JP7105202B2 - マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体、磁気記録装置、および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体、磁気記録装置、および磁気記録媒体の製造方法に関する。

情報量の増大により、磁気記録媒体には高密度記録化が常に求められている。データ情報の記録密度を高めるためには、磁気記録媒体の磁性層に含まれる強磁性粉末の粒子サイズを小さくすること（以下、「微粒子化」と記載する。）が有効である。しかし、強磁性粉末を微粒子化するほど磁化の熱的安定性が低下し、いわゆる熱揺らぎによって記録の保持性は低下してしまう。

上記の点を、以下に更に説明する。磁化の熱的安定性に関する指標として、「ＫｕＶ／ｋＴ」が知られている。Ｋｕは強磁性粉末の異方性定数、Ｖは粒子体積、ｋはボルツマン定数、Ｔは絶対温度である。磁気エネルギーＫｕＶを熱エネルギーｋＴに対して大きくすることにより、即ち「ＫｕＶ／ｋＴ」の値を大きくすることにより、熱揺らぎの影響を抑える（即ち、磁化の熱的安定性を向上させる）ことができる。しかし、粒子体積Ｖは、高密度記録化のためには小さくすべきである。磁気エネルギーはＫｕとＶとの積であるため、Ｖが小さい領域で磁気エネルギーを高めるためには、Ｋｕを高めればよいことになる。しかし、高いＫｕを有する強磁性粉末は、磁化反転に要するスイッチング磁界が増大するため保磁力Ｈｃが高く、記録に強い外部磁界が必要となり書き込み容易性は低下してしまう。
以上説明したように、高密度記録化、磁化の熱的安定性および書き込み容易性の３つの特性を満たすことはきわめて困難である。このことは、磁気記録のトリレンマと呼ばれ、今後更なる高密度記録化を進めるうえで大きな課題となっている。

ところで、磁気記録媒体は、金属薄膜型と塗布型の二種類に大別される。金属薄膜型磁気記録媒体を搭載した磁気記録装置としては、ハードディスクドライブ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ；ＨＤＤ）が挙げられる。ＨＤＤについては、トリレンマを解決するための手段として、情報記録時に磁気ヘッドからマイクロ波磁界を印加し書き込み容易性を向上する記録方式（マイクロ波アシスト記録）が提案されている（非特許文献１～４参照）。

これに対し、近年、塗布型磁気記録媒体へのマイクロ波アシスト記録の適用の可能性について、検討がなされている（特許文献１の段落００１１等参照）。

ＷＯ２０１７／０９４７５２

Ikuya Tagawa, Masato Shiimoto, Shuya Nosaki, Jun Aoyama and Yosuke Urakami, "Advantage of MAMR Read-Write Performance,"The 26th Magnetic Recording Conference TMRC TMRC2015-D6, pp.067-068 Y. Nozaki, K. Tateishi, S. Taharazako, M. Ohta, S. Yoshimura, and K. Matsuyama, Applied Physics Letters, 91, 122505 (2007); doi: 10.1063/1.2786593 Rie Sato, Kiwamu Kudo, Tazumi Nagasawa, Hirofumi Suto, and Koichi Mizushima, "Simulations and Experiments Toward High-Data-Transfer-Rate Readers Composed of a Spin-Torque Oscillator," IEEE Trans. Magn., vol. 48, no. 5, pp.1758-1764 (2012) T. Yang, H. Suto, T. Nagasawa, K. Kudo, K. Mizushima, R. Sato, "Journal of Magnetism and Magnetic Materials" 332 (2013), pp.52-55

金属薄膜型磁気記録媒体は、蒸着等によって形成された金属薄膜の磁性層を有する磁気記録媒体である。これに対し、塗布型磁気記録媒体は、強磁性粉末を結合剤とともに含む磁性層を有する磁気記録媒体である。塗布型磁気記録媒体は、金属薄膜型磁気記録媒体と比べて化学的耐久性に優れるため、大容量の情報を長期間保存するためのデータストレージメディアとして有用な磁気記録媒体である。したがって、トリレンマを克服し、より一層高密度記録化された大容量データストレージメディアを実現するためには、マイクロ波アシスト記録への適性（以下、「マイクロ波アシスト記録適性」と記載する。）に優れる塗布型磁気記録媒体を提供することが望まれる。

本発明の一態様は、マイクロ波アシスト記録適性に優れる塗布型磁気記録媒体を提供することを目的とする。

本発明の一態様は、
非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、
上記強磁性粉末は、平均粒子サイズが５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３５％以下であり、
上記磁性層は、厚みが２５．０ｎｍ以上１００．０ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が１．０ｎｍ以上１２．０ｎｍ以下である、マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体、
に関する。

また、本発明の一態様は、
磁気記録媒体と、
マイクロ波アシスト記録用磁気ヘッドと、
を含む磁気記録装置であって、
上記磁気記録媒体は、
非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、
上記強磁性粉末は、平均粒子サイズが５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３５％以下であり、
上記磁性層は、厚みが２５．０ｎｍ以上１００．０ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が１．０ｎｍ以上１２．０ｎｍ以下である、磁気記録装置、
に関する。

また、本発明の一態様は、
磁気記録媒体の磁性層にマイクロ波アシスト記録によりサーボパターンを形成することを含み、
上記磁気記録媒体は、
非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、
上記強磁性粉末は、平均粒子サイズが５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３５％以下であり、
上記磁性層は、厚みが２５．０ｎｍ以上１００．０ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が１．０ｎｍ以上１２．０ｎｍ以下である、磁性層にサーボパターンを有する磁気記録媒体の製造方法、
に関する。

一態様では、上記強磁性粉末は、六方晶ストロンチウムフェライト粉末を含むことができる。

一態様では、上記強磁性粉末は、ε－酸化鉄粉末を含むことができる。

一態様では、上記磁性層は、３０ＧＨｚ以上６０ＧＨｚ以下の固有強磁性共鳴周波数を示すことができる。

一態様では、上記磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、４０ｎｍ以下であることができる。

本発明の一態様によれば、マイクロ波アシスト記録を適用することにより、塗布型磁気記録媒体への書き込み容易性を向上させることができる。

データバンドおよびサーボバンドの配置例を示す。 ＬＴＯ（Ｌｉｎｅａｒ－Ｔａｐｅ－Ｏｐｅｎ） Ｕｌｔｒｉｕｍフォーマットテープのサーボパターン配置例を示す。

［マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体］
本発明の一態様は、非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、上記強磁性粉末は、平均粒子サイズが５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３５％以下であり、上記磁性層は、厚みが２５．０ｎｍ以上１００．０ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が１．０ｎｍ以上１２．０ｎｍ以下である、マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体（以下、単に「磁気記録媒体」とも記載する。）に関する。

本発明および本明細書において、「マイクロ波」とは、周波数が３００ＭＨｚ～３００ＧＨｚの電磁波をいうものとする。「マイクロ波アシスト記録」とは、磁性層にマイクロ波磁界を印加することによって強磁性粉末の磁化反転をアシストして磁化パターンを形成する記録方式をいう。本発明および本明細書において、「マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体」とは、磁性層にマイクロ波磁界を印加することによって強磁性粉末の磁化反転をアシストしてデータ情報の記録を行うことと、磁性層にマイクロ波磁界を印加することによって強磁性粉末の磁化反転をアシストしてサーボパターンの形成を行うことの、一方または両方のために使用される磁気記録媒体を意味するものとする。データ情報およびサーボパターンについて、詳細は後述する。

本発明および本明細書において、磁性層および強磁性粉末の磁気特性に関する値は、特記しない限り、２３℃±１℃の測定温度で求められる値とする。

上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、磁性層に含まれる強磁性粉末の平均粒子サイズおよび粒子サイズ分布の変動係数、ならびに磁性層の厚みおよび厚み変動が、それぞれ上記範囲内にある。これらのことが、マイクロ波磁界の印加によって磁化反転がアシストされ易いこと、即ちマイクロ波磁界の印加に対する応答性の向上、に寄与すると、本発明者は考えている。マイクロ波磁界の印加に対する応答性が高いほど、マイクロ波アシスト記録適性に優れるということができる。マイクロ波磁界の印加に対する応答性については、より短時間のマイクロ波磁界の印加によってアシストされて磁化反転が起こるほど、応答性が高いということができる。また、マイクロ波磁界の印加によりアシストされて磁化反転が起こった後の強磁性共鳴ピークの幅（例えば半値幅）が狭いほど、応答性がより高いということができる。更に、マイクロ波磁界の印加によりアシストされて磁化反転が起こった後の強磁性共鳴ピークのピーク強度が強いほど、応答性がより一層高いということができる。
以下、上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体について、更に詳細に説明する。

＜磁性層＞
（強磁性粉末の平均粒子サイズおよび粒子サイズ分布の変動係数）
上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、塗布型の磁気記録媒体であって、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層を有する。磁性層に含まれる強磁性粉末は、平均粒子サイズが５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３５％以下である。磁性層に含まれる強磁性粉末の平均粒子サイズおよび粒子サイズ分布の変動係数が上記範囲内にあることが、マイクロ波磁界の印加に対する応答性向上に寄与すると推察される。マイクロ波磁界の印加に対する応答性の更なる向上の観点から、上記平均粒子サイズは、６ｎｍ以上であることが好ましく、７ｎｍ以上であることがより好ましく、８ｎｍ以上であることが更に好ましく、９ｎｍ以上であることが一層好ましく、１０ｎｍ以上であることがより一層好ましい。同様の観点から、上記平均粒子サイズは、１９ｎｍ以下であることが好ましく、１８ｎｍ以下であることがより好ましく、１７ｎｍ以下であることが更に好ましく、１６ｎｍ以下であることが一層好ましく、１５ｎｍ以下であることがより一層好ましい。上記粒子サイズ分布の変動係数は、例えば、４％以上、６％以上、８％以上、１０％以上、１２％以上、１４％以上、１６％以上、１８％以上、または２０％以上であることができる。ただし、上記で例示した値を下回ることも可能である。また、上記粒子サイズ分布の変動係数は、マイクロ波磁界の印加に対する応答性の更なる向上の観点から、３３％以下であることが好ましく、３０％以下であることがより好ましく、２８％以下であることが更に好ましい。

本発明および本明細書において、各種粉末の「平均粒子サイズ」は、特記しない限り、透過型電子顕微鏡を用いて、以下の方法により測定される値とする。
粉末を、透過型電子顕微鏡を用いて撮影倍率１０００００倍で撮影し、総倍率５０００００倍になるように印画紙にプリントして粉末を構成する粒子の写真を得る。得られた粒子の写真から目的の粒子を選びデジタイザーで粒子の輪郭をトレースし粒子（一次粒子）のサイズを測定する。一次粒子とは、凝集のない独立した粒子をいう。
以上の測定を、無作為に抽出した５００個の粒子について行う。こうして得られた５００個の粒子の粒子サイズの算術平均を、粉末の平均粒子サイズ（以下、「Ｄ」とも表記する。）とする。
また、上記の強磁性粉末の「粒子サイズ分布の変動係数」は、こうして得られた５００個の粒子の粒子サイズの標準偏差σを平均粒子サイズＤで除した値に１００を乗じて求められる。即ち、粒子サイズの変動係数（％）＝（σ／Ｄ）×１００、により求められる。
上記透過型電子顕微鏡としては、例えば日立製透過型電子顕微鏡Ｈ－９０００型を用いることができる。また、粒子サイズの測定は、公知の画像解析ソフト、例えばカールツァイス製画像解析ソフトＫＳ－４００を用いて行うことができる。後述の実施例に示す平均粒子サイズは、特記しない限り、透過型電子顕微鏡として日立製透過型電子顕微鏡Ｈ－９０００型、画像解析ソフトとしてカールツァイス製画像解析ソフトＫＳ－４００を用いて測定された値である。本発明および本明細書において、粉末とは、複数の粒子の集合を意味する。例えば、強磁性粉末とは、複数の強磁性粒子の集合を意味する。また、複数の粒子の集合とは、集合を構成する粒子が直接接触している態様に限定されず、後述する結合剤、添加剤等が、粒子同士の間に介在している態様も包含される。

粒子サイズ測定のために磁気記録媒体から試料粉末を採取する方法としては、例えば特開２０１１－０４８８７８号公報の段落００１５に記載の方法を採用することができる。

本発明および本明細書において、特記しない限り、粉末を構成する粒子のサイズ（粒子サイズ）は、上記の粒子写真において観察される粒子の形状が、
（１）針状、紡錘状、柱状（ただし、高さが底面の最大長径より大きい）等の場合は、粒子を構成する長軸の長さ、即ち長軸長で表され、
（２）板状または柱状（ただし、厚みまたは高さが板面または底面の最大長径より小さい）の場合は、その板面または底面の最大長径で表され、
（３）球形、多面体状、不特定形等であって、かつ形状から粒子を構成する長軸を特定できない場合は、円相当径で表される。円相当径とは、円投影法で求められるものを言う。

