まれる。
その点、上記（５）の構成では、センサが翼に対して所定の配向で測定できるようにセンサを回動できる。

（６）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（５）の何れかの構成において、
前記第２部分は、
前記第１部分に対して同芯の中心軸周りに回動可能に前記第１部分に対して固定される被固定部と、
前記センサを保持するとともに、前記被固定部の中心軸に対して偏心して、前記被固定部に対して回動可能に設けられるセンサ保持部と、
を含む。

上記（６）の構成では、被固定部の中心軸がケーシングの径方向に沿っていれば、第１部分に対して被固定部を回動させることで、被固定部の中心軸に対して偏心しているセンサ保持部をケーシングの軸方向に移動できるので、センサをケーシングの軸方向に移動できる。
また、センサ保持部を被固定部に対して回動させることで、ケーシングに対してセンサを回動できる。

（７）幾つかの実施形態では、上記（１）乃至（６）の何れかの構成において、前記第２部分が前記第１部分に対して前記ケーシングの径方向の位置を変更可能に構成されている。

上記（７）の構成では、翼の径方向外側の端部とセンサの位置との距離を変更できる。

（８）本発明の少なくとも一実施形態に係るセンサの位置調節方法は、
回転機械の翼の状態を監視するためのセンサの位置調節方法であって、
前記回転機械のケーシングに第１部分が固定されており、前記センサを保持する第２部分が前記第１部分に支持されており、
前記第１部分と前記第２部分との位置関係を変更することで、前記ケーシングの軸方向における前記センサの位置を調節する位置調節工程、を備える。

上記（８）の方法では、回転機械の運転中の温度上昇により翼やケーシングが熱伸び等によって変形し、翼とセンサとの相対位置がケーシングの軸方向に変化しても、センサの位置をケーシングの軸方向に変更できる。

（９）幾つかの実施形態では、上記（８）の方法において、
前記センサは、前記第１部分の中心軸と平行である前記センサの中心軸周りに回動可能に前記第２部分で保持されており、
前記センサを前記センサの中心軸周りに回動させる回動工程、を備える。

上記（９）の方法では、翼に対して所定の配向で測定することが必要なセンサであっても、センサが翼に対して所定の配向で測定できるようにセンサの中心軸周りの角度位置を調節できる。

（１０）本発明の少なくとも一実施形態に係る回転機械は、
複数の翼が取り付けられる回転軸と、
前記回転軸を収容するケーシングと、
前記複数の翼の状態を監視するための監視センサであって、前記ケーシングの径方向に沿って設けられた前記ケーシングの貫通孔に挿通されて、先端が前記ケーシングの内側に突出する監視センサと、
前記ケーシングの内周面において、前記貫通孔に対して前記翼の回転方向の上流側に取り付けられるセンサ保護部材と、を備える。

例えば、作動流体によって塵埃や液滴が運ばれることによって、ケーシングの内周面から突出した監視センサの先端部分にエロ―ジョンが発生するおそれがある。
その点、上記（１０）の構成では、ケーシングの内周面において、貫通孔に対して翼の回転方向の上流側にセンサ保護部材が取り付けられているので、監視センサのエロ―ジョンを抑制できる。

本発明の少なくとも一実施形態によれば、熱伸び等によって翼やケーシングが変形しても翼の状態を監視センサで監視できる。

幾つかの実施形態に係る蒸気タービンを示す概略構成図である。 動翼の振動検出に係る構成を示した図である。 動翼の振動検出に係る振動波形処理の説明図である。 第１動翼の振動波形を示すグラフである。 ロータに取り付けられた複数のインテグラルシュラウド翼からなる動翼列を動翼の径方向外側から見た状態を模式的に示す図である。 一実施形態の監視センサの断面を模式的に示した図であり、ケーシングの径方向に沿った断面を動翼の回転方向から見た図である。 第１フランジ部をケーシングの径方向外側から見た図である。 第１部分に対する被固定部の角度位置が図６に示した状態とは異なる場合の一例について示す図である。 他の実施形態の監視センサの断面を模式的に示した図であり、ケーシングの径方向に沿った断面を動翼の回転方向から見た図である。 第１部分に対する第２部分の角度位置が図９に示した状態とは異なる場合の一例について示す図である。 中心軸に対して非対称な構造を有するセンサの一例としての電磁ピックアップ式のセンサを中心軸に沿って見たときの模式的な構造を示す図である。 監視センサ９のエロ―ジョン対策について説明する図であり、（ａ）は一実施形態の監視センサの断面を模式的に示した図であり、ケーシングの径方向に沿った断面をケーシングの軸方向に沿って見た図である。（ｂ）は、（ａ）と同様の図であり、センサ保護部材を設置した状態を示している。 変形例に係る第２部分の断面図である。

以下、添付図面を参照して本発明の幾つかの実施形態について説明する。ただし、実施形態として記載されている又は図面に示されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置等は、本発明の範囲をこれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
例えば、「ある方向に」、「ある方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」、「同芯」或いは「同軸」等の相対的或いは絶対的な配置を表す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。
例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
例えば、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
一方、一の構成要素を「備える」、「具える」、「具備する」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。

最初に、幾つかの実施形態に係る回転機械の一例として、図１に示す蒸気タービン１について説明する。なお、図１は、幾つかの実施形態に係る蒸気タービン１を示す概略構成図である。

