KR102491141B1 - 어퍼처리스 분광기 - Google Patents

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KR102491141B1
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light
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조성호
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주식회사 앤서레이
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Abstract

본 실시예에 의한 하드 어퍼처리스 분광기는, 하우징과, 타겟의 소프트 어퍼처로부터 제공된 광을 시준하는 시준기(collimator)와, 시준된 광을 분광하는 회절 격자와, 분광된 광을 집광하는 집광기 및 집광기가 출력한 광을 제공받고, 목적하는 특징을 검출하는 광 검출기를 포함한다.

Description

어퍼처리스 분광기{APERTURELESS SPRCTROMETER}
본 기술은 어퍼처리스 분광기와 관련된다.
분광기는 타겟 물질이 흡수 또는 방출하는 빛 즉 전자기파를 파장의 차이에 따라 분해하고 그 파장별 강도 분포를 측정하는 기구를 가리킨다.
분광기를 이용하여 분광을 수행하기 위하여는 대상이 되는 광이 유입되도록 어퍼처를 형성한다. 그러나, 어퍼처는 광의 특성을 제한하여 분광되는 광의 품질을 열화시키며, 어퍼처에 의하여 분광기의 사이즈를 감소시킬 수 없다는 난점이 존재한다.
본 실시예로 해결하고자 하는 과제 중 하나는 상기한 종래 기술의 난점을 해소하기 위한 것이다. 즉, 어퍼처를 포함하지 않아 분광되는 품질을 열화시키지 않고, 작은 분광기를 제공하는 것이 본 실시예로 해결하고자 하는 과제 중 하나이다.
본 실시예에 의한 하드 어퍼처리스 분광기는, 하우징과, 타겟의 소프트 어퍼처로부터 제공된 광을 시준하는 시준기(collimator)와, 시준된 광을 분광하는 회절 격자와, 분광된 광을 집광하는 집광기 및 집광기가 출력한 광을 제공받고, 목적하는 특징을 검출하는 광 검출기를 포함한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 소프트 어퍼처는, 타겟에 여기광이 제공되어 형성된 것이다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 분광기는, 소프트 어퍼처를 형성하도록 타겟에 여기 광을 제공하는 여기 광원을 더 포함한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 여기 광원은 분광기 외부에 위치한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 분광기는, 하우징 내에 시준기, 회절 격자, 집광기 및 광 검출기가 하우징되는 분광기.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 분광기는, 시준기가 하우징 외부에 위치한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 분광기는, 타겟의 소프트 어퍼처로부터 제공된 광을 시준기로 제공하되, 복수의 렌즈들을 포함하는 빔 전달 장치를 더 포함한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 여기 광원은 분광기 내부에 위치하고, 분광기는 다이크로익 미러 및 빔 스플리터 중 어느 하나를 더 포함하며, 여기 광원이 제공하는 여기광은 다이크로익 미러 및 빔 스플리터 중 어느 하나를 통하여 타겟에 제공되어 소프트 어퍼처를 형성한다.
본 실시예에 의한 하드 어퍼처리스 라만 분광기는 여기 광을 제공하는 여기 광원과, 하우징과, 여기 광이 타겟의 소프트 어퍼처에 제공되어 형성된 라만 광(Raman light)을 시준하는 시준기(collimator)와, 시준된 라만 광을 분광하는 회절 격자와, 분광된 라만 광을 집광하는 집광기 및 집광기가 출력한 광을 제공받고, 목적하는 특징을 검출하는 광 검출기를 포함한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 소프트 어퍼처는, 타겟에 여기광이 제공되어 형성된 것이다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 라만 분광기는, 소프트 어퍼처를 형성하도록 타겟에 여기 광을 제공하는 여기 광원을 더 포함한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 여기 광원은 라만 분광기 외부에 위치한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 라만 분광기는, 하우징 내에 시준기, 회절 격자, 집광기 및 광 검출기 하우징도니다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 라만 분광기는, 시준기가 하우징 외부에 위치한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 라만 분광기는, 타겟의 소프트 어퍼처로부터 제공된 광을 시준기로 제공하되, 복수의 렌즈들을 포함하는 빔 전달 장치를 더 포함한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 여기 광원은 라만 분광기 내부에 위치하고, 라만 분광기는 다이크로익 미러 및 빔 스플리터 중 어느 하나를 더 포함하며, 여기 광원이 제공하는 여기광은 다이크로익 미러 및 빔 스플리터 중 어느 하나를 통하여 타겟에 제공되어 소프트 어퍼처를 형성한다.