また、粉末の平均針状比は、上記測定において粒子の短軸の長さ、即ち短軸長を測定し、各粒子の（長軸長／短軸長）の値を求め、上記５００個の粒子について得た値の算術平均を指す。ここで、特記しない限り、短軸長とは、上記粒子サイズの定義で（１）の場合は、粒子を構成する短軸の長さを、同じく（２）の場合は、厚みまたは高さを各々指し、（３）の場合は、長軸と短軸の区別がないから、（長軸長／短軸長）は、便宜上１とみなす。
そして、特記しない限り、粒子の形状が特定の場合、例えば、上記粒子サイズの定義（１）の場合、平均粒子サイズは平均長軸長であり、同定義（２）の場合、平均粒子サイズは平均板径である。同定義（３）の場合、平均粒子サイズは、平均直径（平均粒径、平均粒子径ともいう）である。

（磁性層の厚みおよび厚み変動）
上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体の磁性層は、厚みが２５．０ｎｍ以上１００．０ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が１．０ｎｍ以上１２．０ｎｍ以下である。磁性層の厚みおよび厚み変動が上記範囲内にあることも、マイクロ波磁界の印加に対する応答性向上に寄与すると推察される。マイクロ波磁界の印加に対する応答性の更なる向上の観点から、磁性層の厚みは、３０．０ｎｍ以上であることが好ましく、３５．０ｎｍ以上であることがより好ましく、４０．０ｎｍ以上であることが更に好ましく、４５．０ｎｍ以上であることが一層好ましい。同様の観点から、磁性層の厚みは、９５．０ｎｍ以下であることが好ましく、９０．０ｎｍ以下であることがより好ましく、８５．０ｎｍ以下であることが更に好ましく、８０．０ｎｍ以下であることが一層好ましく、７５．０ｎｍ以下であることがより一層好ましく、７０．０ｎｍ以下であることが更に一層好ましく、６５．０ｎｍ以下であることがなお一層好ましい。また、磁性層の厚み変動は、マイクロ波磁界の印加に対する応答性の更なる向上の観点から、２．０ｎｍ以上であることが好ましく、３．０ｎｍ以上であることがより好ましく、４．０ｎｍ以上であることが更に好ましく、５．０ｎｍ以上であることが一層好ましい。同様の観点から、磁性層の厚み変動は、１１．０ｎｍ以下であることが好ましく、１０．０ｎｍ以下であることがより好ましく、９．０ｎｍ以下であることが更に好ましい。磁性層の厚みは、例えば磁性層形成用組成物の塗布量により調整することができる。また、磁性層の厚み変動は、例えば、磁気記録媒体の製造条件（例えばカレンダ処理条件等）により調整することができる。

磁性層の「厚み」は、磁気記録媒体の厚み方向の断面を、イオンビーム、ミクロトーム等の公知の手法により露出させた後、露出した断面において走査型透過電子顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ；ＳＴＥＭ）により断面観察を行い、ここで無作為に選択した１０箇所について得られた厚みの値の算術平均として求めるものとする。また、「厚み変動」は、こうして得られた値の中の「最大値－最小値」として求めるものとする。非磁性支持体および磁性層以外の層の厚みも、上記と同様に求めることができる。厚みの測定方法の具体例については、後述の実施例における磁性層の厚みの測定方法に関する記載を参照できる。

（固有強磁性共鳴周波数）
上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体の磁性層は、一態様では、３０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示すことができる。磁性層が３０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示すことは、マイクロ波磁界の印加によってアシストして磁化反転を起こすために好ましい。また、３０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層は熱揺らぎの影響を受け難い傾向があり熱的安定性に優れるため、磁性層が３０ＧＨｚ以上の固有強磁性共鳴周波数を示すことは、記録の保持性を向上するために好ましい。磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数は、例えば３５ＧＨｚ以上または３８ＧＨｚ以上であることもできる。また、磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数は、例えば６０ＧＨｚ以下、５５ＧＨｚ以下または５０ＧＨｚ以下であることができる。ただし、高い固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層ほど記録の保持性に優れるため、磁性層の固有強磁性共鳴周波数は、上記で例示した値を超えてもよい。また、磁性層は、２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示すこともでき、２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示す単層の磁性層であることもできる。後述するようにマイクロ波アシスト記録によって単層の磁性層に２以上の異なる情報を記録（即ち多重記録）することを可能にする観点からは、単層の磁性層が２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示すことは好ましい。単層の磁性層が２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示す場合、少なくとも１つの固有強磁性共鳴周波数が３０ＧＨｚ以上であることができ、２つ以上の固有強磁性共鳴周波数が３０ＧＨｚ以上であることもできる。

強磁性共鳴とは、固有振動数に等しいマイクロ波磁界を与えることにより、強磁性体の磁気モーメント（電子スピン）が大きく歳差運動する現象である。本発明および本明細書において、磁性層の「固有強磁性共鳴周波数」とは、磁性層に飽和磁界以上の外部磁界を反転させるべき磁化方向と同一方向に印加することによって磁性層の磁化を飽和させた後、印加磁界をゼロにしたときに、ベクトルネットワークアナライザ（ＶＮＡ；ｖｅｃｔｏｒ ｎｅｔｗｏｒｋ ａｎａｌｉｚｅｒ）によって測定される磁性層の吸収ピーク周波数である。上記の「同一方向」等の本発明および本明細書における方向に関する記載は、本発明が属する技術分野において許容される誤差の範囲を含むものとする。例えば、誤差については、厳密な方向から角度±３０°程度の誤差は許容されるものとする。また、ここで「磁化方向」とは、磁性層に含まれる強磁性粉末の個々の粒子（強磁性粒子）の磁化方向の平均の磁化方向である。例えば、磁気記録媒体の製造時に磁性層に配向処理を施す場合、配向処理において磁性層に印加する磁界の方向が、通常、個々の粒子の磁化方向の平均の磁化方向となる。ベクトルネットワークアナライザとしては、例えば、アンリツ社製ＭＳ４６４７Ｂ等の公知のベクトルネットワークアナライザを使用することができる。また、測定時に磁性層とベクトルネットワークアナライザを接続するためのケーブルおよび／またはプローバとしては、磁界中に配置されても磁界の影響を受けない部材、即ち非磁性部材によって構成されたものを使用する。ベクトルネットワークアナライザを使用した吸収ピーク周波数の測定方法については、例えば、Ｙ． Ｎｏｚａｋｉ， Ｋ． Ｔａｔｅｉｓｈｉ， Ｓ． Ｔａｈａｒａｚａｋｏ， Ｍ． Ｏｈｔａ， Ｓ． Ｙｏｓｈｉｍｕｒａ， ａｎｄ Ｋ． Ｍａｔｓｕｙａｍａ， Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ， ９１， １２２５０５（２００７）；ｄｏｉ：１０．１０６３／１．２７８６５９３を参照できる。また、後述の実施例の記載も参照できる。
磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数は、磁性層に含まれる強磁性粉末の保磁力Ｈｃによって制御することができる。保磁力Ｈｃが高い強磁性粉末を含む磁性層ほど、高い固有強磁性共鳴周波数を示す傾向がある。また、２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示す磁性層は、例えば、保磁力Ｈｃが異なる二種以上の強磁性粉末を用いることにより作製することができる。強磁性粉末の保磁力Ｈｃ等の詳細については、後述する。

（十点平均粗さＲｚ）
上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体の磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、一態様では、４５ｎｍ以下であることができる。マイクロ波磁界の印加に対する応答性のより一層の向上の観点からは、磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、４０ｎｍ以下であることが好ましく、３８ｎｍ以下であることがより好ましく、３５ｎｍ以下であることが更に好ましく、３５ｎｍ未満であることが一層好ましい。また、磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、例えば、１０ｎｍ以上または１５ｎｍ以上であることができる。磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、例えば、磁気記録媒体の製造条件（例えばカレンダ処理条件等）により調整することができる。

磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、原子間力顕微鏡（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ；ＡＦＭ）により磁性層表面の面積４０μｍ×４０μｍの領域において測定される値とする。測定条件の一例としては、下記の測定条件を挙げることができる。本発明および本明細書において、「磁性層（の）表面」とは、磁気記録媒体の磁性層側表面と同義である。
ＡＦＭ（Ｖｅｅｃｏ社製Ｎａｎｏｓｃｏｐｅ４）をタッピングモードで用いて磁気記録媒体の磁性層の表面の面積４０μｍ×４０μｍの領域を測定する。探針としてはＢＲＵＫＥＲ社製ＲＴＥＳＰ－３００を使用し、スキャン速度（探針移動速度）は４０μｍ／秒、分解能は５１２ｐｉｘｅｌ×５１２ｐｉｘｅｌとする。

（強磁性粉末）
上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体の磁性層に含まれる強磁性粉末としては、六方晶フェライト粉末およびε－酸化鉄粉末を挙げることができる。六方晶フェライト粉末としては、六方晶ストロンチウムフェライト粉末が好ましい。一般に、強磁性粉末として六方晶ストロンチウムフェライト粉末を含む磁性層は、磁化の熱的安定性に優れる傾向があるものの、書き込み容易性は低い傾向がある。一方、マイクロ波アシスト記録は、書き込み容易性が低い傾向がある磁気記録媒体に適用することが好ましい。マイクロ波磁界の印加によって、磁化反転をアシストできるからである。以上の観点から、上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体の磁性層に含まれる強磁性粉末として、六方晶ストロンチウムフェライト粉末は好ましい。また、同様の観点から、ε－酸化鉄粉末も好ましい。磁性層に含まれる強磁性粉末としては、二種以上の異なる種類の強磁性粉末を組み合わせて使用してもよい。例えば、六方晶ストロンチウムフェライト粉末およびε－酸化鉄粉末は、磁性層に含まれる強磁性粉末として、一方のみを使用してもよく、これらを組み合わせて使用してもよい。
以下に、六方晶フェライト粉末およびε－酸化鉄粉末について、更に詳細に説明する。

－六方晶フェライト粉末－
本発明および本明細書において、「六方晶フェライト粉末」とは、Ｘ線回折分析によって、主相として六方晶フェライト型の結晶構造が検出される強磁性粉末をいうものとする。主相とは、Ｘ線回折分析によって得られるＸ線回折スペクトルにおいて最も高強度の回折ピークが帰属する構造をいう。例えば、Ｘ線回折分析によって得られるＸ線回折スペクトルにおいて最も高強度の回折ピークが六方晶フェライト型の結晶構造に帰属される場合、六方晶フェライト型の結晶構造が主相として検出されたと判断するものとする。Ｘ線回折分析によって単一の構造のみが検出された場合には、この検出された構造を主相とする。六方晶フェライト型の結晶構造は、構成原子として、少なくとも鉄原子、二価金属原子および酸素原子を含む。二価金属原子とは、イオンとして二価のカチオンになり得る金属原子であり、ストロンチウム原子、バリウム原子、カルシウム原子等のアルカリ土類金属原子、鉛原子等を挙げることができる。本発明および本明細書において、六方晶ストロンチウムフェライト粉末とは、この粉末に含まれる主な二価金属原子がストロンチウム原子であるものをいい、六方晶バリウムフェライト粉末とは、この粉末に含まれる主な二価金属原子がバリウム原子であるものをいう。主な二価金属原子とは、この粉末に含まれる二価金属原子の中で、原子％基準で最も多くを占める二価金属原子をいうものとする。ただし、上記の二価金属原子には、希土類原子は包含されないものとする。六方晶フェライト粉末は、希土類原子を含んでいてもよく、含まなくてもよい。本発明および本明細書における「希土類原子」は、スカンジウム原子（Ｓｃ）、イットリウム原子（Ｙ）、およびランタノイド原子からなる群から選択される。ランタノイド原子は、ランタン原子（Ｌａ）、セリウム原子（Ｃｅ）、プラセオジム原子（Ｐｒ）、ネオジム原子（Ｎｄ）、プロメチウム原子（Ｐｍ）、サマリウム原子（Ｓｍ）、ユウロピウム原子（Ｅｕ）、ガドリニウム原子（Ｇｄ）、テルビウム原子（Ｔｂ）、ジスプロシウム原子（Ｄｙ）、ホルミウム原子（Ｈｏ）、エルビウム原子（Ｅｒ）、ツリウム原子（Ｔｍ）、イッテルビウム原子（Ｙｂ）、およびルテチウム原子（Ｌｕ）からなる群から選択される。六方晶フェライト粉末としては、上記の通り、六方晶ストロンチウムフェライト粉末が好ましい。以下に、六方晶ストロンチウムフェライト粉末について、更に詳細に説明する。

