JP7111565B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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また、この発明の第2の態様は、基板処理装置であって、スリット状の吐出口を有し、第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置で吐出口から基板の上面に処理液を供給するノズルと、第1ノズル待機位置でノズルの先端側面にスクレーパを当接させたまま吐出口の長手方向にスクレーパを移動させてノズルから余剰の処理液を除去する処理液除去部と、 処理液除去部により除去された処理液を回収する処理液回収部とを備え、処理液回収部は、上方が開放するとともに吐出口の長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有し、第1ノズル待機位置で吐出口および処理液除去部の下方に設けられる容器と、長手方向において吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有し、長手方向と直交する幅方向において中央部が容器の内底面に当接するとともに両端部が立ち上がって処理液除去部を下方から被包するフィルムと、を有し、幅方向においてフィルムの中央部は処理液除去部の下面を覆うように配置され、フィルムの一方端部は処理液除去部の一方側面と対向しながら立ち上がり、フィルムの他方端部は上方に行くにしたがって処理液除去部の他方側面から離れるように立ち上がっていることを特徴としている。
また、この発明の第3の態様は、基板処理装置であって、スリット状の吐出口を有し、第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置で吐出口から基板の上面に処理液を供給するノズルと、第1ノズル待機位置でノズルの先端側面にスクレーパを当接させたまま吐出口の長手方向にスクレーパを移動させてノズルから余剰の処理液を除去する処理液除去部と、処理液除去部により除去された処理液を回収する処理液回収部とを備え、処理液回収部は、上方が開放するとともに吐出口の長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有し、第1ノズル待機位置で吐出口および処理液除去部の下方に設けられる容器と、長手方向において吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有し、長手方向と直交する幅方向において中央部が容器の内底面に当接するとともに両端部が立ち上がって処理液除去部を下方から被包するフィルムと、有し、幅方向においてフィルムの中央部は処理液除去部の下面を覆うように配置され、フィルムの一方端部は処理液除去部の一方側面と対向しながら立ち上がり、フィルムの他方端部は処理液除去部の他方側面と対向しながら立ち上がっていることを特徴としている。
また、この発明の第5の態様は、第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置でノズルに設けられたスリット状の吐出口から基板の上面に処理液を供給する基板処理方法であって、第1ノズル待機位置でノズルの先端側面に処理液除去部のスクレーパを当接させたまま吐出口の長手方向に処理液除去部を移動させてノズルから余剰の処理液を除去する処理液除去工程と、処理液除去工程の実行前に、上方が開放するとともに吐出口の長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有する容器を第1ノズル待機位置で吐出口および処理液除去部の下方に配置し、長手方向において吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有するフィルムのうち長手方向と直交する幅方向における中央部を容器の内底面に当接させるとともに両端部を立ち上がらせて処理液除去部を下方から被包してノズルから除去される処理液をフィルムで回収する準備を行う処理液回収準備工程とを備え、処理液回収準備工程では、幅方向においてフィルムの中央部が処理液除去部の下面を覆うように配置され、フィルムの一方端部が処理液除去部の一方側面と対向しながら立ち上がり、フィルムの他方端部が上方に行くにしたがって処理液除去部の他方側面から離れるように立ち上がるように、フィルムが設けられていることを特徴としている。
さらに、この発明の第6の態様は、第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置でノズルに設けられたスリット状の吐出口から基板の上面に処理液を供給する基板処理方法であって、第1ノズル待機位置でノズルの先端側面に処理液除去部のスクレーパを当接させたまま吐出口の長手方向に処理液除去部を移動させてノズルから余剰の処理液を除去する処理液除去工程と、処理液除去工程の実行前に、上方が開放するとともに吐出口の長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有する容器を第1ノズル待機位置で吐出口および処理液除去部の下方に配置し、長手方向において吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有するフィルムのうち長手方向と直交する幅方向における中央部を容器の内底面に当接させるとともに両端部を立ち上がらせて処理液除去部を下方から被包してノズルから除去される処理液をフィルムで回収する準備を行う処理液回収準備工程とを備え、処理液回収準備工程では、幅方向においてフィルムの中央部が処理液除去部の下面を覆うように配置され、フィルムの一方端部が処理液除去部の一方側面と対向しながら立ち上がり、フィルムの他方端部が処理液除去部の他方側面と対向しながら立ち上がるように、フィルムが設けられていることを特徴としている。
