JP7054671B2 - 分光器 - Google Patents
分光器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7054671B2 JP7054671B2 JP2018511145A JP2018511145A JP7054671B2 JP 7054671 B2 JP7054671 B2 JP 7054671B2 JP 2018511145 A JP2018511145 A JP 2018511145A JP 2018511145 A JP2018511145 A JP 2018511145A JP 7054671 B2 JP7054671 B2 JP 7054671B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spectroscope
- opening
- light
- detector
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 73
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 52
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 36
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 13
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 7
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005375 photometry Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0202—Mechanical elements; Supports for optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0218—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0218—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
- G01J3/0221—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers the fibers defining an entry slit
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/04—Slit arrangements slit adjustment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
[形態1]
分光器(100)であって、
ハウジング(102)を備え、
前記ハウジング(102)は、該ハウジングの内部に対面する内面を有する壁部(104)を備え、
前記壁部は、第1の開口(106)と、第2の開口(108)と、第3の開口(110)と、を備え、
前記壁部は、前記第2の開口(108)の内側に向けて延在する複数の突出部(122)を備え、
前記分光器(100)は、さらに、
前記第1の開口(106)のところに位置する入口スリット(112)であって、前記ハウジング(102)の前記内部において光路の第1の部分(LP1)に沿って光を方向付けるように構成された入口スリット(112)と、
前記第2の開口(108)のところに位置する分散素子(114)であって、前記光路の前記第1の部分(LP1)に沿った前記入口スリット(112)からの光を受け取り、前記ハウジング(102)の前記内部において前記光路の第2の部分(LP2)に沿って光を方向付けるように構成された分散素子(114)と
を備え、
前記分散素子(114)は、前記第2の開口(108)内へ延在する前記複数の突出部(122)に接触する寸法を有する輪郭部(124)を備え、
前記複数の突出部(122)および前記分散素子(114)の前記輪郭部(124)は、前記分散素子(114)が少なくとも部分的に前記第2の開口(108)内に位置する場合に前記分散素子(114)の前記輪郭部(124)が前記複数の突出部(122)の全てに接触するように、また、前記入口スリット(112)に対する前記分散素子(114)の向きが固定されるように相補的な寸法パラメータおよび相補的な公差パラメータを有し、
前記分光器(100)は、さらに、前記第3の開口(110)のところに位置する検出器(116)を備え、
前記検出器(116)は、前記光路の前記第2の部分(LP2)に沿った前記分散素子(114)からの光を受け入れるように構成された
分光器。
[形態2]
形態1に記載の分光器(100)であって、
前記第2の開口(108)は、内側開口(2081)と外側開口(2082)とを備え、
前記内側開口(2081)は、前記外側開口(2082)よりも前記ハウジングの前記内部の近くに位置し、
前記複数の突出部(122)は、前記内側開口の内側に向けて延在する第1のグループの突出部(122A)と、前記外側開口の内側に向けて延在する第2のグループの突出部(122B)と、を備える
分光器。
[形態3]
形態1または形態2に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの突出部(122A)および前記第2のグループの突出部(122B)のうちの少なくとも一方は、少なくとも3つの突出部を備える
分光器。
[形態4]
形態1ないし形態3のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記内側開口(2081)および前記外側開口(2082)は、異なる直径を有する 分光器。
[形態5]
形態1ないし形態3のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)は、第1のグループの感光領域(118)と第2のグループの感光領域(120)とを備え、
前記分光器(100)は、さらに、前記第1のグループの感光領域(118)を前記光路から分離するように位置決めされるカバー(105)を備え、
前記第2のグループの感光領域(120)は、前記光路にさらされる
分光器。
[形態6]
形態1ないし形態5のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)は、電荷結合素子アレイ検出器、ライン電荷結合素子検出器、フォトダイオードアレイ検出器、および、相補的な金属酸化膜半導体検出器のうちの1つである