六方晶フェライトの結晶構造としては、マグネトプランバイト型（「Ｍ型」とも呼ばれる。）、Ｗ型、Ｙ型およびＺ型が知られている。六方晶ストロンチウムフェライト粉末は、いずれの結晶構造を取るものであってもよい。結晶構造は、Ｘ線回折分析によって確認することができる。六方晶ストロンチウムフェライト粉末は、Ｘ線回折分析によって、単一の結晶構造または二種以上の結晶構造が検出されるものであることができる。例えば一態様では、六方晶ストロンチウムフェライト粉末は、Ｘ線回折分析によってＭ型の結晶構造のみが検出されるものであることができる。例えば、Ｍ型の六方晶フェライトは、ＡＦｅ₁₂Ｏ₁₉の組成式で表される。ここでＡは二価金属原子を表し、六方晶ストロンチウムフェライト粉末がＭ型である場合、Ａはストロンチウム原子（Ｓｒ）のみであるか、またはＡとして複数の二価金属原子が含まれる場合には、上記の通り原子％基準で最も多くをストロンチウム原子（Ｓｒ）が占める。六方晶ストロンチウムフェライト粉末の二価金属原子含有率は、通常、六方晶フェライトの結晶構造の種類により定まるものであり、特に限定されるものではない。鉄原子含有率および酸素原子含有率についても、同様である。六方晶ストロンチウムフェライト粉末は、少なくとも、鉄原子、ストロンチウム原子および酸素原子を含み、これらの原子以外の原子を含んでもよく、含まなくてもよい。例えば、六方晶ストロンチウムフェライト粉末は、更に希土類原子を含むこともでき、含まなくてもよい。六方晶ストロンチウムフェライト粉末の保磁力Ｈｃ等の磁気特性は、例えば、六方晶フェライトの結晶構造を構成する原子の種類および組成比によって制御することができる。

六方晶ストロンチウムフェライト粉末の製造方法としては、ガラス結晶化法、共沈法、逆ミセル法、水熱合成法等が知られている。上記製造方法は、いずれも公知である。上記磁性層において強磁性粉末として使用可能な六方晶ストロンチウムフェライト粉末の製造方法は限定されない。

六方晶ストロンチウムフェライト粉末の保磁力Ｈｃは、一態様では、１５９ｋＡ／ｍ以上であることが好ましい。六方晶ストロンチウムフェライト粉末の保磁力Ｈｃは、例えば２００００ｋＡ／ｍ以下であることができる。ただし、２００００ｋＡ／ｍ超であってもよい。一般に、保磁力Ｈｃが高い強磁性粉末ほど、異方性定数Ｋｕが高く、熱的安定性（記録の保持性）の観点から好ましい傾向がある。強磁性粉末の保磁力Ｈｃは、磁気特性を測定するための装置として公知の測定装置（例えば振動試料型磁束計等）により求めることができる。

－ε－酸化鉄粉末－
本発明および本明細書において、「ε－酸化鉄粉末」とは、Ｘ線回折分析によって、主相としてε－酸化鉄型の結晶構造が検出される強磁性粉末をいうものとする。例えば、Ｘ線回折分析によって得られるＸ線回折スペクトルにおいて最も高強度の回折ピークがε－酸化鉄型の結晶構造に帰属される場合、ε－酸化鉄型の結晶構造が主相として検出されたと判断するものとする。ε－酸化鉄粉末の製造方法としては、ゲーサイトから作製する方法、逆ミセル法等が知られている。上記製造方法は、いずれも公知である。また、Ｆｅの一部がＧａ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｒｈ等の置換原子によって置換されたε－酸化鉄粉末を製造する方法については、例えば、Ｊ． Ｊｐｎ． Ｓｏｃ． Ｐｏｗｄｅｒ Ｍｅｔａｌｌｕｒｇｙ Ｖｏｌ． ６１ Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ， Ｎｏ． Ｓ１， ｐｐ． Ｓ２８０－Ｓ２８４、Ｊ． Ｍａｔｅｒ． Ｃｈｅｍ． Ｃ， ２０１３， １， ｐｐ．５２００－５２０６等を参照できる。ε－酸化鉄粉末の保磁力Ｈｃ等の磁気特性は、例えば、ε－酸化鉄型の結晶構造を構成する原子の種類および組成比によって制御することができる。ただし、上記磁性層の強磁性粉末として使用可能なε－酸化鉄粉末の製造方法は、ここで挙げた方法に限定されない。

ε－酸化鉄粉末の保磁力Ｈｃは、一態様では、１５９ｋＡ／ｍ以上であることが好ましい。ε－酸化鉄粉末の保磁力Ｈｃは、例えば２００００ｋＡ／ｍ以下であることができる。ただし、２００００ｋＡ／ｍ超であってもよい。

上記のいずれの強磁性粉末についても、平均粒子サイズおよび粒子サイズ分布の変動係数は、強磁性粉末の製造条件等によって調整できる。一例として、強磁性粉末の製造工程中に加熱処理が含まれる場合、加熱処理の時間が長くなるほど、平均粒子サイズは大きくなる傾向があり、粒子サイズ分布の変動係数は大きくなる傾向がある。

上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体の磁性層に含まれる強磁性粉末の詳細は、上記の通りである。磁性層における強磁性粉末の含有率（充填率）は、好ましくは５０～９０質量％の範囲であり、より好ましくは６０～９０質量％の範囲である。磁性層の強磁性粉末以外の成分は少なくとも結合剤であり、任意に一種以上の添加剤が含まれ得る。磁性層において強磁性粉末の充填率が高いことは、記録密度向上の観点から好ましい。

（結合剤、硬化剤）
磁性層は、強磁性粉末とともに結合剤を含む。結合剤としては、一種以上の樹脂が用いられる。樹脂はホモポリマーであってもコポリマー（共重合体）であってもよい。磁性層に含まれる結合剤としては、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、塩化ビニル樹脂、スチレン、アクリロニトリル、メチルメタクリレート等を共重合したアクリル樹脂、ニトロセルロース等のセルロース樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール、ポリビニルブチラール等のポリビニルアルキラール樹脂等から選択したものを単独で用いることができ、または複数の樹脂を混合して用いることができる。これらの中で好ましいものは、ポリウレタン樹脂、アクリル樹脂、セルロース樹脂および塩化ビニル樹脂である。これらの樹脂は、後述する非磁性層および／またはバックコート層においても結合剤として使用することができる。以上の結合剤については、特開２０１０－２４１１３号公報の段落００２９～００３１を参照できる。結合剤として使用される樹脂の平均分子量は、重量平均分子量として、例えば１００００以上２０００００以下であることができる。本発明および本明細書における重量平均分子量とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定された値をポリスチレン換算して求められる値である。測定条件としては、下記条件を挙げることができる。後述の実施例に示す重量平均分子量は、下記測定条件によって測定された値をポリスチレン換算して求めた値である。
ＧＰＣ装置：ＨＬＣ－８１２０（東ソー社製）
カラム：ＴＳＫ ｇｅｌ Ｍｕｌｔｉｐｏｒｅ ＨＸＬ－Ｍ（東ソー社製、７．８ｍｍＩＤ（Ｉｎｎｅｒ Ｄｉａｍｅｔｅｒ）×３０．０ｃｍ）
溶離液：テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）

また、結合剤として使用可能な樹脂とともに硬化剤を使用することもできる。硬化剤は、一態様では加熱により硬化反応（架橋反応）が進行する化合物である熱硬化性化合物であることができ、他の一態様では光照射により硬化反応（架橋反応）が進行する光硬化性化合物であることができる。磁性層形成工程の中で硬化反応が進行することにより、硬化剤の少なくとも一部は、結合剤等の他の成分と反応（架橋）した状態で磁性層に含まれ得る。この点は、他の層を形成するために用いられる組成物が硬化剤を含む場合に、この組成物を用いて形成される層についても同様である。好ましい硬化剤は、熱硬化性化合物であり、ポリイソシアネートが好適である。ポリイソシアネートの詳細については、特開２０１１－２１６１４９号公報の段落０１２４～０１２５を参照できる。磁性層形成用組成物の硬化剤の含有量は、結合剤１００．０質量部に対して例えば０～８０．０質量部であることができ、５０．０～８０．０質量部であることが好ましい。

（添加剤）
磁性層には、強磁性粉末および結合剤が含まれ、必要に応じて一種以上の添加剤が含まれていてもよい。添加剤としては、一例として、上記の硬化剤が挙げられる。また、磁性層に含まれる添加剤としては、非磁性粉末（例えば無機粉末、カーボンブラック等）、潤滑剤、分散剤、分散助剤、防黴剤、帯電防止剤、酸化防止剤等を挙げることができる。例えば、潤滑剤については、特開２０１６－１２６８１７号公報の段落００３０～００３３、００３５および００３６を参照できる。後述する非磁性層に潤滑剤が含まれていてもよい。非磁性層に含まれ得る潤滑剤については、特開２０１６－１２６８１７号公報の段落００３０、００３１および００３４～００３６を参照できる。分散剤については、特開２０１２－１３３８３７号公報の段落００６１および００７１を参照できる。分散剤を非磁性層形成用組成物に添加してもよい。非磁性層形成用組成物に添加し得る分散剤については、特開２０１２－１３３８３７号公報の段落００６１を参照できる。また、磁性層に含まれ得る非磁性粉末としては、研磨剤として機能することができる非磁性粉末、磁性層表面に適度に突出する突起を形成する突起形成剤として機能することができる非磁性粉末（例えば非磁性コロイド粒子等）等が挙げられる。添加剤は、所望の性質に応じて市販品を適宜選択して、または公知の方法で製造して、任意の量で使用することができる。

＜非磁性層＞
上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、一態様では、非磁性支持体上に直接磁性層を有することができる。また、一態様では、上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、非磁性支持体と磁性層との間に、非磁性粉末と結合剤とを含む非磁性層を有することもできる。

非磁性層に使用される非磁性粉末は、無機物質の粉末（無機粉末）でも有機物質の粉末（有機粉末）でもよい。また、カーボンブラック等も使用できる。無機物質としては、例えば金属、金属酸化物、金属炭酸塩、金属硫酸塩、金属窒化物、金属炭化物、金属硫化物等が挙げられる。これらの非磁性粉末は、市販品として入手可能であり、公知の方法で製造することもできる。その詳細については、特開２０１１－２１６１４９号公報の段落０１４６～０１５０を参照できる。非磁性層に使用可能なカーボンブラックについては、特開２０１０－２４１１３号公報の段落００４０～００４１も参照できる。非磁性層における非磁性粉末の含有量（充填率）は、好ましくは５０～９０質量％の範囲であり、より好ましくは６０～９０質量％の範囲である。

非磁性層の結合剤、添加剤等のその他詳細は、塗布型磁気記録媒体の非磁性層に関する公知技術が適用できる。また、例えば、結合剤の種類および含有量、添加剤の種類および含有量等に関しては、塗布型磁気記録媒体の磁性層に関する公知技術も適用できる。

本発明および本明細書における「非磁性層」には、非磁性粉末とともに、例えば不純物として、または意図的に、少量の強磁性粉末を含む実質的に非磁性な層も包含されるものとする。ここで実質的に非磁性な層とは、この層の残留磁束密度が１０ｍＴ以下であるか、保磁力が７．９６ｋＡ／ｍ（１００Ｏｅ）以下であるか、または、残留磁束密度が１０ｍＴ以下であり、かつ保磁力が７．９６ｋＡ／ｍ（１００Ｏｅ）以下である層をいうものとする。非磁性層は、残留磁束密度および保磁力を持たないことが好ましい。

＜非磁性支持体＞
非磁性支持体（以下、単に「支持体」とも記載する。）としては、二軸延伸を行ったポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリアミドイミド、芳香族ポリアミド等の公知のものが挙げられる。これらの中でもポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、およびポリアミドが好ましい。これらの支持体には、あらかじめコロナ放電、プラズマ処理、易接着処理、熱処理等を行ってもよい。

＜バックコート層＞
上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、非磁性支持体の磁性層を有する表面側とは反対の表面側に、非磁性粉末および結合剤を含むバックコート層を有することもでき、有さなくてもよい。バックコート層には、カーボンブラックおよび無機粉末の一方または両方が含有されていることが好ましい。バックコート層に含まれる結合剤、任意に含まれ得る各種添加剤については、塗布型磁気記録媒体のバックコート層に関する公知技術を適用することができ、塗布型磁気記録媒体の磁性層および／または非磁性層の処方に関する公知技術を適用することもできる。例えば、特開２００６－３３１６２５号公報の段落００１８～００２０および米国特許第７，０２９，７７４号明細書の第４欄６５行目～第５欄３８行目の記載を、バックコート層について参照できる。

＜非磁性支持体および各層の厚み＞
非磁性支持体の厚みは、例えば３．０～８０．０μｍであり、３．０～２０．０μｍであることが好ましく、３．０～１０．０μｍであることがより好ましい。

非磁性層の厚みは、例えば０．０５～３．０μｍであり、０．１～２．０μｍであることが好ましく、０．１～１．５μｍであることが更に好ましい。

バックコート層の厚みは、０．９μｍ以下であることが好ましく、０．１～０．７μｍであることがより好ましい。

磁性層の厚みについては、先に記載した通りである。一態様では、上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、磁性層を一層のみ含む（即ち単層の磁性層を有する）磁気記録媒体であることができる。この場合、単層の磁性層は、固有強磁性共鳴周波数を１つのみ示してもよく、２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示してもよい。例えば、保磁力Ｈｃが異なる二種の強磁性粉末ロットから採取した強磁性粉末を用いて磁性層を形成することにより、２つの異なる固有強磁性共鳴周波数を示す単層の磁性層を有する塗布型磁気記録媒体を得ることができる。そして、マイクロ波アシスト記録によれば、単層の磁性層が２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示すことを利用して、単層の磁性層に２以上の異なる情報を記録（即ち多重記録）することもできる。この点について、以下に更に説明する。「２以上の異なる情報」とは、２以上の互いに独立な情報系列をいうものとする。２以上の互いに独立な情報系列は、複数の異なるデータ情報のみから構成されていてもよく、複数の異なるヘッドトラッキングサーボ情報のみから構成されていてもよく、１以上のヘッドトラッキングサーボ情報と１以上のデータ情報から構成されていてもよい。データ情報とは、磁気記録媒体の磁性層に記録される文字情報、画像情報等の各種情報をいうものとする。一方、ヘッドトラッキングサーボ情報は、ヘッドトラッキングサーボを可能とするためのサーボパターンの形状および複数のサーボパターンの配置から構成される。