8…メンテナンスユニット
711…(ノズルの)吐出口
71…ノズル
71R…吐出口範囲
79…位置決め機構
81…ノズルクリーナ
82…塗布液回収部
811…(処理液)除去部
812…駆動部
813…ノズル清掃部材
813B…スクレーパ
821…容器
822…バット
822a…突起部位
823…排出口
824…フィルム支持部材
824a…(フィルム支持部材の)傾斜面
825…フィルム
825a…(フィルムの)中央部
825b…フィルム端部(フィルムの一方端部)
825c…フィルム端部(フィルムの一方端部)
Pct…塗布位置(基板処理位置)
Pnc…ノズル清掃位置(第2ノズル待機位置)
Ppd…プリディスペンス位置(第2ノズル待機位置)
S…基板
Sf…基板の表面(基板の上面)
X…長手方向
Y…幅方向
Claims (10)
- スリット状の吐出口を有し、第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置で前記吐出口から基板の上面に処理液を供給するノズルと、
前記第1ノズル待機位置で前記ノズルの先端側面にスクレーパを当接させたまま前記吐出口の長手方向に前記スクレーパを移動させて前記ノズルから余剰の前記処理液を除去する処理液除去部と、
前記処理液除去部により除去された前記処理液を回収する処理液回収部とを備え、
前記処理液回収部は、
上方が開放するとともに前記吐出口の前記長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有し、前記第1ノズル待機位置で前記吐出口および前記処理液除去部の下方に設けられる容器と、
前記長手方向において前記吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有し、前記長手方向と直交する幅方向において中央部が前記容器の内底面に当接することで前記処理液除去部を下方から面状に覆うとともに両端部が立ち上がって前記処理液除去部を下方から被包するフィルムと、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - スリット状の吐出口を有し、第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置で前記吐出口から基板の上面に処理液を供給するノズルと、
前記第1ノズル待機位置で前記ノズルの先端側面にスクレーパを当接させたまま前記吐出口の長手方向に前記スクレーパを移動させて前記ノズルから余剰の前記処理液を除去する処理液除去部と、
前記処理液除去部により除去された前記処理液を回収する処理液回収部とを備え、
前記処理液回収部は、
上方が開放するとともに前記吐出口の前記長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有し、前記第1ノズル待機位置で前記吐出口および前記処理液除去部の下方に設けられる容器と、
前記長手方向において前記吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有し、前記長手方向と直交する幅方向において中央部が前記容器の内底面に当接するとともに両端部が立ち上がって前記処理液除去部を下方から被包するフィルムと、
を有し、
前記幅方向において前記フィルムの前記中央部は前記処理液除去部の下面を覆うように配置され、前記フィルムの一方端部は前記処理液除去部の一方側面と対向しながら立ち上がり、前記フィルムの他方端部は上方に行くにしたがって前記処理液除去部の他方側面から離れるように立ち上がっていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記ノズルが第2ノズル待機位置に位置したときに、前記フィルムの他方端部は前記吐出口の直下に位置して前記吐出口から吐出された前記処理液を受け止めて前記フィルムの前記中央部に案内する基板処理装置。 - スリット状の吐出口を有し、第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置で前記吐出口から基板の上面に処理液を供給するノズルと、
前記第1ノズル待機位置で前記ノズルの先端側面にスクレーパを当接させたまま前記吐出口の長手方向に前記スクレーパを移動させて前記ノズルから余剰の前記処理液を除去する処理液除去部と、
前記処理液除去部により除去された前記処理液を回収する処理液回収部とを備え、
前記処理液回収部は、
上方が開放するとともに前記吐出口の前記長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有し、前記第1ノズル待機位置で前記吐出口および前記処理液除去部の下方に設けられる容器と、
前記長手方向において前記吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有し、前記長手方向と直交する幅方向において中央部が前記容器の内底面に当接するとともに両端部が立ち上がって前記処理液除去部を下方から被包するフィルムと、
を有し、
