JP7049754B2 - Motor control device - Google Patents

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Description

本発明は、複数個のモータが共同して一個の可動部を駆動して可動部を高速高精度に位置決めできるモータ制御装置に関する。 The present invention relates to a motor control device in which a plurality of motors jointly drive one movable portion to position the movable portion at high speed and with high accuracy.

マウンタ装置などの部品実装機では、可動部をモータにより高速に駆動して高精度に位置決めすることにより単位時間当たりの部品実装数を増やすことができる。これにより、部品実装作業による製造コストを低減することができる。
そして、たとえば多数のプリント基板を同時に実装することができる大きな可動部を使用する大型のマウンタ装置では、該１個の可動部を複数個のモータで高速に駆動することが考えられる。 In a component mounting machine such as a mounter device, the number of component mountings per unit time can be increased by driving a moving part at high speed with a motor and positioning it with high accuracy. As a result, the manufacturing cost due to the component mounting work can be reduced.
Then, for example, in a large mounter device using a large movable portion capable of mounting a large number of printed circuit boards at the same time, it is conceivable to drive the one movable portion with a plurality of motors at high speed.

たとえば特許文献１のモータ制御装置は、１個の可動部を２個のモータで駆動している。２個のモータの各々はそれぞれに対応して設けられたモータ制御モデルおよびサーボコントローラにより制御される。サーボコントローラは、外部位置指令に基づいてモータの動きを実際に制御する。モータ制御モデルは、サーボコントローラの各要素に対応する要素モデルを有し、外部位置指令に基づいてモデルトルク、モデル速度、およびモデル位置を生成する。また、これらのモデル情報とサーボコントローラからフィードバックされる実際の制御での制御トルク、制御速度、制御位置との差分を演算し、その差分を一定の割合でサーボコントローラへ戻している。このようにモータ制御モデルにおいてサーボコントローラの制御誤差を演算し、その制御誤差をサーボコントローラへ戻すことにより、サーボコントローラはモータ制御モデルで生成されるモデルトルク、モデル速度、およびモデル位置に追従してモータの動きを制御し得る。
このように特許文献１のモータ制御装置は、モータ制御モデルとサーボコントローラとの誤差を外乱としてとらえてこれを位相補償することによりモデルとサーボコントローラの制御とのずれを抑えているので、複数個のモータの制御系に同じモデルを用いることで軸間のずれ（同期誤差）を抑えることができると考えられる。
また、特許文献１とは異なり１個の可動部を１個のモータで駆動する場合には可動部がモータの駆動方向に対して傾くようにヨーイングすることがあるが、特許文献１のように１個の可動部を２個のモータで駆動することによりこのヨーイングを抑えることも期待し得ると考えられる。 For example, in the motor control device of Patent Document 1, one moving part is driven by two motors. Each of the two motors is controlled by a corresponding motor control model and servo controller. The servo controller actually controls the movement of the motor based on the external position command. The motor control model has element models corresponding to each element of the servo controller and generates model torque, model speed, and model position based on external position commands. Further, the difference between these model information and the control torque, control speed, and control position in the actual control fed back from the servo controller is calculated, and the difference is returned to the servo controller at a constant rate. By calculating the control error of the servo controller in the motor control model and returning the control error to the servo controller in this way, the servo controller follows the model torque, model speed, and model position generated by the motor control model. It can control the movement of the motor.
As described above, the motor control device of Patent Document 1 regards the error between the motor control model and the servo controller as a disturbance and compensates for the phase to suppress the deviation between the model and the control of the servo controller. By using the same model for the control system of the motor, it is considered that the deviation (synchronization error) between the axes can be suppressed.
Further, unlike Patent Document 1, when one movable part is driven by one motor, the movable part may be yawed so as to be tilted with respect to the driving direction of the motor, as in Patent Document 1. It can be expected that this yawing can be suppressed by driving one moving part with two motors.

特開２００３－３４５４４２号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-345442

しかしながら、実際の機械系では、たとえば複数個のモータに対して可動部を駆動するボールねじ等がねじり振動したり、複数個のモータおよび可動部が取り付けられる機台が振動したりすることにより、可動部が振動することがある。
そして、特許文献１の手法では、これらのねじり振動を抑制したり、機台振動を抑制したりする機能が搭載されていないため、たとえば機械系の剛性が低い場合にはこれらの振動を十分に抑制することができないという問題がある。
また、実際に機台振動やねじり振動が生じ得る場合には、それらの振動が生じないように制御する結果として個々の軸のサーボコントローラの制御応答を十分に高くすることができなくなる。個々の軸のサーボコントローラの制御応答が高くないと、モデルとサーボコントローラ間の誤差抑制が十分に行えなくなる。モデルとサーボコントローラ間の誤差抑制が十分に行えないと、軸間の同期精度を高めることができなくなる。 However, in an actual mechanical system, for example, a ball screw or the like that drives a movable part may vibrate with respect to a plurality of motors, or a machine base to which a plurality of motors and the movable part may be attached may vibrate. Moving parts may vibrate.
Further, since the method of Patent Document 1 does not have a function of suppressing these torsional vibrations or suppressing the machine base vibrations, for example, when the rigidity of the mechanical system is low, these vibrations are sufficiently suppressed. There is a problem that it cannot be suppressed.
Further, when the machine base vibration or the torsional vibration can actually occur, the control response of the servo controller of each axis cannot be sufficiently high as a result of controlling so that the vibration does not occur. If the control response of the servo controller of each axis is not high, the error suppression between the model and the servo controller cannot be sufficiently performed. If the error between the model and the servo controller cannot be sufficiently suppressed, the synchronization accuracy between the axes cannot be improved.

本発明はこのような課題を解消するためになされたものであり、その目的は、１個の可動部を複数個のモータで駆動する機械において、可動部に対する振動の影響を抑制して高い同期精度を実現し、その結果として高速高精度な位置決めを実現できるモータ制御装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to suppress the influence of vibration on a moving part in a machine in which one moving part is driven by a plurality of motors, and to achieve high synchronization. It is an object of the present invention to provide a motor control device capable of achieving accuracy and, as a result, achieving high-speed and high-precision positioning.

本発明のモータ制御装置は、共通の外部位置指令に基づいて駆動されるＮ個（Ｎ：２以上の自然数）のモータにより共同して１個の可動部を可動させるモータ制御装置であって、可動部に対する振動の影響を抑制するように状態をフィードバックするモデル制御系であって外部位置指令からモデル位置指令を含むモデル指令を生成するモデル制御系と、Ｎ個のモータと１対１対応で設けられてモデル指令に基づいて各々のモータをフィードバック制御するＮ個のフィードバック制御系と、を有し、（Ｎ－１）個のフィードバック制御系は、各々のモータを制御する際の制御誤差を、残りの１個のフィードバック制御系での制御誤差との差分により補償する。 The motor control device of the present invention is a motor control device that jointly moves one movable part by N (N: 2 or more natural numbers) motors driven based on a common external position command. A model control system that feeds back the state so as to suppress the influence of vibration on moving parts, and generates model commands including model position commands from external position commands, and a one-to-one correspondence with N motors. It is provided with N feedback control systems that feedback control each motor based on a model command, and (N-1) feedback control systems control errors when controlling each motor. , Compensate by the difference from the control error in the remaining one feedback control system.

本発明では、Ｎ個のフィードバック制御系の各々は、外部位置指令ではなく、モデル位置を含むモデル指令に基づいて各々のモータをフィードバック制御する。しかも、外部位置指令からモデル位置指令を含むモデル指令を生成するモデル制御系は、可動部に対する振動の影響を抑制するように状態をフィードバックするので、Ｎ個のフィードバック制御系はモデルに追従して振動の影響を抑制したフィードバック制御を互いに独立して実行し、Ｎ個のモータは外部位置指令に対して同様に追従するように制御され得る。Ｎ個のフィードバック制御系は、共通の外部位置指令に基づいてＮ個のモータを互いに同期させるように制御することができる。たとえば可動部等が取り付けられる機台が振動したりまたはモータに対して可動部が振動したりする結果として可動部が振動の影響を受け得るような場合においてその影響を抑制して、Ｎ個のモータを互いに同期させることができる。
しかも、本発明では、（Ｎ－１）個のフィードバック制御系は、各々での制御誤差を、残りの１個のフィードバック制御系での制御誤差との差分により補償する。（Ｎ－１）個のフィードバック制御系は、各々の制御誤差が１個のフィードバック制御系の制御誤差に対してずれが生じないように同期させながら、各々のフィードバック制御を実行する。すなわち、Ｎ個のモータを互いに独立したフィードバック制御系により互いに独立して制御しながらも、１個のフィードバック制御系と（Ｎ－１）個のフィードバック制御系との間で生じ得る制御誤差のずれを補償することができる。これらＮ個のフィードバック制御系の間で生じ得る制御誤差のずれを１個のフィードバック制御系と（Ｎ－１）個のフィードバック制御系との間で補償することができる。
このように、本発明では、１個の可動部を共同して可動させる複数個のモータを共通の外部位置指令で、かつ、可動部に対する振動の影響を抑制するように状態をフィードバックする同じモデルでモデル追従制御を行う事により、フィードバック制御系に与えるトルク指令を全軸で同一にする事ができ、これにより、たとえば機台振動が生じたりモータに対して可動部が振動したりするような場合であっても、これらに起因した可動部に対する振動の影響を抑制して指令に対する追従性を向上させて複数個のフィードバック制御系の制御誤差の間でずれが発生し難いように制御を実行しつつ、さらに、それでも他の原因によりＮ個のフィードバック制御系の間で生じ得る微小な制御誤差のずれをＮ個のフィードバック制御系の間で補償している。よって、Ｎ個のモータの制御系は、可動部に対する振動の影響を抑制して同期ずれが発生し難い制御と同期ずれを抑える制御とが二重化された制御により１個の可動部を複数個のモータで制御する場合での複数のモータの同期精度を高めることができる。その結果として高速高精度な位置決めを実現できる。 In the present invention, each of the N feedback control systems feedback-controls each motor based on the model command including the model position, not the external position command. Moreover, since the model control system that generates the model command including the model position command from the external position command feeds back the state so as to suppress the influence of the vibration on the moving part, the N feedback control systems follow the model. Feedback control that suppresses the influence of vibration is executed independently of each other, and the N motors can be controlled to follow the external position command in the same manner. The N feedback control systems can control the N motors to synchronize with each other based on a common external position command. For example, when the machine base to which the movable part is attached vibrates or the movable part vibrates with respect to the motor and the movable part may be affected by the vibration, the influence is suppressed to N pieces. The motors can be synchronized with each other.
Moreover, in the present invention, each of the (N-1) feedback control systems compensates for the control error by the difference from the control error in the remaining one feedback control system. The (N-1) feedback control systems execute each feedback control while synchronizing each control error with respect to the control error of one feedback control system so as not to cause a deviation. That is, while controlling the N motors independently of each other by the feedback control systems independent of each other, the deviation of the control error that can occur between one feedback control system and the (N-1) feedback control system. Can be compensated. The deviation of the control error that may occur between these N feedback control systems can be compensated between one feedback control system and (N-1) feedback control systems.
As described above, in the present invention, the same model that feeds back the state so as to suppress the influence of vibration on the movable part by using a common external position command for a plurality of motors that jointly move one movable part. By performing model follow-up control with, the torque command given to the feedback control system can be made the same for all axes, which causes, for example, machine base vibration or vibration of moving parts with respect to the motor. Even in this case, the influence of vibration on the moving parts caused by these is suppressed to improve the followability to the command, and the control is executed so that the deviation between the control errors of a plurality of feedback control systems is unlikely to occur. Nevertheless, it still compensates for minute deviations in control error between the N feedback control systems that may occur between the N feedback control systems due to other causes. Therefore, the control system of N motors has a plurality of one movable part by the control in which the control that suppresses the influence of vibration on the movable part and the synchronization deviation is unlikely to occur and the control that suppresses the synchronization deviation are duplicated. It is possible to improve the synchronization accuracy of a plurality of motors when controlled by the motors. As a result, high-speed and high-precision positioning can be realized.

図１は、本発明の第１実施形態に係るモータ制御装置のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of a motor control device according to the first embodiment of the present invention. 図２は、本発明の第２実施形態に係るモータ制御装置のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of the motor control device according to the second embodiment of the present invention. 図３は、本発明の第３実施形態に係るモータ制御装置のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of the motor control device according to the third embodiment of the present invention. 図４は、本発明の第４実施形態に係るモータ制御装置のブロック図である。FIG. 4 is a block diagram of the motor control device according to the fourth embodiment of the present invention.

以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係るモータ制御装置１のブロック図である。
図１のモータ制御装置１は、第１モータ２と第２モータ３との２個のモータが共同して１個の可動部を駆動して可動部を高速高精度に位置決めできるものである。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a block diagram of a motor control device 1 according to the first embodiment of the present invention.
In the motor control device 1 of FIG. 1, two motors, a first motor 2 and a second motor 3, jointly drive one movable portion and can position the movable portion at high speed and with high accuracy.

図１のモータ制御装置１は、可動部としてのテーブル４の制御位置を示す外部位置指令が入力されて各種の第１モデル指令を生成する第１モデル制御系１０と、第１モータ２を含むフィードバックループを有して第１モデル指令に基づいて第１モータ２を実際に制御する第１フィードバック制御系３０と、第１モデル制御系１０と同じ外部位置指令が入力されて各種の第２モデル指令を供給する第２モデル制御系５０と、第２モータ３を含むフィードバックループを有して第２モデル指令に基づいて第２モータ３を実際に制御する第２フィードバック制御系７０と、を有する。
そして、本実施形態において、第１モデル指令は、第１モデル位置指令、第１モデル速度指令、第１モデルトルク指令である。また、第２モデル指令は、第２モデル位置指令、第２モデル速度指令、第２モデルトルク指令である。 The motor control device 1 of FIG. 1 includes a first model control system 10 to which an external position command indicating a control position of a table 4 as a movable portion is input to generate various first model commands, and a first motor 2. The first feedback control system 30 which has a feedback loop and actually controls the first motor 2 based on the first model command, and various second models to which the same external position command as the first model control system 10 is input. It has a second model control system 50 that supplies commands, and a second feedback control system 70 that has a feedback loop including a second motor 3 and actually controls the second motor 3 based on the second model command. ..
Then, in the present embodiment, the first model command is a first model position command, a first model speed command, and a first model torque command. The second model command is a second model position command, a second model speed command, and a second model torque command.