分光器。
[形態7]
形態1ないし形態6のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの感光領域(118)は、第1の波長帯の光を検出し、
前記第2のグループの感光領域(120)は、第2の波長帯の光を検出し、
前記第1の波長帯と前記第2の波長帯とは異なっている
分光器。
[形態8]
形態1ないし形態6のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの感光領域(118)は、第1の波長帯の光を検出し、
前記第2のグループの感光領域(120)は、第2の波長帯の光を検出し、
前記第1の波長帯と前記第2の波長帯とは重複しない
分光器。
[形態9]
形態1ないし形態8のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)の前段に配置されたフィルタ(117)を備え、その結果、前記光路の前記第2の部分(LP2)に沿って移動する光は、まず前記フィルタ(117)を超え、次いで前記検出器(116)に達する
分光器。
[形態10]
形態1ないし形態9のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記カバー(105)は、前記ハウジング(102)の前記壁部と一体である
分光器。
[形態11]
形態1ないし形態10のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記カバー(105)は、前記ハウジング(102)の前記壁部と別体である
分光器。
[形態12]
形態1ないし形態11のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、前記第1の開口(106)のところに、前記ハウジング(102)の前記内面に対して角度付けられた平面に沿って延在するくさび状部(126)を備え、
前記くさび状部(126)は、前記光路の前記第1の部分(LP1)についての前記分散素子(114)に対する所定の向きで前記入口スリット(112)を固定するように構成される
分光器。
[形態13]
形態1ないし形態12のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、前記くさび状部(126)に対して90度の角度で延在する長手方向の隙間(113)を備える
分光器。
[形態14]
形態1ないし形態13のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
光ファイバー(128)と組み合わせられ、
前記光ファイバー(128)は、光が前記光ファイバー(128)を通って前記分光器(100)内へ方向付けられるように構成され、
前記ファイバーは前記入口スリット(112)と光学的に連通する
分光器。
[形態15]
形態1ないし形態13のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリットを所定の向きで固定するために前記入口スリット(112)の前記くさび状部(126)に当接して位置決めされたネジ(130)を備える
分光器。
[形態16]
形態15に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、該入口スリット(112)の周囲にフランジ(132)を備え、
前記くさび状部(126)は、前記フランジのくさび状部である
分光器。
[形態17]
形態15または形態16に記載の分光器(100)であって、
光ファイバー(128)と組み合わせられ、
前記光ファイバー(128)は、光が前記光ファイバーを通って前記分光器内へ方向付けられるように構成され、
前記フランジ(132)は、前記入口スリット(112)と光学的に連通する前記光ファイバーを収容するチューブ状部材を備える
分光器。
[形態18]
分光計(500)であって、
形態1ないし形態17のいずれか一項に記載の分光器(100)と、
光源(502)と、
サンプルまたはサンプルキャリアを保持するように構成された測定領域(504)と、
前記光源(502)からの光を前記測定領域(504)へ方向付けるように構成された第1の光学素子(506)と、
前記測定領域(504)からの光を前記分光器(100)の前記入口スリット(112)へ方向付けるように構成された第2の光学素子(508)と
を備える
分光計。
102…ハウジング
103…ハウジングカバー
104…壁部
105…カバー
106…第1の開口
108…第2の開口
110…第3の開口
112…入口スリット
113…長手方向の隙間
114…分散素子
116…検出器
117…フィルタ
118…第1のグループの感光領域
120…第2のグループの感光領域
122A…第1のグループの突出部
122B…第2のグループの突出部
124…輪郭部
126…くさび状部
128…光ファイバー/ファイバー
LP1…光路の第1の部分
LP2…光路の第2の部分
2081…内側開口
2082…外側開口
130…ネジ
132…フランジ
500…分光計
502…光源
504…測定領域
506…第1の光学素子
508…第2の光学素子
510…ガラスファイバー
512…コリメータレンズ
514…センサチップ
516…ディスプレイ
Claims (18)
- 分光器(100)であって、
ハウジング(102)を備え、
前記ハウジング(102)は、該ハウジングの内部に対面する内面を有する壁部(104)を備え、
前記壁部は、第1の開口(106)と、第2の開口(108)と、第3の開口(110)と、を備え、
前記壁部は、前記第2の開口(108)の内側に向けて延在する少なくとも3つの突出部(122)を備え、
前記分光器(100)は、さらに、
前記第1の開口(106)のところに位置する入口スリット(112)であって、前記ハウジング(102)の前記内部において光路の第1の部分(LP1)に沿って光を方向付けるように構成された入口スリット(112)と、
前記第2の開口(108)のところに位置する分散素子(114)であって、前記光路の前記第1の部分(LP1)に沿った前記入口スリット(112)からの光を受け取り、前記ハウジング(102)の前記内部において前記光路の第2の部分(LP2)に沿って光を方向付けるように構成された分散素子(114)と
を備え、
前記分散素子(114)は、前記第2の開口(108)内へ延在する前記複数の突出部(122)に接触する寸法を有する輪郭部(124)を備え、
