JP7055647B2 - 切断方法 - Google Patents
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[実施形態に係る切断方法]
Claims (4)
- 第1表面及び前記第1表面の反対側の第2表面を有し、酸化ガリウムを含む加工対象物を切断予定ラインに沿って切断する切断方法であって、
前記第1表面をレーザ光の入射面として前記切断予定ラインに沿って前記加工対象物にレーザ光を照射することにより、前記切断予定ラインに沿って前記加工対象物に改質領域を形成する第1工程と、
前記第1工程の後に、前記切断予定ラインに沿って前記加工対象物に切削具を挿入することにより前記切断予定ラインに沿って前記加工対象物を切断する第2工程と、
を備え、
前記第1工程においては、1つの前記切断予定ラインに対して、少なくとも、前記切断予定ラインに交差すると共に前記第1表面に沿った第1方向に配列されるように複数列の改質領域を形成することにより、複数列の前記改質領域を含む改質部を形成し、
前記第1工程においては、1つの前記切断予定ラインに対して、前記第2表面から前記第1表面に向かう第2方向に配列されるように複数列の前記改質領域を形成することにより前記改質部を形成し、
前記第1工程においては、前記第2方向における前記レーザ光の集光点の位置を維持しながら複数列の前記改質領域を形成して複数列の前記改質領域を含む改質層を形成する改質層形成工程を、前記第2方向における前記レーザ光の集光点の位置を変更しながら繰り返すことによって、複数の前記改質層を含む前記改質部を形成する、
切断方法。 - 前記第1工程においては、前記第2方向における前記レーザ光の集光点の位置を、前記第2表面側から前記第1表面側に順に変更しながら前記改質層形成工程を繰り返すことにより、複数の前記改質層を含む前記改質部を形成する、
請求項1に記載の切断方法。 - 前記第1工程においては、前記第1方向における前記改質部の幅が前記第1方向における前記切削具の幅よりも大きくなるように前記改質領域を形成する、
請求項1又は2に記載の切断方法。 - 前記第1工程においては、前記改質部が前記切断予定ラインに沿って前記加工対象物の一端から他端に連続的に延在するように前記改質領域を形成する、
請求項1~3のいずれか一項に記載の切断方法。
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---|---|---|---|---|
JP2007160400A (ja) | 2005-11-16 | 2007-06-28 | Denso Corp | レーザダイシング方法 |
JP2013258286A (ja) | 2012-06-12 | 2013-12-26 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体ウェーハ、半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2015216140A (ja) | 2014-05-07 | 2015-12-03 | 株式会社ディスコ | 光デバイスの加工方法 |
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