JP7104581B2 - ノズルステーション対応のノズル洗浄用治具 - Google Patents
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Description
例えば、前記実施形態では、ノズル洗浄用治具5のノズル受け部として円形部261と嵌め合い部262とを備えたノズル受け孔26が形成されているが、これは吸着ノズルに対応して変更可能なものである。
また、ノズル洗浄用治具5位置決め部材としてL字状の側壁27が形成されているが、これはノズルステーション1に対応して変更可能なものである。
Claims (4)
- 吸着ノズルを収納する孔形状のノズル収納部がノズル収納面に複数形成されたノズルステーションに使用するノズル洗浄用治具であり、
前記ノズル収納面に対して重ねられる板状の治具本体に、
前記ノズルステーションに形成された複数のノズル収納部に対応して、前記ノズル収納面から突出した前記吸着ノズルの一部を挿入する孔形状の複数のノズル受け部と、
前記複数のノズル受け部を前記ノズルステーションの複数のノズル収納部に位置合わせするため、前記ノズルステーションの所定個所に当てる位置決め部と、
が形成されたノズルステーション対応のノズル洗浄用治具。 - 前記治具本体のノズル受け部は、吸着ノズルの形状に応じた円柱形状の円形部と、前記円形部の開口部に径方向に広がった嵌め合い部が形成され、複数のノズル受け部の全てについて前記嵌め合い部が同じ方向である請求項1に記載するノズルステーション対応のノズル洗浄用治具。
- 前記ノズル受け部が形成された前記治具本体のノズル受け面に対して重ねられる蓋プレートを有し、当該蓋プレートは、前記ノズル受け面から突出した前記吸着ノズルと干渉しない隙間を形成するため、前記ノズル受け面に当てられる脚部が形成されたものである請求項1又は請求項2に記載するノズルステーション対応のノズル洗浄用治具。
- 前記治具本体の位置決め部は、前記蓋プレートの脚部を位置決めさせるものである請求項3に記載するノズルステーション対応のノズル洗浄用治具。
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