前記複数の突出部(122)および前記分散素子(114)の前記輪郭部(124)は、前記分散素子(114)が少なくとも部分的に前記第2の開口(108)内に位置する場合に前記分散素子(114)の前記輪郭部(124)が前記複数の突出部(122)の全てに接触するように、また、前記入口スリット(112)に対する前記分散素子(114)の向きが固定されるように相補的な寸法パラメータおよび相補的な公差パラメータを有し、
前記分光器(100)は、さらに、前記第3の開口(110)のところに位置する検出器(116)を備え、
前記検出器(116)は、前記光路の前記第2の部分(LP2)に沿った前記分散素子(114)からの光を受け入れるように構成された
分光器。 - 請求項1に記載の分光器(100)であって、
前記第2の開口(108)は、内側開口(2081)と外側開口(2082)とを備え、
前記内側開口(2081)は、前記外側開口(2082)よりも前記ハウジングの前記内部の近くに位置し、
前記複数の突出部(122)は、前記内側開口の内側に向けて延在する第1のグループの突出部(122A)と、前記外側開口の内側に向けて延在する第2のグループの突出部(122B)と、を備える
分光器。 - 請求項2に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの突出部(122A)および前記第2のグループの突出部(122B)のうちの少なくとも一方は、少なくとも3つの突出部を備える
分光器。 - 請求項2または請求項3に記載の分光器(100)であって、
前記内側開口(2081)および前記外側開口(2082)は、異なる直径を有する 分光器。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)は、第1のグループの感光領域(118)と第2のグループの感光領域(120)とを備え、
前記分光器(100)は、さらに、前記第1のグループの感光領域(118)を前記光路から分離するように位置決めされるカバー(105)を備え、
前記第2のグループの感光領域(120)は、前記光路にさらされる
分光器。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)は、電荷結合素子アレイ検出器、ライン電荷結合素子検出器、フォトダイオードアレイ検出器、および、相補的な金属酸化膜半導体検出器のうちの1つである
分光器。 - 請求項5、または請求項5を引用する請求項6に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの感光領域(118)は、第1の波長帯の光を検出し、
前記第2のグループの感光領域(120)は、第2の波長帯の光を検出し、
前記第1の波長帯と前記第2の波長帯とは異なっている
分光器。 - 請求項5、または請求項5を引用する請求項6に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの感光領域(118)は、第1の波長帯の光を検出し、
前記第2のグループの感光領域(120)は、第2の波長帯の光を検出し、
前記第1の波長帯と前記第2の波長帯とは重複しない
分光器。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)の前段に配置されたフィルタ(117)を備え、その結果、前記光路の前記第2の部分(LP2)に沿って移動する光は、まず前記フィルタ(117)を超え、次いで前記検出器(116)に達する
分光器。 - 請求項5、請求項5を引用する請求項6、請求項7、請求項8、及び請求項5を直接又は間接的に引用する請求項9の何れかに記載の分光器(100)であって、
前記カバー(105)は、前記ハウジング(102)の前記壁部と一体である
分光器。 - 請求項5、請求項5を引用する請求項6、請求項7、請求項8、及び請求項5を直接又は間接的に引用する請求項9の何れかに記載の分光器(100)であって、
前記カバー(105)は、前記ハウジング(102)の前記壁部と別体である
分光器。 - 請求項1ないし請求項11のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、円筒の一部に軸方向に延びる平坦部(126)が設けられた円筒形状を有し、前記平坦部(126)は、前記第1の開口(106)がある前記ハウジング(102)の前記内面に対して角度付けられた平面に沿って延在し、
前記平坦部(126)は、前記光路の前記第1の部分(LP1)についての前記分散素子(114)に対する所定の向きで前記入口スリット(112)を固定するように構成される
分光器。 - 請求項12に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、前記平坦部(126)に対して90度の角度で延在する長手方向の隙間(113)を備える
分光器。 - 請求項1ないし請求項13のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
光ファイバー(128)と組み合わせられ、
前記光ファイバー(128)は、光が前記光ファイバー(128)を通って前記分光器(100)内へ方向付けられるように構成され、
前記光ファイバー(128)は前記入口スリット(112)と光学的に連通する
分光器。 - 請求項12、請求項13、及び請求項12を直接又は間接的に引用する請求項14の何れかに記載の分光器(100)であって、
前記入口スリットを所定の向きで固定するために前記入口スリット(112)の前記平坦部(126)に当接して位置決めされたネジ(130)を備える
分光器。 - 請求項15に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、該入口スリット(112)の周囲にフランジ(132)を備え、
前記平坦部(126)は、前記フランジの平坦部である
分光器。 - 請求項16に記載の分光器(100)であって、
光ファイバー(128)と組み合わせられ、
前記光ファイバー(128)は、光が前記光ファイバー(128)を通って前記分光器内へ方向付けられるように構成され、
前記フランジ(132)は、前記入口スリット(112)と光学的に連通する前記光ファイバー(128)を収容するチューブ状部材を備える
分光器。 - 分光計(500)であって、
請求項1ないし請求項17のいずれか一項に記載の分光器(100)と、
光源(502)と、
サンプルまたはサンプルキャリアを保持するように構成された測定領域(504)と、
前記光源(502)からの光を前記測定領域(504)へ方向付けるように構成された第1の光学素子(506)と、
前記測定領域(504)からの光を前記分光器(100)の前記入口スリット(112)へ方向付けるように構成された第2の光学素子(508)と
を備える