以下では、単層の磁性層が固有強磁性共鳴周波数αおよびβ（α≠β）を示し、この単層の磁性層に、
周波数Ａのマイクロ波磁界を印加することにより磁化反転がアシストされる強磁性粉末（以下、「強磁性粉末α」という。）；および
周波数Ｂのマイクロ波磁界を印加することにより磁化反転がアシストされる強磁性粉末（以下、「強磁性粉末β」という。）、
という二種の強磁性粉末が含まれる場合を例に説明する。固有強磁性共鳴周波数αは、強磁性粉末αによってもたらされ、固有強磁性共鳴周波数βは、強磁性粉末βによってもたらされるものとする。強磁性粉末αおよび強磁性粉末βは、通常、保磁力Ｈｃが異なる強磁性粉末ロットから採取された強磁性粉末である。マイクロ波磁界は、磁化反転をアシストするために、磁化反転前の磁化方向と逆方向に印加される。マイクロ波磁界の周波数の値は、マイクロ波磁界の磁界強度に依存し、磁界強度を大きくするほど周波数は低くなる。強磁性粉末αと強磁性粉末βは、磁化反転がアシストされる周波数が異なるものとする。強磁性粉末αの磁化反転をアシストするためには、好ましくは固有強磁性共鳴周波数α以下、より好ましくは固有強磁性共鳴周波数αよりも低い周波数のマイクロ波磁界を印加する。強磁性粉末βの磁化反転をアシストするためには、好ましくは固有強磁性共鳴周波数β以下、より好ましくは固有強磁性共鳴周波数βよりも低い周波数のマイクロ波磁界を印加する。したがって、周波数Ａは、固有強磁性共鳴周波数α以下であることが好ましく、αよりも低いことがより好ましい。周波数Ｂは、固有強磁性共鳴周波数β以下であることが好ましく、βよりも低いことがより好ましい。Ａ≠Ｂであり、強磁性粉末αの磁化反転をアシストするために周波数Ａのマイクロ波磁界を印加することによっては強磁性粉末βの磁化反転はアシストされず、強磁性粉末βの磁化反転をアシストするために周波数Ｂのマイクロ波磁界を印加することによっては強磁性粉末αの磁化反転はアシストされない。
以上の性質を利用することによって、単層の磁性層に異なる２情報（以下、「情報α」および「情報β」という。）を記録することができる。詳しくは、次の通りである。強磁性粉末αおよび強磁性粉末βを含む磁性層に「情報α」に対応する記録磁界を印加する際、強磁性粉末αの磁化反転をアシスト可能な周波数Ａのマイクロ波磁界を印加すれば、強磁性粉末αの磁化反転がアシストされることにより、強磁性粉末αの磁化反転を起こして強磁性粉末αに情報αを記録することができる。ここでは強磁性粉末βの磁化反転はアシストされないため、強磁性粉末βには情報αは記録されない。一方、強磁性粉末αおよび強磁性粉末βを含む磁性層に「情報β」に対応する記録磁界を印加する際、強磁性粉末βの磁化反転をアシスト可能な周波数Ｂのマイクロ波磁界を印加すれば、強磁性粉末βの磁化反転がアシストされることにより、強磁性粉末βの磁化反転を起こして強磁性粉末βに情報βを記録することができる。ここでは強磁性粉末αの磁化反転はアシストされないため、強磁性粉末αには情報βは記録されない。こうして、単層の磁性層（同一磁性層）に、異なる２情報を多重記録することができる。
上記の例では、異なる２情報を多重記録する例を説明した。ただし多重記録される情報は、２情報に限定されず、３情報、４情報、または５情報以上（例えば５～１０情報）であってもよい。異なる周波数のマイクロ波磁界を印加してマイクロ波アシスト記録を行うことにより、単層の磁性層に、最大で、この磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数の数と同数の情報を多重記録することができる。これに対し、金属薄膜型磁気記録媒体は、蒸着等により磁性層を形成するという製造上の理由から、２以上の固有強磁性共鳴周波数を示す単層の磁性層を形成することは困難である。そのため、同一の金属薄膜型磁気記録媒体に異なる２以上の情報をマイクロ波アシスト記録によって多重記録するためには、異なる固有強磁性共鳴周波数を示す二層以上の重層磁性層を設けることになる。これに対し、塗布型磁気記録媒体によれば、上記のようにマイクロ波アシスト記録によって単層の磁性層への多重記録が可能である。これにより、例えば、単層の磁性層に異なるデータ情報を多重記録することが可能となる。また、例えば、単層の磁性層の同一領域に異なるヘッドトラッキングサーボ情報を記録することが可能となる。また、例えば、単層の磁性層の同一領域または異なる領域に、マイクロ波アシスト記録によってサーボパターンを形成し、かつマイクロ波アシスト記録によってデータ情報を記録することが可能となる。

ただし、上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体から、二層以上の重層磁性層を有する態様が除外されるものではない。上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体において、磁性層は少なくとも一層あればよく、磁性層を異なる磁気特性を有する二層以上に分離してもかまわない。例えば、本発明の一態様にかかるマイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体において、磁性層を異なる磁気特性を有する二層以上に分離してもかまわず、塗布型磁気記録媒体の公知の重層磁性層に関する構成が適用できる。重層磁性層について、磁性層の厚みとは、複数の磁性層の合計厚みをいうものとし、厚み変動とは、合計厚みに関する厚み変動をいうものとする。異なる磁気特性を有する複数の磁性層は、異なる固有強磁性共鳴周波数を示してもよく、同じ固有強磁性共鳴周波数を示してもよい。

＜マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体の製造工程＞
磁性層、非磁性層またはバックコート層を形成するための組成物を製造する工程は、通常、少なくとも混練工程、分散工程、およびこれらの工程の前後に必要に応じて設けた混合工程を含む。個々の工程はそれぞれ２段階以上に分かれていてもかまわない。各種成分は、どの工程の最初または途中で添加してもかまわない。また、個々の成分を２つ以上の工程で分割して添加してもかまわない。上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体を製造するためには、塗布型磁気記録媒体に関する公知の製造技術を一部または全部の工程に用いることができる。例えば、混練工程ではオープンニーダ、連続ニーダ、加圧ニーダ、エクストルーダ等の強い混練力をもつものを使用することが好ましい。これらの混練処理の詳細については、特開平１－１０６３３８号公報および特開平１－７９２７４号公報を参照できる。また、各層形成用の組成物を分散するために、分散ビーズとしてガラスビーズを用いることができる。また、分散ビーズとしては、高比重の分散ビーズであるジルコニアビーズ、チタニアビーズ、およびスチールビーズも好適である。これら分散ビーズの粒径（ビーズ径）と充填率は最適化して用いることができる。分散機は公知のものを使用することができる。各層形成用組成物を、塗布工程に付す前に公知の方法によってろ過してもよい。ろ過は、例えばフィルタろ過によって行うことができる。ろ過に用いるフィルタとしては、例えば孔径０．０１～３μｍのフィルタ（例えばガラス繊維製フィルタ、ポリプロピレン製フィルタ等）を用いることができる。

磁性層は、磁性層形成用組成物を、例えば、非磁性支持体上に直接塗布するか、または非磁性層形成用組成物と逐次もしくは同時に重層塗布することにより形成することができる。配向処理を行う態様では、磁性層形成用組成物の塗布層が湿潤状態にあるうちに、配向ゾーンにおいて塗布層に対して配向処理が行われる。配向処理については、特開２０１０－２４１１３号公報の段落００５２の記載をはじめとする各種公知技術を適用することができる。例えば、垂直配向処理は、異極対向磁石を用いる方法等の公知の方法によって行うことができる。配向ゾーンでは、乾燥風の温度、風量および／または配向ゾーンにおける搬送速度によって塗布層の乾燥速度を制御することができる。また、配向ゾーンに搬送する前に塗布層を予備乾燥させてもよい。バックコート層は、バックコート層形成用組成物を、非磁性支持体の磁性層を有する（または磁性層が追って設けられる）側とは反対側に塗布することにより形成することができる。
各層形成用組成物の塗布が行われた後、任意の段階で、磁気記録媒体の表面平滑性を高めるためにカレンダ処理を施すことができる。カレンダ処理の条件を強化するほど、磁性層の厚み変動の値は小さくなる傾向がある。また、カレンダ処理の条件を強化するほど、磁性層表面の十点平均粗さＲｚは小さくなる傾向がある。カレンダ処理の条件としては、カレンダロールの種類、カレンダ圧力、カレンダ温度（カレンダロールの表面温度）、カレンダ処理の回数等を挙げることができる。カレンダ圧力は、例えば２００～５００ｋＮ／ｍ、好ましくは２５０～３５０ｋＮ／ｍとすることができ、カレンダ温度は、例えば７０～１２０℃、好ましくは８０～１００℃とすることができ、カレンダ処理の回数は、例えば１～８回とすることができる。また、カレンダロールとして表面が硬いロールを使用するほど、磁性層表面は平滑化する傾向がある。
また、磁気記録媒体の製造方法の詳細については、例えば特開２０１０－２４１１３号公報の段落００５１～００５７も参照できる。

上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体の形状は限定されない。上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、テープ状の磁気記録媒体（磁気テープ）であっても、ディスク状の磁気記録媒体（磁気ディスク）であってもよい。例えば、磁気テープは、通常、磁気テープカートリッジに収容されて流通され、使用される。磁気テープには、データ情報の記録および／または再生を行うための磁気テープ装置においてヘッドトラッキングサーボを行うことを可能とするために、公知の方法によってサーボパターンを形成することもできる。例えば、サーボパターンの形成は、ＤＣ（Ｄｉｒｅｃｔ Ｃｕｒｒｅｎｔ）消磁した磁性層に対して行うことができる。消磁の方向は、磁気テープの長手方向または垂直方向であることができる。また、サーボパターン（即ち磁化領域）を形成する際の磁化の方向は、磁気テープの長手方向または垂直方向であることができる。一態様では、このサーボパターンの形成にマイクロ波アシスト記録を利用することができる。

上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、一態様では、データ情報の記録および／または再生を行う際、磁性層表面と磁気ヘッドとが接触し摺動する接触摺動型の磁気記録再生システムにおいて使用することができる。また、一態様では、上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、磁気ヘッドとの摺動部を有さない構成でもよく、データ情報の記録および／または再生を行う際、磁性層表面と磁気ヘッドとが接触しない非接触型の磁気記録再生システムにおいて使用することもできる。例えば、上記マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体は、非磁性支持体（例えばシリコン基板）上に導波路と磁性層とが一体形成された構成でもよい。

［磁気記録装置］
本発明の一態様は、磁気記録媒体とマイクロ波アシスト記録用磁気ヘッドとを含む磁気記録装置であって、上記磁気記録媒体は、非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、上記強磁性粉末は、平均粒子サイズが５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３５％以下であり、上記磁性層は、厚みが２５．０ｎｍ以上１００．０ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が１．０ｎｍ以上１２．０ｎｍ以下である磁気記録装置に関する。
以下、上記磁気記録装置について、更に詳細に説明する。

＜磁気記録媒体＞
上記磁気記録装置に含まれる磁気記録媒体は、非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、上記強磁性粉末は、平均粒子サイズが５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３５％以下であり、上記磁性層は、厚みが２５．０ｎｍ以上１００．０ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が１．０ｎｍ以上１２．０ｎｍ以下である。即ち、上記磁気記録装置に含まれる磁気記録媒体は、上記の本発明の一態様にかかるマイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体である。その詳細は、先に記載した通りである。上記磁気記録装置によれば、塗布型磁気記録媒体である本発明の一態様にかかるマイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体に、マイクロ波アシスト記録によってデータ情報を記録することができる。

＜マイクロ波アシスト記録用磁気ヘッド＞
上記磁気記録装置に含まれるマイクロ波アシスト記録用磁気ヘッドは、特に限定されるものではなく、マイクロ波アシスト記録が可能なものであればよい。マイクロ波アシスト記録によれば、記録すべき情報に対応する記録磁界を磁性層に印加する際、記録磁界の印加のみによっては磁化反転しない強磁性粉末の磁化反転を、マイクロ波磁界を印加してアシストすることにより、強磁性粉末を磁化反転させて情報を記録することができる。このような磁化反転のアシストは、磁性層に含まれる強磁性粉末を磁気共鳴状態とすることによって実現することができる。そのためには、磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数と同じ周波数またはその近傍の周波数のマイクロ波磁界を、磁性層に印加することが好ましい。磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数を「Ｘ」ＧＨｚとすると、（Ｘ－１５．０）ＧＨｚ～ＸＧＨｚの範囲の周波数のマイクロ波磁界を印加することがより好ましく、（Ｘ－１５．０）ＧＨｚ以上ＸＧＨｚ未満の周波数のマイクロ波磁界を印加することが更に好ましい。また、単層の磁性層が２以上の異なる固有強磁性共鳴周波数を示す場合、多重記録をより良好に行う観点からは、異なる固有強磁性共鳴周波数は、５．０ＧＨｚ以上（例えば５．０ＧＨｚ～１０．０ＧＨｚ）、異なることが好ましい。