図１に示すように、幾つかの実施形態に係る蒸気タービン１は、蒸気入口４からケーシング（車室）７ａ内に導入された蒸気によって、ロータ（回転軸）２を回転駆動するように構成されている。なお、同図において、排気室等の蒸気排出機構は省略している。
具体的には、蒸気タービン１は、ロータ２側に設けられた複数の動翼６と、ケーシング７ａ及び該ケーシング７ａ側に設けられた複数の静翼７ｂを含むステータ（静止部）７と、を備える。
複数の動翼６と複数の静翼７ｂとは、ロータ２の中心軸Ｏの方向に交互に配列されている。ロータ２の中心軸Ｏの方向に沿って流れる蒸気が動翼６及び静翼７ｂを通過することによってロータ２が回転し、ロータ２に与えられた回転エネルギーが軸端から取り出されて発電等に利用されるようになっている。
以下の説明では、ロータ２の中心軸Ｏの方向のことをケーシング７ａの軸方向とも呼ぶ。また、ロータ２の径方向のことをケーシング７ａの径方向と呼ぶこともあり、動翼６の径方向と呼ぶこともある。

このように構成される蒸気タービン１のような回転機械では、回転によって翼が振動することが知られている。そのため、回転機械の稼働中の翼の振動を検出することも行われている。例えば、動翼の振動を検出する場合には、動翼の径方向外側端と対向するケーシングに複数のセンサを取り付け、これら複数のセンサによって動翼の振動を検出することがある。
幾つかの実施形態では、動翼６の径方向外側端と対向するケーシング７ａには、動翼６の振動を検出するためのセンサ８を有する監視センサ９が複数取り付けられている。
以下、動翼６の振動検出方法の一例について、概要を説明する。なお、監視センサ９の詳細については、後で説明する。

図２は、動翼６の振動検出に係る構成を示した図である。ロータ２の周囲にはｎ枚の動翼６である第１動翼６－１、第２動翼６－２、第３動翼６－３・・・第ｎ動翼６－ｎが取付けられている。各動翼６の径方向外側の端部、すなわち外周側（先端側）の端部と対向する位置には、動翼６の通過を検出する複数のセンサ８が配置される。センサ８は、図２において不図示のケーシング７ａに対して周方向に等ピッチまたは不等ピッチで例えばｍ個配置される。例えば、複数のセンサ８について、ロータ２の回転方向に沿って順に、第１センサ８－１、第２センサ８－２、第３センサ８－３・・・第ｍセンサ８－ｍと呼ぶ。
各センサ８は、例えば、電磁式のセンサであってもよく、光学式のセンサであってもよく、静電容量式のセンサであってもよく、渦電流式のセンサであってもよい。動翼６の通過を検出できるのであれば、センサ８には、様々な検出方式のセンサを用いることができる。

各センサ８の検出信号は、コントローラ５０に入力されてコントローラ５０で処理されるように構成されている。
なお、コントローラ５０には、ロータ２のゼロ位置（基準位置）を検出するための基準位置センサである、回転検出器５１の信号も入力される。

図３は、動翼６の振動検出に係る振動波形処理の説明図である。図３において、上から順に第１センサ８－１、第２センサ８－２、第３センサ８－３・・・の出力を示し、最下段には回転検出器５１の出力を示す。なお、実線は動翼６が振動していない基準状態における各センサ８からの出力を示す。破線は動翼６が振動している状態（振動状態）における各センサ８からの出力を示す。
第１センサ８－１は、第１動翼６－１の通過による信号Ｓ１１、第２動翼６－２の通過による信号Ｓ１２、第３動翼６－３の通過による信号Ｓ１３・・・を出力する。第２センサ８－２は、第１動翼６－１の通過による信号Ｓ２１、第２動翼６－２の通過による信号Ｓ２２・・・を出力する。同様に、第３センサ８－３は、第１動翼６－１の通過による信号Ｓ３１・・・を出力する。

コントローラ５０は、動翼６が振動していないと仮定したときに各センサ８を各動翼６が通過する第１通過タイミングをそれぞれ算出する。すなわち、コントローラ５０は、図３において実線で示したような、基準状態において出力されると推定される各センサ８からの信号の出力タイミングを第１通過タイミングとして算出する。
また、コントローラ５０は、図３において破線で示したような、各センサ８で実際に検出した信号に基づいて、各動翼６の通過タイミングを第２通過タイミングとして取得する。
そして、コントローラ５０は、算出した上記第１通過タイミングと各センサ８で実際に検出した各動翼６の第２通過タイミングとを比較して、通過時間差△τを算出する。

具体的には、コントローラ５０は、第１動翼６－１について、第１センサ８－１の設置位置における第１動翼６－１の基準状態と振動状態とでの通過時間差Δτ１、第２センサ８－２の設置位置における第１動翼６－１の基準状態と振動状態とでの通過時間差Δτ２、第３センサ８－３の設置位置における第１動翼６－１の基準状態と振動状態とでの通過時間差Δτ３・・・を算出する。同様に、コントローラは、他の動翼６－２～動翼６－ｎについて、各センサ８の設置位置における各動翼６－２～動翼６－ｎの基準状態と振動状態とでの通過時間差Δτをそれぞれ算出する。

コントローラ５０は、上述のようにして算出した通過時間差△τと、動翼６の周速ｕとに基づいて、第１動翼６－１についての変位（振幅）δ１－１、δ１－２、δ１－３・・・を求める。
このようにして得られた振幅δ１－１、δ１－２、δ１－３・・・を図４に示すように時間軸を横軸にとってプロットすることで、第１動翼６－１の振動波形が得られる。図４は、第１動翼６－１の振動波形を示すグラフである。すなわち、コントローラ５０は、算出した振幅δ１－１、δ１－２、δ１－３・・・を図４に示すように時間軸を横軸にとってプロットすることで、第１動翼６－１の振動波形を取得する。