分光計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022007097A JP2022050664A (ja) | 2015-08-31 | 2022-01-20 | 分光器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/840,537 US9863809B2 (en) | 2015-08-31 | 2015-08-31 | Spectrograph |
US14/840,537 | 2015-08-31 | ||
PCT/EP2016/063606 WO2017036622A1 (en) | 2015-08-31 | 2016-06-14 | Spectrograph |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022007097A Division JP2022050664A (ja) | 2015-08-31 | 2022-01-20 | 分光器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018526648A JP2018526648A (ja) | 2018-09-13 |
JPWO2017036622A5 JPWO2017036622A5 (ja) | 2022-02-21 |
JP7054671B2 true JP7054671B2 (ja) | 2022-04-14 |
Family
ID=56132927
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018511145A Active JP7054671B2 (ja) | 2015-08-31 | 2016-06-14 | 分光器 |
JP2022007097A Pending JP2022050664A (ja) | 2015-08-31 | 2022-01-20 | 分光器 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022007097A Pending JP2022050664A (ja) | 2015-08-31 | 2022-01-20 | 分光器 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9863809B2 (ja) |
EP (1) | EP3344960A1 (ja) |
JP (2) | JP7054671B2 (ja) |
KR (1) | KR20180048725A (ja) |
CN (1) | CN107923792B (ja) |
AU (1) | AU2016314503B2 (ja) |
CA (1) | CA2996453A1 (ja) |
RU (1) | RU2715485C2 (ja) |
WO (1) | WO2017036622A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2857810A1 (en) * | 2013-10-02 | 2015-04-08 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Monolith spectrometer |
US9863809B2 (en) | 2015-08-31 | 2018-01-09 | Mettler-Toledo Gmbh | Spectrograph |
DE102017206066A1 (de) * | 2017-04-10 | 2018-10-11 | Anvajo GmbH | Spektrometer |
CN108254075A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-07-06 | 南京邮电大学 | 一种微型集成化cmos光纤光谱仪 |
JP7245633B2 (ja) * | 2018-11-08 | 2023-03-24 | 三星電子株式会社 | 分光光学系、分光計測システム、及び、半導体検査方法 |
CN114739905A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-07-12 | 杭州佰腾电子科技有限公司 | 一种双光路光谱仪及测色装置与校准方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003139611A (ja) | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
JP2004354176A (ja) | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP2005156343A (ja) | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Shimadzu Corp | 分光装置及び分光装置用光学フィルタ |
JP2005164286A (ja) | 2003-11-28 | 2005-06-23 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP2007509319A (ja) | 2003-10-17 | 2007-04-12 | アクサン・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 多チャネルラマン分光システムおよび方法 |
DE102010015641A1 (de) | 2010-04-20 | 2011-10-20 | Imm Photonics Gmbh | Spektrometer |
JP5205241B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
JP2014032156A (ja) | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器 |
US9863809B2 (en) | 2015-08-31 | 2018-01-09 | Mettler-Toledo Gmbh | Spectrograph |
WO2019130835A1 (ja) | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 凹面回折格子の製造方法、凹面回折格子及びそれを用いた分析装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5042893A (en) | 1990-11-09 | 1991-08-27 | Hewlett-Packard Company | Direct mount coupling to a spectrophotometer |