マイクロ波アシスト記録用磁気ヘッドは、少なくとも記録部を含み、記録部と再生部を含むこともできる。記録部は、記録磁界を発生する記録磁極と対向磁極を含むことができ、更に、マイクロ波磁界を発生するマイクロ波発振素子を含む構成を有することができる。マイクロ波磁界は、直流電流によって交流磁界として発生させることが好ましく、交流磁界の周波数は直流電流の電流値に比例する。したがって、直流電流の電流値を調整することにより、磁性層に印加するマイクロ波磁界の周波数を制御することができる。マイクロ波発振素子としては、静磁場を印加するマイクロ波発振素子を用いてもよい。または、スピントルクオシレータ（Ｓｐｉｎ Ｔｏｒｑｕｅ Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ）等を用いて動的記録を行ってもよい。マイクロ波発振素子は、記録部に１つ含まれてもよく、２つ以上含まれてもよい。マイクロ波アシスト記録用磁気ヘッドによって磁性層に２以上の異なる周波数のマイクロ波磁界を印加する場合、異なる周波数のマイクロ波磁界の印加は同時に行ってもよく順次行ってもよく、順次行うことが好ましい。また、記録されたデータ情報の再生は、吸収ピーク周波数を測定することにより行うことができる。または、磁界検出が可能な素子、例えば、ホール素子、ＭＲ（ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子、ＧＭＲ（ｇｉａｎｔ－ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子、ＴＭＲ（ｔｕｎｎｅｌ－ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）素子等を再生部として用いることもできる。また、多重記録されたデータ情報の再生のためには、例えば、スピントルクオシレータを用いた再生部を利用することもできる。スピントルクオシレータを用いるデータ情報の再生については、例えば、Ｒｉｅ Ｓａｔｏ， Ｋｉｗａｍｕ Ｋｕｄｏ， Ｔａｚｕｍｉ Ｎａｇａｓａｗａ， Ｈｉｒｏｆｕｍｉ Ｓｕｔｏ， ａｎｄ Ｋｏｉｃｈｉ Ｍｉｚｕｓｈｉｍａ， “Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｓ ａｎｄ Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ Ｔｏｗａｒｄ Ｈｉｇｈ－Ｄａｔａ－Ｔｒａｎｓｆｅｒ－Ｒａｔｅ Ｒｅａｄｅｒｓ Ｃｏｍｐｏｓｅｄ ｏｆ ａ Ｓｐｉｎ－Ｔｏｒｑｕｅ Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ，” ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ． Ｍａｇｎ．， ｖｏｌ． ４８， ｎｏ． ５， ｐｐ．１７５８－１７６４ （２０１２）（非特許文献３）を参照できる。

多重記録されたデータ情報の再生に関して、Ｔ． Ｙａｎｇ， Ｈ． Ｓｕｔｏ， Ｔ． Ｎａｇａｓａｗａ， Ｋ． Ｋｕｄｏ， Ｋ． Ｍｉｚｕｓｈｉｍａ， Ｒ． Ｓａｔｏ， “Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｍａｇｎｅｔｉｓｍ ａｎｄ Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ” ３３２ （２０１３），ｐｐ．５２－５５（非特許文献４）には、吸収ピーク周波数が異なる多層膜に記録された情報を再生する方法が記載されている。かかる再生方法は、同一の単層の磁性層に異なる強磁性粉末を含む磁気記録媒体に多重記録されたサーボパターンの読み取りにも利用可能である。

マイクロ波アシスト記録を利用せずに一般的なデータ情報の記録を行う磁気記録装置に含まれる磁気ヘッドは、データ情報の記録を行うための記録素子を備えることができ、記録素子を備える磁気ヘッドと同じ磁気ヘッドまたは異なる磁気ヘッドに、データ情報の再生を行うための再生素子を備えることもできる。また、記録素子および／または再生素子を備える磁気ヘッドと同じ磁気ヘッドまたは異なる磁気ヘッドに、サーボパターン読み取り素子を有することもできる。
例えば、一態様では、上記のような一般的なデータ情報の記録を行うための記録素子を備える磁気ヘッドに、スピントルクオシレータを組み込むことができる。かかる磁気ヘッドによれば、記録すべき情報に対応する記録磁界を記録素子によって与える際にスピントルクオシレータによりマイクロ波磁界を印加することにより、磁化反転をアシストして磁化反転を起こすこと（即ち、データ情報を記録すること）が可能となる。これにより、例えば、磁気テープについて、一般的なデータ情報の記録と同様に磁気記録装置内で磁気テープを走行させながら、マイクロ波アシスト記録を行うことができる。このようなマイクロ波アシスト記録は、サーボパターンの形成についても適用できる。

磁気記録の記録方式として、磁気テープへのデータ情報の記録については、垂直記録と長手記録がある。磁性層に含まれる強磁性粉末が六方晶フェライト粉末の場合、反磁界に起因する減磁の影響を低減する観点から、磁性層表面に対して垂直方向に磁化容易軸を向けることが好ましい。したがって、垂直記録を行うことが好ましい。一方、磁性層に含まれる強磁性粉末がε－酸化鉄粉末の場合、磁化容易軸を、磁性層表面に対して垂直方向に向けることも好ましく長手方向に向けることも好ましい。ε－酸化鉄粉末は、六方晶フェライト粉末と比べて、磁化が比較的小さく保磁力が比較的大きいため、反磁界による減磁の影響を受け難い傾向があるためである。なお、長手記録は出力向上に有利な傾向がある。以上のことは、サーボパターンの形成および読み取りについても当てはまる。

［磁性層にサーボパターンを有する磁気記録媒体の製造方法］
本発明の一態様は、磁気記録媒体の磁性層にマイクロ波アシスト記録によりサーボパターンを形成することを含む、磁性層にサーボパターンを有する磁気記録媒体の製造方法に関する。かかる製造方法により磁性層にサーボパターンが形成される磁気記録媒体は、非磁性支持体と強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層とを有し、上記強磁性粉末は、平均粒子サイズが５ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３５％以下であり、上記磁性層は、厚みが２５．０ｎｍ以上１００．０ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が１．０ｎｍ以上１２．０ｎｍ以下である。磁性層にサーボパターンが形成される磁気記録媒体の詳細については、上記のマイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体に関する説明を参照できる。

磁気記録媒体では、通常、データ情報は磁気記録媒体のデータバンド上に記録される。これによりデータバンドにデータトラックが形成される。磁気記録媒体の高容量化のための手段としては、データトラックの幅を狭くすることにより、磁気記録媒体の磁性層に、より多くのデータトラックを配置して、記録密度を高めることが挙げられる。しかしデータトラックの幅を狭くすると、磁気記録媒体をドライブ内で搬送してデータ情報の記録および／または再生を行う際、磁気記録媒体の位置変動によって、磁気ヘッドがデータトラックに正確に追従することが困難となり、記録および／または再生時にエラーを起こし易くなってしまう。そこで、かかるエラーの発生を抑制するための手段として、近年、磁性層にサーボパターンを形成しヘッドトラッキングサーボを行うことが提案され、実用化されている。

ヘッドトラッキングサーボの中で、磁気サーボ方式のヘッドトラッキングサーボでは、サーボパターンを磁気記録媒体の磁性層に形成し、このサーボパターンをサーボヘッドにより読み取ってヘッドトラッキングサーボを行う。ヘッドトラッキングサーボとは、ドライブにおいて磁気ヘッドの位置を制御することをいう。ヘッドトラッキングサーボは、より詳しくは、通常、次のように行われる。
まずサーボヘッドにより、磁性層に形成されているサーボパターンを読み取る（即ち、サーボ信号を再生する）。サーボパターンを読み取ることにより得られた値に応じて、ドライブ内で磁気ヘッドの位置を制御する。これにより、データ情報の記録および／または再生のためにドライブ内で磁気記録媒体を搬送する際、磁気記録媒体の位置が変動しても、磁気ヘッドがデータトラックに追従する精度を高めることができる。例えば、テープ状の磁気記録媒体（即ち磁気テープ）をドライブ内で搬送してデータ情報の記録および／または再生を行う際、磁気テープの位置が磁気ヘッドに対して幅方向に変動しても、ヘッドトラッキングサーボを行うことにより、ドライブ内で磁気テープの幅方向における磁気ヘッドの位置を制御することができる。こうして、ドライブにおいて磁気テープに正確にデータ情報を記録すること、および／または、磁気テープに記録されているデータ情報を正確に再生すること、が可能となる。

上記サーボパターンは、磁性層へのデータ情報の記録と同様に、磁性層の特定の位置を磁化することによって形成される。したがって、データ情報の記録と同様に、サーボパターンの形成（サーボ信号の記録）においても、書き込み容易性の低下は発生し得る。即ち、データ情報の記録のために強い外部磁界が必要となる場合には、サーボパターンの形成にも強い外部磁界が必要となるため、サーボパターンの書き込み容易性も低下してしまう。例えば、このような場合、サーボパターンの形成のためにマイクロ波アシスト記録を利用することは好ましい。

磁性層へのサーボパターンの形成は、サーボパターン記録ヘッド（「サーボライトヘッド（ｓｅｒｖｏ ｗｒｉｔｅ ｈｅａｄ）」と呼ばれる。）により、磁性層の特定の位置を磁化することにより行われる。このサーボライトヘッドとしてマイクロ波アシスト記録が可能なヘッドを使用し、磁性層に記録すべきヘッドトラッキングサーボ情報に対応する記録磁界を磁性層に印加する際に記録磁界の印加によっては磁化反転しない強磁性粉末の磁化反転をマイクロ波磁界を印加してアシストすることにより、上記強磁性粉末を磁化反転させてサーボパターンを形成することができる。このような磁化反転のアシストは、磁性層に含まれる強磁性粉末を磁気共鳴状態とすることによって実現することができる。そのためには、磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数と同じ周波数またはその近傍の周波数のマイクロ波磁界を、磁性層に印加することが好ましい。印加するマイクロ波磁界の周波数と磁性層が示す固有強磁性共鳴周波数との関係については、先の記載を参照できる。

サーボパターンの形成は、ＤＣ（Ｄｉｒｅｃｔ Ｃｕｒｒｅｎｔ）消磁した磁性層に対して行うことができる。消磁の方向は、磁気テープの長手方向または垂直方向であることができる。また、サーボパターン（即ち磁化領域）を形成する際の磁化の方向は、磁気テープの長手方向または垂直方向であることができる。マイクロ波アシスト記録が可能なサーボライトヘッドは、少なくともサーボパターン形成部（記録部）を含む。サーボパターン形成部は、記録磁界を発生する記録磁極と対向磁極を含み、更に、マイクロ波磁界を発生するマイクロ波発振素子を含む構成を有することができる。マイクロ波アシスト記録が可能なサーボライトヘッドの詳細については、マイクロ波アシスト記録用磁気ヘッドに関する先の記載を参照できる。また、磁性層に形成されたサーボパターンの読み取りは、例えば吸収ピーク周波数を測定することにより行うことができる。または、先に記載した各種素子のように磁界検出が可能な素子を再生部として用いることもできる。また、先に記載したように多重記録されたサーボパターンの読み取りのためには、例えば、スピントルクオシレータを用いた読み取り部を利用することもできる。スピントルクオシレータを用いるサーボパターンの読み取りについては、先に記載の文献（非特許文献３）を参照できる。

ヘッドトラッキングサーボを可能とするためのサーボパターンの形状および磁性層における配置は公知である、上記磁気記録媒体の磁性層へ形成するサーボパターンの形状および配置については、公知技術を適用することができる。例えば、ヘッドトラッキングサーボの方式としては、タイミングベースサーボ方式と振幅ベースサーボ方式が知られている。上記磁気テープの磁性層が有するサーボパターンは、いずれの方式のヘッドトラッキングサーボを可能とするサーボパターンでもよい。また、タイミングベースサーボ方式でのヘッドトラッキングサーボを可能とするサーボパターンと振幅ベースサーボ方式でのヘッドトラッキングサーボを可能とするサーボパターンとが磁性層に形成されていてもよい。

以下に、ヘッドトラッキングサーボの具体的態様の１つとして、タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボについて記載する。ただし本発明の一態様にかかる磁気記録媒体の製造方法により製造される磁気記録媒体において行われるヘッドトラッキングサーボは、下記具体的態様に限定されるものではない。

タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボ（以下、「タイミングベースサーボ」と記載する。）では、二種以上の異なる形状の複数のサーボパターンを磁性層に形成し、サーボヘッドが、異なる形状の２つのサーボパターンを読み取った時間間隔と、同種の形状の２つのサーボパターンを読み取った時間間隔と、によりサーボヘッドの位置を認識する。こうして認識されたサーボヘッドの位置に基づき、磁気テープの幅方向における磁気ヘッドの位置が制御される。ここで位置制御が行われる磁気ヘッドは、一態様では磁気テープに記録されたデータ情報を再生する磁気ヘッド（再生ヘッド）であり、他の一態様では磁気テープにデータ情報を記録する磁気ヘッド（記録ヘッド）である。