본 실시예의 일 태양에 의하면, 라만 분광기는, 라만 광만 선택적으로 필터링하는 밴드 패스 필터, 롱 패스 필터 및 숏 패스 필터 중 어느 하나 이상을 포함한다.
본 실시예에 의하면 광의 특성을 제한하는 하드 어퍼처를 포함하지 않아 광의 특성이 제한되지 않으며, 분광기의 크기를 소형화할 수 있다는 장점이 제공된다.
도 1은 본 실시예에 의한 하드 어퍼처리스 분광기(hard apertureless spectrometer, 100a)의 개요를 도시한 도면이다.
도 2는 다른 실시예에 의한 분광기(100b)의 개요를 도시한 도면이다.
도 3은 또 다른 실시예에 의한 분광기(100c)의 개요를 도시한 도면이다.
도 4는 또 다른 실시예에 의한 분광기(100d)의 개요를 도시한 도면이다.
도 5는 또 다른 실시예에 의한 분광기(100e)의 개요를 도시한 도면이다.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않은 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
본 개시의 실시예들을 설명하기 위하여 참조되는 도면은 설명의 편의 및 이해의 용이를 위하여 의도적으로 크기, 높이, 두께 등이 과장되어 표현되어 있으며, 비율에 따라 확대 또는 축소된 것이 아니다. 또한, 도면에 도시된 어느 구성요소는 의도적으로 축소되어 표현하고, 다른 구성요소는 의도적으로 확대되어 표현될 수 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
이하 도시된 실시예에서, 렌즈(lens)는 모두 거울(mirror)로 대체 가능하고 가령 곡면에 따라 볼록렌즈는 오목거울로, 오목렌즈는 볼록거울로 대체 가능하다. 회절 격자(diffraction grating)는 투과형, 반사형 모두 사용 가능하다.
도 1은 본 실시예에 의한 하드 어퍼처리스 분광기(hard apertureless spectrometer, 100a)의 개요를 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 실시예에 의한 분광기(100a)는 파장 분해능을 결정하는 하드 어퍼처가 없고 빛을 분광기 내부로 인도하기 위한 홀(hole)만 존재한다. 본 실시예에 의한 분광기(100a)는 입사하는 광을 평행광(Collimated light)으로 형성하는 시준기(collimator, 120)와 시준된 광을 분산하여 제공하는 회절 격자(130), 분산 이후 공간적으로 퍼진 빛을 모으기 위한 집광기(condenser, 140) 및 집광기(140)가 집광한 광에서 목적하는 특성을 검출하는 광검출기(photodetector, 150)을 포함한다.
종래 기술에 의한 분광기의 입구에는 통상적으로 평행광 이격 마진 확보와 분산 분해능을 얻기 위해 슬릿(slit) 또는 어퍼처(aperture)를 형성하였다. 종래 기술에 의한 분광기에 형성된 어퍼처(aperture)는 물리적으로 존재하는 것이므로, 이하에서는 하드 어퍼처(Hard-aperture)라고 지칭한다. 하드 어퍼처의 크기는 분산되어 나타나는 각 파장 영역의 공간 크기의 최소값을 정의하므로 분광기의 분해능(dispersion resolution) 및/또는 파장 분해능(wavelength resolution)을 결정한다. 이 때, 하드 어퍼처(hard aperture)는 입사광이 통과하는 공간 필터(spatial filter)에 상응한다.
이러한 하드 어퍼처는 분광기로 제공되는 광의 성질을 제한하며, 하드 어퍼처에 의하여 분광기를 작게 형성할 수 없다는 문제점이 있었다. 그러나, 본 실시예에 의한 분광기는 하드 어퍼처를 도입하지 않고, 소프트 어퍼처를 사용하여 상기한 종래 문제의 난점을 해소한다.
본 실시예는 소프트 어퍼처(soft aperture,110)를 사용하는 분광기에 관한 것으로, 본 실시예에 의하면 소프트 어퍼처(110)를 채택함으로써 간단한 분광장치를 형성할 수 있다. 소프트 어퍼처(soft aperture, 110)는 분광을 요하는 타겟(target)의 피분광 영역에서 가상적으로 형성되는 어퍼처이다. 이하에서는 실제 물리적으로 존재하는 하드 어퍼처(hard aperture)와 대비되는 개념으로 소프트 어퍼처(soft aperture, 110)란 용어를 사용한다.