US6320663B1 (en) | 1999-01-22 | 2001-11-20 | Cymer, Inc. | Method and device for spectral measurements of laser beam |
DE29906678U1 (de) * | 1999-04-15 | 1999-07-29 | Carl Zeiss Jena Gmbh, 07745 Jena | Spektrometer |
JP4372314B2 (ja) * | 2000-06-21 | 2009-11-25 | 大塚電子株式会社 | スペクトル測定装置 |
US7728972B2 (en) | 2005-08-08 | 2010-06-01 | Lambda Solutions, Inc. | Linear fiber array mount to a spectrometer |
US7697137B2 (en) | 2006-04-28 | 2010-04-13 | Corning Incorporated | Monolithic Offner spectrometer |
RU81320U1 (ru) * | 2008-11-10 | 2009-03-10 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Вмк-Оптоэлектроника" | Спектрометр |
US8387837B2 (en) | 2009-07-14 | 2013-03-05 | Scholle Corporation | Tap |
JP5609611B2 (ja) | 2010-03-11 | 2014-10-22 | 株式会社リコー | 分光特性取得装置、画像評価装置、及び画像形成装置 |
US8339600B2 (en) * | 2010-07-02 | 2012-12-25 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Dual waveband compact catadioptric imaging spectrometer |
JP5484537B2 (ja) * | 2012-09-03 | 2014-05-07 | 大塚電子株式会社 | 分光特性測定装置および分光特性測定方法 |
US10514296B2 (en) * | 2015-07-29 | 2019-12-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Spectrometer including metasurface |
-
2015
- 2015-08-31 US US14/840,537 patent/US9863809B2/en active Active
-
2016
- 2016-06-14 CN CN201680050405.3A patent/CN107923792B/zh active Active
- 2016-06-14 KR KR1020187007754A patent/KR20180048725A/ko not_active Application Discontinuation
- 2016-06-14 CA CA2996453A patent/CA2996453A1/en not_active Abandoned
- 2016-06-14 JP JP2018511145A patent/JP7054671B2/ja active Active
- 2016-06-14 WO PCT/EP2016/063606 patent/WO2017036622A1/en active Application Filing
- 2016-06-14 AU AU2016314503A patent/AU2016314503B2/en active Active
- 2016-06-14 EP EP16729550.0A patent/EP3344960A1/en active Pending
- 2016-06-14 RU RU2018110766A patent/RU2715485C2/ru active
-
2022
- 2022-01-20 JP JP2022007097A patent/JP2022050664A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003139611A (ja) | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
JP2004354176A (ja) | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP2007509319A (ja) | 2003-10-17 | 2007-04-12 | アクサン・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 多チャネルラマン分光システムおよび方法 |
JP2005156343A (ja) | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Shimadzu Corp | 分光装置及び分光装置用光学フィルタ |
JP2005164286A (ja) | 2003-11-28 | 2005-06-23 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器及びそれを用いた分光器 |
JP5205241B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
DE102010015641A1 (de) | 2010-04-20 | 2011-10-20 | Imm Photonics Gmbh | Spektrometer |
JP2014032156A (ja) | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器 |
US9863809B2 (en) | 2015-08-31 | 2018-01-09 | Mettler-Toledo Gmbh | Spectrograph |
WO2019130835A1 (ja) | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 凹面回折格子の製造方法、凹面回折格子及びそれを用いた分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU2016314503B2 (en) | 2021-11-11 |