図１に、データバンドおよびサーボバンドの配置例を示す。図２に、ＬＴＯ（Ｌｉｎｅａｒ－Ｔａｐｅ－Ｏｐｅｎ） Ｕｌｔｒｉｕｍフォーマットテープのサーボパターン配置例を示す。図１中、磁気テープ１の磁性層には、複数のサーボバンド１０が、ガイドバンド１２に挟まれて配置されている。２本のサーボバンドに挟まれた複数の領域１１が、データバンドである。サーボパターンは、磁化領域であって、サーボライトヘッドにより磁性層の特定の領域を磁化することによって形成される。サーボライトヘッドにより磁化する領域（サーボパターンを形成する位置）は規格により定められている。例えば、業界標準規格であるＬＴＯ Ｕｌｔｒｉｕｍフォーマットテープには、磁気テープ製造時に、図２に示すようにテープ幅方向に対して傾斜した複数のサーボパターンが、サーボバンド上に形成される。詳しくは、図２中、サーボバンド１０上のサーボフレームＳＦは、サーボサブフレーム１（ＳＳＦ１）およびサーボサブフレーム２（ＳＳＦ２）から構成される。サーボサブフレーム１は、Ａバースト（図２中、符号Ａ）およびＢバースト（図２中、符号Ｂ）から構成される。ＡバーストはサーボパターンＡ１～Ａ５から構成され、ＢバーストはサーボパターンＢ１～Ｂ５から構成される。一方、サーボサブフレーム２は、Ｃバースト（図２中、符号Ｃ）およびＤバースト（図２中、符号Ｄ）から構成される。ＣバーストはサーボパターンＣ１～Ｃ４から構成され、ＤバーストはサーボパターンＤ１～Ｄ４から構成される。このような１８本のサーボパターンが５本と４本のセットで、５、５、４、４、の配列で並べられたサブフレームに配置され、サーボフレームを識別するために用いられる。図２には、説明のために１つのサーボフレームを示した。ただし、実際には、タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボが行われる磁気テープの磁性層では、各サーボバンドに、複数のサーボフレームが走行方向に配置されている。図２中、矢印は走行方向を示している。例えば、ＬＴＯ Ｕｌｔｒｉｕｍフォーマットテープは、通常、磁性層の各サーボバンドに、テープ長１ｍあたり５０００以上のサーボフレームを有する。サーボヘッドは、ドライブ内で搬送される磁気テープの磁性層表面と接触し摺動しながら、複数のサーボフレームにおいて順次サーボパターンの読み取りを行う。

タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボでは、異なる形状の２つのサーボパターンをサーボヘッドが読み取った（サーボ信号を再生した）時間間隔と、同種の形状の２つのサーボパターンを読み取った時間間隔と、によりサーボヘッドの位置を認識する。時間間隔は、通常、サーボ信号の再生波形のピークの時間間隔として求められる。例えば、図２に示す態様では、ＡバーストのサーボパターンとＣバーストのサーボパターンが同種の形状のサーボパターンであり、ＢバーストのサーボパターンとＤバーストのサーボパターンが同種の形状のサーボパターンである。ＡバーストのサーボパターンおよびＣバーストのサーボパターンは、ＢバーストのサーボパターンおよびＤバーストのサーボパターンとは形状が異なるサーボパターンである。異なる形状の２つのサーボパターンをサーボヘッドが読み取った時間間隔とは、例えば、Ａバーストのいずれかのサーボパターンを読み取った時間とＢバーストのいずれかのサーボパターンを読み取った時間との間隔である。同種の形状の２つのサーボパターンをサーボヘッドが読み取った時間間隔とは、例えば、Ａバーストのいずれかのサーボパターンを読み取った時間とＣバーストのいずれかのサーボパターンを読み取った時間との間隔である。タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボは、上記の時間間隔が設定値からずれた場合、時間間隔のズレは磁気テープの幅方向の位置変動に起因して発生することを前提とするシステムである。設定値とは、磁気テープが幅方向で位置変動を起こさずに走行する場合の時間間隔である。タイミングベースサーボシステムでは、求められた時間間隔の設定値からのズレの程度に応じて、磁気ヘッドを幅方向に移動させる。詳しくは、時間間隔の設定値からのズレが大きいほど、磁気ヘッドを幅方向に大きく移動させる。この点は、図１および図２に示す態様に限定されずタイミングベースサーボシステム全般に当てはまる。

タイミングベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボの詳細については、例えば、米国特許第５６８９３８４号、米国特許第６５４２３２５号、および米国特許第７８７６５２１号に記載の技術をはじめとする公知技術を適用することができる。また、振幅ベースサーボ方式のヘッドトラッキングサーボの詳細については、例えば、米国特許第５４２６５４３号および米国特許第５８９８５３３号をはじめとする公知技術を適用することができる。

また、本発明の一態様によれば、上記製造方法によって製造された磁気記録媒体と、サーボヘッドと、磁気ヘッドと、を含む磁気記録再生装置を提供することもできる。磁気記録再生装置は、一般にドライブと呼ばれ、データ情報の記録および再生を行う装置に限定されず、データ情報の記録のみ、または再生のみを行う装置も包含するものとする。

磁気ヘッドとしては、磁気記録媒体へのデータ情報の記録および／または再生を行うことが可能な公知の磁気ヘッドを用いることができる。記録ヘッドと再生ヘッドは、１つの磁気ヘッドであってもよく分離した磁気ヘッドであってもよい。また、記録ヘッドは、マイクロ波アシスト記録によらずにデータ情報の記録を行う磁気ヘッドであってもよく、マイクロ波アシスト記録によってデータ情報の記録を行う磁気ヘッドであってもよい。マイクロ波アシスト記録によってデータ情報の記録を行う磁気ヘッドについては、先の記載を参照できる。

サーボヘッドとしては、磁気記録媒体の磁性層に形成されたサーボパターンを読み取り可能な公知のサーボヘッドを用いることができる。サーボヘッドは、磁気記録再生装置に少なくとも１つ含まれ、２つ以上含まれてもよい。また、データ情報を記録するための素子および／または再生するための素子を含む磁気ヘッドに、サーボパターン読み取り素子が含まれていてもよい。即ち、磁気ヘッドとサーボヘッドとが単一のヘッドであってもよい。

以上説明した通り、本発明の一態様によれば、塗布型磁気記録媒体に対して、マイクロ波アシスト記録によってデータ情報を記録することができる。また、本発明の一態様によれば、塗布型磁気記録媒体に対して、マイクロ波アシスト記録によってサーボパターンを形成することができる。

以下に、本発明を実施例により更に具体的に説明する。ただし本発明は、実施例に示す態様に限定されるものではない。以下に記載の「部」および「％」は、特記しない限り、「質量部」および「質量％」を示す。「ｅｑ」は、当量（ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ）であり、ＳＩ単位に換算不可の単位である。また、下記工程および評価は、特記しない限り、２３℃±１℃の大気中で行った。

後述の表中、「ＳＲ」は六方晶ストロンチウムフェライト粉末を示し、「ε」はε－酸化鉄粉末を示す。
後述の表１中の各強磁性粉末の平均粒子サイズおよび粒子サイズ分布の変動係数は、各磁気記録媒体サンプルの磁性層から採取した試料粉末について、先に記載の方法により求められた値である。
また、表１中の各強磁性粉末の保磁力Ｈｃは、振動試料型磁束計（東英工業社製）を用い、印加磁界１１９４ｋＡ／ｍ（１５ｋＯｅ）で測定された値である。

１．磁気記録媒体（磁気テープ）サンプルの作製および評価
［磁気記録媒体サンプルＮｏ．１］
以下の方法により磁気記録媒体（磁気テープ）サンプルＮｏ．１を作製した。

＜磁気記録媒体の作製＞
（強磁性粉末（六方晶ストロンチウムフェライト粉末）の作製）
ＳｒＣＯ₃を１６２３ｇ、Ｈ₃ＢＯ₃を６３７ｇ、Ｆｅ₂Ｏ₃を１１０４ｇ、Ａｌ（ＯＨ）₃を２７ｇ、ＢａＣＯ₃を７７ｇ、ミキサーにて混合し原料混合物を得た。
得られた原料混合物を、白金ルツボで溶融温度１４００℃で溶融し、融液を撹拌しつつ白金ルツボの底に設けた出湯口を加熱し、融液を約６ｇ／秒で棒状に出湯させた。出湯液を水冷双ローラーで圧延急冷して非晶質体を作製した。
作製した非晶質体２８０ｇを電気炉に仕込み、昇温速度３．５℃／分にて６０５℃（結晶化温度）まで昇温し、同温度で５時間保持して六方晶ストロンチウムフェライト粒子を析出（結晶化）させた。
次いで六方晶ストロンチウムフェライト粒子を含む上記で得られた結晶化物を乳鉢で粗粉砕し、ガラス瓶に粒径１ｍｍのジルコニアビーズ１０００ｇと１％濃度の酢酸水溶液を８００ｍｌ加えてペイントシェーカーにて３時間分散処理を行った。その後、得られた分散液をビーズと分離させステンレスビーカーに入れた。分散液を液温１００℃で３時間静置させてガラス成分の溶解処理を行った後、遠心分離器で沈澱させてデカンテーションを繰り返して洗浄し、炉内温度１１０℃の加熱炉内で６時間乾燥させて六方晶ストロンチウムフェライト粉末を得た。

（磁性層形成用組成物の処方）
強磁性粉末（上記で作製された六方晶ストロンチウムフェライト粉末） １００．０部
ポリウレタン樹脂 １２．２部
重量平均分子量：１００００
スルホン酸基含有量：０．５ｍｅｑ／ｇ
ダイヤモンド粒子 １．８５部
平均粒子サイズ：５０ｎｍ
カーボンブラック（旭カーボン社製＃５５） ０．５部
平均粒子サイズ：０．０１５μｍ
ステアリン酸 ０．５部
ブチルステアレート ２．１部
メチルエチルケトン １８０．０部
シクロヘキサノン １００．０部

（非磁性層形成用組成物の処方）
非磁性粉末 α－酸化鉄 １０３．０部
平均粒子サイズ：０．０９μｍ
ＢＥＴ（Ｂｒｕｎａｕｅｒ－Ｅｍｍｅｔｔ－Ｔｅｌｌｅｒ）比表面積：５０ｍ²／ｇ
ｐＨ：７
ＤＢＰ（Ｄｉｂｕｔｙｌ ｐｈｔｈａｌａｔｅ）吸油量：２７～３８ｇ／１００ｇ
表面処理剤：Ａｌ₂Ｏ₃（８質量％）
カーボンブラック（コロンビアンカーボン社製コンダクテックスＳＣ－Ｕ）２５．０部
塩化ビニル共重合体（カネカ社製ＭＲ１０４） １２．９部
ポリウレタン樹脂（東洋紡社製ＵＲ８２００） ５．２部
フェニルホスホン酸 ３．５部
ブチルステアレート １．１部
ステアリン酸 ２．１部
メチルエチルケトン ２０５．０部
シクロヘキサノン １３５．０部

（バックコート層形成用組成物の処方）
非磁性粉末 α－酸化鉄 ８０．０部
平均粒子サイズ：０．１５μｍ
平均針状比：７
ＢＥＴ比表面積：５２ｍ²／ｇ
カーボンブラック ２０．０部
平均粒子サイズ：２０ｎｍ
塩化ビニル共重合体 １３．０部
スルホン酸基含有ポリウレタン樹脂 ６．０部
フェニルホスホン酸 ３．０部
シクロヘキサノン １５５．０部
メチルエチルケトン １５５．０部
ステアリン酸 ３．０部
ブチルステアレート ３．０部
ポリイソシアネート ５．０部
シクロヘキサノン ２００．０部