소프트 어퍼처(soft aperture, 110)는 타겟(target)에 형성되어서 분광기(100)의 시준기(120, collimator)로 전달되는 초점 영역 또는 이미징 영역을 의미한다. 소프트 어퍼처(110)는 분광기 외부에 위치한 빔 전달 장치(beam delivery)에 의하여 타겟에 이미징 되는 영역을 포함할 수 있다.
분광을 위해서는 소프트 어퍼처(110) 영역에서 발생하는 빛을 분광기(100a) 내부로 전달한다. 전달된 광은 분광기(100a) 내부에서 시준기(120)에 의하여 평행광으로 변환되고 이를 회절 격자(130)를 통과하거나 또는 반사하는 방식으로 각기 다른 파장의 빛으로 분광되고 공간적으로 퍼지는 빛을 집광기(140)로 집광하여 검출기(150)에서 목적하는 특성을 검출한다.
타겟(T)은 분광하고자 하는 물체이다. 타겟(T) dp 형성되는 소프트 어퍼처(110)는 삼각형, 사각형 등의 각형과, 원형, 타원형, 직선 등 다양할 수 있다. 일 실시예에서, 여기 광원(Light source, 200)이 제공하는 여기광(excitation light)이 타겟(T)에 조사되어 소프트 어퍼처(110) 영역이 형성된다. 여기 광원(200)은 렌즈(미도시)나 미러(210, 도 5 참조)를 사용하여 타겟(T)에 초점을 형성할 수 있다. 초점은 분광에 필요한 피분광영역을 형성하고, 타겟(T)에서 발생한 광을 분광기로 인도하는 소프트 어퍼처(110) 역할을 한다. 일 예로, 여기 광원(200)은 도 1 내지 도 4로 예시된 것과 같이 분광기 외부에 위치할 수 있다. 다른 예로, 여기 광원(200)은 도 5로 예시된 것과 같이 분광기 내부에 위치할 수 있다.
여기 광원(200)은 제공하는 여기광(excitation light)의 파장, 세기, 소프트 어퍼처(110) 영역의 크기, 모양을 조절할 수 있다. 일 실시예로, 소프트 어퍼처(110)의 크기는 여기광(excitation light)의 초점크기로 결정할 수 있다. 소프트 어퍼처(110)의 모양은 여기광(excitation light)이 타겟에 도달하기까지의 광경로상에 Spatial filter를 설치하여 원형, 타원형, 직사각형 등 임의로 형성할 수 있다.
도 2는 다른 실시예에 의한 분광기(100b)의 개요를 도시한 도면이다. 이하에서는 간결하고 명확한 설명을 위하여 상술한 실시예와 동일하거나 유사한 요소에 대하여는 설명을 생략할 수 있다. 도 2를 참조하면, 시준기(120)가 분광기(100b) 외부에 위치하므로, 필요에 따라 자유롭게 초점거리, 직경 등의 값을 변경할 수 있다.
종래 기술의 분광기에서 시준기 등의 광학 요소들은 고정 광학계를 사용하였다. 그러나 본 실시예는 이러한 종래 기술과 달리 적절한 시준기(120)를 선택 및 사용하여 타겟(T)의 소프트 어퍼처(110)에 형성된 피분광 영역을 분광기(100b)로 더욱 효과적으로 전달할 수 있다는 장점이 제공된다.
일 실시예로, 분광기(100b)의 입구에는 타겟의 피분광 영역에서 발생되어 시준된 빛을 통과시키기 위한 홀(hole) 있어서 분광하고자 하는 빛을 분광기 내부로 인도한다.
시준기(120)에 의하여 평행광으로 시준된 빛이 분광기로 인도되므로, 빛의 크기는 시준기(120) 크기에 의하여 결정된다. 따라서 도 1로 예시된 홀(hole)의 크기보다 본 실시예의 홀(hole) 크기가 더 커질 수 있어 외부의 광이 분광기 내부로 침투할 수 있다.
이러한 잡광의 영향을 최소화하기 위하여 홀(hole) 주변의 광경로에 주름 상자 형태의 경통을 배치하여 잡광을 산란시켜 제거하거나, 밴드 패스 필터(Band pass filter), 롱 패스 필터(Long pass filter) 및 숏 패스 필터(Short pass filter) 중 어느 하나 이상의 각종 필터를 배치하여 잡광이 분광기 내부로 침투하는 영향을 최소화할 수 있다.