コントローラ５０は、他の動翼６－２～動翼６－ｎについても同様に、振動波形を取得する。そして、コントローラ５０は、取得したこれらの振動波形に基づいて動翼６の面外方向への振動変位を算出して、動翼６の振動状態（振動モード）を検出する。

ところで、蒸気タービン１のような回転機械の運転中には、運転による温度上昇により動翼６やケーシング７ａが熱伸び等によって変形し、動翼６とセンサ８との相対位置が変化することがある。例えば、動翼６とセンサ８との相対位置がケーシング７ａの軸方向に変化すると、センサ８の検出範囲から動翼６が逸脱してしまうおそれがある。特に、インテグラルシュラウド翼と称される動翼の場合、動翼とセンサとのケーシングの軸方向の相対位置について、次に述べるような制約が生じることがある。

例えば、インテグラルシュラウド翼と称される動翼では、動翼の径方向外側の端部にシュラウドが形成されている。図５は、ロータに取り付けられた複数のインテグラルシュラウド翼からなる動翼列を動翼の径方向外側から見た状態を模式的に示す図である。図５に示したインテグラルシュラウド翼６０は、翼型を有する翼型部６１と、翼型部６１における動翼の径方向外側端部に設けられたシュラウド６２とを有する。図５において、矢印ｘは、ケーシングの軸方向を示し、矢印Ｒ１は、インテグラルシュラウド翼６０の回転方向を示す。シュラウド６２の端面は、隣接する他のインテグラルシュラウド翼６０のシュラウド６２の端面に圧接される。

例えば、図５に示すようなインテグラルシュラウド翼からなる動翼列では、センサでインテグラルシュラウド翼６０のそれぞれを検出するためには、センサの検出範囲は、例えばおおよそ、ケーシングの軸方向において２本の２点鎖線で挟まれた範囲ａの間でなくてはならない。例えば、ケーシングの軸方向におけるセンサの位置が、２本の２点鎖線で挟まれた範囲ａから図５において左側にずれた場合、インテグラルシュラウド翼６０がセンサの検出範囲から外れるおそれがある。また、例えば、ケーシングの軸方向におけるセンサの位置が、範囲ａから図５において右側にずれた場合、隣接するインテグラルシュラウド翼６０のシュラウド６２同士が接触しているため、インテグラルシュラウド翼６０を個別に検出できないおそれがある。

そこで、幾つかの実施形態では、以下に述べるように、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置を調節可能に監視センサ９を構成した。

（監視センサ９について）
図６は、一実施形態の監視センサ９の断面を模式的に示した図であり、ケーシング７ａの径方向に沿った断面を動翼６の回転方向から見た図である。また、図９は、他の実施形態の監視センサ９の断面を模式的に示した図であり、ケーシング７ａの径方向に沿った断面を動翼６の回転方向から見た図である。なお、説明の便宜上、図６及び図９においてケーシング７ａの径方向外側となる図示上方向を単に上方向或いは上とも呼び、図６及び図９においてケーシング７ａの径方向内側となる図示下方向を単に下方向或いは下とも呼ぶ。図６及び図９において、ケーシング７ａの軸方向は図示左右方向である。図６及び図９において、矢印ｘはケーシング７ａの軸方向を示している。

幾つかの実施形態の監視センサ９は、動翼６の振動を検出するための、すなわち動翼６の状態を監視するためのセンサ８を備える。幾つかの実施形態の監視センサ９は、ケーシング７ａに固定されるように構成された第１部分１０を備える。幾つかの実施形態の監視センサ９は、センサ８を保持するとともに、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置を調節可能に第１部分１０に支持された第２部分２０を備える。

第２部分２０は、後述するように、第２部分２０の中心軸ＡＸ２周りに第１部分１０に対して回動可能に構成されている。
センサ８は、第１部分１０の中心軸ＡＸ１に対して偏心した位置に設けられている。

幾つかの実施形態では、ケーシング７ａにおける動翼６の径方向外側端と対向する位置には、センサ８を動翼６の径方向外側端と対向させるために貫通孔部７ｃが複数個所に設けられている。貫通孔部７ｃにおけるケーシング７ａの径方向外側の内周面には、例えば、雌ねじ部７ｄが形成されている。

（第１部分１０）
幾つかの実施形態の第１部分１０には、ケーシング７ａの雌ねじ部７ｄと結合される雄ねじ部１１が形成されている。幾つかの実施形態の第１部分１０は、雄ねじ部１１がケーシング７ａの雌ねじ部７ｄと結合されることで、ケーシング７ａに固定される。なお、ケーシング７ａに対する第１部分１０の固定方法は、上述した固定方法に限らず、例えば、ケーシング７ａに設けた管台の雌ねじ部に対して雄ねじ部１１を結合させてもよい。また、ネジ部同士の結合ではなく、第１部分１０の下部にフランジ部を設けるとともに、ケーシング７ａにもフランジ部を設け、これらのフランジ部同士を結合させてもよい。

幾つかの実施形態の第１部分１０には、第２部分２０の後述するセンサ保持部２２０，２３２が挿通される貫通孔１２が形成されている。貫通孔１２の中心軸は、第１部分１０の中心軸ＡＸ１と一致している。
幾つかの実施形態の第１部分１０の上部には、第１嵌合部１３が形成されている。第１嵌合部１３は、第１部分１０の上面から下方に向かって凹んでいて、第１部分１０の中心軸ＡＸ１に対して同芯の円形状の凹部である。
幾つかの実施形態の第１部分１０の上部には、第１フランジ部１４が形成されている。図７は、第１フランジ部１４をケーシング７ａの径方向外側から見た図である。第１フランジ部１４には、第１嵌合部１３よりも外側の部分に、中心軸ＡＸ１を中心とする円周方向に延在する複数の長孔１５が形成されている。