（磁気テープの作製）
磁性層形成用組成物および非磁性層形成用組成物のそれぞれについて、上記の各種成分をニーダで混練した。粒径１．０ｍｍのジルコニアビーズを分散部の容積に対し６５体積％充填する量を入れた横型サンドミルにポンプで通液し、２０００ｒｐｍ（ｒｅｖｏｌｕｔｉｏｎ ｐｅｒ ｍｉｎｕｔｅ）で１２０分間（実質的に分散部に滞留した時間）分散させた。磁性層形成用組成物に関しては、得られた分散液を１μｍの孔径を有するフィルタを用いてろ過し、磁性層形成用組成物を得た。非磁性層形成用組成物に関しては、上記分散により得られた分散液を、ポリイソシアネートを６．５部、更にメチルエチルケトンを７．０部加えた後に、１μｍの孔径を有するフィルタを用いてろ過し、非磁性層形成用組成物を得た。
バックコート層形成用組成物は、以下の方法により調製した。潤滑剤（ステアリン酸およびブチルステアレート）、ポリイソシアネートならびにシクロヘキサノン２００．０部を除いた各成分をオープンニーダにより混練および希釈した後、横型ビーズミル分散機により、粒径１．０ｍｍのジルコニアビーズを用い、ビーズ充填率８０体積％、ローター先端周速１０ｍ／秒で、１パスあたりの滞留時間を２分とし、１２パスの分散処理を行った。その後、残りの成分を分散液に添加し、ディゾルバーで撹拌した。得られた分散液を１μｍの孔径を有するフィルタを用いてろ過し、バックコート層形成用組成物を得た。
その後、厚み５．０μｍのポリエチレンナフタレート製非磁性支持体の一方の表面上に、乾燥後の厚みが０．１μｍになるように非磁性層形成用組成物を塗布し乾燥させることにより、非磁性層を形成した。
その後、上記非磁性層上に磁性層形成用組成物を塗布して塗布層を形成した。この塗布層が未乾状態にあるうちに、磁場強度０．６Ｔの磁場を、塗布層の表面に対し垂直方向に印加し垂直配向処理を行った後、乾燥させることにより、磁性層を形成した。
その後、上記非磁性支持体の反対の表面上に、乾燥後の厚みが０．４μｍになるようにバックコート層形成用組成物を塗布し乾燥させてバックコート層を形成した。
その後、金属ロールのみから構成されるカレンダで、カレンダ温度（カレンダロールの表面温度）９５℃かつ線圧３００ｋｇ／ｃｍ（２９４ｋＮ／ｍ）にて表面平滑化処理（カレンダ処理）を１回行った。その後、１／２インチ（０．０１２７メートル）幅にスリットし、表面研磨処理を施して磁気テープを得た。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２］
強磁性粉末を作製する工程において下記の点を変更した以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２を作製した。
強磁性粉末を作製する工程において、ＳｒＣＯ₃を１６１２ｇ、Ｈ₃ＢＯ₃を６３７ｇ、Ｆｅ₂Ｏ₃を１０９４ｇ、Ａｌ（ＯＨ）₃を１１２ｇ、ＢａＣＯ₃を２４ｇ、ＣａＣＯ₃を３８ｇ、およびＮｄ₂Ｏ₃を２３４ｇ秤量し、ミキサーにて混合し原料混合物を得た点および結晶化温度を６１５℃に変更した点以外は同様にして、六方晶ストロンチウムフェライト粉末を得た。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３］
強磁性粉末を作製する工程において結晶化温度を６１９℃に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．２の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．４］
強磁性粉末を作製する工程において下記の点を変更した以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．４を作製した。
強磁性粉末を作製する工程において、ＳｒＣＯ₃を１７１２ｇ、Ｈ₃ＢＯ₃を６５７ｇ、Ｆｅ₂Ｏ₃を１３２６ｇ、Ａｌ（ＯＨ）₃を５０ｇ、ＣａＣＯ₃を２４２ｇ、ＺｎＯを１３ｇおよびＮｂ₂Ｏ₅を２１ｇ秤量し、ミキサーにて混合し原料混合物を得た点および結晶化温度を６４８℃に変更した点以外は同様にして、六方晶ストロンチウムフェライト粉末を得た。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．５］
強磁性粉末を作製する工程において結晶化温度を６５３℃に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．４の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．５を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．６］
強磁性粉末を作製する工程において下記の点を変更した以外は磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．６を作製した。
強磁性粉末を作製する工程において、デカンテーションを繰り返して洗浄したスラリーを１０％濃度の酢酸水溶液で希釈し、超音波分散処理を行い、再分散し、更に遠心分離を行うことで上澄みを除去する工程を３回繰り返した後、炉内温度１１０℃の加熱炉内で６時間乾燥させた点以外は同様にして、六方晶ストロンチウムフェライト粉末を得た。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．７］
強磁性粉末を作製する工程において上澄みを除去する工程の回数を２回に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．６の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．７を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．８］
磁性層に使用する強磁性粉末１００．０部として、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１に使用した強磁性粉末と同様の方法で作製された強磁性粉末９０．０部と磁気記録媒体サンプルＮｏ．５に使用した強磁性粉末と同様の方法で作製された強磁性粉末１０．０部とを混合した強磁性粉末を使用した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．８を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．９］
磁性層に使用する強磁性粉末１００．０部として、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１に使用した強磁性粉末と同様の方法で作製された強磁性粉末８０．０部と磁気記録媒体サンプルＮｏ．５に使用した強磁性粉末と同様の方法で作製された強磁性粉末２０．０部とを混合した強磁性粉末を使用した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．９を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．１０～１３］
磁性層形成時の磁性層形成用組成物の塗布量を変更した以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１０～１３を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．１４］
カレンダ処理におけるカレンダ温度（カレンダロールの表面温度）を１００℃に変更し、カレンダ処理の回数を４回に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１４を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．１５］
カレンダ処理の回数を２回に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１４の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１５を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．１６］
カレンダ処理におけるカレンダ温度（カレンダロールの表面温度）を９０℃に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１６を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．１７］
カレンダ処理におけるカレンダ温度（カレンダロールの表面温度）を９５℃に変更した点およびスリット後に表面研磨処理を施さなかった点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１７を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８］
強磁性粉末として、以下の方法で作製した強磁性粉末（ε－酸化鉄粉末）を使用して、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製における処方および方法と同様にして、磁性層形成用組成物１を調製した。こうして調製した磁性層形成用組成物１を、磁性層形成用組成物１の調製時と同じ混合比（質量基準）のメチルエチルケトンとシクロヘキサノンとの混合溶媒で希釈した後、遠心分離（以下、「磁性層形成用組成物の調製時の遠心分離」と記載する。）を１回行い、上澄みを除去する工程（以下、「磁性層形成用組成物の調製時の上澄み除去工程」と記載する。）を１回行い、スラリーを得た。得られたスラリーを、上記希釈前の磁性層形成用組成物１と同じ固形分濃度になるように磁性層形成用組成物１の調製時と同じ混合比（質量基準）のメチルエチルケトンとシクロヘキサノンとの混合溶媒で希釈して、磁性層形成用組成物２を得た。こうして得られた磁性層形成用組成物２を使用して磁性層を形成した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８を作製した。
（強磁性粉末（ε－酸化鉄粉末）の作製）
純水９０ｇに、硝酸鉄（ＩＩＩ）９水和物８．５ｇ、硝酸ガリウム（ＩＩＩ）８水和物１．１ｇ、硝酸コバルト（ＩＩ）６水和物１５０ｍｇ、および硫酸チタン（ＩＶ）１１８ｍｇを溶解させたものを、マグネチックスターラーを用いて撹拌しながら、大気雰囲気中、雰囲気温度２５℃の条件下で、２５質量％のアンモニア水溶液４．０ｇを添加し、そのまま２時間撹拌した。得られた溶液に、クエン酸１ｇを純水９ｇに溶解させて得たクエン酸水溶液を加え、１時間撹拌した。撹拌後に沈殿した粉末を遠心分離によって採集し、純水で洗浄し、炉内温度８０℃の加熱炉内で乾燥させた。
乾燥させた粉末に純水８００ｇを加えて再度粉末を水に分散させて分散液を得た。得られた分散液を液温５０℃に昇温し、撹拌しながら２５質量％アンモニア水溶液を４０ｇ滴下した。５０℃の液温を保ったまま１時間撹拌した後、テトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ；ｔｅｔｒａｅｔｈｏｘｙｓｉｌａｎｅ）１４ｍＬを滴下し、２４時間撹拌して反応溶液を得た。得られた反応溶液に、硫酸アンモニウム５０ｇを加え、沈殿した粉末を遠心分離によって採集し、純水で洗浄し、炉内温度８０℃の加熱炉内で２４時間乾燥させ、強磁性粉末の前駆体を得た。
得られた強磁性粉末の前駆体を、大気雰囲気下、炉内温度１００４℃（焼成温度）の加熱炉内に装填し、４時間の熱処理を施した。
熱処理した強磁性粉末の前駆体を、４モル／Ｌの水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）水溶液中に投入し、液温を７０℃に維持して２４時間撹拌することにより、熱処理した強磁性粉末の前駆体から不純物であるケイ酸化合物を除去した。
その後、遠心分離処理により、ケイ酸化合物を除去した強磁性粉末を採集し、純水で洗浄を行い、強磁性粉末を得た。
得られた強磁性粉末の組成を高周波誘導結合プラズマ発光分光分析(ＩＣＰ－ＯＥＳ；Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ－Ｏｐｔｉｃａｌ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により確認したところ、Ｇａ、ＣｏおよびＴｉ置換型ε－酸化鉄（ε－Ｇａ_0.2Ｃｏ_0.02Ｔｉ_0.02Ｆｅ_1.76Ｏ₃）であった。また、粉末Ｘ線回折（ＸＲＤ；Ｘ‐ｒａｙ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）を行い、ＸＲＤパターンのピークから、得られた強磁性粉末は、α相およびγ相の結晶構造を含まない、ε相の単相の結晶構造を有することが確認された。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．１９］
強磁性粉末を作製する工程において、硝酸鉄（ＩＩＩ）９水和物の量を９．１ｇに変更した点、硝酸コバルト（ＩＩ）６水和物および硫酸チタン（ＩＶ）は添加しなかった点、焼成温度を９７４℃に変更した点、ならび磁性層形成用組成物の調製時の遠心分離を行わなかった点以外は磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１９を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２０］
強磁性粉末を作製する工程における焼成温度を９７８℃に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１９の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２０を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２１］
強磁性粉末を作製する工程において使用する硝酸鉄（ＩＩＩ）９水和物の量を９．０ｇに変更し、硝酸ガリウム（ＩＩＩ）８水和物の量を１．２ｇに変更した点、焼成温度を１０１４℃に変更した点、および磁性層形成用組成物の調製時の遠心分離を行わなかった点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１９の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２１を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２２］
強磁性粉末を作製する工程における焼成温度を１０１７℃に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．２１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２２を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２３］
磁性層形成用組成物の調製時の遠心分離を３回実施した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２３を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２４］
磁性層形成用組成物の調製時の遠心分離を２回実施した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２４を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２５］
磁性層に使用する強磁性粉末１００．０部として、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８に使用した強磁性粉末と同様の方法で作製された強磁性粉末９０．０部と磁気記録媒体サンプルＮｏ．２２に使用した強磁性粉末と同様の方法で作製された強磁性粉末１０．０部とを混合した強磁性粉末を使用した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２５を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２６］
磁性層に使用する強磁性粉末１００．０部として、磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８に使用した強磁性粉末と同様の方法で作製された強磁性粉末８０．０部と磁気記録媒体サンプルＮｏ．２２に使用した強磁性粉末と同様の方法で作製された強磁性粉末２０．０部とを混合した強磁性粉末を使用した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２６を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．２７～３０］
磁性層形成時の磁性層形成用組成物の塗布量を変更した以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．２７～３０を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３１］
カレンダ処理におけるカレンダ温度（カレンダロールの表面温度）を１００℃に変更し、カレンダ処理の回数を４回に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３１を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３２］
カレンダ処理の回数を２回に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．３１の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３２を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３３］
カレンダ処理におけるカレンダ温度（カレンダロールの表面温度）を９０℃に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３３を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３４］
カレンダ処理におけるカレンダ温度（カレンダロールの表面温度）を９５℃に変更した点およびスリット後に表面研磨処理を施さなかった点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．１８の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３４を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３５］
カレンダ処理におけるカレンダ温度（カレンダロールの表面温度）を１００℃に変更し、カレンダ処理の回数を２回に変更した点以外は磁気記録媒体サンプルＮｏ．６の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３５を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３６］
カレンダ処理におけるカレンダ温度（カレンダロールの表面温度）を１００℃に変更し、カレンダ処理の回数を２回に変更した点以外は上記の磁気記録媒体サンプルＮｏ．２３の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３６を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３７］
強磁性粉末を作製する工程において上澄みを除去する工程の回数を５回に変更した点以外は磁気記録媒体サンプルＮｏ．７の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３７を作製した。

［磁気記録媒体サンプルＮｏ．３８］
磁性層形成用組成物の調製時の上澄み除去工程の回数を５回に変更した点以外は磁気記録媒体サンプルＮｏ．２４の作製と同様にして、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３８を作製した。

＜磁気記録媒体の評価＞
（１）磁性層の厚みおよび厚み変動
作製した各磁気テープの磁性層の厚みおよび厚み変動を、以下の方法によって求めた。 （ｉ）断面観察用試料の作製
特開２０１６－１７７８５１号公報の段落０１９３～０１９４に記載の方法にしたがい、磁気テープの磁性層側表面からバックコート層側表面までの厚み方向の全領域を含む断面観察用試料を作製した。
（ｉｉ）厚み測定
作製した試料をＳＴＥＭ観察し、ＳＴＥＭ像を撮像した。このＳＴＥＭ像は、加速電圧３００ｋＶおよび撮像倍率４５００００倍で撮像したＳＴＥＭ －ＨＡＡＤＦ（Ｈｉｇｈ－Ａｎｇｌｅ Ａｎｎｕｌａｒ Ｄａｒｋ Ｆｉｅｌｄ）像であり、１画像に、磁気テープの磁性層側表面からバックコート層側表面までの厚み方向の全領域が含まれるように撮像した。こうして得られたＳＴＥＭ像において、磁性層表面を表す線分の両端を結ぶ直線を、磁気テープの磁性層側表面を表す基準線として定めた。上記の線分の両端を結ぶ直線とは、例えば、ＳＴＥＭ像を、断面観察用試料の磁性層側が画像の上方に位置しバックコート層側が下方に位置するように撮像した場合には、ＳＴＥＭ像の画像（形状は長方形または正方形）の左辺と上記線分との交点とＳＴＥＭ像の右辺と上記線分との交点とを結ぶ直線である。同様に磁性層と非磁性層との界面を表す基準線を定めた。
磁性層の厚みは、無作為に抽出した１０箇所について、磁気テープの磁性層側表面を表す基準線から磁性層と非磁性層との界面を表す基準線までの最短距離として求めた厚みの算術平均として求めた。また、こうして求められた厚みの「最大値－最小値」として、厚み変動を求めた。