第１フィードバック制御系３０は、第１制御位置誤差生成器３１、第１同期位置誤差生成器３２、第１位置同期補償器３３、第１同期補償位置誤差生成器３４、第１位置制御器３５、第１検出速度生成器３６、第１制御速度誤差生成器３７、第１速度制御器３８、第１制御トルク生成器３９、第１トルク指令ローパスフィルタ４０、第１トルク制御器４１、を有する。
そして、第１制御位置誤差生成器３１、第１同期補償位置誤差生成器３４、第１位置制御器３５、第１制御速度誤差生成器３７、第１速度制御器３８、第１制御トルク生成器３９、第１トルク指令ローパスフィルタ４０、第１トルク制御器４１、第１モータ２、および第１センサ４２は、第１モータ２を実際に制御するフィードバックループを構成する。 The first feedback control system 30 includes a first control position error generator 31, a first synchronous position error generator 32, a first position synchronous compensator 33, a first synchronous compensation position error generator 34, and a first position controller 35. , 1st detection speed generator 36, 1st control speed error generator 37, 1st speed controller 38, 1st control torque generator 39, 1st torque command low pass filter 40, 1st torque controller 41. ..
Then, the first control position error generator 31, the first synchronous compensation position error generator 34, the first position controller 35, the first control speed error generator 37, the first speed controller 38, and the first control torque generator 39, the first torque command low pass filter 40, the first torque controller 41, the first motor 2, and the first sensor 42 form a feedback loop that actually controls the first motor 2.

第１モータ２は、たとえば同期モータである。
第１センサ４２は、第１モータ２の回転位置を検出する。第１センサ４２は、たとえば第１モータ２の回転子軸に取り付けられたロータリエンコーダである。ロータリエンコーダは、モータの回転子軸の位置に応じたパルス信号を出力する。パルス信号は、第１モータ２の回転位置へ換算できる。 The first motor 2 is, for example, a synchronous motor.
The first sensor 42 detects the rotational position of the first motor 2. The first sensor 42 is, for example, a rotary encoder attached to the rotor shaft of the first motor 2. The rotary encoder outputs a pulse signal according to the position of the rotor shaft of the motor. The pulse signal can be converted into the rotation position of the first motor 2.

第１制御位置誤差生成器３１は、第１モデル制御系１０から供給される第１モデル位置指令と第１センサ４２から得られる第１モータ２の第１検出位置とに基づいて、これらの位置誤差を示す第１制御位置誤差を生成する。第１制御位置誤差は、たとえば第１モデル位置指令から第１検出位置を減算したものでよい。
第１同期位置誤差生成器３２は、自身の第１制御位置誤差と後述する第２制御位置誤差生成器７１により生成される第２制御位置誤差とに基づいて、これらの制御位置誤差の差分（同期誤差）を示す第１同期位置誤差を生成する。第１同期位置誤差は、たとえば自身の第１制御位置誤差から他の第２制御位置誤差を減算したものでよい。この場合、第２フィードバック制御系７０に対する第１フィードバック制御系３０の同期誤差が得られる。
第１位置同期補償器３３は、第１同期位置誤差から、第１位置同期誤差補償量を生成する。本実施形態において第１位置同期補償器３３には、たとえば比例制御器または比例積分制御器を用いるとよい。
第１同期補償位置誤差生成器３４は、第１フィードバック制御系３０での制御位置誤差である第１制御位置誤差と、２個のフィードバック制御系間の同期位置誤差である第１位置同期誤差補償量とに基づいて、同期補償処理後の第１制御位置誤差を生成する。同期補償処理後の第１制御位置誤差は、たとえば第１制御位置誤差と第１位置同期誤差補償量とを加算した合計値でよい。
第１位置制御器３５は、同期補償処理後の第１制御位置誤差から、第１制御速度を生成する。第１位置制御器３５は、第１フィードバック制御系３０での制御位置誤差と、第２フィードバック制御系７０を基準とした第１フィードバック制御系３０の同期位置誤差とに応じた第１制御速度を生成する。そして、第２フィードバック制御系７０の制御位置と比較して第１フィードバック制御系３０の制御位置が遅れると、第１制御速度は大きくなる。 The first control position error generator 31 is based on the first model position command supplied from the first model control system 10 and the first detection position of the first motor 2 obtained from the first sensor 42. Generates a first control position error that indicates the error. The first control position error may be, for example, a value obtained by subtracting the first detection position from the first model position command.
The first synchronous position error generator 32 has a difference (difference between these control position errors) based on its own first control position error and the second control position error generated by the second control position error generator 71 described later. Generates a first sync position error that indicates (sync error). The first synchronous position error may be, for example, a value obtained by subtracting another second control position error from its own first control position error. In this case, a synchronization error of the first feedback control system 30 with respect to the second feedback control system 70 can be obtained.
The first position synchronization compensator 33 generates the first position synchronization error compensation amount from the first synchronization position error. In the present embodiment, for example, a proportional controller or a proportional integral controller may be used as the first position synchronization compensator 33.
The first synchronous compensation position error generator 34 compensates for the first control position error, which is the control position error in the first feedback control system 30, and the first position synchronization error, which is the synchronous position error between the two feedback control systems. A first control position error after synchronous compensation processing is generated based on the quantity. The first control position error after the synchronization compensation process may be, for example, the total value obtained by adding the first control position error and the first position synchronization error compensation amount.
The first position controller 35 generates the first control speed from the first control position error after the synchronization compensation process. The first position controller 35 determines the first control speed according to the control position error in the first feedback control system 30 and the synchronous position error of the first feedback control system 30 with reference to the second feedback control system 70. Generate. Then, when the control position of the first feedback control system 30 is delayed as compared with the control position of the second feedback control system 70, the first control speed increases.

第１検出速度生成器３６は、第１センサ４２が検出した回転位置から第１モータ２の第１検出速度を生成する。
第１制御速度誤差生成器３７は、第１制御速度、第１検出速度、および第１モデル速度指令に基づいて第１制御速度誤差を生成する。第１制御速度誤差は、たとえば第１制御速度から第１検出速度を減算して得られる制御速度誤差に対して、第１モデル速度指令を加算したものでよい。
第１速度制御器３８は、第１制御速度誤差から、第１制御トルクを生成する。第１速度制御器３８は、第１フィードバック制御系３０での制御速度誤差と、第１モデル速度指令とに応じた第１制御トルクを生成する。そして、制御速度誤差および第１モデル速度指令の少なくとも一方が大きくなると、第１制御トルクは大きくなる。 The first detection speed generator 36 generates the first detection speed of the first motor 2 from the rotation position detected by the first sensor 42.
The first control speed error generator 37 generates the first control speed error based on the first control speed, the first detection speed, and the first model speed command. The first control speed error may be obtained by adding the first model speed command to the control speed error obtained by subtracting the first detection speed from the first control speed, for example.
The first speed controller 38 generates the first control torque from the first control speed error. The first speed controller 38 generates a first control torque according to the control speed error in the first feedback control system 30 and the first model speed command. Then, when at least one of the control speed error and the first model speed command becomes large, the first control torque becomes large.

第１制御トルク生成器３９は、第１制御トルクと第１モデルトルク指令とに基づいて第１合計制御トルクを生成する。第１合計制御トルクは、たとえば第１制御トルクと第１モデルトルク指令とを加算したものでよい。
第１トルク指令ローパスフィルタ４０は、第１合計制御トルクをローパスフィルタ処理する。このローパスフィルタ処理により、第１合計制御トルクから高周波成分を除くことができる。このような高周波成分としては、たとえば第１センサ４２による位置の量子化リップル成分がある。
第１トルク制御器４１は、ローパスフィルタ処理後の第１合計制御トルクに基づいて第１モータ２を制御する。 The first control torque generator 39 generates the first total control torque based on the first control torque and the first model torque command. The first total control torque may be, for example, the sum of the first control torque and the first model torque command.
The first torque command low-pass filter 40 processes the first total control torque by a low-pass filter. By this low-pass filter processing, the high frequency component can be removed from the first total control torque. As such a high frequency component, for example, there is a quantized ripple component at a position by the first sensor 42.
The first torque controller 41 controls the first motor 2 based on the first total control torque after the low-pass filter processing.

このような第１フィードバック制御系３０でのフィードバック制御により、第１フィードバック制御系３０は、第１モデル制御系１０から出力される第１モデル位置指令、第１モデル速度指令および第１モデルトルク指令にしたがって第１モータ２を回転駆動する。第１モータ２の回転にしたがってテーブル４は駆動される。
そして、第１フィードバック制御系３０において制御位置または制御速度に誤差が生じると、または第２フィードバック制御系７０の制御位置に対して第１フィードバック制御系３０の制御位置がずれると、これらの誤差およびずれを抑制するように第１モータ２の駆動トルクが増減する。
これにより、第１モータ２は、第１モデルトルク指令および第１モデル速度指令にしたがう動きで第１モデル位置指令の位置まで制御される。 Due to such feedback control in the first feedback control system 30, the first feedback control system 30 has a first model position command, a first model speed command, and a first model torque command output from the first model control system 10. The first motor 2 is rotationally driven according to the above. The table 4 is driven according to the rotation of the first motor 2.
Then, when an error occurs in the control position or the control speed in the first feedback control system 30, or when the control position of the first feedback control system 30 deviates from the control position of the second feedback control system 70, these errors and The drive torque of the first motor 2 increases or decreases so as to suppress the deviation.
As a result, the first motor 2 is controlled to the position of the first model position command by the movement according to the first model torque command and the first model speed command.

第１モデル制御系１０は、外部位置指令を入力とし、第１フィードバック制御系３０に対応するモデルを用いて第１フィードバック制御系３０の仮想的な動作を演算し、第１フィードバック制御系３０に与える第１モデル指令を生成する。
第１モデル位置指令は、第１モータ２の制御位置を示す指令である。
第１モデル速度指令は、駆動中の第１モータ２の制御速度を示す指令である。
第１モデルトルク指令は、駆動中の第１モータ２の制御トルクを示す指令である。
そして、本実施形態の第１モデル制御系１０は、第１フィードバック制御系３０の動作を演算するために、第１モデル位置誤差演算器１１、第１モデル位置制御器１２、第１モデル速度演算器１３、第１モデル速度誤差演算器１４、第１モデル速度制御器１５、第１モデルトルク誤差演算器１６、第１モデルトルク指令ローパスフィルタ１７、第１可動部モデル１８、第１機台モデル１９、第１モデル位置加算器２０、第１状態帰還量演算器２１、を有する。
また、第１状態帰還量演算器２１は、第１機台帰還量演算器２２、第１フィルタ帰還量演算器２３、第１合計帰還量演算器２４、を有する。これにより、第１状態帰還量演算器２１は、機台の振動に起因して機台上でテーブル４が振動する場合において機台に対するテーブル４の振動を抑制するための合計帰還量を演算する。
そして、第１モデル位置誤差演算器１１、第１モデル位置制御器１２、第１モデル速度誤差演算器１４、第１モデル速度制御器１５、第１モデルトルク誤差演算器１６、第１モデルトルク指令ローパスフィルタ１７、第１可動部モデル１８および第１機台モデル１９、第１モデル位置加算器２０は、第１モデル制御系１０のメインフィードバックループを構成する。この第１モデル制御系１０のメインフィードバックループは、第１フィードバック制御系３０のフィードバックループと対応する。 The first model control system 10 receives an external position command as an input, calculates a virtual operation of the first feedback control system 30 using a model corresponding to the first feedback control system 30, and causes the first feedback control system 30 to calculate a virtual operation. Generate the first model command to give.
The first model position command is a command indicating the control position of the first motor 2.
The first model speed command is a command indicating the control speed of the first motor 2 being driven.
The first model torque command is a command indicating the control torque of the first motor 2 being driven.
Then, in the first model control system 10 of the present embodiment, in order to calculate the operation of the first feedback control system 30, the first model position error calculator 11, the first model position controller 12, and the first model speed calculation are performed. Instrument 13, 1st model speed error calculator 14, 1st model speed controller 15, 1st model torque error calculator 16, 1st model torque command low pass filter 17, 1st moving part model 18, 1st machine model It has 19, a first model position adder 20, and a first state feedback amount calculator 21.
Further, the first state feedback amount calculator 21 includes a first machine unit feedback quantity calculator 22, a first filter feedback quantity calculator 23, and a first total feedback quantity calculator 24. As a result, the first state feedback amount calculator 21 calculates the total feedback amount for suppressing the vibration of the table 4 with respect to the machine base when the table 4 vibrates on the machine base due to the vibration of the machine base. ..
Then, the first model position error calculator 11, the first model position controller 12, the first model speed error calculator 14, the first model speed controller 15, the first model torque error calculator 16, the first model torque command. The low-pass filter 17, the first movable unit model 18, the first machine stand model 19, and the first model position adder 20 form a main feedback loop of the first model control system 10. The main feedback loop of the first model control system 10 corresponds to the feedback loop of the first feedback control system 30.

第１モデル位置誤差演算器１１は、第１制御位置誤差生成器３１に対応するモデルにより第１モデル位置誤差を演算する。第１モデル位置誤差演算器１１は、外部位置指令から、第１モデル位置加算器２０から出力される第１モデル位置を減算して第１モデル位置誤差を演算する。
第１モデル位置制御器１２は、第１位置制御器３５に対応するモデルにより第１モデル速度を演算する。第１モデル位置制御器１２は、第１モデル位置誤差から第１モデル速度を演算する。
第１モデル速度演算器１３は、第１検出速度生成器３６に対応するモデルにより第１モデル検出速度を演算する。第１モデル速度演算器１３は、第１モデル位置から第１モデル検出速度を演算する。第１モデル検出速度は、第１モデル速度指令として第１フィードバック制御系３０へ出力される。
第１モデル速度誤差演算器１４は、第１制御速度誤差生成器３７に対応するモデルにより第１モデル速度誤差を演算する。第１モデル速度誤差演算器１４は、第１モデル速度から第１モデル検出速度を減算して第１モデル速度誤差を演算する。
第１モデル速度制御器１５は、第１速度制御器３８に対応するモデルにより第１モデルトルクを演算する。第１モデル速度制御器１５は、第１モデル速度誤差から第１モデルトルクを演算する。
第１モデルトルク誤差演算器１６は、第１モデルトルクから、第１状態帰還量演算器２１により演算される合計帰還量を減算して状態フィードバック補償後の第１モデルトルクを演算する。状態フィードバック補償後の第１モデルトルクは、第１モデルトルク指令として第１フィードバック制御系３０へ出力される。
第１モデルトルク指令ローパスフィルタ１７は、第１トルク指令ローパスフィルタ４０に対応するモデルによりフィルタ演算を実施する。第１モデルトルク指令ローパスフィルタ１７は、状態フィードバック補償後の第１モデルトルクをローパスフィルタ処理する。
第１可動部モデル１８は、第１モータ２からテーブル４までの機械系の動きに対応している可動部のモデルにより可動部モデルの位置を演算する。ここでは、第１モータ２、第１ボールネジ５からテーブル４までの機械系に対応する可動部モデルとして、それらの間でずれが生じない剛体モデルを用いる。第１可動部モデル１８は、状態フィードバック補償処理およびローパスフィルタ処理後の第１モデルトルクから、第１可動部モデル１８の位置を演算する。
第１機台モデル１９は、第１モータ２やテーブル４が取り付けられる機台の動きに対応している機台のモデルにより機台モデルの位置を演算する。機台は、たとえばレベリングボルトにより床に載置される。そして、テーブル４を高速に動かした場合に機台が振動し、それにより機台上でのテーブル４の相対的な位置が機台を振動しないとした場合での位置からずれることがある。機台のモデルは、たとえばこの機台の振動をモデリングしたものでよい。第１機台モデル１９は、状態フィードバック補償処理およびローパスフィルタ処理後の第１モデルトルクから、第１機台モデル１９の位置を演算する。
第１モデル位置加算器２０は、第１可動部モデル１８の位置と第１機台モデル１９の位置とを加算して、第１モデル位置を演算する。第１モデル位置加算器２０が演算した第１モデル位置は、第１モデル位置指令として第１フィードバック制御系３０へ出力される。
第１機台帰還量演算器２２は、振動する位置についての帰還量を演算する。具体的にはたとえば、第１機台帰還量として、第１機台モデル１９の位置に、機台位置フィードバックゲインＫＰＢと、機台速度フィードバックゲインＫＶＢＳと、機台加速度フィードバックゲインＫＡＢＳ２とを加算した合算ゲイン（ＫＰＢ＋ＫＶＢＳ＋ＫＡＢＳ２）を乗算したものを演算する。ここで、Ｓは微分演算子を示す。
第１フィルタ帰還量演算器２３は、第１モデルトルク指令ローパスフィルタ１７のフィルタ処理についての帰還量を演算する。具体的にはたとえば、フィルタ処理帰還量として、状態フィードバック補償処理およびローパスフィルタ処理後の第１モデルトルクに、フィルタ処理フィードバックゲインＫＬＰを乗算したものを演算する。
第１合計帰還量演算器２４は、第１状態帰還量演算器２１で演算される各種の帰還量を加算する。ここでは、第１機台帰還量とフィルタ処理帰還量とを加算して合計帰還量を演算する。演算された合計帰還量は、第１モデルトルク誤差演算器１６へ出力される。 The first model position error calculator 11 calculates the first model position error by the model corresponding to the first control position error generator 31. The first model position error calculator 11 calculates the first model position error by subtracting the first model position output from the first model position adder 20 from the external position command.
The first model position controller 12 calculates the first model speed by the model corresponding to the first position controller 35. The first model position controller 12 calculates the first model speed from the first model position error.
The first model speed calculator 13 calculates the first model detection speed by the model corresponding to the first detection speed generator 36. The first model speed calculator 13 calculates the first model detection speed from the first model position. The first model detection speed is output to the first feedback control system 30 as a first model speed command.
The first model speed error calculator 14 calculates the first model speed error by the model corresponding to the first control speed error generator 37. The first model speed error calculator 14 calculates the first model speed error by subtracting the first model detection speed from the first model speed.
The first model speed controller 15 calculates the first model torque by the model corresponding to the first speed controller 38. The first model speed controller 15 calculates the first model torque from the first model speed error.
The first model torque error calculator 16 calculates the first model torque after the state feedback compensation by subtracting the total feedback amount calculated by the first state feedback amount calculator 21 from the first model torque. The first model torque after the state feedback compensation is output to the first feedback control system 30 as a first model torque command.
The first model torque command low-pass filter 17 performs the filter calculation by the model corresponding to the first torque command low-pass filter 40. The first model torque command low-pass filter 17 performs low-pass filter processing on the first model torque after the state feedback compensation.
The first movable portion model 18 calculates the position of the movable portion model by the model of the movable portion corresponding to the movement of the mechanical system from the first motor 2 to the table 4. Here, as a movable part model corresponding to the mechanical system from the first motor 2 and the first ball screw 5 to the table 4, a rigid body model in which no deviation occurs between them is used. The first movable portion model 18 calculates the position of the first movable portion model 18 from the first model torque after the state feedback compensation processing and the low-pass filter processing.
The first machine stand model 19 calculates the position of the machine stand model by the machine base model corresponding to the movement of the machine base to which the first motor 2 and the table 4 are attached. The machine base is mounted on the floor, for example, with leveling bolts. Then, when the table 4 is moved at high speed, the machine base vibrates, and as a result, the relative position of the table 4 on the machine base may deviate from the position when the machine base does not vibrate. The model of the chassis may be, for example, a model of the vibration of the chassis. The first machine model 19 calculates the position of the first machine model 19 from the first model torque after the state feedback compensation processing and the low-pass filter processing.
The first model position adder 20 adds the position of the first movable portion model 18 and the position of the first machine stand model 19 to calculate the position of the first model. The first model position calculated by the first model position adder 20 is output to the first feedback control system 30 as a first model position command.
The first machine unit feedback amount calculator 22 calculates the feedback amount for the vibrating position. Specifically, for example, as the first machine unit feedback amount, the machine base position feedback gain K PB , the machine body speed feedback gain K VBS , and the machine base acceleration feedback gain K AB are located at the position of the first machine machine model 19. Calculate the product obtained by multiplying the total gain (K PB + K VB S + K AB S 2 ) obtained by adding S 2 and the sum. Here, S indicates a differential operator.
The first filter feedback amount calculator 23 calculates the feedback amount for the filter processing of the first model torque command low-pass filter 17. Specifically, for example, the filter processing feedback amount is calculated by multiplying the first model torque after the state feedback compensation processing and the low-pass filter processing by the filter processing feedback gain KLP .
The first total feedback amount calculator 24 adds various feedback amounts calculated by the first state feedback amount calculator 21. Here, the total feedback amount is calculated by adding the first unit feedback amount and the filtered feedback amount. The calculated total feedback amount is output to the first model torque error calculator 16.

このような第１フィードバック制御系３０に対応するフィードバック制御により、第１モデル制御系１０は、機台とテーブル４との間の振動を抑制し得る第１モデル位置指令、第１モデル速度指令および第１モデルトルク指令を生成する。
また、第１モデル制御系１０の各要素には、テーブル４に対する制御が所望の位置決め制御となるように制御パラメータを設定すればよい。
たとえば、第１モデル制御系１０の状態方程式に対する特性方程式が５重根を持つようにパラメータを算出して設定する。５重根を持つパラメータを設定することにより、第１モデル制御系１０はテーブル４と機台との間に振動を生じないモデル指令を生成できる。そして、テーブル４と機台との間に振動を生じない第１モデル制御系１０からのモデル指令により第１フィードバック制御系３０を駆動することによって、第１フィードバック制御系３０により実際に駆動されるテーブル４も振動を生じずに駆動されることになる。
また、第１フィードバック制御系３０の安定性が許容できる範囲内で第１モデル制御系１０および第１フィードバック制御系３０のゲインを高めることにより、実際に駆動されるテーブル４と機台との間に振動を生じさせずに高速に駆動することができる。 By the feedback control corresponding to the first feedback control system 30, the first model control system 10 can suppress the vibration between the machine base and the table 4, the first model position command, the first model speed command, and the first model speed command. Generates a first model torque command.
Further, control parameters may be set in each element of the first model control system 10 so that the control on the table 4 becomes a desired positioning control.
For example, the parameters are calculated and set so that the characteristic equation for the state equation of the first model control system 10 has a quintuple root. By setting a parameter having five roots, the first model control system 10 can generate a model command that does not cause vibration between the table 4 and the machine base. Then, by driving the first feedback control system 30 by the model command from the first model control system 10 that does not generate vibration between the table 4 and the machine base, the first feedback control system 30 is actually driven. The table 4 will also be driven without causing vibration.
Further, by increasing the gains of the first model control system 10 and the first feedback control system 30 within the range where the stability of the first feedback control system 30 is acceptable, between the table 4 actually driven and the machine stand. It can be driven at high speed without causing vibration.

第２フィードバック制御系７０は、第２制御位置誤差生成器７１、第２位置制御器７５、第２検出速度生成器７６、第２制御速度誤差生成器７７、第２速度制御器７８、第２制御トルク生成器７９、第２トルク指令ローパスフィルタ８０、第２トルク制御器８１、を有する。
そして、第２制御位置誤差生成器７１、第２位置制御器７５、第２制御速度誤差生成器７７、第２速度制御器７８、第２制御トルク生成器７９、第２トルク指令ローパスフィルタ８０、第２トルク制御器８１、第２モータ３、および第２センサ８２は、第２モータ３を実際に制御するフィードバックループを構成する。
これら第２フィードバック制御系７０の各構成要素は、第１フィードバック制御系３０において番号が異なる同名の構成要素と同一であり、その詳細な説明を省略する。
ただし、第２位置制御器７５は、第２制御位置誤差生成器７１が生成した第２制御位置誤差から、第２制御速度を生成する。つまり、第１フィードバック制御系３０とは異なり、同期補償処理をしていない第２制御位置誤差に基づいて第２制御速度を生成する。 The second feedback control system 70 includes a second control position error generator 71, a second position controller 75, a second detection speed generator 76, a second control speed error generator 77, a second speed controller 78, and a second. It has a control torque generator 79, a second torque command low pass filter 80, and a second torque controller 81.
Then, the second control position error generator 71, the second position controller 75, the second control speed error generator 77, the second speed controller 78, the second control torque generator 79, the second torque command low pass filter 80, The second torque controller 81, the second motor 3, and the second sensor 82 form a feedback loop that actually controls the second motor 3.
Each component of the second feedback control system 70 is the same as the component having the same name but different numbers in the first feedback control system 30, and detailed description thereof will be omitted.
However, the second position controller 75 generates the second control speed from the second control position error generated by the second control position error generator 71. That is, unlike the first feedback control system 30, the second control speed is generated based on the second control position error without the synchronous compensation processing.

第２モデル制御系５０は、第２フィードバック制御系７０の動作を演算するために、第２モデル位置誤差演算器５１、第２モデル位置制御器５２、第２モデル速度演算器５３、第２モデル速度誤差演算器５４、第２モデル速度制御器５５、第２モデルトルク誤差演算器５６、第２モデルトルク指令ローパスフィルタ５７、第２可動部モデル５８、第２機台モデル５９、第２モデル位置加算器６０、第２状態帰還量演算器６１、を有する。
また、第２状態帰還量演算器６１は、第２機台帰還量演算器６２、第２フィルタ帰還量演算器６３、第２合計帰還量演算器６４、を有する。これにより、第２状態帰還量演算器６１は、機台の振動に起因して機台上でテーブル４が振動する場合において機台に対するテーブル４の振動を抑制するための合計帰還量を演算する。
そして、第２モデル位置誤差演算器５１、第２モデル位置制御器５２、第２モデル速度誤差演算器５４、第２モデル速度制御器５５、第２モデルトルク誤差演算器５６、第２モデルトルク指令ローパスフィルタ５７、第２可動部モデル５８および第２機台モデル５９、第２モデル位置加算器６０は、第２モデル制御系５０のメインフィードバックループを構成する。この第２モデル制御系５０のメインフィードバックループは、第２フィードバック制御系７０のフィードバックループと対応する。
これら第２モデル制御系５０の各構成要素は、第１モデル制御系１０において番号が異なる同名の構成要素と同一であり、その詳細な説明を省略する。第２モデル制御系５０の各部のパラメータには、第１モデル制御系１０と同じ値が設定される。
そして、以下の説明において、第２フィードバック制御系７０および第２モデル制御系５０での各種の信号名には、対応する第１フィードバック制御系３０および第１モデル制御系１０での各種の信号名の番号を第１から第２へ変更したものを使用する。
このように軸１の制御系と軸２の制御系とで同じ値のパラメータを使用することにより、第１モデル制御系１０および第２モデル制御系５０からの指令は各軸同時に同じ値で出力される。これにより、軸間のトルク印加が同時になる。 The second model control system 50 has a second model position error calculator 51, a second model position controller 52, a second model speed calculator 53, and a second model in order to calculate the operation of the second feedback control system 70. Speed error calculator 54, 2nd model speed controller 55, 2nd model torque error calculator 56, 2nd model torque command low pass filter 57, 2nd moving part model 58, 2nd machine stand model 59, 2nd model position It has an adder 60 and a second state feedback amount calculator 61.
Further, the second state feedback amount calculator 61 includes a second machine unit feedback quantity calculator 62, a second filter feedback quantity calculator 63, and a second total feedback quantity calculator 64. As a result, the second state feedback amount calculator 61 calculates the total feedback amount for suppressing the vibration of the table 4 with respect to the machine base when the table 4 vibrates on the machine base due to the vibration of the machine base. ..
Then, the second model position error calculator 51, the second model position controller 52, the second model speed error calculator 54, the second model speed controller 55, the second model torque error calculator 56, and the second model torque command. The low-pass filter 57, the second movable unit model 58, the second machine stand model 59, and the second model position adder 60 form a main feedback loop of the second model control system 50. The main feedback loop of the second model control system 50 corresponds to the feedback loop of the second feedback control system 70.
Each component of the second model control system 50 is the same as the component having the same name but different numbers in the first model control system 10, and detailed description thereof will be omitted. The same values as those of the first model control system 10 are set in the parameters of each part of the second model control system 50.
In the following description, the various signal names in the second feedback control system 70 and the second model control system 50 include various signal names in the corresponding first feedback control system 30 and the first model control system 10. The number of is changed from the first to the second.
By using the parameters of the same value in the control system of the axis 1 and the control system of the axis 2 in this way, the commands from the first model control system 10 and the second model control system 50 are output with the same value at the same time for each axis. Will be done. As a result, torque is applied between the shafts at the same time.

なお、図１のモータ制御装置１において、第１センサ４２は、第１モータ２と一体に構成されてよい。そして、第１モータ２および第１センサ４２以外の第１フィードバック制御系３０の構成要素と第１モデル制御系１０とは、第１モータ２および第１センサ４２と第１ケーブルで接続される第１モータ制御装置中の第１コンピュータ装置に実現されてよい。この場合、第１フィードバック制御系３０の各構成要素は演算処理により各々の処理を実行することになり、第１モデル制御系１０の各部の演算処理と好適に対応し得る。
同様に、第２センサ８２は、第２モータ３と一体に構成されてよい。そして、第２モータ３および第２センサ８２以外の第２フィードバック制御系７０の構成要素と第２モデル制御系５０とは、第２モータ３および第２センサ８２と第２ケーブルで接続される第２モータ制御装置中の第２コンピュータ装置に実現されてよい。この場合、第２フィードバック制御系７０の各構成要素は演算処理により各々の処理を実行することになり、第２モデル制御系５０の各部の演算処理と好適に対応し得る。
また、このように第１モータ制御装置と第２モータ制御装置とを用いる場合、第１モータ制御装置と第２モータ制御装置とは通信ケーブルで連結され、第２モータ制御装置から第１モータ制御装置へ第２制御位置誤差を送信する必要がある。
この他にもたとえば、第１コンピュータ装置と第２コンピュータ装置は、単一のモータ制御装置内に設けられてもよい。
また、図１中の第１モータ２、第１センサ４２、第２モータ３および第２センサ８２以外の構成要素は、単一のモータ制御装置中の単一のコンピュータ装置に実現されてもよい。この場合、第２制御位置誤差は、たとえばプログラム間通信により送信し得る。
また、第１モデル制御系１０と第２モデル制御系５０とを１個のモデル制御系とし、この１個のモデル制御系から第１フィードバック制御系３０および第２フィードバック制御系７０へ共通のモデル指令を供給してもよい。 In the motor control device 1 of FIG. 1, the first sensor 42 may be integrally configured with the first motor 2. Then, the components of the first feedback control system 30 other than the first motor 2 and the first sensor 42 and the first model control system 10 are connected to the first motor 2 and the first sensor 42 by a first cable. It may be realized in the first computer device in one motor control device. In this case, each component of the first feedback control system 30 executes each process by arithmetic processing, and can suitably correspond to the arithmetic processing of each part of the first model control system 10.
Similarly, the second sensor 82 may be integrally configured with the second motor 3. Then, the components of the second feedback control system 70 other than the second motor 3 and the second sensor 82 and the second model control system 50 are connected to the second motor 3 and the second sensor 82 by a second cable. It may be realized in the second computer device in the two-motor control device. In this case, each component of the second feedback control system 70 executes each process by arithmetic processing, and can suitably correspond to the arithmetic processing of each part of the second model control system 50.
Further, when the first motor control device and the second motor control device are used in this way, the first motor control device and the second motor control device are connected by a communication cable, and the second motor control device controls the first motor. It is necessary to transmit the second control position error to the device.
In addition to this, for example, the first computer device and the second computer device may be provided in a single motor control device.
Further, components other than the first motor 2, the first sensor 42, the second motor 3 and the second sensor 82 in FIG. 1 may be realized in a single computer device in a single motor control device. .. In this case, the second control position error may be transmitted, for example, by interprogram communication.
Further, the first model control system 10 and the second model control system 50 are regarded as one model control system, and a model common to the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 from this one model control system. The command may be supplied.

次に、図１のモータ制御装置１の動作について説明する。 Next, the operation of the motor control device 1 of FIG. 1 will be described.

テーブル４の位置を制御するために、第１モデル制御系１０および第２モデル制御系５０には、上位のコントローラから共通の外部位置指令が同時に供給される。 In order to control the position of the table 4, a common external position command is simultaneously supplied to the first model control system 10 and the second model control system 50 from the upper controller.

外部位置指令が供給された第１モデル制御系１０は、外部位置指令から第１モデル位置を減算し、第１モデル位置誤差から第１モデル速度を演算する。また、第１モデル位置から第１モデル検出速度を演算し、第１モデル速度から第１モデル検出速度を減算し、第１モデル速度誤差から第１モデルトルクを演算し、第１モデルトルクから合計帰還量を減算し、状態フィードバック補償後の第１モデルトルクをローパスフィルタ処理する。また、状態フィードバック補償処理およびローパスフィルタ処理後の第１モデルトルクから、第１可動部モデル１８の位置と第１機台モデル１９の位置とを演算し、これらを加算して第１モデル位置を演算する。また、振動する位置についての帰還量と、フィルタ処理についての帰還量とを演算し、これらを合計して合計帰還量を演算する。
この一連の演算処理により、第１モデル制御系１０は、第１モデル指令として第１モデル位置指令、第１モデル速度指令、第１モデルトルク指令を生成して第１フィードバック制御系３０へ出力する。 The first model control system 10 to which the external position command is supplied subtracts the first model position from the external position command and calculates the first model speed from the first model position error. Further, the first model detection speed is calculated from the first model position, the first model detection speed is subtracted from the first model speed, the first model torque is calculated from the first model speed error, and the total is calculated from the first model torque. The feedback amount is subtracted, and the first model torque after the state feedback compensation is low-pass filtered. Further, the position of the first movable part model 18 and the position of the first machine stand model 19 are calculated from the first model torque after the state feedback compensation processing and the low-pass filter processing, and these are added to obtain the first model position. Calculate. In addition, the feedback amount for the vibrating position and the feedback amount for the filtering process are calculated, and these are totaled to calculate the total feedback amount.
Through this series of arithmetic processing, the first model control system 10 generates a first model position command, a first model speed command, and a first model torque command as first model commands and outputs them to the first feedback control system 30. ..

第１モデル指令が供給された第１フィードバック制御系３０は、第１モデル位置指令と第１センサ４２から得られる第１検出位置との位置誤差を示す第１制御位置誤差を生成する。
また、第１フィードバック制御系３０は、自身の第１制御位置誤差と第２制御位置誤差生成器７１により生成される第２制御位置誤差との位置誤差の差分（同期誤差）を示す第１同期位置誤差を生成し、第１位置同期誤差補償量を生成する。また、第１制御位置誤差と第１位置同期誤差補償量とから同期補償処理後の第１制御位置誤差を生成し、第１制御速度を生成する。
また、第１フィードバック制御系３０は、第１制御速度、第１検出速度、および第１モデル速度指令から第１制御速度誤差を生成し、第１制御トルクを生成する。
また、第１フィードバック制御系３０は、第１制御トルクおよび第１モデルトルク指令から第１合計制御トルクを生成し、ローパスフィルタ処理する。そして、第１トルク制御器４１は、ローパスフィルタ処理後の第１合計制御トルクに基づいて第１モータ２を制御する。第１センサ４２は、第１モータ２の回転位置を検出する。また、第１検出速度生成器３６は、第１センサ４２が検出した回転位置から第１検出速度を生成する。 The first feedback control system 30 to which the first model command is supplied generates a first control position error indicating a position error between the first model position command and the first detection position obtained from the first sensor 42.
Further, the first feedback control system 30 shows a difference in position error (synchronization error) between its own first control position error and the second control position error generated by the second control position error generator 71. A position error is generated, and a first position synchronization error compensation amount is generated. Further, the first control position error after the synchronization compensation process is generated from the first control position error and the first position synchronization error compensation amount, and the first control speed is generated.
Further, the first feedback control system 30 generates a first control speed error from the first control speed, the first detection speed, and the first model speed command, and generates the first control torque.
Further, the first feedback control system 30 generates a first total control torque from the first control torque and the first model torque command, and performs low-pass filter processing. Then, the first torque controller 41 controls the first motor 2 based on the first total control torque after the low-pass filter processing. The first sensor 42 detects the rotational position of the first motor 2. Further, the first detection speed generator 36 generates the first detection speed from the rotation position detected by the first sensor 42.

また、第１モデル制御系１０と同時に同じ外部位置指令が供給される第２モデル制御系５０は、上述した第１モデル制御系１０と同じフィードバック制御を実行する。第２モデル制御系５０から第２モデル指令が供給される第２フィードバック制御系７０も、上述した第１フィードバック制御系３０と同じフィードバック制御を実行する。
ただし、第２フィードバック制御系７０は、第１フィードバック制御系３０の第１同期位置誤差生成器３２、第１位置同期補償器３３、および第１同期補償位置誤差生成器３４に対応する構成要素を備えていないので、第２位置制御器７５は、第２制御位置誤差生成器７１が生成した第２制御位置誤差から、第２制御速度を生成する。同期補償処理をしていない第２制御位置誤差に基づいて第２制御速度を生成する。 Further, the second model control system 50 to which the same external position command is supplied at the same time as the first model control system 10 executes the same feedback control as the first model control system 10 described above. The second feedback control system 70 to which the second model command is supplied from the second model control system 50 also executes the same feedback control as the first feedback control system 30 described above.
However, the second feedback control system 70 includes components corresponding to the first synchronous position error generator 32, the first position synchronous compensator 33, and the first synchronous compensation position error generator 34 of the first feedback control system 30. Since it is not provided, the second position controller 75 generates the second control speed from the second control position error generated by the second control position error generator 71. The second control speed is generated based on the second control position error without the synchronous compensation processing.

そして、本実施形態では、２個のフィードバック制御系の各々は、外部位置指令ではなく、モデル指令に基づいて各々のモータをフィードバック制御する。しかも、外部位置指令からモデル指令を生成する２個のモデル制御系は、２個のモータで駆動される可動部の動きに対応している可動部モデルおよびモータおよび可動部が取り付けられる機台の動きに対応している機台モデルを含むとともに、機台モデルの状態をフィードバックして機台の振動に起因した機台とテーブル４との間の振動を抑制することにより、機台とテーブル４との相対振動を抑制して安定化させる。これにより、２個のフィードバック制御系はモデルに追従して機台とテーブル４との相対振動を生じないように安定したフィードバック制御を互いに独立して実行し、２個のモータは外部位置指令に対して同様に追従するように制御され得る。２個のフィードバック制御系は、同時に入力される共通の外部位置指令に基づいて２個のモータを互いに同期させるように制御することができる。そして、テーブル４が取り付けられる機台が振動するような場合においてもテーブル４の振動を抑制して、２個のモータを互いに同期させることができる。
しかも、本実施形態では、第１フィードバック制御系３０は、第２フィードバック制御系７０の制御誤差との差分により、自身の制御誤差を補償する。第１フィードバック制御系３０は、その制御誤差が第２フィードバック制御系７０の制御誤差に対してずれが生じないように同期させながら、自身のフィードバック制御を実行する。すなわち、２個のモータを互いに独立したフィードバック制御系により互いに独立して制御しながらも、第１フィードバック制御系３０と第２フィードバック制御系７０との間で生じ得る制御誤差のずれを補償することができる。つまり、これら２個のフィードバック制御系の間で生じ得る制御誤差のずれを２個のフィードバック制御系において補償することができる。
このように、本実施形態では、１個の可動部を共同して可動させる２個のモータを共通の外部位置指令で、かつ、機台とテーブル４との間の振動を抑制するように状態をフィードバックする同じモデルでモデル追従制御を行うことにより、２個のフィードバック制御系に与えるトルク指令を全軸で同一にすることができる。これにより、機台振動が生じ得る場合であっても機台とテーブル４との間の振動を抑えて２個のフィードバック制御系の制御誤差の間でずれが発生し難いように制御を実行することができる。
しかも、それでも他の原因により２個のフィードバック制御系の間で生じ得る微小な制御誤差のずれを２個のフィードバック制御系の間で補償している。よって、２個のモータの制御系は、振動に起因する同期ずれが発生し難い制御と同期ずれを抑える制御とが二重化された制御により１個の可動部を２個のモータで制御する場合での２個のモータの同期精度を高めることができる。
その結果、本実施形態では、１個の可動部を２個のモータで駆動する機械において、機台振動が生じ得るような場合であってもこの機台とテーブル４との間の振動を抑制して指令に対する追従性を向上させることができ、さらに２個のモータの間での同期精度を確保でき、その結果として高速高精度な位置決めを実現できる。 Then, in the present embodiment, each of the two feedback control systems feedback-controls each motor based on the model command instead of the external position command. Moreover, the two model control systems that generate model commands from external position commands are the movable part model that corresponds to the movement of the movable part driven by the two motors, and the machine base to which the motor and the movable part are attached. The machine stand and the table 4 include the machine machine model that supports movement, and by feeding back the state of the machine machine model and suppressing the vibration between the machine machine and the table 4 caused by the vibration of the machine table. Suppresses and stabilizes the relative vibration with. As a result, the two feedback control systems follow the model and execute stable feedback control independently of each other so that relative vibration between the machine base and the table 4 does not occur, and the two motors issue external position commands. On the other hand, it can be controlled to follow in the same way. The two feedback control systems can control the two motors to synchronize with each other based on a common external position command input at the same time. Then, even when the machine base on which the table 4 is attached vibrates, the vibration of the table 4 can be suppressed and the two motors can be synchronized with each other.
Moreover, in the present embodiment, the first feedback control system 30 compensates for its own control error by the difference from the control error of the second feedback control system 70. The first feedback control system 30 executes its own feedback control while synchronizing the control error with respect to the control error of the second feedback control system 70 so as not to cause a deviation. That is, while controlling the two motors independently of each other by the feedback control system independent of each other, it is possible to compensate for the deviation of the control error that may occur between the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70. Can be done. That is, the deviation of the control error that may occur between these two feedback control systems can be compensated by the two feedback control systems.
As described above, in the present embodiment, the two motors that jointly move one movable portion are in a state of being controlled by a common external position command and suppressing vibration between the machine base and the table 4. By performing model follow-up control with the same model that feeds back, the torque commands given to the two feedback control systems can be made the same for all axes. As a result, even if the machine base vibration may occur, the vibration between the machine base and the table 4 is suppressed and the control is executed so that the deviation between the control errors of the two feedback control systems is unlikely to occur. be able to.
Moreover, even so, a minute deviation in control error that may occur between the two feedback control systems due to other causes is compensated between the two feedback control systems. Therefore, in the control system of two motors, one movable part is controlled by two motors by a dual control of a control that is unlikely to cause a synchronization shift due to vibration and a control that suppresses the synchronization shift. The synchronization accuracy of the two motors can be improved.
As a result, in the present embodiment, in a machine in which one movable part is driven by two motors, vibration between the machine base and the table 4 is suppressed even when the machine base vibration may occur. Therefore, the followability to the command can be improved, and the synchronization accuracy between the two motors can be ensured, and as a result, high-speed and high-precision positioning can be realized.

なお、上記実施形態は、可動部を２個のモータで駆動するために、２組のモデル制御系およびフィードバック制御系を用いる例である。また、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器を、１個目のフィードバック制御系に適用した例である。
この他にも、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器は、２個目のフィードバック制御系に適用してもよい。
さらに他にも、可動部を３個以上のモータで駆動してもよい。この場合、モデル制御系およびフィードバック制御系は、基本的にモータと同数組で設ければよい。また、Ｎ（Ｎは２以上の自然数）個のモータを使用する場合、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器は、（Ｎ－１）個のフィードバック制御系に設ければよい。この（Ｎ－１）個のフィードバック制御系において（Ｎ－１）個の同期位置誤差生成器は、残りの１個のフィードバック制御系の制御位置誤差との間で位置同期誤差を生成すればよい。 The above embodiment is an example in which two sets of model control system and feedback control system are used to drive the movable portion by two motors. Further, it is an example in which the synchronization position error generator, the position synchronization compensation device, and the synchronization compensation position error generator are applied to the first feedback control system.
In addition, the synchronization position error generator, the position synchronization compensation device, and the synchronization compensation position error generator may be applied to the second feedback control system.
Furthermore, the movable portion may be driven by three or more motors. In this case, the model control system and the feedback control system may be provided in basically the same number of sets as the motor. Further, when N (N is a natural number of 2 or more) motors are used, the synchronous position error generator, the position synchronization compensator, and the synchronous compensation position error generator are combined with (N-1) feedback control systems. It may be provided. In this (N-1) feedback control system, the (N-1) synchronization position error generator may generate a position synchronization error with the control position error of the remaining one feedback control system. ..

［第２実施形態］
図２は、本発明の第２実施形態に係るモータ制御装置１のブロック図である。
図２のモータ制御装置１は、図１のものと比べて、第２フィードバック制御系７０が第２同期位置誤差生成器７２、第２位置同期補償器７３、および第２同期補償位置誤差生成器７４を有する点で異なる。
第２同期位置誤差生成器７２、第２位置同期補償器７３、および第２同期補償位置誤差生成器７４は、第１同期位置誤差生成器３２、第１位置同期補償器３３、および第１同期補償位置誤差生成器３４と対応する。
第２同期位置誤差生成器７２は、自身の第２制御位置誤差と第１制御位置誤差生成器３１により生成される第１制御位置誤差とに基づいて、これらの制御位置誤差の差分（同期誤差）を示す第２同期位置誤差を生成する。第２同期位置誤差は、たとえば自身の第２制御位置誤差から他の第１制御位置誤差を減算したものでよい。この場合、第１フィードバック制御系３０に対する第２フィードバック制御系７０の同期誤差が得られる。
第２位置同期補償器７３は、第２同期位置誤差から、第２位置同期誤差補償量を生成する。本実施形態では、第１フィードバック制御系３０と第２フィードバック制御系７０との間で相互に補償をかけているので、第１位置同期補償器３３および第２位置同期補償器７３には比例制御器を用いるとよい。
第２同期補償位置誤差生成器７４は、第２フィードバック制御系７０での制御位置誤差である第２制御位置誤差と、２個のフィードバック制御系間の同期位置誤差である第２位置同期誤差補償量とに基づいて、同期補償処理後の第２制御位置誤差を生成する。同期補償処理後の第２制御位置誤差は、たとえば第２制御位置誤差と第２位置同期誤差補償量とを加算した合計値でよい。
第２位置制御器７５は、同期補償処理後の第２制御位置誤差から、第２制御速度を生成する。第２位置制御器７５は、第２フィードバック制御系７０での制御位置誤差と、第１フィードバック制御系３０を基準とした第２フィードバック制御系７０の同期位置誤差とに応じた第２制御速度を生成する。そして、第１フィードバック制御系３０の制御位置と比較して第２フィードバック制御系７０の制御位置が遅れると、第２制御速度は大きくなる。
これ以外の図２のモータ制御装置１の構成および動作は、図１のもの同様であり、説明を省略する。 [Second Embodiment]
FIG. 2 is a block diagram of the motor control device 1 according to the second embodiment of the present invention.
In the motor control device 1 of FIG. 2, as compared with that of FIG. 1, the second feedback control system 70 has a second synchronous position error generator 72, a second position synchronous compensator 73, and a second synchronous compensation position error generator. It differs in that it has 74.
The second synchronization position error generator 72, the second position synchronization compensation device 73, and the second synchronization compensation position error generator 74 are the first synchronization position error generator 32, the first position synchronization compensation device 33, and the first synchronization. Corresponds to the compensation position error generator 34.
The second synchronous position error generator 72 is based on its own second control position error and the first control position error generated by the first control position error generator 31, and the difference between these control position errors (synchronization error). ) Is generated. The second synchronous position error may be, for example, a value obtained by subtracting another first control position error from its own second control position error. In this case, a synchronization error of the second feedback control system 70 with respect to the first feedback control system 30 can be obtained.
The second position synchronization compensator 73 generates a second position synchronization error compensation amount from the second synchronization position error. In the present embodiment, since the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 are mutually compensated, the first position synchronization compensator 33 and the second position synchronization compensator 73 are proportionally controlled. It is good to use a vessel.
The second synchronous compensation position error generator 74 has a second control position error which is a control position error in the second feedback control system 70 and a second position synchronization error compensation which is a synchronous position error between two feedback control systems. A second control position error after synchronous compensation processing is generated based on the quantity. The second control position error after the synchronization compensation process may be, for example, the total value obtained by adding the second control position error and the second position synchronization error compensation amount.
The second position controller 75 generates the second control speed from the second control position error after the synchronization compensation process. The second position controller 75 determines the second control speed according to the control position error in the second feedback control system 70 and the synchronous position error of the second feedback control system 70 with reference to the first feedback control system 30. Generate. Then, when the control position of the second feedback control system 70 is delayed as compared with the control position of the first feedback control system 30, the second control speed increases.
Other than this, the configuration and operation of the motor control device 1 of FIG. 2 are the same as those of FIG. 1, and the description thereof will be omitted.

そして、本実施形態では、第１フィードバック制御系３０および第２フィードバック制御系７０は、２軸間の位置誤差をそれらの間で互いに補償できる。その結果、個々のフィードバック制御系の制御応答が高くなくても、軸間の位置誤差を小さくして同期精度を高めることができる。第１実施形態よりも更に高い同期精度を期待し得る。
このため、たとえば第１フィードバック制御系３０および第２フィードバック制御系７０を同じ振動モデルに追従させることにより同期誤差が発生し難いようにしつつも、さらにそれでも他の原因により発生する軸間の同期誤差を第１実施形態より効果的に抑制することができる。
このように本実施形態では、１個の可動部を複数個（ここでは２個）のモータで駆動する機械において同じモデルを用いて個々のモデル制御系を構成するとともに該モデルに追従させて実際のフィードバック制御系に制御を実行させることにより、機台振動が生じ得るような場合であってもこの機台とテーブル４との間の振動を抑制して２個のモータの間での同期精度を確保でき、その結果として高速高精度な位置決めを実現できる。 Then, in the present embodiment, the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 can compensate each other for the positional error between the two axes. As a result, even if the control response of each feedback control system is not high, the positional error between the axes can be reduced and the synchronization accuracy can be improved. Even higher synchronization accuracy can be expected than in the first embodiment.
Therefore, for example, by making the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 follow the same vibration model, synchronization error is less likely to occur, but synchronization error between axes still occurs due to other causes. Can be more effectively suppressed than in the first embodiment.
As described above, in the present embodiment, an individual model control system is configured by using the same model in a machine in which one moving part is driven by a plurality of (here, two) motors, and the model is actually followed. By letting the feedback control system of the above perform control, even if the machine base vibration may occur, the vibration between the machine machine and the table 4 is suppressed and the synchronization accuracy between the two motors is accurate. As a result, high-speed and high-precision positioning can be realized.

［第３実施形態］
図３は、本発明の第３実施形態に係るモータ制御装置１のブロック図である。
図３のモータ制御装置１は、第１モデル制御系１０、第１フィードバック制御系３０、第２モデル制御系５０、および第２フィードバック制御系７０を有し、図１のモータ制御装置１と同様に第１モータ２と第２モータ３との２個のモータが共同して１個の可動部を駆動して可動部を高速高精度に位置決めできるものである。
以下、図１のモータ制御装置１と相違点を中心に説明する。また、図１のモータ制御装置１と同様の構成要素については、図１と同様の符号を付してその説明を省略する。 [Third Embodiment]
FIG. 3 is a block diagram of the motor control device 1 according to the third embodiment of the present invention.
The motor control device 1 of FIG. 3 has a first model control system 10, a first feedback control system 30, a second model control system 50, and a second feedback control system 70, and is the same as the motor control device 1 of FIG. In addition, two motors, the first motor 2 and the second motor 3, jointly drive one movable portion so that the movable portion can be positioned at high speed and with high accuracy.
Hereinafter, the differences from the motor control device 1 of FIG. 1 will be mainly described. Further, the same components as those of the motor control device 1 of FIG. 1 are designated by the same reference numerals as those of FIG. 1, and the description thereof will be omitted.

第１フィードバック制御系３０は、第１制御位置誤差生成器３１、第１同期位置誤差生成器３２、第１位置同期補償器３３、第１同期補償位置誤差生成器３４、第１位置制御器３５、第１検出速度生成器３６、第１制御速度誤差生成器３７、第１速度制御器３８、第１制御トルク生成器３９、第１トルク制御器４１、を有する。
そして、第１制御位置誤差生成器３１、第１同期補償位置誤差生成器３４、第１位置制御器３５、第１制御速度誤差生成器３７、第１速度制御器３８、第１制御トルク生成器３９、第１トルク制御器４１、第１モータ２、および第１センサ４２は、第１モータ２を実際に制御するフィードバックループを構成する。
第１トルク制御器４１は、第１制御トルク生成器３９から出力される第１合計制御トルクに基づいて第１モータ２を制御する。 The first feedback control system 30 includes a first control position error generator 31, a first synchronous position error generator 32, a first position synchronous compensator 33, a first synchronous compensation position error generator 34, and a first position controller 35. , A first detection speed generator 36, a first control speed error generator 37, a first speed controller 38, a first control torque generator 39, and a first torque controller 41.
Then, the first control position error generator 31, the first synchronous compensation position error generator 34, the first position controller 35, the first control speed error generator 37, the first speed controller 38, and the first control torque generator 39, the first torque controller 41, the first motor 2, and the first sensor 42 form a feedback loop that actually controls the first motor 2.
The first torque controller 41 controls the first motor 2 based on the first total control torque output from the first control torque generator 39.

第１モデル制御系１０は、外部位置指令を入力とし、第１フィードバック制御系３０に対応するモデルを用いて第１フィードバック制御系３０の仮想的な動作を演算し、第１フィードバック制御系３０に与える第１モデル指令を生成する。
本実施形態の第１モデル制御系１０は、第１フィードバック制御系３０の動作を演算するために、第１モデル位置誤差演算器１１、第１モデル位置制御器１２、第１前段状態補償モデル速度誤差演算器９１、第１後段状態補償モデル速度誤差演算器９２、第１モデル速度制御器１５、第１前段状態補償モデルトルク誤差演算器９３、第１後段状態補償モデルトルク誤差演算器９４、第１二慣性モデル９５、第１トルク帰還量演算器１０６、第１速度帰還量演算器１０７、を有する。
そして、第１モデル位置誤差演算器１１、第１モデル位置制御器１２、第１前段状態補償モデル速度誤差演算器９１、第１後段状態補償モデル速度誤差演算器９２、第１モデル速度制御器１５、第１前段状態補償モデルトルク誤差演算器９３、第１後段状態補償モデルトルク誤差演算器９４、および第１二慣性モデル９５は、第１モデル制御系１０のメインフィードバックループを構成する。この第１モデル制御系１０のメインフィードバックループは、第１フィードバック制御系３０のフィードバックループと対応する。 The first model control system 10 receives an external position command as an input, calculates a virtual operation of the first feedback control system 30 using a model corresponding to the first feedback control system 30, and causes the first feedback control system 30 to calculate a virtual operation. Generate the first model command to give.
The first model control system 10 of the present embodiment has the first model position error calculator 11, the first model position controller 12, and the first front stage state compensation model speed in order to calculate the operation of the first feedback control system 30. Error calculator 91, 1st rear stage state compensation model speed error calculator 92, 1st model speed controller 15, 1st front stage state compensation model torque error calculator 93, 1st rear stage state compensation model torque error calculator 94, 1st (1) It has a two-inertia model 95, a first torque feedback amount calculator 106, and a first speed feedback amount calculator 107.
Then, the first model position error calculator 11, the first model position controller 12, the first front stage state compensation model speed error calculator 91, the first rear stage state compensation model speed error calculator 92, and the first model speed controller 15 The first front stage state compensation model torque error calculator 93, the first rear stage state compensation model torque error calculator 94, and the first second inertia model 95 form a main feedback loop of the first model control system 10. The main feedback loop of the first model control system 10 corresponds to the feedback loop of the first feedback control system 30.

第１二慣性モデル９５は、第１モータ２からテーブル４までの機械系の動作としてテーブル４が振動する動作を演算する。
二慣性モデルは、機械系を、第１モータ２側に相当するモータ側モデルと、テーブル４側に相当する負荷側モデルとの２個のモデルで表わし、それらの間のねじり振動成分を考慮したモデルである。
本実施形態の第１二慣性モデル９５は、第１モータ側モデル９６、第１前段モータ側積分器９７、第１後段モータ側積分器９８、第１ねじりトルク演算器９９、第１負荷側モデル１００、第１前段負荷側積分器１０１、第１後段負荷側積分器１０２、第１モデル内加速度誤差演算器１０３、第１モデル内速度誤差演算器１０４、第１モデル内位置誤差演算器１０５、を有する。
第１モータ側モデル９６は、第１二慣性モデル９５に入力される後述する状態補償後の第１モデルトルクに、モータ側イナーシャを考慮した１／ＪＭのゲインを乗算して第１モータ側モデル加速度を演算する。
第１前段モータ側積分器９７は、第１モータ側モデル加速度を積分して第１モータ側モデル速度を演算する。第１モータ側モデル速度は、第１二慣性モデル９５が生成するモデル速度として用いることができ、第１モデル速度指令として出力される。
第１後段モータ側積分器９８は、第１モータ側モデル速度を積分して第１モータ側モデル位置を演算する。第１モータ側モデル位置は、第１二慣性モデル９５が生成するモデル位置として用いることができ、第１モデル位置指令として出力される。
第１負荷側モデル１００は、第１ねじりトルク演算器９９が演算する第１ねじりトルクに、負荷側イナーシャを考慮した１／ＪＬのゲインを乗算して第１負荷側モデル加速度を演算する。
第１前段負荷側積分器１０１は、第１負荷側モデル加速度を積分して第１負荷側モデル速度を演算する。
第１後段負荷側積分器１０２は、第１負荷側モデル速度を積分して第１負荷側モデル位置を演算する。
第１モデル内加速度誤差演算器１０３は、第１モータ側モデル加速度から第１負荷側モデル加速度を減算して第１モデル内加速度誤差を演算する。
第１モデル内速度誤差演算器１０４は、第１モータ側モデル速度から第１負荷側モデル速度を減算して第１モデル内速度誤差を演算する。
第１モデル内位置誤差演算器１０５は、第１モータ側モデル位置から第１負荷側モデル位置を減算して第１モデル内位置誤差を演算する。
第１ねじりトルク演算器９９は、第１モデル内位置誤差にねじり剛性に対応するゲインＫＢを乗算して第１ねじりトルクを生成する。
このような振動モデルにより、二慣性モデルは、モータ側モデルと負荷側モデルとの間でねじり振動を生じる動作を演算することができる。 The first second inertia model 95 calculates the operation of the table 4 vibrating as the operation of the mechanical system from the first motor 2 to the table 4.
In the two-inertia model, the mechanical system is represented by two models, a motor-side model corresponding to the first motor 2 side and a load-side model corresponding to the table 4 side, and the torsional vibration component between them is taken into consideration. It is a model.
The first second inertia model 95 of the present embodiment includes a first motor side model 96, a first front stage motor side integrator 97, a first rear stage motor side integrator 98, a first torsional torque calculator 99, and a first load side model. 100, 1st front load side integrator 101, 1st rear load side integrator 102, 1st model in-model acceleration error integrator 103, 1st model in-speed error integrator 104, 1st model in-model position error integrator 105, Have.
The first motor side model 96 is obtained by multiplying the first model torque after state compensation, which will be described later, input to the first second inertia model 95 by a gain of 1 / JM in consideration of the motor side inertia, and the first motor side. Calculate the model acceleration.
The first front stage motor side integrator 97 integrates the first motor side model acceleration to calculate the first motor side model speed. The first motor side model speed can be used as the model speed generated by the first second inertia model 95, and is output as the first model speed command.
The first rear stage motor side integrator 98 integrates the first motor side model speed to calculate the first motor side model position. The first motor side model position can be used as a model position generated by the first second inertia model 95, and is output as a first model position command.
The first load side model 100 calculates the first load side model acceleration by multiplying the first torsion torque calculated by the first torsion torque calculator 99 by a gain of 1 / J L in consideration of the load side inertia.
The first first stage load side integrator 101 integrates the first load side model acceleration to calculate the first load side model speed.
The first second-stage load-side integrator 102 integrates the first load-side model speed to calculate the first load-side model position.
The first model in-model acceleration error calculator 103 calculates the first in-model acceleration error by subtracting the first load side model acceleration from the first motor side model acceleration.
The speed error calculator 104 in the first model calculates the speed error in the first model by subtracting the model speed on the first load side from the model speed on the first motor side.
The position error calculator 105 in the first model calculates the position error in the first model by subtracting the model position on the first load side from the model position on the first motor side.
The first torsional torque calculator 99 generates the first torsional torque by multiplying the position error in the first model by the gain KB corresponding to the torsional rigidity.
With such a vibration model, the bi-inertia model can calculate the motion that causes torsional vibration between the motor-side model and the load-side model.

第１トルク帰還量演算器１０６および第１速度帰還量演算器１０７は、二慣性モデルの状態のフィードバック量である帰還量を演算する。
第１トルク帰還量演算器１０６は、第１モデル内加速度誤差に帰還ゲインＫＡＢを乗算して第１トルク帰還量を演算する。
第１速度帰還量演算器１０７は、第１モデル内速度誤差に帰還ゲインＫＶＢを乗算して第１速度帰還量を演算する。 The first torque feedback amount calculator 106 and the first speed feedback amount calculator 107 calculate the feedback amount which is the feedback amount of the state of the bi-inertia model.
The first torque feedback amount calculator 106 calculates the first torque feedback amount by multiplying the acceleration error in the first model by the feedback gain KAB.
The first speed feedback amount calculator 107 calculates the first speed feedback amount by multiplying the speed error in the first model by the feedback gain KVB.

第１前段状態補償モデル速度誤差演算器９１は、第１モデル位置制御器１２が演算した第１モデル速度から第１速度帰還量を減算する。
第１後段状態補償モデル速度誤差演算器９２は、第１前段状態補償モデル速度誤差演算器９１の演算結果から第１モータ側モデル速度を減算する。
これにより、第１モデル速度と第１モータ側モデル速度との第１モデル速度誤差から、第１二慣性モデル９５で演算される速度に関する状態帰還量を減算して補償した状態補償後の第１モデル速度誤差が得られる。第１モデル速度制御器１５は、状態補償後の第１モデル速度誤差から第１モデルトルクを演算する。 The first first stage state compensation model speed error calculator 91 subtracts the first speed feedback amount from the first model speed calculated by the first model position controller 12.
The first rear stage state compensation model speed error calculator 92 subtracts the first motor side model speed from the calculation result of the first front stage state compensation model speed error calculator 91.
As a result, the first after state compensation is compensated by subtracting the state feedback amount related to the speed calculated by the first second inertia model 95 from the first model speed error between the first model speed and the first motor side model speed. The model velocity error is obtained. The first model speed controller 15 calculates the first model torque from the first model speed error after the state compensation.

第１前段状態補償モデルトルク誤差演算器９３は、第１モデルトルクから第１トルク帰還量を減算する。
第１後段状態補償モデルトルク誤差演算器９４は、第１前段状態補償モデルトルク誤差演算器９３の演算結果から第１ねじりトルクを減算する。
これにより、第１モデルトルクと第１ねじりトルクとの第１モデルトルク誤差から、第１二慣性モデル９５で演算される加速度に関する状態帰還量を減算して補償した状態補償後の第１モデルトルク誤差が得られる。この状態補償後の第１モデルトルク誤差が、第１二慣性モデル９５の第１モータ側モデル９６へ出力される。また、状態補償後の第１モデルトルク誤差は、第１二慣性モデル９５に与えられるモデルトルクであり、第１モデルトルク指令として出力される。 The first first stage state compensation model torque error calculator 93 subtracts the first torque feedback amount from the first model torque.
The first rear stage state compensation model torque error calculator 94 subtracts the first torsional torque from the calculation result of the first front stage state compensation model torque error calculator 93.
As a result, the first model torque after state compensation is compensated by subtracting the state feedback amount related to the acceleration calculated by the first second inertia model 95 from the first model torque error between the first model torque and the first torsional torque. An error is obtained. The first model torque error after this state compensation is output to the first motor side model 96 of the first second inertia model 95. Further, the first model torque error after the state compensation is the model torque given to the first second inertia model 95, and is output as the first model torque command.

このような第１フィードバック制御系３０に対応するフィードバック制御により、第１モデル制御系１０は、第１モデル位置指令、第１モデル速度指令および第１モデルトルク指令を生成する。
また、第１モデル制御系１０の各要素には、テーブル４に所望の位置決め制御を可能とするための制御パラメータを設定すればよい。
本実施形態のように二慣性系の機械モデルを用いてモータ側モデルと負荷側モデルとの間での加速度差（モデル内加速度誤差）と速度差（モデル内速度誤差）との状態フィードバックを行う場合、現代制御理論を適用することでテーブル４が振動を生じないように安定するパラメータを算出できる。モデル制御系の状態方程式に対する特性方程式が４重根を持つようにパラメータを算出して設定することにより、テーブル４は振動を生じないように安定する。 By the feedback control corresponding to the first feedback control system 30, the first model control system 10 generates the first model position command, the first model speed command, and the first model torque command.
Further, control parameters for enabling desired positioning control may be set in the table 4 for each element of the first model control system 10.
As in this embodiment, the state feedback of the acceleration difference (acceleration error in the model) and the speed difference (speed error in the model) between the motor side model and the load side model is performed by using the mechanical model of the bi-inertia system. In this case, by applying the modern control theory, it is possible to calculate the parameters that stabilize the table 4 so as not to cause vibration. By calculating and setting the parameters so that the characteristic equation for the equation of state of the model control system has quadruple roots, the table 4 is stabilized so as not to cause vibration.

第２フィードバック制御系７０は、第２制御位置誤差生成器７１、第２位置制御器７５、第２検出速度生成器７６、第２制御速度誤差生成器７７、第２速度制御器７８、第２制御トルク生成器７９、第２トルク制御器８１、を有する。
そして、第２制御位置誤差生成器７１、第２位置制御器７５、第２検出速度生成器７６、第２制御速度誤差生成器７７、第２速度制御器７８、第２制御トルク生成器７９、第２トルク制御器８１、第２モータ３、および第２センサ８２は、第２モータ３を実際に制御するフィードバックループを構成する。
これら第２フィードバック制御系７０の各構成要素は、第１フィードバック制御系３０において番号が異なる同名の構成要素と同一であり、その詳細な説明を省略する。
ただし、第２位置制御器７５は、第２制御位置誤差生成器７１が生成した第２制御位置誤差から、第２制御速度を生成する。つまり、第１フィードバック制御系３０とは異なり、同期補償処理をしていない第２制御位置誤差に基づいて第２制御速度を生成する。 The second feedback control system 70 includes a second control position error generator 71, a second position controller 75, a second detection speed generator 76, a second control speed error generator 77, a second speed controller 78, and a second. It has a control torque generator 79 and a second torque controller 81.
Then, the second control position error generator 71, the second position controller 75, the second detection speed generator 76, the second control speed error generator 77, the second speed controller 78, the second control torque generator 79, The second torque controller 81, the second motor 3, and the second sensor 82 form a feedback loop that actually controls the second motor 3.
Each component of the second feedback control system 70 is the same as the component having the same name but different numbers in the first feedback control system 30, and detailed description thereof will be omitted.
However, the second position controller 75 generates the second control speed from the second control position error generated by the second control position error generator 71. That is, unlike the first feedback control system 30, the second control speed is generated based on the second control position error without the synchronous compensation processing.

第２モデル制御系５０は、第２フィードバック制御系７０の動作を演算するために、第２モデル位置誤差演算器５１、第２モデル位置制御器５２、第２前段状態補償モデル速度誤差演算器１１１、第２後段状態補償モデル速度誤差演算器１１２、第２モデル速度制御器５５、第２前段状態補償モデルトルク誤差演算器１１３、第２後段状態補償モデルトルク誤差演算器１１４、第２二慣性モデル１１５、第２トルク帰還量演算器１２６、第２速度帰還量演算器１２７、を有する。
また、第２二慣性モデル１１５は、第２モータ側モデル１１６、第２前段モータ側積分器１１７、第２後段モータ側積分器１１８、第２ねじりトルク演算器１１９、第２負荷側モデル１２０、第２前段負荷側積分器１２１、第２後段負荷側積分器１２２、第２モデル内加速度誤差演算器１２３、第２モデル内速度誤差演算器１２４、第２モデル内位置誤差演算器１２５、を有する。
そして、第２モデル位置誤差演算器５１、第２モデル位置制御器５２、第２前段状態補償モデル速度誤差演算器１１１、第２後段状態補償モデル速度誤差演算器１１２、第２モデル速度制御器５５、第２前段状態補償モデルトルク誤差演算器１１３、第２後段状態補償モデルトルク誤差演算器１１４、および第２二慣性モデル１１５は、第２モデル制御系５０のメインフィードバックループを構成する。この第２モデル制御系５０のメインフィードバックループは、第２フィードバック制御系７０のフィードバックループと対応する。
これら第２モデル制御系５０の各構成要素は、第１モデル制御系１０において番号が異なる同名の構成要素と同一であり、その詳細な説明を省略する。第２モデル制御系５０の各部のパラメータには、第１モデル制御系１０と同じ値が設定される。
そして、以下の説明において、第２フィードバック制御系７０および第２モデル制御系５０での各種の信号名には、対応する第１フィードバック制御系３０および第１モデル制御系１０での各種の信号名の番号を第１から第２へ変更したものを使用する。
また、軸１の制御系と軸２の制御系とで同じ値のパラメータを使用することにより、第１モデル制御系１０および第２モデル制御系５０からの指令は各軸同時に同じ値で出力される。これにより、軸間のトルク印加が同時になる。 The second model control system 50 has a second model position error calculator 51, a second model position controller 52, and a second front stage state compensation model speed error calculator 111 in order to calculate the operation of the second feedback control system 70. , 2nd stage state compensation model speed error calculator 112, 2nd model speed controller 55, 2nd front stage state compensation model torque error calculator 113, 2nd stage state compensation model torque error calculator 114, 2nd second inertia model It has 115, a second torque feedback amount calculator 126, and a second speed feedback amount calculator 127.
The second second inertia model 115 includes a second motor side model 116, a second front stage motor side integrator 117, a second rear stage motor side integrator 118, a second torsional torque calculator 119, and a second load side model 120. It has a second front-stage load-side integrator 121, a second-stage load-side integrator 122, a second in-model acceleration error integrator 123, a second in-model in-speed error integrator 124, and a second in-model position error integrator 125. ..
Then, the second model position error calculator 51, the second model position controller 52, the second front stage state compensation model speed error calculator 111, the second rear stage state compensation model speed error calculator 112, and the second model speed controller 55. , The second front stage state compensation model torque error calculator 113, the second rear stage state compensation model torque error calculator 114, and the second second inertia model 115 form the main feedback loop of the second model control system 50. The main feedback loop of the second model control system 50 corresponds to the feedback loop of the second feedback control system 70.
Each component of the second model control system 50 is the same as the component having the same name but different numbers in the first model control system 10, and detailed description thereof will be omitted. The same values as those of the first model control system 10 are set in the parameters of each part of the second model control system 50.
In the following description, the various signal names in the second feedback control system 70 and the second model control system 50 include various signal names in the corresponding first feedback control system 30 and the first model control system 10. The number of is changed from the first to the second.
Further, by using the parameters of the same value in the control system of the axis 1 and the control system of the axis 2, the commands from the first model control system 10 and the second model control system 50 are output with the same value at the same time for each axis. To. As a result, torque is applied between the shafts at the same time.

次に、図３のモータ制御装置１の動作について説明する。 Next, the operation of the motor control device 1 of FIG. 3 will be described.

テーブル４の位置を制御するために、第１モデル制御系１０および第２モデル制御系５０には、上位のコントローラから共通の外部位置指令が同時に供給される。 In order to control the position of the table 4, a common external position command is simultaneously supplied to the first model control system 10 and the second model control system 50 from the upper controller.

外部位置指令が供給された第１モデル制御系１０は、外部位置指令から第１モデル位置を減算し、第１モデル位置誤差から第１モデル速度を演算する。また、第１モデル速度から第１速度帰還量を減算し、さらに第１モータ側モデル速度を減算して、状態補償後の第１モデル速度誤差を演算する。また、状態補償後の第１モデル速度誤差から第１モデルトルクを演算し、第１モデルトルクから第１トルク帰還量を減算し、さらに第１ねじりトルクを減算して、状態補償後の第１モデルトルク誤差を演算する。
第１二慣性モデル９５では、まず、状態補償後の第１モデルトルク誤差から第１モータ側モデル加速度を演算し、さらに第１モータ側モデル速度と第１モータ側モデル位置とを演算する。また、第１ねじりトルクから第１負荷側モデル加速度を演算し、さらに第１負荷側モデル速度と第１負荷側モデル位置とを演算する。また、モータ側と負荷側との差分である第１モデル内加速度誤差、第１モデル内速度誤差および第１モデル内位置誤差を演算する。また、第１ねじりトルク、第１トルク帰還量、および第１速度帰還量を演算する。
この一連の演算処理により、第１モデル制御系１０は、第１モデル指令としての第１モデル位置指令、第１モデル速度指令、第１モデルトルク指令を生成して第１フィードバック制御系３０へ出力する。 The first model control system 10 to which the external position command is supplied subtracts the first model position from the external position command and calculates the first model speed from the first model position error. Further, the first speed feedback amount is subtracted from the first model speed, and the model speed on the first motor side is further subtracted to calculate the first model speed error after state compensation. Further, the first model torque is calculated from the first model speed error after the state compensation, the first torque feedback amount is subtracted from the first model torque, and the first torsion torque is further subtracted to obtain the first after the state compensation. Calculate the model torque error.
In the first second inertia model 95, first, the first motor side model acceleration is calculated from the first model torque error after the state compensation, and further, the first motor side model speed and the first motor side model position are calculated. Further, the first load side model acceleration is calculated from the first torsion torque, and further, the first load side model speed and the first load side model position are calculated. Further, the acceleration error in the first model, the velocity error in the first model, and the position error in the first model, which are the differences between the motor side and the load side, are calculated. In addition, the first torsion torque, the first torque feedback amount, and the first speed feedback amount are calculated.
Through this series of arithmetic processing, the first model control system 10 generates a first model position command, a first model speed command, and a first model torque command as first model commands and outputs them to the first feedback control system 30. do.

第１モデル指令が供給された第１フィードバック制御系３０は、第１モデル位置指令と第１センサ４２から得られる第１検出位置との位置誤差を示す第１制御位置誤差を生成する。
また、第１フィードバック制御系３０は、自身の第１制御位置誤差と第２制御位置誤差生成器７１により生成される第２制御位置誤差との位置誤差の差分（同期誤差）を示す第１同期位置誤差を生成し、第１位置同期誤差補償量を生成する。また、第１制御位置誤差と第１位置同期誤差補償量とから同期補償処理後の第１制御位置誤差を生成し、第１制御速度を生成する。
また、第１フィードバック制御系３０は、第１制御速度、第１検出速度、および第１モデル速度指令から第１制御速度誤差を生成し、第１制御トルクを生成する。
また、第１フィードバック制御系３０は、第１制御トルクおよび第１モデルトルク指令から第１合計制御トルクを生成する。そして、第１トルク制御器４１は、第１合計制御トルクに基づいて第１モータ２を制御する。第１センサ４２は、第１モータ２の回転位置を検出する。また、第１検出速度生成器３６は、第１センサ４２が検出した回転位置から第１検出速度を生成する。 The first feedback control system 30 to which the first model command is supplied generates a first control position error indicating a position error between the first model position command and the first detection position obtained from the first sensor 42.
Further, the first feedback control system 30 shows a difference in position error (synchronization error) between its own first control position error and the second control position error generated by the second control position error generator 71. A position error is generated, and a first position synchronization error compensation amount is generated. Further, the first control position error after the synchronization compensation process is generated from the first control position error and the first position synchronization error compensation amount, and the first control speed is generated.
Further, the first feedback control system 30 generates a first control speed error from the first control speed, the first detection speed, and the first model speed command, and generates the first control torque.
Further, the first feedback control system 30 generates the first total control torque from the first control torque and the first model torque command. Then, the first torque controller 41 controls the first motor 2 based on the first total control torque. The first sensor 42 detects the rotational position of the first motor 2. Further, the first detection speed generator 36 generates the first detection speed from the rotation position detected by the first sensor 42.

また、第１モデル制御系１０と同時に同じ外部位置指令が供給される第２モデル制御系５０は、上述した第１モデル制御系１０と同じフィードバック制御を実行する。第２モデル制御系５０から第２モデル指令が供給される第２フィードバック制御系７０も、上述した第１フィードバック制御系３０と同じフィードバック制御を実行する。 Further, the second model control system 50 to which the same external position command is supplied at the same time as the first model control system 10 executes the same feedback control as the first model control system 10 described above. The second feedback control system 70 to which the second model command is supplied from the second model control system 50 also executes the same feedback control as the first feedback control system 30 described above.

そして、本実施形態では、２個のフィードバック制御系の各々は、外部位置指令ではなく、モデル指令に基づいて各々のモータをフィードバック制御する。しかも、外部位置指令からモデル指令を生成する２個のモデル制御系は、２個のモータで可動部を駆動する際のモータから可動部までの機械系の動きに対応している二慣性モデルを含むとともに、二慣性モデルの状態をフィードバックしてモータから可動部までの機械系の振動に起因したテーブル４の振動を抑制することにより、テーブル４の振動を抑制して安定化させる。これにより、２個のフィードバック制御系はモデルに追従してテーブル４の振動を生じないように安定化させたフィードバック制御を互いに独立して実行し、２個のモータは外部位置指令に対して同様に追従するように制御され得る。２個のフィードバック制御系は、同時に入力される共通の外部位置指令に基づいて２個のモータを互いに同期させるように制御することができる。そして、モータから可動部までの機械系において振動を生ずるような場合においてもテーブル４の振動を抑制して、２個のモータを互いに同期させることができる。
しかも、本実施形態では、第１フィードバック制御系３０は、第２フィードバック制御系７０の制御誤差との差分により、自身の制御誤差を補償する。第１フィードバック制御系３０は、その制御誤差が第２フィードバック制御系７０の制御誤差に対してずれが生じないように同期させながら、自身のフィードバック制御を実行する。すなわち、２個のモータを互いに独立したフィードバック制御系により互いに独立して制御しながらも、第１フィードバック制御系３０と第２フィードバック制御系７０との間で生じ得る制御誤差のずれを補償することができる。これら２個のフィードバック制御系の間で生じ得る制御誤差のずれを２個のフィードバック制御系の間で補償することができる。
このように、本実施形態では、１個の可動部を共同して可動させる２個のモータを共通の外部位置指令で、かつ、モータからテーブル４までの機械系の振動を補償するように状態をフィードバックする同じ二慣性モデルでモデル追従制御を行うことにより、２個のフィードバック制御系に与えるトルク指令を全軸で同一にする事ができる。これにより、モータからテーブル４までの機械系に振動が生ずる場合であってもテーブル４の振動を抑えて２個のフィードバック制御系の制御誤差の間でずれが発生し難いように制御を実行することができる。
しかも、それでも他の原因により２個のフィードバック制御系の間で生じ得る微小な制御誤差のずれを２個のフィードバック制御系の間で補償している。よって、２個のモータの制御系は、振動に起因する同期ずれが発生し難い制御と同期ずれを抑える制御とが二重化された制御により１個の可動部を２個のモータで制御する場合での２個のモータの同期精度を高めることができる。
その結果、本実施形態では、１個の可動部を２個のモータで駆動する機械において、モータとテーブル４との間で振動が生じ得るような場合であっても、テーブル４の振動を抑制して指令に対する追従性を向上させることができ、さらに２個のモータの間での同期精度を確保でき、その結果として高速高精度な位置決めを実現できる。 Then, in the present embodiment, each of the two feedback control systems feedback-controls each motor based on the model command instead of the external position command. Moreover, the two model control systems that generate model commands from external position commands are bi-inertia models that correspond to the movement of the mechanical system from the motor to the movable part when the movable part is driven by the two motors. In addition, by feeding back the state of the bi-inertia model and suppressing the vibration of the table 4 caused by the vibration of the mechanical system from the motor to the moving part, the vibration of the table 4 is suppressed and stabilized. As a result, the two feedback control systems follow the model and execute feedback control stabilized so as not to cause vibration of the table 4, independently of each other, and the two motors similarly perform the same for the external position command. Can be controlled to follow. The two feedback control systems can control the two motors to synchronize with each other based on a common external position command input at the same time. Further, even when vibration is generated in the mechanical system from the motor to the movable portion, the vibration of the table 4 can be suppressed and the two motors can be synchronized with each other.
Moreover, in the present embodiment, the first feedback control system 30 compensates for its own control error by the difference from the control error of the second feedback control system 70. The first feedback control system 30 executes its own feedback control while synchronizing the control error with respect to the control error of the second feedback control system 70 so as not to cause a deviation. That is, while controlling the two motors independently of each other by the feedback control system independent of each other, it is possible to compensate for the deviation of the control error that may occur between the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70. Can be done. The deviation of the control error that may occur between these two feedback control systems can be compensated between the two feedback control systems.
As described above, in the present embodiment, the two motors that jointly move one movable portion are in a state of compensating for the vibration of the mechanical system from the motor to the table 4 by a common external position command. By performing model follow-up control with the same two-inertia model that feeds back, the torque commands given to the two feedback control systems can be made the same for all axes. As a result, even if vibration occurs in the mechanical system from the motor to the table 4, the vibration of the table 4 is suppressed and the control is executed so that the deviation between the control errors of the two feedback control systems is unlikely to occur. be able to.
Moreover, even so, a minute deviation in control error that may occur between the two feedback control systems due to other causes is compensated between the two feedback control systems. Therefore, in the control system of two motors, one movable part is controlled by two motors by a dual control of a control that is unlikely to cause a synchronization shift due to vibration and a control that suppresses the synchronization shift. The synchronization accuracy of the two motors can be improved.
As a result, in the present embodiment, in a machine in which one moving portion is driven by two motors, vibration of the table 4 is suppressed even when vibration may occur between the motor and the table 4. Therefore, the followability to the command can be improved, and the synchronization accuracy between the two motors can be ensured, and as a result, high-speed and high-precision positioning can be realized.

なお、上記実施形態は、可動部を２個のモータで駆動するために、２組のモデル制御系およびフィードバック制御系を用いる例である。また、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器を、１個目のフィードバック制御系に適用した例である。
この他にも、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器は、２個目のフィードバック制御系に適用してもよい。
さらに他にも、可動部を３個以上のモータで駆動してもよい。この場合、モデル制御系およびフィードバック制御系は、基本的にモータと同数組で設ければよい。また、Ｎ（Ｎは２以上の自然数）個のモータを使用する場合、同期位置誤差生成器、位置同期補償器、および同期補償位置誤差生成器は、（Ｎ－１）個のフィードバック制御系に設ければよい。この（Ｎ－１）個のフィードバック制御系において（Ｎ－１）個の同期位置誤差生成器は、残りの１個のフィードバック制御系の制御位置誤差との間で位置同期誤差を生成すればよい。 The above embodiment is an example in which two sets of model control system and feedback control system are used to drive the movable portion by two motors. Further, it is an example in which the synchronization position error generator, the position synchronization compensation device, and the synchronization compensation position error generator are applied to the first feedback control system.
In addition, the synchronization position error generator, the position synchronization compensation device, and the synchronization compensation position error generator may be applied to the second feedback control system.
Furthermore, the movable portion may be driven by three or more motors. In this case, the model control system and the feedback control system may be provided in basically the same number of sets as the motor. Further, when N (N is a natural number of 2 or more) motors are used, the synchronous position error generator, the position synchronization compensator, and the synchronous compensation position error generator are combined with (N-1) feedback control systems. It may be provided. In this (N-1) feedback control system, the (N-1) synchronization position error generator may generate a position synchronization error with the control position error of the remaining one feedback control system. ..

［第４実施形態］
図４は、本発明の第４施形態に係るモータ制御装置１のブロック図である。
図４のモータ制御装置１は、図３のものと比べて、第２フィードバック制御系７０が第２同期位置誤差生成器７２、第２位置同期補償器７３、および第２同期補償位置誤差生成器７４を有する点で異なる。
第２同期位置誤差生成器７２、第２位置同期補償器７３、および第２同期補償位置誤差生成器７４は、第１同期位置誤差生成器３２、第１位置同期補償器３３、および第１同期補償位置誤差生成器３４と対応する。
第２同期位置誤差生成器７２は、自身の第２制御位置誤差と第１制御位置誤差生成器３１により生成される第１制御位置誤差とに基づいて、これらの制御位置誤差の差分（同期誤差）を示す第２同期位置誤差を生成する。第２同期位置誤差は、たとえば自身の第２制御位置誤差から他の第１制御位置誤差を減算したものでよい。この場合、第１フィードバック制御系３０に対する第２フィードバック制御系７０の同期誤差が得られる。
第２位置同期補償器７３は、第２同期位置誤差から、第２位置同期誤差補償量を生成する。本実施形態では、第１フィードバック制御系３０と第２フィードバック制御系７０との間で相互に補償をかけているので、第１位置同期補償器３３および第２位置同期補償器７３には比例制御器を用いるとよい。
第２同期補償位置誤差生成器７４は、第２フィードバック制御系７０での制御位置誤差である第２制御位置誤差と、２個のフィードバック制御系間の同期位置誤差である第２位置同期誤差補償量とに基づいて、同期補償処理後の第２制御位置誤差を生成する。同期補償処理後の第２制御位置誤差は、たとえば第２制御位置誤差と第２位置同期誤差補償量とを加算した合計値でよい。
第２位置制御器７５は、同期補償処理後の第２制御位置誤差から、第２制御速度を生成する。第２位置制御器７５は、第２フィードバック制御系７０での制御位置誤差と、第１フィードバック制御系３０を基準とした第２フィードバック制御系７０の同期位置誤差とに応じた第２制御速度を生成する。そして、第１フィードバック制御系３０の制御位置と比較して第２フィードバック制御系７０の制御位置が遅れると、第２制御速度は大きくなる。
これ以外の図４のモータ制御装置１の構成および動作は、図３のもの同様であり、説明を省略する。 [Fourth Embodiment]
FIG. 4 is a block diagram of the motor control device 1 according to the fourth embodiment of the present invention.
In the motor control device 1 of FIG. 4, as compared with that of FIG. 3, the second feedback control system 70 has a second synchronous position error generator 72, a second position synchronous compensator 73, and a second synchronous compensation position error generator. It differs in that it has 74.
The second synchronization position error generator 72, the second position synchronization compensation device 73, and the second synchronization compensation position error generator 74 are the first synchronization position error generator 32, the first position synchronization compensation device 33, and the first synchronization. Corresponds to the compensation position error generator 34.
The second synchronous position error generator 72 is based on its own second control position error and the first control position error generated by the first control position error generator 31, and the difference between these control position errors (synchronization error). ) Is generated. The second synchronous position error may be, for example, a value obtained by subtracting another first control position error from its own second control position error. In this case, a synchronization error of the second feedback control system 70 with respect to the first feedback control system 30 can be obtained.
The second position synchronization compensator 73 generates a second position synchronization error compensation amount from the second synchronization position error. In the present embodiment, since the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 are mutually compensated, the first position synchronization compensator 33 and the second position synchronization compensator 73 are proportionally controlled. It is good to use a vessel.
The second synchronous compensation position error generator 74 has a second control position error which is a control position error in the second feedback control system 70 and a second position synchronization error compensation which is a synchronous position error between two feedback control systems. A second control position error after synchronous compensation processing is generated based on the quantity. The second control position error after the synchronization compensation process may be, for example, the total value obtained by adding the second control position error and the second position synchronization error compensation amount.
The second position controller 75 generates the second control speed from the second control position error after the synchronization compensation process. The second position controller 75 determines the second control speed according to the control position error in the second feedback control system 70 and the synchronous position error of the second feedback control system 70 with reference to the first feedback control system 30. Generate. Then, when the control position of the second feedback control system 70 is delayed as compared with the control position of the first feedback control system 30, the second control speed increases.
Other than this, the configuration and operation of the motor control device 1 of FIG. 4 are the same as those of FIG. 3, and the description thereof will be omitted.