（第２部分２０）
幾つかの実施形態の第２部分２０は、次に述べるように、第２部分２０の中心軸ＡＸ２周りに第１部分１０に対して回動可能に構成されている。

幾つかの実施形態の第２部分２０は、第１部分１０の第１嵌合部１３と嵌合する円形の凸部により構成される第２嵌合部２１を含む。第２嵌合部２１は、第２部分２０の中心軸ＡＸ２に対して同芯の円形状の凸部である。

図６に示した一実施形態の第２部分２０は、被固定部２１０と、センサ保持部２２０とを含み、第２嵌合部２１は、後述するように、被固定部２１０の下部に設けられている。また、図９に示した他の実施形態の第２部分２０では、第２嵌合部２１は、後述するように、フランジ部２３１の下部に設けられている。

まず、図６に示した一実施形態の第２部分２０について説明する。
一実施形態の第２部分２０では、被固定部２１０は、下部フランジ部２１１と、中間部２１２と、上部フランジ部２１３とを有する。被固定部２１０には、上下方向に延在する貫通孔部２１４が形成されている。貫通孔部２１４の中心軸２１４ａは、第２部分２０の中心軸ＡＸ２に対して偏心している。

下部フランジ部２１１は、被固定部２１０の下部に設けられたフランジ部であり、第１部分１０の第１フランジ部１４とフランジ結合される。すなわち、下部フランジ部２１１は、第１フランジ部１４とフランジ結合される第２フランジ部である。
下部フランジ部（第２フランジ部）２１１の下面には、上述した第２嵌合部２１が形成されている。上述したように、第２嵌合部２１は、第２部分２０の中心軸ＡＸ２に対して同芯の円形状の凸部であり、貫通孔部２１４の中心軸２１４ａは、第２部分２０の中心軸ＡＸ２に対して偏心している。したがって、第２嵌合部２１に対して貫通孔部２１４は偏心している。
下部フランジ部２１１には、第２嵌合部２１よりも外側の部分に、中心軸ＡＸ２を中心とする円周上に複数のボルト孔２１５が形成されている。ボルト孔２１５は、円形の孔であり、図７に示した第１フランジ部１４の長孔１５のような中心軸ＡＸ２を中心とする円周方向に延在する長孔ではないが、中心軸ＡＸ２を中心とする円周方向に延在する長孔であってもよい。

中間部２１２は、下部フランジ部２１１と上部フランジ部２１３とを接続する中空軸状の部位であり、内周面が貫通孔部２１４を形成している。

上部フランジ部２１３は、例えば、貫通孔部２１４の中心軸２１４ａと同芯の円盤状のフランジ部である。上部フランジ部２１３には、上部フランジ部２１３の上面から下方に向かって凹んでいる凹部２１６が形成されている。この凹部２１６には、後述するように、ケーシングの径方向におけるセンサ８の位置を調節するためのスペーサ２７１が収納される。
上部フランジ部２１３には、凹部２１６よりも外側の部分に、貫通孔部２１４の中心軸２１４ａを中心とする円周上に複数のボルト孔２１７が形成されている。ボルト孔２１７は、下部フランジ部２１１のボルト孔２１５と同様に円形の孔であり、図７に示した第１フランジ部１４の長孔１５のような中心軸ＡＸ２を中心とする円周方向に延在する長孔ではないが、中心軸ＡＸ２を中心とする円周方向に延在する長孔であってもよい。

一実施形態の第２部分２０におけるセンサ保持部２２０は、フランジ部２２１と、軸部２２２と、段部２２３とを有する。

フランジ部２２１は、被固定部２１０の上部フランジ部２１３とフランジ結合されるフランジ部である。フランジ部２２１は、図７に示した第１フランジ部１４の長孔１５と同様に、センサ保持部２２０の中心軸２２０ａを中心とする円周方向に延在する複数の長孔２２４を有する。

軸部２２２は、フランジ部２２１から下方に延在し、センサ保持部２２０の中心軸２２０ａと同芯の軸状の部位である。軸部２２２は、下端近傍においてセンサ８を保持している。センサ８は、その中心軸８ａがセンサ保持部２２０の中心軸２２０ａと同芯となるように軸部２２２に保持されている。軸部２２２は、被固定部２１０の貫通孔部２１４及び第１部分１０の貫通孔１２に挿通されるとともに、ケーシング７ａの貫通孔部７ｃに挿通される。なお、軸部２２２が被固定部２１０の貫通孔部２１４に挿通されると、センサ保持部２２０の中心軸２２０ａと貫通孔部２１４の中心軸２１４ａが同芯となる。

なお、図６では、ケーシング７ａの径方向における軸部２２２の下端の位置がケーシング７ａの内周面の位置と略同じ位置である。しかし、軸部２２２の下端はケーシング７ａの内周面からケーシング７ａの径方向内側に突出していてもよく、ケーシング７ａの内周面からケーシング７ａの径方向外側に奥まっていてもよい。

段部２２３は、軸部２２２の上部で軸部２２２よりも大きな径を有する段付き部分である。後述するように、被固定部２１０にセンサ保持部２２０を取り付ける際に、被固定部２１０の凹部２１６の上面と段部２２３の下面との間にスペーサ２７１が配置される。

次に、図９に示した他の実施形態の第２部分２０について説明する。図９に示した他の実施形態の第２部分２０は、フランジ部２３１と、第２嵌合部２１と、センサ保持部２３２とを有する。フランジ部２３１と、第２嵌合部２１と、センサ保持部２３２とは、第２部分２０の中心軸ＡＸ２に対して同芯となるように配置されている。

フランジ部２３１は、第１部分１０の上部の第１フランジ部１４とフランジ結合されるフランジ部である。すなわち、フランジ部２３１は、第１フランジ部１４とフランジ結合される第２フランジ部である。
フランジ部（第２フランジ部）２３１には、第２部分２０の中心軸ＡＸ２を中心とする円周上に複数のボルト孔２３３が形成されている。ボルト孔２３３は、円形の孔であり、図７に示した第１フランジ部１４の長孔１５のような中心軸ＡＸ２を中心とする円周方向に延在する長孔ではないが、中心軸ＡＸ２を中心とする円周方向に延在する長孔であってもよい。

他の実施形態の第２部分２０では、第２嵌合部２１は、フランジ部２３１の下部に設けられている。
センサ保持部２３２は、第２嵌合部２１から下方に延在し、上述したように第２部分２０の中心軸ＡＸ２と同芯の軸状の部位である。センサ保持部２３２は、下端近傍においてセンサ８を保持している。センサ８は、その中心軸８ａが第２部分２０の中心軸ＡＸ２から偏心するようにセンサ保持部２３２に保持されている。センサ保持部２３２は、第１部分１０の貫通孔１２に挿通されるとともに、ケーシング７ａの貫通孔部７ｃに挿通される。

なお、図９では、ケーシング７ａの径方向におけるセンサ保持部２３２の下端の位置がケーシング７ａの内周面の位置と略同じ位置である。しかし、センサ保持部２３２の下端はケーシング７ａの内周面からケーシング７ａの径方向内側に突出していてもよく、ケーシング７ａの内周面からケーシング７ａの径方向外側に奥まっていてもよい。

このように構成される幾つかの実施形態の監視センサ９の各部は、次のように組み立てられている。
図６に示した一実施形態の監視センサ９では、ケーシング７ａに固定された第１部分１０の第１嵌合部１３と第２部分２０の被固定部２１０の第２嵌合部２１とが嵌合する。第１部分１０の第１フランジ部１４と被固定部２１０の下部フランジ部２１１とは、長孔１５とボルト孔２１５とに挿通されたボルト７１がナット７２で締結されることで結合される。これにより、第１部分１０に被固定部２１０が固定される。

図６に示した一実施形態の監視センサ９では、被固定部２１０にセンサ保持部２２０が固定される。具体的には、被固定部２１０の上部フランジ部２１３とセンサ保持部２２０のフランジ部２２１とは、ボルト孔２１７と長孔２２４とに挿通されたボルト７１がナット７２で締結されることで結合される。なお、上述したように、被固定部２１０の凹部２１６には、スペーサ２７１が収納されており、凹部２１６の上面とセンサ保持部２２０の段部２２３の下面との間でスペーサ２７１が挟持されている。一実施形態の監視センサ９では、第２部分２０のうち、センサ保持部２２０が第１部分１０に対してケーシング７ａの径方向の位置を変更可能に構成されている。すなわち、スペーサ２７１の厚さを変更することで、ケーシング７ａの径方向におけるセンサ８の位置が調節できるので、動翼６の径方向外側の端部とセンサ８の位置との距離を変更できる。

図９に示した他の実施形態の監視センサ９では、ケーシング７ａに固定された第１部分１０の第１嵌合部１３と第２部分２０の第２嵌合部２１とが嵌合する。第１部分１０の第１フランジ部１４と第２部分２０のフランジ部２３１とは、長孔１５とボルト孔２３３とに挿通されたボルト７１がナット７２で締結されることで結合される。これにより、第１部分１０に第２部分２０が固定される。

次に、上述したように構成された、図６に示す一実施形態の監視センサ９において、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置が調節可能である点について説明する。
図６に示す一実施形態の監視センサ９では、被固定部２１０は、第１部分１０に対して同芯の中心軸周りに回動可能に第１部分１０に対して固定される。具体的には、次のとおりである。
一実施形態の第２部分２０の中心軸ＡＸ２は、被固定部２１０の中心軸であり、上述したように第１部分１０の中心軸ＡＸ１と同芯である。
しかし、上述したように、貫通孔部２１４の中心軸２１４ａは、第２部分２０の中心軸ＡＸ２に対して偏心している。したがって、貫通孔部２１４の中心軸２１４ａは、第１部分１０の中心軸ＡＸ１に対して偏心している。

そのため、第１部分１０の第１嵌合部１３と第２部分２０の被固定部２１０の第２嵌合部２１とを嵌合させた状態で、中心軸ＡＸ１を中心として（中心軸ＡＸ２を中心として）第１部分１０に対して被固定部２１０を回動させると、中心軸ＡＸ１を中心として貫通孔部２１４の中心軸２１４ａが周方向に移動する。上述したように、貫通孔部２１４にはセンサ保持部２２０の軸部２２２が挿通されており、センサ８が軸部２２２に保持されている。したがって、中心軸ＡＸ１を中心として第１部分１０に対して被固定部２１０を回動させると、センサ８が中心軸ＡＸ１を中心とする周方向に移動する。このように、センサ８を中心軸ＡＸ１を中心とする周方向に移動させることで、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置を調節できる。

このように、一実施形態の監視センサ９を用いたセンサの位置調節方法では、第１部分１０と第２部分２０との位置関係を変更することで、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置を調節する位置調節工程を備える。なお、一実施形態の監視センサ９を用いたセンサの位置調節方法において、第１部分１０と第２部分２０との位置関係を変更することには、第１部分１０に対して被固定部２１０を回動させることが含まれる。

図８は、第１部分１０に対する被固定部２１０の角度位置が図６に示した状態とは異なる場合の一例について示す図である。図６と図８を比較すると明らかなように、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置は、図６に比べ図８では、図示右側にずれている。

すなわち、一実施形態の監視センサ９では、第１部分１０に対して被固定部２１０を回動させることで、被固定部２１０の中心軸である第２部分２０の中心軸ＡＸ２に対して偏心しているセンサ保持部２２０をケーシング７ａの軸方向に移動できるので、センサ８をケーシング７ａの軸方向に移動できる。

なお、第１フランジ部１４のボルト孔は複数の長孔１５であるので、中心軸ＡＸ１を中心とする円周方向への長孔１５の延在長さの範囲内において、第１フランジ部１４と下部フランジ部（第２フランジ部）２１１とを相対的に回動させることができる。このように、一実施形態の監視センサ９では、長孔１５が第１フランジ１４部と下部フランジ部（第２フランジ部）２１１との相対的な回動の方向に沿って延在するので長孔１５の延在範囲内において第１部分１０に対して第２部分２０を任意の角度位置で固定できる。

また、図６に示した一実施形態の監視センサ９では、貫通孔部２１４の中心軸２１４ａ（センサ保持部２２０の中心軸２２０ａ）を中心として被固定部２１０に対してセンサ保持部２２０を回動できる。すなわち、センサ８は、第１部分１０の中心軸ＡＸ１と平行であるセンサ８の中心軸周りに回動可能に第２部分２０で保持される。また、センサ保持部２２０は、センサ８を保持するとともに、被固定部２１０の中心軸ＡＸ２に対して偏心して、被固定部２１０に対して回動可能に設けられる。
したがって、図６に示した一実施形態の監視センサ９では、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置に関わらず、センサ８の中心軸を中心とするセンサ８の角度位置を調節できる。

このように、一実施形態の監視センサ９を用いたセンサの位置調節方法では、センサ８をセンサ８の中心軸周りに回動させる回動工程を備える。

これにより、次の作用効果を奏する。
例えば、センサ８として用いることができるセンサには、中心軸に対して非対称な構造であって、動翼６に対して所定の配向で測定することが必要なセンサも含まれる。このようなセンサの一例として、例えば、電磁ピックアップ式のセンサであって、図１１に示すように、永久磁石と検出コイルとが、仕切壁を介して並列に配置されるものが挙げられる。電磁ピックアップ式のセンサでは、永久磁石が形成する磁界の変化を検出コイルで検出する。図１１は、中心軸に対して非対称な構造を有するセンサの一例としての電磁ピックアップ式のセンサを中心軸に沿って見たときの模式的な構造を示す図である。
図１１に示す非対称センサ８０では、非対称センサ８０の中心軸に沿って見たときに、保護部材８４の内部で、永久磁石８１と検出コイル８２とが、仕切壁８３を介して並列に配置されている。

例えば、この非対称センサ８０を幾つかの実施形態に係るセンサ８として用い、非対称センサ８０の中心軸の向きがケーシング７ａの径方向に沿うように非対称センサ８０を配置した場合について説明する。この場合、非対称センサ８０に対して、図１１の矢印ｂで示したように動翼６が最初に永久磁石８１に接近し、次いで検出コイル８２に接近するように非対称センサ８０を配向した場合に、非対称センサ８０における動翼６の検出感度が最も高まる。そのため、非対称センサ８０を幾つかの実施形態に係るセンサ８として用いた場合、非対称センサ８０の配向を変更できるように監視センサ９が構成されていることが望ましい。

その点、一実施形態の監視センサ９では、上述したように、センサ８の中心軸を中心とするセンサ８の角度位置を調節できるので、センサ８として非対称センサ８０を用いた場合に、非対称センサ８０が動翼６に対して所定の配向で測定できるように非対称センサ８０を回動できる。

次に、上述したように構成された、図９に示す他の実施形態の監視センサ９において、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置が調節可能である点について説明する。
図９に示す他の実施形態の第２部分２０では、第２部分２０の中心軸ＡＸ２は、上述したように第１部分１０の中心軸ＡＸ１と同芯である。また、他の実施形態の第２部分２０では、上述したように、センサ８の中心軸８ａは、第２部分２０の中心軸ＡＸ２から偏心している。

そのため、第１部分１０の第１嵌合部１３と第２部分２０の第２嵌合部２１とを嵌合させた状態で、中心軸ＡＸ１を中心として（中心軸ＡＸ２を中心として）第１部分１０に対して第２部分２０を回動させると、中心軸ＡＸ１を中心としてセンサ８の中心軸８ａが、すなわちセンサ８が周方向に移動する。このように、センサ８を中心軸ＡＸ１を中心とする周方向に移動させることで、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置を調節できる。
図１０は、第１部分１０に対する第２部分２０の角度位置が図９に示した状態とは異なる場合の一例について示す図である。図９と図１０を比較すると明らかなように、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置は、図９に比べ図１０では、図示右側にずれている。
なお、図６に示した一実施形態の監視センサ９と同様に、図９に示した他の実施形態の監視センサ９についても、第１フランジ部１４のボルト孔は複数の長孔１５であるので、中心軸ＡＸ１を中心とする円周方向への長孔１５の延在長さの範囲内において、第１フランジ部１４とフランジ部（第２フランジ部）２３１とは相対的に回動させて互いに結合することができる。

このように、幾つかの実施形態の監視センサ９は、上述したように、動翼６の状態を監視するためのセンサ８と、ケーシング７ａに固定されるように構成された第１部分１０と、センサ８を保持する第２部分２０を備える。第２部分２０は、ケーシング７ａの軸方向におけるセンサ８の位置を調節可能に第１部分１０に支持される。
これにより、蒸気タービン１の運転中の温度上昇により熱伸び等が生じることで、動翼６とセンサ８との相対位置がケーシング７ａの軸方向に変化しても、センサ８の位置をケーシング７ａの軸方向に変更できるので、動翼６の状態を監視できる。

また、幾つかの実施形態の監視センサ９では、上述したように、第２部分２０は、第２部分２０の中心軸ＡＸ２周りに第１部分１０に対して回動可能に構成され、センサ８は、第１部分１０の中心軸ＡＸ１に対して偏心した位置に設けられている。これにより、第２部分２０の中心軸ＡＸ２周りに第２部分２０を第１部分１０に対して回動させることで、センサ８の位置をケーシング７ａの軸方向に移動できる。

幾つかの実施形態の監視センサ９では、上述したように、第１部分１０は、中心軸ＡＸ１に対して同芯の円形状の凹部により構成される第１嵌合部１３を含む。また、第２部分２０は、第１嵌合部１３の凹部と嵌合する円形の凸部により構成される第２嵌合部２１を含む。
これにより、第１嵌合部１３に対して第２嵌合部２１が第１部分１０の中心軸ＡＸ１に対する径方向への位置ずれを規制しながら第１部分１０に対して第２部分２０を回動できる。

（監視センサ９のエロ―ジョン対策について）
回転機械の作動流体によって塵埃や液滴が運ばれることによって、ケーシングの内周面から突出した監視センサの先端部分にエロ―ジョンが発生するおそれがある。
例えば、蒸気タービン１では、作動流体である蒸気が凝縮してドレンが生じることがある。

図１２（ａ）は、一実施形態の監視センサ９の断面を模式的に示した図であり、ケーシング７ａの径方向に沿った断面をケーシングの軸方向に沿って見た図である。図１２（ａ）において、矢印Ｒ２は、動翼６の回転方向を示す。例えば図１２（ａ）に示すように、監視センサ９の軸部２２２の下端がケーシング７ａの内周面からケーシング７ａの径方向内側に突出している場合、ドレンは、動翼６の回転方向に沿って運ばれて、軸部２２２におけるケーシング７ａの内周面からの突出部分２２２ａに対して、動翼６の回転方向の上流側から衝突する。そのため、突出部分２２２ａのうち、動翼６の回転方向の上流側にエロ―ジョンが発生するおそれがある。

そこで、幾つかの実施形態では、図１２（ｂ）に示すように、ケーシング７ａの内周面における、貫通孔部７ｃに対して動翼６の回転方向の上流側となる位置にセンサ保護部材７５を取り付けている。これにより、動翼６の回転方向の上流側から運ばれるドレン等が突出部分２２２ａに衝突することを抑制できるので、軸部２２２のエロ―ジョンを抑制できる。なお、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）と同様の図であり、センサ保護部材７５を設置した状態を示している。
センサ保護部材７５は、動翼６の回転方向の上流側から見たときに突出部分２２２ａがセンサ保護部材７５によって隠れるような形状及び大きさであれば、エロ―ジョンの抑制効果が高まる。

センサ保護部材７５の材質は、金属やセラミックス等とすることができる。なお、センサ８の種類が渦電流センサである等、センサ保護部材７５の材質を金属とすることが望ましくない場合には、センサ保護部材７５の材質をセラミックス等の非金属材料とすればよい。

本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、上述した実施形態に変形を加えた形態や、これらの形態を適宜組み合わせた形態も含む。
例えば、上述した幾つかの実施形態では、第１フランジ部１４の複数のボルト孔をそれぞれ長孔１５とすることで、第１部分１０に対して第２部分２０を任意の角度位置で固定できるように構成した。しかし、第１フランジ部１４の複数のボルト孔は、長孔１５でなく、円形の孔であってもよい。この場合であっても複数のボルト孔の配設ピッチ単位で第１部分１０に対する第２部分２０の角度位置を変更できる。例えば、第１フランジ部１４の複数のボルト孔が３０度ピッチで円周上に配置されていれば、第１部分１０に対する第２部分２０の角度位置を３０度ピッチで変更できる。
センサ保持部２２０のフランジ部２２１における長孔２２４についても同様である。

上述した幾つかの実施形態では、第２部分２０の中心軸ＡＸ２周りに、すなわち第１部分１０の中心軸ＡＸ１周りに第１部分１０に対して回動可能に第２部分２０を構成した。そして、センサ８を第１部分１０の中心軸ＡＸ１に対して偏心した位置に設けることにより、第１部分１０に対して第２部分２０を回動させてセンサ８の位置をケーシング７ａの軸方向に調節できるように構成した。しかし、センサ８の位置をケーシング７ａの軸方向に調節するための構成は、このような構成に限定されない。
例えば、中心軸ＡＸ１に沿って見たときの第１部分１０の貫通孔１２の形状を、ケーシング７ａの軸方向に延在する長孔形状としてもよい。そして、第２部分２０の軸部２２２やセンサ保持部２３２を貫通孔１２内におけるケーシング７ａの軸方向の任意の位置に移動させた状態で第１部分１０と第２部分２０とを固定できるようにしてもよい。

上述した他の実施形態では、第２部分２０に対し、センサ８の中心軸８ａを中心にセンサ８を回動できなかった。しかし、例えば、図１３に示すように、センサ保持部２３２に対して中心軸ＡＸ２と平行な方向に延在する孔部２３２ａを設け、この孔部２３２ａに軸部２３５を挿通させる。軸部２３５には、下端近傍においてセンサ８を保持させる。
そして、中心軸ＡＸ２と平行な軸部２３５の中心軸周りに孔部２３２ａ内で軸部２３５を回動させることによって、第２部分２０に対して中心軸８ａを中心にセンサ８を回動できる。軸部２３５の中心軸は、例えばセンサ８の中心軸と８ａと一致するようにしてもよい。なお、図１３は、変形例に係る第２部分２０の断面図である。

