JP7056608B2 - エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
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[1]シリコンウェーハの表面に、構成元素として炭素および水素を含むクラスターイオンを照射して前記シリコンウェーハの表層部に前記クラスターイオンの構成元素が固溶した改質層を形成する第1工程と、
前記第1工程の後に、前記シリコンウェーハの改質層上にシリコンエピタキシャル層を形成してエピタキシャルシリコンウェーハを得る第2工程と、
前記第2工程の後に、前記エピタキシャルシリコンウェーハに対して熱処理を施す第3工程と、
を有し、
前記第3工程における熱処理は、800℃以上1100℃以下の熱処理温度にて行い、かつ前記熱処理温度について熱処理時間と対数表記の水素濃度との関係を予め求めておき、前記関係における水素濃度を傾きが異なる2つの直線でフィッティングした際の前記2つの直線の交点に対応する時間以上の時間行うことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
まず、第1工程において、シリコンウェーハ10の表面10Aに、構成元素として炭素および水素を含むクラスターイオン12を照射してシリコンウェーハ10の表層部にクラスターイオン12の構成元素が固溶した改質層14を形成する。
次に、第2工程において、シリコンウェーハ10の改質層14上にシリコンエピタキシャル層18を形成してエピタキシャルシリコンウェーハ100を得る。シリコンエピタキシャル層18は、一般的な条件により形成することができる。具体的には、まず、シリコンウェーハ10をエピタキシャル成長装置内に投入し、水素ベーク処理を行う。水素ベーク処理の一般的な条件は、エピタキシャル成長装置内を水素雰囲気とし、600℃以上900℃以下の炉内温度で半導体ウェーハを炉内に投入し、1℃/秒以上15℃/秒以下の昇温レートで1100℃以上1200℃以下の温度範囲にまで昇温させ、その温度で30秒以上1分以下の間保持するものである。
続いて、第3工程において、エピタキシャルシリコンウェーハ100に対して熱処理を施す。その際、熱処理は、800℃以上1100℃以下の熱処理温度にて行い、かつ上記熱処理温度について熱処理時間と対数表記の水素濃度との関係を予め求めておき、上記関係における水素濃度を傾きが異なる2つの直線でフィッティングした際の2つの直線の交点に対応する熱処理時間以上の時間行う。これにより、図1に示すような、本発明によるエピタキシャルシリコンウェーハ1が得られる。
まず、CZ法により育成した単結晶シリコンインゴットから採取したシリコンウェーハ(直径:300mm、導電型:n型、ドーパント種類:リン、厚み:775μm)を用意した。次いで、クラスターイオン発生装置(日新イオン機器社製、CLARIS(登録商標))を用いて、原料ガスとしてシクロヘキサン(C6H12)を用いてC3H5クラスターイオンを生成して抽出し、加速電圧80keV/Cluster(炭素1原子あたりの加速電圧23.4keV/atom)の照射条件でシリコンウェーハの表面に照射した。なお、クラスターイオンを照射した際のドーズ量を1.0×1015cluster/cm2とした。また、クラスターイオンのビーム電流値を850μAとした。
発明例1と同様に、発明例2によるエピタキシャルシリコンウェーハを得た。ただし、RTA装置を用いた熱処理の熱処理時間を100分とした。その他の条件は発明例1と全て同じである。
発明例1と同様に、発明例3によるエピタキシャルシリコンウェーハを得た。ただし、RTA装置を用いた熱処理の熱処理時間を170分とした。その他の条件は発明例1と全て同じである。
発明例1と同様に、発明例4によるエピタキシャルシリコンウェーハを得た。ただし、RTA装置を用いた熱処理の熱処理時間を240分とした。その他の条件は発明例1と全て同じである。
発明例1と同様に、従来例によるエピタキシャルシリコンウェーハを得た。ただし、RTA装置を用いた熱処理を行わなかった。その他の条件は発明例1と全て同じである。
発明例1と同様に、比較例によるエピタキシャルシリコンウェーハを得た。ただし、RTA装置を用いた熱処理の熱処理時間を60分とした。その他の条件は発明例1と全て同じである。
発明例1および従来例によるエピタキシャルシリコンウェーハについてSIMS測定を行い、ウェーハ厚み方向における水素濃度のプロファイルをそれぞれ測定した。発明例1および従来例に対するエピタキシャルシリコンウェーハの水素濃度プロファイルを図6に示す。ここで、図6の横軸の深さは、エピタキシャルシリコンウェーハのエピタキシャル層表面をゼロとしている。また、図6の水素濃度は、単位体積当たりの水素濃度である(単位はatoms/cm3である)。図6において、表面から深さ5μmまでの領域がシリコンエピタキシャル層に相当し、深さ5μm以上の領域がシリコンウェーハに相当する。なお、エピタキシャルシリコンウェーハをSIMS測定した際に、シリコンエピタキシャル層の厚みに±0.1μm程度の不可避的な測定誤差が生じるため、図中において5μmの深さ位置が、厳密な意味でのシリコンエピタキシャル層とシリコンウェーハとの境界にはならない。
発明例1~4、従来例および比較例によるエピタキシャルシリコンウェーハの各々について、改質層に捕獲された水素による欠陥のパッシベーション効果を評価した。この評価は、各シリコンエピタキシャル層の表面に電子線(照射温度:33K、照射エネルギー:20keV)を照射し、エピタキシャル層の表面から深さ約2μmの位置でのCLスペクトルをそれぞれ取得して、TO線の強度に基づいて行った。
12 クラスターイオン
14,24 改質層
18 シリコンエピタキシャル層
1,100 エピタキシャルシリコンウェーハ
Claims (3)
- シリコンウェーハの表面に、構成元素として炭素および水素を含むクラスターイオンを照射して前記シリコンウェーハの表層部に前記クラスターイオンの構成元素が固溶した改質層を形成する第1工程と、
前記第1工程の後に、前記シリコンウェーハの改質層上にシリコンエピタキシャル層を形成してエピタキシャルシリコンウェーハを得る第2工程と、
前記第2工程の後に、前記エピタキシャルシリコンウェーハに対して熱処理を施す第3工程と、
を有し、
前記第3工程における熱処理は、800℃以上1100℃以下の熱処理温度にて行い、かつ前記熱処理温度について熱処理時間と対数表記の水素濃度との関係を予め求めておき、前記関係における水素濃度を傾きが異なる2つの直線でフィッティングした際の前記2つの直線の交点に対応する時間以上の時間行うことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。 - 前記第3工程における熱処理の熱処理時間は400分以下とする、請求項1に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
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