도 3은 또 다른 실시예에 의한 분광기(100c)의 개요를 도시한 도면이다. 이하에서는 간결하고 명확한 설명을 위하여 상술한 실시예와 동일하거나 유사한 요소에 대하여는 설명을 생략할 수 있다. 도 3를 참조하면, 시준기(120)가 분광기 입구인 홀에 위치한다. 본 실시예에 의하면 여러 시준기 들 중에서 필요에 따라 어느 한 시준기를 선택하여 분광기(100c)에 조합할 수 있어 자유로이 초점거리, 직경 등을 변경할 수 있다.
도 3으로 예시된 실시예도 도 2로 예시된 실시예와 같이 빛의 크기는 시준기(120) 크기에 의하여 결정된다. 마찬가지로, 분광기 내부로 침투하는 잡광의 영향을 최소화하기 위하여 hole 주변의 광경로에 주름 상자형태의 경통을 배치하여 잡광을 산란시켜 제거하거나, 밴드 패스 필터(Band pass filter), 롱 패스 필터(Long pass filter) 및 숏 패스 필터(Short pass filter) 중 어느 하나 이상의 각종 필터를 배치하여 잡광이 분광기 내부로 침투하는 영향을 최소화할 수 있다. 다른 예로, 시준기(120)가 이러한 필터기능을 겸할 수 있도록 시준기(120)에 필터 물질을 코팅하여 사용할 수 있다.
도 4는 또 다른 실시예에 의한 분광기(100d)의 개요를 도시한 도면이다. 이하에서는 간결하고 명확한 설명을 위하여 상술한 실시예와 동일하거나 유사한 요소에 대하여는 설명을 생략할 수 있다. 도 4를 참조하면, 분광기(100d)는 빔 전달 장치(160)를 더 포함할 수 있다. 빔 전달 장치(160)는 소프트 어퍼처(110)에서 형성된 광을 분광기 내부의 시준기(120)로 전달하는 광학계로, 복수의 렌즈들을 포함할 수 있다. 일 예로, 빔 전달 장치는 이미징 장치일 수 있다. 본 실시예에 의하면 빔 전달 장치(160)에 의하여 분광기(100d)로 빛 전달 효율이 향상된다.
도 5는 또 다른 실시예에 의한 분광기(100e)의 개요를 도시한 도면이다. 이하에서는 간결하고 명확한 설명을 위하여 상술한 실시예와 동일하거나 유사한 요소에 대하여는 설명을 생략할 수 있다. 도 5를 참조하면, 여기 광원(200)이 분광기(100e) 내부에 위치한다. 여기광이 제공한 여기광(excitation light)은 다이크로익 미러(dichroic mirror, 210)에 의하여 반사되어 타겟(T)에 제공되어 소프트 어퍼처(110)을 형성한다. 도시되지 않은 실시예에 의하면, 여기광이 제공한 여기광(excitation light)은 빔 스플리터(미도시)에 의하여 타겟(T)에 제공되어 소프트 어퍼처(110)을 형성한다.
여기광(excitation light)을 사용하는 분광기의 다른 예로는 라만 분광기(Raman spectrometer)가 있을 수 있다. 라만 분광기는 1차광인 여기광에 의하여 타겟에서 형성된 영역이나, 1차광에 의하여 형성된 다른 파장의 2차광의 라만광을 소프트 어퍼처(110)로 사용하는 경우로, 본 실시예에 의한 분광기는 라만 분광기로 기능할 수 있다. 이 때, 분광기 내부 또는 외부에 라만 광(Raman light)만 필터링할 수 있는 밴드 패스 필터(bandpass filter), 롱패스 필터(long pass filter) 및/또는 숏 패스 필터(short pass filter)등 광학 필터가 위치할 수 있다.
