JP7076668B1 - マイクロ波励起光源装置 - Google Patents
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Abstract
Description
軸方向に伸縮する弾性体で構成され、前記軸方向の隙間に配置されて前記接続子と前記接続端板とを連結し、前記発光管が外力を受けた際に弾性変形し、前記環状電極と前記接続子との接触面にかかる応力を抑制する緩衝機構として機能する連結部材とを備えることを特徴とする。
図1と図2は、実施の形態1にかかるマイクロ波励起光源装置の構成について説明するためのものであり、図1はマイクロ波励起光源装置の軸に沿った断面図、図2は図1の領域R部分を拡大した部分拡大断面図である。
上記実施の形態1では、接続子と接続端板との間に軸方向の隙間を設け、弾性変形する連結部材で連結する例について説明した。本実施の形態2では、接続子を径方向に押圧支持する連結部材を設けた例について説明する。図3と図4は、実施の形態2にかかるマイクロ波励起光源装置の構成について説明するためのものであり、図3は実施の形態1の図2に対応するマイクロ波励起光源装置の軸に沿った部分拡大断面図、図4は図3のA-A線に対応する軸に垂直な断面図である。なお、発光管、環状電極、中心電極それぞれの全体像については、実施の形態1の図1を援用する。
上記実施の形態1と実施の形態2では、接続子と接続端板との間に隙間を設け、弾性変形する連結部材で連結する例について説明した。本実施の形態3では、導電性のゴムで構成した接続子を用いて、接続子と接続端板とを密着した状態で連結する構成例について説明する。図5と図6は、実施の形態3にかかるマイクロ波励起光源装置の構成について説明するためのものであり、図5は実施の形態1の図2に対応するマイクロ波励起光源装置の軸に沿った部分拡大断面図、図6は図5のB-B線に対応する軸に垂直な断面図である。なお、発光管、環状電極、中心電極それぞれの全体像については、実施の形態2と同様に、実施の形態1の図1を援用する。
上記実施の形態1~3においては、マイクロ波発生源100との電気接続を行う接続端板に対して、発光管を支持する支持機構を構成する接続端板と環状電極との間に、衝撃による応力を緩和する緩衝機構を形成する例について説明した。一方、本実施の形態4では、上記実施の形態1~3とは異なり、マイクロ波発生源100は、照射処理を実行する設備等の設置対象に対して固定されておらず、機械的に浮いた状態である場合を前提とする。そして、設置対象に対して接続端板を支持するための支持機構を設け、支持機構と接続端板との間に弾性体の第二連結部材を介在させ、緩衝機構を形成する例について説明する。
Claims (3)
- マイクロ波発生源に電気接続されてマイクロ波励起光を発生するマイクロ波励起光源装置において、
前記マイクロ波発生源の一方の極に電気接続され、軸方向に延びる中心電極と、
前記中心電極に対して同心配置された環状電極と、
前記中心電極と前記環状電極との間に形成された環状空間に配置され、前記マイクロ波励起光を発光する発光管と、
前記マイクロ波発生源の他方の極が電気接続される接続端板と、
環状をなし、前記発光管の外周面に嵌め込まれた軸方向の一端側が、前記外周面との間で前記環状電極を挟み込むとともに、他端側と前記接続端板との間に軸方向の隙間が設けられ、前記環状電極と前記接続端板とを電気接続する接続子と、
軸方向に伸縮する弾性体で構成され、前記軸方向の隙間に配置されて前記接続子と前記接続端板とを連結し、前記発光管が外力を受けた際に弾性変形し、前記環状電極と前記接続子との接触面にかかる応力を抑制する緩衝機構として機能する連結部材とを備えることを特徴とするマイクロ波励起光源装置。 - マイクロ波発生源に電気接続されてマイクロ波励起光を発生するマイクロ波励起光源装置において、
前記マイクロ波発生源の一方の極に電気接続され、軸方向に延びる中心電極と、
前記中心電極に対して同心配置された環状電極と、
前記中心電極と前記環状電極との間に形成された環状空間に配置され、前記マイクロ波励起光を発光する発光管と、
前記マイクロ波発生源の他方の極が電気接続される接続端板と、
導電ゴムで形成され、軸方向の一端側が環状をなし、前記発光管の外周面に嵌め込まれて前記外周面との間で前記環状電極を挟み込むとともに、他端側が円盤状をなして前記軸方向で前記発光管と前記接続端板との間に介在し、前記環状電極と前記接続端板とを電気接続する接続子とを備え
前記接続子は、前記発光管が外力を受けた際に弾性変形し、前記環状電極と前記接続子との接触面にかかる応力を抑制する緩衝機構として機能するための変形量を確保できるように前記円盤状をなす部分の厚みが設定されていることを特徴とするマイクロ波励起光源装置。 - 前記発光管の内周面と前記中心電極との間には径方向の隙間が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ波励起光源装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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PCT/JP2021/040923 WO2023079725A1 (ja) | 2021-11-08 | 2021-11-08 | マイクロ波励起光源装置 |
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Citations (5)
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- 2021-11-08 WO PCT/JP2021/040923 patent/WO2023079725A1/ja active Application Filing
- 2021-11-08 JP JP2022515683A patent/JP7076668B1/ja active Active
- 2021-11-08 CN CN202180103719.6A patent/CN118176562A/zh active Pending
Patent Citations (5)
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