CN107923792B (zh) | 2020-11-17 |
RU2018110766A3 (ja) | 2019-10-02 |
RU2715485C2 (ru) | 2020-02-28 |
WO2017036622A1 (en) | 2017-03-09 |
JP2018526648A (ja) | 2018-09-13 |
AU2016314503A1 (en) | 2018-02-01 |
RU2018110766A (ru) | 2019-10-02 |
CN107923792A (zh) | 2018-04-17 |
KR20180048725A (ko) | 2018-05-10 |
US9863809B2 (en) | 2018-01-09 |
US20170059404A1 (en) | 2017-03-02 |
CA2996453A1 (en) | 2017-03-09 |
JP2022050664A (ja) | 2022-03-30 |
EP3344960A1 (en) | 2018-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7054671B2 (ja) | 分光器 | |
JP3450699B2 (ja) | 改良型コンセントリックスペクトログラフ、光を分散する方法および2本の光ビームを回折する方法 | |
US20080084560A1 (en) | Compact raman or fluorescence excitation system | |
US7440095B2 (en) | Spectroscope with vignetting reduction | |
CN111694141B (zh) | 红外显微镜 | |
JPH07509315A (ja) | レンゾメータ用の分光計 | |
KR20150116999A (ko) | 다채널 여기 광원 스위칭용 마이크로 라만 및 형광 분광분석장치 | |
US10508951B2 (en) | High resolution broadband monolithic spectrometer and method | |
US6597451B1 (en) | Spectrometry measuring apparatus | |
KR102287914B1 (ko) | 분광기 및 이미징 장치 | |
JPWO2017036622A5 (ja) | ||
KR20160143969A (ko) | 평면거울 및 렌즈를 이용한 성능개선 분광기 | |
US10983002B2 (en) | Spectrometer | |
WO2001046657A1 (en) | Catadioptric optical relay system for spectrometers | |
CN112673296A (zh) | 紧凑型光谱仪和包括所述光谱仪的仪器 | |
JPH07198620A (ja) | 検査装置 | |
WO1997025915A1 (en) | Methods and apparatus for non-invasive glucose sensing: spectrograph | |
KR102491141B1 (ko) | 어퍼처리스 분광기 | |
JP2009192284A (ja) | 分光ユニット、分光分析装置及び波長分割多重伝送システム | |
IL257633A (en) | Pinhole mirror | |
RU2090846C1 (ru) | Полихроматор | |
JP2000055733A (ja) | マルチチャンネル分光計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200401 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200701 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20201117 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210316 |
|
C609 | Written withdrawal of request for trial/appeal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C609 Effective date: 20210326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20210316 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20210517 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20210810 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20211108 |
|
C302 | Record of communication |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C302 Effective date: 20211224 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20220120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20220121 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20220228 |
|
C03 | Trial/appeal decision taken |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03 Effective date: 20220329 |
|
C30A | Notification sent |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012 Effective date: 20220329 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7054671 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |