JP7054862B2 - プローバのウェーハ搬送装置 - Google Patents
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Claims (3)
- ウェーハを搬送する搬送アームと、
前記搬送アームに設けられるとともに、エアを吐出することにより前記ウェーハを非接触にて保持するチャック部と、
圧縮エア供給源と、
前記チャック部と前記圧縮エア供給源とを接続するエア供給流路と、
前記エア供給流路に設けられたエア圧力制御部であって、前記圧縮エア供給源から前記チャック部に供給される圧縮エアの圧力を調整することにより、前記ウェーハに対する前記チャック部の保持力を変更可能なエア圧力調整部と、
前記エア圧力調整部に接続されて、前記圧縮エア供給源から前記チャック部に供給される前記圧縮エアの圧力が漸次低下するように前記エア圧力調整部を制御する制御部と、
を有する、プローバのウェーハ搬送装置。 - 前記エア圧力調整部は、前記圧縮エア供給源から前記チャック部に供給される前記圧縮エアの圧力を調整する電空レギュレータであり、
前記制御部は、前記電空レギュレータに与える電気信号のレベルを漸次低下させる信号制御部である、
請求項1に記載のプローバのウェーハ搬送装置。 - 前記エア圧力調整部は、
前記エア供給流路から分岐されて前記チャック部にそれぞれ接続される複数の分岐流路と、
前記複数の分岐流路に設けられ、それぞれ絞り量が異なる複数の絞り弁と、
前記エア供給流路と前記複数の分岐流路との間に設けられ、前記エア供給流路に接続される1本の前記分岐流路を前記複数の分岐流路の中から選択的に切り替えるバルブと、を有し、
前記制御部は、前記絞り量が小さい前記絞り弁の前記分岐流路から前記絞り量が大きい前記絞り弁の前記分岐流路へ分岐流路を切り替えるように前記バルブを制御するバルブ制御部である、請求項1に記載のプローバのウェーハ搬送装置。
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