JP7051847B2 - X線インライン検査方法および装置 - Google Patents
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Description
2、2’・・・2次元素子配列検出器ユニット
3、3’・・・検出素子
4・・・ベルトコンベア
5・・・信号処理回路
6・・・計算機
7・・・量産鋳造品サンプル(投入1個目:健全品マスター)
8・・・量産鋳造品サンプル(投入2個目)
9・・・量産鋳造品サンプル(投入3個目)
10・・・回転ターンテーブル
11・・・実施例1の装置構成による2次元素子配列検出器ユニット使用時の透過像シミュレーション画像(照射角度θ=0度)
12・・・実施例1の装置構成による2次元素子配列検出器ユニット使用時の透過像シミュレーション画像(照射角度θ=90度)
13・・・実施例1の装置構成による2次元素子配列検出器ユニット使用時の透過像シミュレーション画像(照射角度θ=180度)
14・・・実施例1の装置構成による2次元素子配列検出器ユニット使用時の透過像シミュレーション画像(照射角度θ=270度)
101・・・透過像データA
102・・・透過像データB
103・・・差分量計算結果C
104・・・修正透過像データD
105・・・3次元形状データE
Claims (6)
- 放射線を照射する放射線源と、
撮像対象の被検体を透過した放射線を検出する検出器と、
前記放射線源と前記検出器の間に前記被検体を移動させる駆動機構と、
前記検出器で計測された放射線透過量を数値化する信号処理回路とこれらの信号を基に画像を構成する演算装置からなるX線インライン検査装置によるX線インライン検査方法において、
初期に健全品マスターに対して一定角度ピッチの詳細角度での透過像を撮像し、次に対象製品に対して前記詳細角度より粗い角度ピッチの限定角度で少数の透過像を撮像し、両者の差分量から前記対象製品の内部欠陥の有無を判定し、
前記内部欠陥がある判定の場合は、前記詳細角度での透過像の中の、前記限定角度以外の角度における透過像に対して、前記限定角度で撮像した透過像の前記内部欠陥の部分の輝度値から、前記詳細角度での透過像での前記内部欠陥の影響量を補間し、前記詳細角度での透過像に重畳することで再構成された透過像により前記内部欠陥の形状を評価することを特徴とするX線インライン検査方法。 - 請求項1におけるX線インライン検査方法において、
前記放射線源と前記検出器の組み合わせが、前記駆動機構に直列に複数個並び、前記放射線源と前記検出器の組み合わせ毎に、指定角度の透過像を撮像することを特徴とするX線インライン検査方法。 - 請求項2におけるX線インライン検査方法において、
前記検出器として、半導体検出器またはシンチレータ型検出器を用いる事を特徴とするX線インライン検査方法。 - 放射線を照射する放射線源と、
撮像対象の被検体を透過した放射線を検出する検出器と、
前記放射線源と前記検出器の間に前記被検体を移動させる駆動機構と、
前記検出器で計測された放射線透過量を数値化する信号処理回路とこれらの信号を基に画像を構成する演算装置からなるX線インライン検査装置システムにおいて、
前記演算装置は、健全品マスターに対して一定角度ピッチの詳細角度で撮像した透過像と、対象製品に対して前記詳細角度より粗い角度ピッチの限定角度で撮像した少数の透過像との差分量から内部欠陥の有無を判定し、
前記演算装置は、前記内部欠陥がある判定の場合は、前記詳細角度での透過像の中の、前記限定角度以外の角度における透過像に対して、前記限定角度で撮像した透過像の前記内部欠陥の部分の輝度値から、前記詳細角度での透過像での前記内部欠陥の影響量を補間し、前記詳細角度での透過像に重畳することで再構成された透過像により前記内部欠陥の形状を表示することを特徴とするX線インライン検査装置。 - 請求項4におけるX線インライン検査装置において、
前記放射線源と前記検出器の組み合わせが、前記駆動機構に直列に複数個並び、前記放射線源と前記検出器の組み合わせ毎に、指定角度の透過像を取得することを特徴とするX線インライン検査装置。 - 請求項5におけるX線インライン検査装置において、
前記検出器は、半導体検出器またはシンチレータ型検出器である事を特徴とするX線インライン検査装置。
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JP2011064642A (ja) | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線検出装置 |
JP2016517961A (ja) | 2013-04-12 | 2016-06-20 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 高解像度コンピュータートモグラフィー |
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JPS5981544A (ja) * | 1982-11-01 | 1984-05-11 | Nireko:Kk | 内部欠陥の検出方法 |
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2017
- 2017-06-28 JP JP2019526451A patent/JP7051847B2/ja active Active
- 2017-06-28 WO PCT/JP2017/023685 patent/WO2019003329A1/ja active Application Filing
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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