前記幅方向において前記フィルムの前記中央部は前記処理液除去部の下面を覆うように配置され、前記フィルムの一方端部は前記処理液除去部の一方側面と対向しながら立ち上がり、前記フィルムの他方端部は前記処理液除去部の他方側面と対向しながら立ち上がっていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板処理装置であって、
前記処理液回収部は回収した前記処理液を排出する排出口を有し、
前記容器の内底面は前記排出口に向けて傾斜した傾斜部位を有し、前記フィルムの中央部に流動してきた前記処理液を前記排出口に案内するように前記フィルムの中央部を支持する基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置であって、
前記容器は、上方が開放するバットと、上面が前記傾斜部位となるように前記バットの内部に設けられるフィルム支持部材とを有する基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置であって
前記容器の底部には上方に突起した突起部位が設けられ、前記突起部位の上面が傾斜面に仕上げられて前記傾斜部位として機能する基板処理装置。 - 第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置でノズルに設けられたスリット状の吐出口から基板の上面に処理液を供給する基板処理方法であって、
前記第1ノズル待機位置で前記ノズルの先端側面に処理液除去部のスクレーパを当接させたまま前記吐出口の長手方向に前記処理液除去部を移動させて前記ノズルから余剰の前記処理液を除去する処理液除去工程と、
前記処理液除去工程の実行前に、上方が開放するとともに前記吐出口の前記長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有する容器を前記第1ノズル待機位置で前記吐出口および前記処理液除去部の下方に配置し、前記長手方向において前記吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有するフィルムのうち前記長手方向と直交する幅方向における中央部を前記容器の内底面に当接させることで前記処理液除去部を下方から面状に覆うとともに両端部を立ち上がらせて前記処理液除去部を下方から被包して前記ノズルから除去される前記処理液を前記フィルムで回収する準備を行う処理液回収準備工程と
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置でノズルに設けられたスリット状の吐出口から基板の上面に処理液を供給する基板処理方法であって、
前記第1ノズル待機位置で前記ノズルの先端側面に処理液除去部のスクレーパを当接させたまま前記吐出口の長手方向に前記処理液除去部を移動させて前記ノズルから余剰の前記処理液を除去する処理液除去工程と、
前記処理液除去工程の実行前に、上方が開放するとともに前記吐出口の前記長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有する容器を前記第1ノズル待機位置で前記吐出口および前記処理液除去部の下方に配置し、前記長手方向において前記吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有するフィルムのうち前記長手方向と直交する幅方向における中央部を前記容器の内底面に当接させるとともに両端部を立ち上がらせて前記処理液除去部を下方から被包して前記ノズルから除去される前記処理液を前記フィルムで回収する準備を行う処理液回収準備工程とを備え、
前記処理液回収準備工程では、前記幅方向において前記フィルムの前記中央部が前記処理液除去部の下面を覆うように配置され、前記フィルムの一方端部が前記処理液除去部の一方側面と対向しながら立ち上がり、前記フィルムの他方端部が上方に行くにしたがって前記処理液除去部の他方側面から離れるように立ち上がるように、前記フィルムが設けられていることを特徴とする基板処理方法。 - 第1ノズル待機位置から離れた基板処理位置でノズルに設けられたスリット状の吐出口から基板の上面に処理液を供給する基板処理方法であって、
前記第1ノズル待機位置で前記ノズルの先端側面に処理液除去部のスクレーパを当接させたまま前記吐出口の長手方向に前記処理液除去部を移動させて前記ノズルから余剰の前記処理液を除去する処理液除去工程と、
前記処理液除去工程の実行前に、上方が開放するとともに前記吐出口の前記長手方向の寸法よりも大きい幅を有する箱型形状を有する容器を前記第1ノズル待機位置で前記吐出口および前記処理液除去部の下方に配置し、前記長手方向において前記吐出口よりも大きな寸法を有する帯形状を有するフィルムのうち前記長手方向と直交する幅方向における中央部を前記容器の内底面に当接させるとともに両端部を立ち上がらせて前記処理液除去部を下方から被包して前記ノズルから除去される前記処理液を前記フィルムで回収する準備を行う処理液回収準備工程とを備え、
前記処理液回収準備工程では、前記幅方向において前記フィルムの前記中央部が前記処理液除去部の下面を覆うように配置され、前記フィルムの一方端部が前記処理液除去部の一方側面と対向しながら立ち上がり、前記フィルムの他方端部が前記処理液除去部の他方側面と対向しながら立ち上がるように、前記フィルムが設けられていることを特徴とする基板処理方法。
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