JP7087264B2 - 補助方法及び補助装置 - Google Patents
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Description
図1は、半導体ウェハ等のワークWを切削加工するダイシング装置10の斜視図である。なお、図中のXYZ軸は互いに直交する軸であり、XY軸が水平方向に平行な軸であり、Z軸が水平方向に直交する軸である。
図8は、ダイシング装置10における高倍率顕微鏡23Aの撮影光軸OAとワークテーブル31の回転軸Cとの位置合わせ作業の流れを示すフローチャートである。図8に示すように、オペレータは、撮影部23及びワークテーブル31の少なくとも一方の交換時、或いは定期的なタイミングにおいて位置合わせ作業を開始する。
以上のように本実施形態では、表示部66に表示される補助画面68内のポーラスパターン像の軌跡と第1指標84とを目印として、オペレータが撮影光軸OA,OBと回転軸Cとの位置合わせ操作を行うことができるので、回転軸Cの位置をオペレータが記憶したり或いは回転軸Cの位置を機械的に演算したりすることなく、撮影光軸OA,OBと回転軸Cとの位置合わせを行うことができる。その結果、撮影光軸OA、OBと回転軸Cとの位置合わせを高精度に行うことができる。
図9は、変形例1の第1指標84Aを説明するための説明図である。図10は、変形例2の第1指標84Bを説明するための説明図である。図11は、変形例3の第1指標84Cを説明するための説明図である。
上記実施形態では、動画像80に対して第1指標84及び第2指標86を重畳表示させたものを補助画面68として用いているが、動画像80に対して第1指標84のみを重畳表示させたものを補助画面68として用いてもよい。なお、これとは逆に動画像80に対して第2指標86のみを重畳表示させたものを補助画面68として用いてもよい。この場合、オペレータは、補助画面68内で回転するワーク保持面31aの像の中心位置(回転軸Cの位置)と、第2指標86とを目印として、撮影光軸OAと回転軸Cとの位置合わせを行う。
23…撮影部,
23A…高倍率顕微鏡,
23B…低倍率顕微鏡,
31…ワークテーブル,
31a…ワーク保持面,
66…表示部,
68…補助画面,
70…撮影制御部,
72…表示制御部,
74…回転制御部,
76…移動制御部,
80…動画像,
84,84A~84C…第1指標,
86…第2指標
Claims (8)
- 回転軸を中心として回転するワーク保持用のテーブルと、前記テーブルのワーク保持面に対向する位置に配置された撮影部と、を前記回転軸に対して垂直方向に相対移動させて、前記テーブルの前記回転軸と前記撮影部の撮影光軸とを位置合わせする位置合わせ作業を補助する補助方法において、
前記撮影部による前記ワーク保持面の動画撮影を実行させる撮影制御ステップと、
前記撮影部により得られた前記ワーク保持面の動画像を、表示部に表示させる表示ステップと、
前記表示部に表示される前記動画像に対して、前記撮影光軸を中心とする1又は複数の円周に沿って配置された第1指標を重畳表示させる表示制御ステップと、
前記撮影部による前記動画撮影に合わせて、前記回転軸を中心として前記テーブルを連続回転させる回転ステップと、
を有する補助方法。 - 前記表示制御ステップでは、前記表示部に表示される前記動画像に対して、前記第1指標と、前記撮影光軸を示す第2指標とを重畳表示させる請求項1に記載の補助方法。
- 前記第1指標が、前記撮影光軸を基準とする同心円状に形成されている請求項1又は2に記載の補助方法。
- 前記撮影制御ステップにおいて前記撮影部が、ポーラス状の前記ワーク保持面の動画撮影を実行する請求項1から3のいずれか1項に記載の補助方法。
- 前記撮影部が、撮影倍率の異なる複数のカメラを備え、
複数の前記カメラの中から前記動画撮影に用いる前記カメラを選択する選択ステップを有し、
前記撮影制御ステップでは、前記選択ステップで選択された前記カメラにより前記動画撮影を実行する請求項1から4のいずれか1項に記載の補助方法。 - 前記撮影部が、第1カメラと、前記第1カメラよりも撮影倍率の低い第2カメラとを備え、
前記選択ステップでは、前記第1カメラを選択する請求項5に記載の補助方法。 - 前記撮影部が、第1カメラと、前記第1カメラよりも撮影倍率の低い第2カメラとを備え、
前記選択ステップで前記第2カメラが選択された場合に、前記第2カメラの前記撮影光軸に対する前記第1カメラの前記撮影光軸の相対位置を示す相対位置情報を取得する情報取得ステップと、
前記第2カメラの前記撮影光軸と前記回転軸との位置合わせ作業の完了後に、前記情報取得ステップで取得した前記相対位置情報に基づき、前記撮影部と前記テーブルとを相対移動させることにより、前記第1カメラの前記撮影光軸を、前記回転軸に対して位置合わせされた前記第2カメラの前記撮影光軸の位置まで移動させる移動ステップと、
前記移動ステップの完了後に、前記第1カメラを選択する前記選択ステップと、前記撮影制御ステップと、前記表示ステップと、前記表示制御ステップと、前記回転ステップと、を繰り返し実行させる繰り返し制御ステップと、
を有する請求項5に記載の補助方法。 - 回転軸を中心として回転するワーク保持用のテーブルと、前記テーブルのワーク保持面に対向する位置に配置された撮影部と、を前記回転軸に対して垂直方向に相対移動させて、前記テーブルの前記回転軸と前記撮影部の撮影光軸とを位置合わせする位置合わせ作業を補助する補助装置において、
前記撮影部による前記ワーク保持面の動画撮影を実行させる撮影制御部と、
前記撮影部により得られた前記ワーク保持面の動画像を表示する表示部と、
前記表示部に表示される前記動画像に対して、前記撮影光軸を中心とする1又は複数の円周に沿って配置された第1指標を重畳表示させる表示制御部と、
前記撮影部による前記動画撮影に合わせて、前記回転軸を中心として前記テーブルを連続回転させる回転制御部と、
を備える補助装置。
Priority Applications (2)
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JP2018090027A JP7087264B2 (ja) | 2018-05-08 | 2018-05-08 | 補助方法及び補助装置 |
JP2022092927A JP7308394B2 (ja) | 2018-05-08 | 2022-06-08 | 補助方法及び補助装置 |
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JP2018090027A JP7087264B2 (ja) | 2018-05-08 | 2018-05-08 | 補助方法及び補助装置 |
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JP2019197775A JP2019197775A (ja) | 2019-11-14 |
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JP2005093710A (ja) | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置におけるチャックテーブルの回転軸と顕微鏡の中心との位置合わせ方法 |
JP2005166991A (ja) | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | アライメント装置及び加工装置 |
JP2007205827A (ja) | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Hideo Tamaru | 画像で行う外観検査装置 |
JP2011040637A (ja) | 2009-08-13 | 2011-02-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 検出方法、ウェーハ搬入方法および検出装置 |
JP2015133371A (ja) | 2014-01-10 | 2015-07-23 | 株式会社ディスコ | マーク検出方法 |
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- 2018-05-08 JP JP2018090027A patent/JP7087264B2/ja active Active
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