JP7070197B2 - Tft用ガラス基板 - Google Patents
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Description
無アルカリガラスであることにより、ガラス板10に含まれるアルカリ成分が継時変化によって溶出してガラス表面に形成したTFT等に悪影響を及ぼすことが無くなる。なお、本明細書について、「無アルカリ」とはアルカリ成分を厳密な意味で完全に含まないのではなく、不純物として含む程度は許容する概念を指す。具体的には、例えば0.01質量%程度は許容する。
10 ガラス板
11 第1主面
12 第2主面
13 第1辺
14 第2辺
15 第1断面
16 凸部
20 粗面化領域
21 非粗面化領域
30 第1領域
31 第2領域
100 フロートガラス製造装置
200 インジェクタ
Claims (21)
- 第1主面と、前記第1主面と対向する第2主面とを備えた矩形のガラス板より構成され、
前記ガラス板の板厚方向からの視野において、互いに隣り合う第1辺と第2辺とを有し、
前記第1辺と前記第2辺との長さが、少なくとも1200mm以上であり、
前記ガラス板の板厚方向の断面のうち、前記第1辺と平行な直線に沿った第1断面において、当該ガラス板の板厚の最大値と板厚の最小値の差である板厚公差が6.26μm未満であり、
前記第1主面は、粗面化領域と非粗面化領域とを有し、
前記粗面化領域と前記非粗面化領域との粗さの比は、1より大きい、TFT用ガラス基板。 - 前記粗面化領域の算術平均粗さRa1はRa1>0.5nmであり、前記非粗面化領域の算術平均粗さRa2はRa2≦0.5nmである、請求項1に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記粗面化領域の面積は、前記非粗面化領域の面積よりも小さく、
前記粗面化領域の面積と、前記非粗面化領域の面積との比は、3以上300以下である、請求項1又は2に記載のTFT用ガラス基板。 - 前記粗面化領域は、前記第1辺と平行な方向にライン状に形成される、請求項1から3のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記粗面化領域は、前記第1辺と平行な方向にライン状に複数形成される請求項1から4のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記粗面化領域は、前記第2辺と平行な方向の幅が、10mm以上1000mm以下である、請求項4又は5に記載のTFT用ガラス基板。
- 第1主面と、前記第1主面と対向する第2主面とを備えた矩形のガラス板より構成され、
前記ガラス板の板厚方向からの視野において、互いに隣り合う第1辺と第2辺とを有し、
前記第1辺と前記第2辺との長さが、少なくとも1200mm以上であり、
前記ガラス板の板厚方向の断面のうち、前記第1辺と平行な直線に沿った第1断面において、当該ガラス板の板厚の最大値と板厚の最小値の差である板厚公差が6.26μm未満であり、
前記第1主面は、第1領域と第2領域とを有し、
前記第1領域と前記第2領域とのフッ素の含有量の比が1より大きい、TFT用ガラス基板。 - 前記第1領域のフッ素の含有量F1は0.5wt%≦F1≦5wt%であり、前記第2領域のフッ素の含有量F2は0≦F2≦0.15wt%である、請求項7に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記第1領域の面積は、前記第2領域の面積よりも小さく、
前記第1領域の面積と、前記第2領域の面積との比は、3以上300以下である請求項7又は8に記載のTFT用ガラス基板。 - 前記第1領域は、前記第1辺と平行な方向に、ライン状に形成される請求項7から9のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記第1領域は、前記第1辺と平行な方向に、ライン状に複数形成される請求項7から10のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記第1領域において、前記第2辺と平行な方向のフッ素の含有量の傾きが、0.001wt%/mm以上0.15wt%/mm以下である請求項10又は11に記載のTFT用ガラス基板。
- 第1主面と、前記第1主面と対向する第2主面とを備えた矩形のガラス板より構成され、
前記ガラス板の板厚方向からの視野において、互いに隣り合う第1辺と第2辺とを有し、
前記第1辺と前記第2辺との長さが、少なくとも1200mm以上であり、
前記ガラス板の板厚方向の断面のうち、前記第1辺と平行な直線に沿った第1断面において、当該ガラス板の板厚の最大値と板厚の最小値の差である板厚公差が6.26μm未満であり、
前記ガラス板は、前記第1主面及び前記第2主面のうち、少なくとも一方において、バルクの水分量に対し、80%以下の水分量である層を、10μm以上有するTFT用ガラス基板。 - 前記ガラス板の板厚方向のあらゆる断面において、前記板厚公差が7.12μm未満である、請求項1から13のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記第1断面において、前記板厚の一次微分値の絶対値の平均値が1.72E-02未満である、請求項1から14のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記第1断面において、前記板厚の一次微分値の絶対値の標準偏差が1.5E-03以下である、請求項1から14のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記第1断面において、前記板厚の二次微分値の絶対値の最大値が6.0E-03以下である、請求項1から16のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記第1断面において、前記板厚の二次微分値の絶対値の標準偏差が1.5E-04以下である、請求項1から17のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記ガラス板のガラス組成が、無アルカリガラスである請求項1から18のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記ガラス板は、前記第1主面及び前記第2主面のうち、少なくとも一方において、研磨傷を有さない請求項1から19のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
- 前記ガラス板の厚さは1.0mm以下である請求項1から20のいずれか1項に記載のTFT用ガラス基板。
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