上述した幾つかの実施形態では、監視センサ９は、動翼６の振動を検出するために設けられていた。しかし、幾つかの実施形態の監視センサ９に係る構成を静翼７ｂの振動検出のための監視センサに適用してもよい。
また、監視センサ９の用途は動翼６の振動検出に限定されず、例えば、幾つかの実施形態に係る監視センサ９によって、動翼６の径方向外側の端部と、ケーシング７ａの内周面とのクリアランスである、チップクリアランスを検出するようにしてもよい。

上述した一実施形態の監視センサ９では、スペーサ２７１によってセンサ保持部２２０と被固定部２１０との相対位置を調節することでケーシング７ａの径方向におけるセンサ８の位置を調節するように構成されている。しかし、スペーサ２７１によって被固定部２１０と第１部分１０との相対位置を調節するように構成してもよく、このように構成することによっても、ケーシング７ａの径方向におけるセンサ８の位置を調節できる。
また、図９に示した他の実施形態に係る監視センサ９において、第１部分１０と第２部分２０との間にスペーサ２７１を介在させて、スペーサ２７１の厚さを変更することでケーシング７ａの径方向におけるセンサ８の位置を調節できるようにしてもよい。

また、上述した幾つかの実施形態において、互いに結合される２つのフランジ部における一方のフランジ部のボルト孔を長孔とし、他方のフランジ部のボルト孔を円形の孔としている場合に、一方のフランジ部のボルト孔を円形の孔とし、他方のフランジ部のボルト孔を長孔としてもよい。

１ 蒸気タービン
２ ロータ（回転軸）
６ 動翼
７ａ ケーシング（車室）
７ｂ 静翼
８ センサ
９ 監視センサ
１０ 第１部分
１３ 第１嵌合部
１４ 第１フランジ部
１５ 長孔
２０ 第２部分
２１ 第２嵌合部
７５ センサ保護部材
２１０ 被固定部
２１１ 下部フランジ部（第２フランジ部）
２２０，２３２ センサ保持部
２３１ フランジ部（第２フランジ部）

Claims (8)

1. 回転機械の翼の状態を監視するためのセンサと、
   前記回転機械のケーシングに固定されるように構成された第１部分と、
   前記センサを保持するとともに、前記ケーシングの軸方向における前記センサを翼に対して所定の配向で測定できるように調節可能に前記第１部分に支持された第２部分と、を備え、
   前記センサは、前記第１部分の中心軸と平行である前記センサの中心軸周りに回動可能に前記第２部分で保持され、
   前記第２部分は、前記第１部分の中心軸と前記センサの中心軸とが常に平行となるように前記センサを保持する
   回転機械の翼の状態の監視センサ。
2. 前記第２部分は、さらに、前記第２部分の中心軸周りに前記第１部分に対して回動可能に構成され、
   前記センサは、前記第１部分の中心軸に対して偏心した位置に設けられた
   請求項１に記載の回転機械の翼の状態の監視センサ。
3. 前記第１部分は、前記第１部分の中心軸に対して同芯の円形状の凹部又は凸部により構成される第１嵌合部を含み、
   前記第２部分は、前記第１嵌合部の前記凹部又は前記凸部と嵌合する円形の凸部又は凹部により構成される第２嵌合部を含む
   請求項１又は２に記載の回転機械の翼の状態の監視センサ。
4. 前記第１部分は、複数の締結部材がそれぞれ挿通される複数の第１孔部を有する第１フランジ部を含み、
   前記第２部分は、前記複数の締結部材がそれぞれ挿通される複数の第２孔部を有し、前記複数の締結部材によって前記第１フランジ部と結合される第２フランジ部を含み、
   前記第１フランジ部と前記第２フランジ部とは相対的に回動可能であり、
   前記複数の第１孔部又は前記複数の第２孔部の少なくとも一方は、前記第１フランジ部と前記第２フランジ部との相対的な回動の方向に沿って延在する長孔である
   請求項１乃至３の何れか一項に記載の回転機械の翼の状態の監視センサ。
5. 前記第２部分は、
   前記第１部分に対して同芯の中心軸周りに回動可能に前記第１部分に対して固定される被固定部と、
   前記センサを保持するとともに、前記被固定部の中心軸に対して偏心して、前記被固定部に対して回動可能に設けられるセンサ保持部と、
   を含む
   請求項１乃至４の何れか一項に記載の回転機械の翼の状態の監視センサ。
6. 前記第２部分が前記第１部分に対して前記ケーシングの径方向の位置を変更可能に構成されている
   請求項１乃至５の何れか一項に記載の回転機械の翼の状態の監視センサ。
7. 回転機械の翼の状態を監視するためのセンサの位置調節方法であって、
   前記回転機械のケーシングに第１部分が固定されており、前記センサを保持する第２部分が前記第１部分に支持されており、
   前記第１部分と前記第２部分との位置関係を変更することで、前記ケーシングの軸方向における前記センサの位置を調節する位置調節工程、を備え、
   前記位置調節工程では、前記第１部分の中心軸と前記センサの中心軸とが常に平行となるように前記ケーシングの軸方向における前記センサの位置を調節する
   センサの位置調節方法。
8. 前記センサは、前記第１部分の中心軸と平行である前記センサの中心軸周りに回動可能に前記第２部分で保持されており、
   前記センサを前記センサの中心軸周りに回動させる回動工程、を備える
   請求項７に記載のセンサの位置調節方法。

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