（２）マイクロ波アシスト記録適性の評価
各磁気記録媒体サンプルについて、以下の方法により磁性層の固有強磁性共鳴周波数を求めた。
厚さ０．５μｍのＳｉ基板上に、スパッタ法によりＳｉＯ₂膜を厚み１００ｎｍで製膜した後、リフトオフ法により厚み５ｎｍのＴｉ膜と厚み３００ｎｍのＡｕ膜をこの順に積層し、平面導波路を形成した。この平面導波路上に、上記で作製した磁気テープサンプルから幅７ｍｍ×長さ５ｍｍのサンプル片を切り出し、このサンプル片を磁性層表面を平面導波路のＡｕ膜の表面と密着させて載置した。こうして、平面導波路付きの磁気記録媒体サンプルを作製した。
こうして作製された平面導波路付きの磁気記録媒体サンプルを用いて、ベクトルネットワークアナライザとしてアンリツ社製ＭＳ４６４７Ｂを用いて、ケーブルおよびプローバとして非磁性部材を用いて、各磁気記録媒体サンプルの磁性層の固有強磁性共鳴周波数を測定した。後述の吸収ピーク周波数も、同様に測定した。固有強磁性共鳴周波数は、磁性層の厚み方向のシリコン基板側をマイナス方向、他方をプラス方向として、プラス方向に１０３４．８ｋＡ／ｍ（１３ｋＯｅ）の磁界を印加し磁性層の磁化を飽和させた後、印加磁界をゼロにしたときにベクトルネットワークアナライザにより測定される磁性層の吸収ピーク周波数として求めた。
上記の平面導波路付きの磁気記録媒体サンプルを用いて、下記評価方法により、各磁気記録媒体サンプルのマイクロ波アシスト記録適性を評価し、下記基準によりランク付けした。
（評価方法）
磁気記録媒体サンプルの磁性層の磁化をプラス方向に磁界を印加して飽和させた後、マイクロ波磁界の印加なしに、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の外部磁界（記録磁界）をマイナス方向に印加する。上記の外部磁界の印加によって磁化反転が起こると、測定される吸収ピーク周波数は、磁性層の固有強磁性共鳴周波数より高くなる。
上記の外部磁界の印加によって磁化反転が起こらなかった磁気記録媒体サンプルについては、更に以下の評価を行う。
磁気記録媒体サンプルの磁性層の磁化をプラス方向に磁界を印加して飽和させた後、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の外部磁界（記録磁界）をマイナス方向に印加した状態で、磁気記録媒体サンプルの固有強磁性共鳴周波数と同じ周波数のマイクロ波磁界を増幅器を通して所定時間印加し、その後、磁性層の吸収ピーク周波数を測定する。上記のマイクロ波磁界の印加によってアシストされて磁化反転が起こると、測定される吸収ピーク周波数は、磁性層の固有強磁性共鳴周波数より高くなる。この場合、マイクロ波アシスト記録が可能と判断できる。マイクロ波アシスト記録が可能と判断された磁気記録媒体サンプルについては、磁化反転後の強磁性共鳴ピークのピーク強度およびピーク形状を観察し、マイクロ波アシスト記録適性を更に評価する。
なお上記の例では、磁性層の厚み方向に記録磁界を印加しているため、記録方式は垂直記録である。
（評価基準）
６：マイクロ波磁界の印加時間５０ｎｓ以下で磁化反転が確認され、マイクロ波アシスト記録が可能。磁化反転後の強磁性共鳴ピークのピーク強度が強く、ピーク形状がシャープである（ピークの半値幅が狭い）。
５：マイクロ波磁界の印加時間５０ｎｓ以下で磁化反転が確認され、マイクロ波アシスト記録が可能。磁化反転後の強磁性共鳴ピークのピーク形状がシャープである（ピークの半値幅が狭い）。磁化反転後の強磁性共鳴ピークのピーク強度は、評価基準６より弱い。
４：マイクロ波磁界の印加時間５０ｎｓ超１５０ｎｓ以下で磁化反転が確認され、マイクロ波アシスト記録が可能。磁化反転後の強磁性共鳴ピークのピーク形状がシャープである（ピークの半値幅が狭い）。磁化反転後の強磁性共鳴ピークのピーク強度は、評価基準６より弱い。
３：マイクロ波磁界の印加時間５０ｎｓ超１５０ｎｓ以下で磁化反転が確認され、マイクロ波アシスト記録が可能。磁化反転後の強磁性共鳴ピークのピーク強度は評価基準６より弱い。磁化反転後の強磁性共鳴ピークの半値幅は、評価基準４～６より広い。
２：マイクロ波磁界を１５０ｎｓ印加しても、明瞭な磁化反転挙動が確認されない。
１：外部磁界のみで磁化反転が可能。

以上の結果を、表１に示す。

表１に示す結果から、実施例の磁気記録媒体サンプルは、マイクロ波アシスト記録が可能であり、かつ、マイクロ波磁界の印加によって磁化反転がアシストされ易くマイクロ波アシスト記録適性に優れることが確認できる。

（３）磁性層の表面の十点平均粗さＲｚ
表１中の実施例の磁気記録媒体サンプルについて、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ、Ｖｅｅｃｏ社製Ｎａｎｏｓｃｏｐｅ４）をタッピングモードで用いて、磁気テープの磁性層表面において測定面積４０μｍ×４０μｍの範囲を測定し、十点平均粗さＲｚを求めた。探針としてはＢＲＵＫＥＲ社製ＲＴＥＳＰ－３００を使用し、スキャン速度（探針移動速度）は４０μｍ／秒、分解能は５１２ｐｉｘｅｌ×５１２ｐｉｘｅｌとした。

表２に、表１中の実施例の磁気記録媒体サンプルについて、上記（２）で測定された磁性層の固有強磁性共鳴周波数および上記（３）で測定された十点平均粗さＲｚを示す。

２．多重記録試験
強磁性粉末（ε－酸化鉄粉末）１００．０部のうちの５０．０部を、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３５と同様の強磁性粉末（六方晶ストロンチウムフェライト粉末）５０．０部に置き換えた点以外、磁気記録媒体サンプルＮｏ．３６と同様に、平面導波路付きの磁気記録媒体サンプル（以下、「磁気記録媒体サンプルＮｏ．３９」と呼ぶ。）を作製した。
磁気記録媒体サンプルＮｏ．３９において、磁性層の磁化をプラス方向に磁界を印加して飽和させた後、１５９．２ｋＡ／ｍ（２ｋＯｅ）の磁界強度の外部磁界（記録磁界）をマイナス方向に印加した状態で、周波数４０ＧＨｚのマイクロ波磁界を増幅器を通して５０ｎｓ印加した。その後、磁性層の吸収ピーク周波数を測定したところ、吸収ピーク周波数が、周波数４４．３ＧＨｚ近傍と５２ＧＨｚ近傍に確認された。４４．３ＧＨｚ近傍の吸収ピーク周波数は、磁性層に含まれる六方晶ストロンチウムフェライト粉末によってもたらされた固有強磁性共鳴周波数（４０ＧＨｚ）が変化した吸収ピーク周波数であり、５２ＧＨｚ近傍の吸収ピーク周波数は、磁性層に含まれるε－酸化鉄粉末によってもたらされた固有強磁性共鳴周波数（５２ＧＨｚ）であると考えられる。このことから、マイクロ波磁界の印加によって、磁性層に含まれる六方晶ストロンチウムフェライト粉末が選択的に磁化反転したこと、即ち、六方晶ストロンチウムフェライト粉末とε－酸化鉄粉末を含む磁性層において、六方晶ストロンチウムフェライト粉末に選択的に情報が記録されたことが確認できる。また、この磁気記録媒体サンプルに、上記マイクロ波磁界の周波数とは異なる周波数のマイクロ波磁界を印加して磁化反転をアシストすることにより、ε－酸化鉄粉末を選択的に磁化反転させることができる。ε－酸化鉄粉末を選択的に磁化反転させる際に六方晶ストロンチウムフェライト粉末を選択的に磁化反転させた際と異なる外部磁界（記録磁界）を印加して情報を記録することにより、同一の単層の磁性層に、異なる情報を記録することができる。
以上の通り、マイクロ波アシスト記録によって、同一の単層の磁性層に多重記録を行うことができることも示された。こうして異なるデータ情報を多重記録することができる。また、こうして多重記録される情報の少なくとも１つをヘッドトラッキングサーボ情報とすることにより、即ち、規格により定められた形状および配置でサーボパターンを形成することにより、マイクロ波アシスト記録により形成されたサーボパターンを磁性層に有する磁気記録媒体を製造することができる。

上記では、非接触型の磁気記録再生システムにおいてマイクロ波アシスト記録を行う例を示した。また、本発明の一態様によれば、先に記載したように、磁性層表面と磁気ヘッドとが接触し摺動する接触摺動型の磁気記録再生システムにおいて、マイクロ波アシスト記録を行うことができる。例えば、データ情報の記録を行うための記録素子とともにスピントルクオシレータが組み込まれた磁気ヘッドを使用し、記録すべき情報に対応する記録磁界を記録素子によって与える際にスピントルクオシレータによりマイクロ波磁界を印加することにより、磁化反転をアシストして磁化反転を起こすこと（即ち、データ情報を記録すること）ができる。例えば、磁気記録装置内で磁気テープを走行させながら、マイクロ波アシスト記録を行うことができる。

本発明の一態様は、高密度記録用磁気記録媒体の技術分野において、有用である。

Claims (15)

1. 非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、
   前記強磁性粉末は、平均粒子サイズが７ｎｍ以上１９ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３４％以下であり、
   前記磁性層は、厚みが２７．１ｎｍ以上９５．４ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が２．４ｎｍ以上１１．３ｎｍ以下である、マイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体。
2. 前記強磁性粉末は、六方晶ストロンチウムフェライト粉末を含む、請求項１に記載のマイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体。
3. 前記強磁性粉末は、ε－酸化鉄粉末を含む、請求項１または２に記載のマイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体。
4. 前記磁性層は、３０ＧＨｚ以上６０ＧＨｚ以下の固有強磁性共鳴周波数を示す、請求項１～３のいずれか１項に記載のマイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体。
5. 前記磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、４０ｎｍ以下である、請求項１～４のいずれか１項に記載のマイクロ波アシスト記録用磁気記録媒体。
6. 磁気記録媒体と、
   マイクロ波アシスト記録用磁気ヘッドと、
   を含む磁気記録装置であって、
   前記磁気記録媒体は、
   非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、
   前記強磁性粉末は、平均粒子サイズが７ｎｍ以上１９ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３４％以下であり、
   前記磁性層は、厚みが２７．１ｎｍ以上９５．４ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が２．４ｎｍ以上１１．３ｎｍ以下である、磁気記録装置。
7. 前記強磁性粉末は、六方晶ストロンチウムフェライト粉末を含む、請求項６に記載の磁気記録装置。
8. 前記強磁性粉末は、ε－酸化鉄粉末を含む、請求項６または７に記載の磁気記録装置。
9. 前記磁性層は、３０ＧＨｚ以上６０ＧＨｚ以下の固有強磁性共鳴周波数を示す、請求項６～８のいずれか１項に記載の磁気記録装置。
10. 前記磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、４０ｎｍ以下である、請求項６～９のいずれか１項に記載の磁気記録装置。
11. 磁気記録媒体の磁性層にマイクロ波アシスト記録によりサーボパターンを形成することを含み、
    前記磁気記録媒体は、
    非磁性支持体と、強磁性粉末と結合剤とを含む磁性層と、を有し、
    前記強磁性粉末は、平均粒子サイズが７ｎｍ以上１９ｎｍ以下であり、かつ粒子サイズ分布の変動係数が３４％以下であり、
    前記磁性層は、厚みが２７．１ｎｍ以上９５．４ｎｍ以下であり、かつ厚み変動が２．４ｎｍ以上１１．３ｎｍ以下である、磁性層にサーボパターンを有する磁気記録媒体の製造方法。
12. 前記強磁性粉末は、六方晶ストロンチウムフェライト粉末を含む、請求項１１に記載の磁気記録媒体の製造方法。
13. 前記強磁性粉末は、ε－酸化鉄粉末を含む、請求項１１または１２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
14. 前記磁性層は、３０ＧＨｚ以上６０ＧＨｚ以下の固有強磁性共鳴周波数を示す、請求項１１～１３のいずれか１項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
15. 前記磁性層の表面の十点平均粗さＲｚは、４０ｎｍ以下である、請求項１１～１４のいずれか１項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
    

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