본 발명에 대한 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 실시를 위한 실시예로, 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
100a, 100b, 100c, 100d, 100e: 하드 어퍼처리스 분광기
110: 소프트 어퍼처 120: 시준기
130: 회절 격자 140: 집광기
150: 검출기(photo detector) 160: 빔 전달 장치
200: 여기 광원 210: 다이크로익 미러(dichroic mirror)

Claims (19)

  1. 하우징;
    타겟의 소프트 어퍼처로부터 제공된 광을 시준하는 시준기(collimator);
    시준된 광을 분광하는 회절 격자;
    상기 분광된 광을 집광하는 집광기 및
    상기 집광기가 출력한 광을 제공받고,
    상기 소프트 어퍼처는, 상기 타겟에 여기광이 제공되어 형성되어,
    목적하는 특징을 검출하는 광 검출기를 포함하는 하드 어퍼처리스(hard apertureless) 분광기.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 분광기는,
    상기 소프트 어퍼처를 형성하도록 상기 타겟에 여기 광을 제공하는 여기 광원을 더 포함하는 분광기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 여기 광원은 상기 분광기 외부에 위치하는 분광기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 분광기는,
    상기 하우징에
    상기 시준기, 상기 회절 격자, 상기 집광기 및 상기 광 검출기 하우징되는 분광기.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 분광기는,
    상기 시준기가 상기 하우징 외부에 위치하는 분광기.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 분광기는,
    상기 타겟의 소프트 어퍼처로부터 제공된 광을 상기 시준기로 제공하되, 복수의 렌즈들을 포함하는 빔 전달 장치를 더 포함하는 분광기.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 여기 광원은 상기 분광기 내부에 위치하고,
    상기 분광기는
    다이크로익 미러를 더 포함하며,
    상기 여기 광원이 제공하는 여기광은 상기 다이크로익 미러 및 빔 스플리터 중 어느 하나를 통하여 상기 타겟에 제공되어 소프트 어퍼처를 형성하는 분광기.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 하우징은,
    상기 소프트 어퍼처로부터 제공된 광이 유입되는 홀을 포함하고,
    상기 홀에는,
    주름 상자형태 경통, 밴드 패스 필터(Band pass filter), 롱 패스 필터(Long pass filter) 및 숏 패스 필터(Short pass filter) 중 어느 하나 이상의 필터가 더 배치되거나,
    상기 시준기에는 필터 물질로 코팅된 분광기.
  10. 여기 광을 제공하는 여기 광원;
    하우징;
    상기 여기 광이 타겟의 소프트 어퍼처에 제공되어 형성된 라만 광(Raman light)을 시준하는 시준기(collimator);
    시준된 상기 라만 광을 분광하는 회절 격자;
    분광된 상기 라만 광을 집광하는 집광기 및
    상기 집광기가 출력한 광을 제공받고,
    상기 소프트 어퍼처는, 상기 타겟에 여기광이 제공되어 형성되어,
    목적하는 특징을 검출하는 광 검출기를 포함하는 하드 어퍼처리스(hard apertureless) 라만 분광기.
  11. 삭제
  12. 제10항에 있어서,
    상기 라만 분광기는,
    상기 소프트 어퍼처를 형성하도록 상기 타겟에 여기 광을 제공하는 여기 광원을 더 포함하는 라만 분광기.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 여기 광원은 상기 라만 분광기 외부에 위치하는 라만 분광기.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 라만 분광기는,
    상기 하우징에
    상기 시준기, 상기 회절 격자, 상기 집광기 및 상기 광 검출기 하우징되는 라만 분광기.
  15. 제10항에 있어서,
    상기 라만 분광기는,
    상기 시준기가 상기 하우징 외부에 위치하는 라만 분광기.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 라만 분광기는,
    상기 타겟의 소프트 어퍼처로부터 제공된 광을 상기 시준기로 제공하되, 복수의 렌즈들을 포함하는 빔 전달 장치를 더 포함하는 라만 분광기.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 여기 광원은 상기 라만 분광기 내부에 위치하고,
    상기 라만 분광기는
    다이크로익 미러 및 빔 스플리터 중 어느 하나를 더 포함하며,
    상기 여기 광원이 제공하는 여기광은 상기 다이크로익 미러 및 빔 스플리터 중 어느 하나를 통하여 상기 타겟에 제공되어 소프트 어퍼처를 형성하는 라만 분광기.
  18. 제10항에 있어서,
    상기 라만 분광기는,
    상기 라만 광만 선택적으로 필터링하는 밴드 패스 필터, 롱 패스 필터 및 숏 패스 필터중 어느 하나 이상을 포함하는 라만 분광기.
  19. 제10항에 있어서,
    상기 하우징은,
    상기 소프트 어퍼처로부터 제공된 광이 유입되는 홀을 포함하고,
    상기 홀에는 주름 상자형태 경통, 밴드 패스 필터(Band pass filter), 롱 패스 필터(Long pass filter) 및 숏 패스 필터(Short pass filter) 중 어느 하나 이상의 필터가 더 배치되거나,
    상기 시준기에는 필터 물질로 코팅된 라만 분광기.
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