そして、本実施形態では、第１フィードバック制御系３０および第２フィードバック制御系７０は、２軸間の位置誤差をそれらの間で互いに補償できる。その結果、個々のフィードバック制御系の制御応答が高くなくても、軸間の位置誤差を小さくして同期精度を高めることができる。第３実施形態よりも更に高い同期精度を期待し得る。
このため、たとえば第１フィードバック制御系３０および第２フィードバック制御系７０を同じ振動モデルに追従させることにより同期誤差が発生し難いようにしつつも、さらにそれでも他の原因により発生する軸間の同期誤差を第３実施形態より効果的に抑制することができる。
このように本実施形態では、１個の可動部を複数個（ここでは２個）のモータで駆動する機械において同じ二慣性モデルを用いて個々のモデル制御系を構成するとともに該モデルに追従させて実際のフィードバック制御系に制御を実行させることにより、モータとテーブル４との間で振動が生じ得るような場合であってもテーブル４の間の振動を抑制して２個のモータの間での同期精度を確保でき、その結果として高速高精度な位置決めを実現できる。 Then, in the present embodiment, the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 can compensate each other for the positional error between the two axes. As a result, even if the control response of each feedback control system is not high, the positional error between the axes can be reduced and the synchronization accuracy can be improved. Even higher synchronization accuracy can be expected than in the third embodiment.
Therefore, for example, by making the first feedback control system 30 and the second feedback control system 70 follow the same vibration model, synchronization error is less likely to occur, but synchronization error between axes still occurs due to other causes. Can be more effectively suppressed than in the third embodiment.
As described above, in the present embodiment, in a machine in which one moving part is driven by a plurality of (here, two) motors, the same bi-intention model is used to configure each model control system and to follow the model. By having the actual feedback control system execute the control, even if vibration may occur between the motor and the table 4, the vibration between the table 4 is suppressed and the vibration between the two motors is suppressed. The synchronization accuracy can be ensured, and as a result, high-speed and high-precision positioning can be realized.

１ モータ制御装置
２ 第１モータ
３ 第２モータ
４ テーブル
５ 第１ボールネジ
６ 第２ボールネジ
１０ 第１モデル制御系
１１ 第１モデル位置誤差演算器
１２ 第１モデル位置制御器
１３ 第１モデル速度演算器
１４ 第１モデル速度誤差演算器
１５ 第１モデル速度制御器
１６ 第１モデルトルク誤差演算器
１７ 第１モデルトルク指令ローパスフィルタ（モデルローパスフィルタ）
１８ 第１可動部モデル
１９ 第１機台モデル
２０ 第１モデル位置加算器
２１ 第１状態帰還量演算器
２２ 第１機台帰還量演算器
２３ 第１フィルタ帰還量演算器
２４ 第１合計帰還量演算器
３０ 第１フィードバック制御系
３１ 第１制御位置誤差生成器
３２ 第１同期位置誤差生成器
３３ 第１位置同期補償器
３４ 第１同期補償位置誤差生成器
３５ 第１位置制御器
３６ 第１検出速度生成器
３７ 第１制御速度誤差生成器
３８ 第１速度制御器
３９ 第１制御トルク生成器
４０ 第１トルク指令ローパスフィルタ（制御ローパスフィルタ）
４１ 第１トルク制御器
４２ 第１センサ
５０ 第２モデル制御系
５１ 第２モデル位置誤差演算器
５２ 第２モデル位置制御器
５３ 第２モデル速度演算器
５４ 第２モデル速度誤差演算器
５５ 第２モデル速度制御器
５６ 第２モデルトルク誤差演算器
５７ 第２モデルトルク指令ローパスフィルタ（モデルローパスフィルタ）
５８ 第２可動部モデル
５９ 第２機台モデル
６０ 第２モデル位置加算器
６１ 第２状態帰還量演算器
６２ 第２機台帰還量演算器
６３ 第２フィルタ帰還量演算器
６４ 第２合計帰還量演算器
７０ 第２フィードバック制御系
７１ 第２制御位置誤差生成器
７２ 第２同期位置誤差生成器
７３ 第２位置同期補償器
７４ 第２同期補償位置誤差生成器
７５ 第２位置制御器
７６ 第２検出速度生成器
７７ 第２制御速度誤差生成器
７８ 第２速度制御器
７９ 第２制御トルク生成器
８０ 第２トルク指令ローパスフィルタ（制御ローパスフィルタ）
８１ 第２トルク制御器
８２ 第２センサ
９１ 第１前段状態補償モデル速度誤差演算器
９２ 第１後段状態補償モデル速度誤差演算器
９３ 第１前段状態補償モデルトルク誤差演算器
９４ 第１後段状態補償モデルトルク誤差演算器
９５ 第１二慣性モデル（多慣性モデル）
９６ 第１モータ側モデル
９７ 第１前段モータ側積分器
９８ 第１後段モータ側積分器
９９ 第１ねじりトルク演算器
１００ 第１負荷側モデル
１０１ 第１前段負荷側積分器
１０２ 第１後段負荷側積分器
１０３ 第１モデル内加速度誤差演算器
１０４ 第１モデル内速度誤差演算器
１０５ 第１モデル内位置誤差演算器
１０６ 第１トルク帰還量演算器
１０７ 第１速度帰還量演算器
１１１ 第２前段状態補償モデル速度誤差演算器
１１２ 第２後段状態補償モデル速度誤差演算器
１１３ 第２前段状態補償モデルトルク誤差演算器
１１４ 第２後段状態補償モデルトルク誤差演算器
１１５ 第２二慣性モデル（多慣性モデル）
１１６ 第２モータ側モデル
１１７ 第２前段モータ側積分器
１１８ 第２後段モータ側積分器
１１９ 第２ねじりトルク演算器
１２０ 第２負荷側モデル
１２１ 第２前段負荷側積分器
１２２ 第２後段負荷側積分器
１２３ 第２モデル内加速度誤差演算器
１２４ 第２モデル内速度誤差演算器
１２５ 第２モデル内位置誤差演算器
１２６ 第２トルク帰還量演算器
１２７ 第２速度帰還量演算器
1 Motor control device 2 1st motor 3 2nd motor 4 Table 5 1st ball screw 6 2nd ball screw 10 1st model control system 11 1st model position error calculator 12 1st model position controller 13 1st model speed calculator 14 1st model speed error calculator 15 1st model speed controller 16 1st model torque error calculator 17 1st model torque command low pass filter (model low pass filter)
18 1st moving part model 19 1st machine model 20 1st model position adder 21 1st state feedback amount calculator 22 1st machine feedback amount calculator 23 1st filter feedback amount calculator 24 1st total feedback amount Computer 30 1st feedback control system 31 1st control position error generator 32 1st synchronous position error generator 33 1st position synchronous compensator 34 1st synchronous compensation position error generator 35 1st position controller 36 1st detection Speed generator 37 1st control speed error generator 38 1st speed controller 39 1st control torque generator 40 1st torque command low pass filter (control low pass filter)
41 1st torque controller 42 1st sensor 50 2nd model control system 51 2nd model position error calculator 52 2nd model position controller 53 2nd model speed calculator 54 2nd model speed error calculator 55 2nd model Speed controller 56 2nd model torque error calculator 57 2nd model torque command low pass filter (model low pass filter)
58 2nd moving part model 59 2nd machine model 60 2nd model position adder 61 2nd state feedback amount calculator 62 2nd machine feedback amount calculator 63 2nd filter feedback amount calculator 64 2nd total feedback amount Computer 70 Second feedback control system 71 Second control position error generator 72 Second synchronous position error generator 73 Second position synchronous compensator 74 Second synchronous compensation position error generator 75 Second position controller 76 Second detection Speed generator 77 Second control speed error generator 78 Second speed controller 79 Second control torque generator 80 Second torque command low pass filter (control low pass filter)
81 Second torque controller 82 Second sensor 91 First front stage state compensation model Speed error calculator 92 First rear stage state compensation model Speed error calculator 93 First front stage state compensation model Torque error calculator 94 First rear stage state compensation model Torque error calculator 95 1st second inertia model (multi-inertia model)
96 1st motor side model 97 1st front stage motor side integrator 98 1st rear stage motor side integrator 99 1st torsion torque calculator 100 1st load side model 101 1st front stage load side integrator 102 1st rear stage load side integral Instrument 103 1st model internal acceleration error calculator 104 1st model internal speed error calculator 105 1st model internal position error calculator 106 1st torque feedback amount calculator 107 1st speed feedback amount calculator 111 2nd previous stage state compensation Model Speed Error Calculator 112 2nd Rear State Compensation Model Speed Error Calculator 113 2nd Front State Compensation Model Torque Error Calculator 114 2nd Rear State Compensation Model Torque Error Calculator 115 2nd Integral Model (Multi-Integral Model)
116 2nd motor side model 117 2nd front stage motor side integral 118 2nd rear stage motor side integrator 119 2nd torsion torque calculator 120 2nd load side model 121 2nd front stage load side integrator 122 2nd rear stage load side integral Instrument 123 2nd model internal acceleration error calculator 124 2nd model internal speed error calculator 125 2nd model internal position error calculator 126 2nd torque feedback amount calculator 127 2nd speed feedback amount calculator

Claims (11)

共通の外部位置指令に基づいて駆動されるＮ個（Ｎ：２以上の自然数）のモータにより共同して１個の可動部を可動させるモータ制御装置であって、
前記可動部に対する振動の影響を抑制するように状態をフィードバックするモデル制御系であって前記外部位置指令からモデル位置指令を含むモデル指令を生成するモデル制御系と、
Ｎ個の前記モータと１対１対応で設けられて前記モデル指令に基づいて各々の前記モータをフィードバック制御するＮ個のフィードバック制御系と、
を有し、
（Ｎ－１）個の前記フィードバック制御系は、各々の前記モータを制御する際の制御位置誤差を、残りの１個の前記フィードバック制御系での制御位置誤差との差分により補償するものにおいて、
前記モデル制御系は、
前記モータで駆動される前記可動部の動きに対応している可動部モデルおよび前記モータおよび前記可動部が取り付けられる機台の動きに対応している機台モデルを含むとともに前記機台モデルの状態をフィードバックして前記機台の振動に起因する前記機台と前記可動部との間の振動を抑制するものであり、
前記可動部モデルの位置と前記機台モデルの位置とを加算した位置を、前記モデル位置指令として出力されるモデル位置として演算するモデル位置加算器を有する、
モータ制御装置。 It is a motor control device that jointly moves one movable part by N (N: 2 or more natural numbers) motors driven based on a common external position command.
A model control system that feeds back the state so as to suppress the influence of vibration on the movable part, and generates a model command including a model position command from the external position command, and a model control system.
N feedback control systems provided in a one-to-one correspondence with the N motors and feedback-controlling each of the motors based on the model command.
Have,
The (N-1) feedback control system compensates for the control position error when controlling each of the motors by the difference from the control position error in the remaining one feedback control system.
The model control system is
The state of the machine base model including the movable part model corresponding to the movement of the movable part driven by the motor and the machine machine model corresponding to the movement of the machine machine to which the motor and the movable part are attached. Is fed back to suppress the vibration between the machine stand and the moving part caused by the vibration of the machine base.
It has a model position adder that calculates a position obtained by adding the position of the movable part model and the position of the machine base model as a model position output as the model position command.
Motor control device. 前記モデル制御系は、
前記外部位置指令から、前記モデル位置加算器から出力されるモデル位置を減算してモデル位置誤差を演算するモデル位置誤差演算器を有し、
Ｎ個の前記フィードバック制御系の各々は、
前記モデル位置指令および各々の前記モータの位置を検出するセンサが検出した位置に基づいてこれらの位置誤差を示す制御位置誤差を生成する制御位置誤差生成器を有する、 請求項１記載のモータ制御装置。 The model control system is
It has a model position error calculator that calculates a model position error by subtracting the model position output from the model position adder from the external position command.
Each of the N feedback control systems
The motor control device according to claim 1, further comprising a control position error generator that generates a control position error indicating these position errors based on the model position command and the position detected by the sensor that detects the position of each of the motors. .. （Ｎ－１）個の前記フィードバック制御系の各々は、
各々の前記制御位置誤差と残りの１個の前記フィードバック制御系での前記制御位置誤差との差分を生成する同期位置誤差生成器を有し、
各々の前記モータを制御する際の前記制御位置誤差を、残りの１個の前記フィードバック制御系での前記制御位置誤差との差分により補償する、
請求項２記載のモータ制御装置。 Each of the (N-1) feedback control systems
It has a synchronous position error generator that produces a difference between each of the control position errors and the control position error in the remaining one feedback control system.
The control position error in controlling each of the motors is compensated by the difference from the control position error in the remaining one feedback control system.
The motor control device according to claim 2. 前記モデル制御系は、
前記モデル位置誤差からモデル速度を演算するモデル位置制御器と、
前記モデル位置加算器から出力される前記モデル位置から前記モデル指令の一つであるモデル速度指令としてのモデル検出速度を演算するモデル速度演算器と、
前記モデル速度から前記モデル検出速度を減算してモデル速度誤差を演算するモデル速度誤差演算器と、
前記モデル速度誤差からモデルトルクを演算するモデル速度制御器と、
前記モデルトルクから状態帰還量を減算して前記モデル指令の一つであるモデルトルク指令としての状態補償後のモデルトルクを演算するモデルトルク誤差演算器と、
状態補償後の前記モデルトルクをローパスフィルタ処理して前記可動部モデルおよび前記機台モデルへ出力するモデルローパスフィルタと、
前記機台モデルの状態に応じた前記状態帰還量を演算する状態帰還量演算器と、を有し、
（Ｎ－１）個の前記フィードバック制御系の各々は、
補償処理後の前記制御位置誤差から制御速度を生成する位置制御器と
各々の前記モータの位置を検出する前記センサが検出した位置から検出速度を生成する検出速度生成器と、
前記制御速度、前記検出速度、および前記モデル速度指令に基づいて前記制御速度と前記検出速度との速度誤差に対して前記モデル速度指令を加えた制御速度誤差を生成する制御速度誤差生成器と、
前記制御速度誤差から制御トルクを生成する速度制御器と、
前記制御トルクと前記モデルトルク指令とに基づいてこれらの合計を示す合計制御トルクを生成する制御トルク生成器と、
前記合計制御トルクをローパスフィルタ処理する制御ローパスフィルタと、
ローパスフィルタ処理後の前記合計制御トルクに基づいて各々の前記モータを制御するトルク制御器と、を有する、
請求項３記載のモータ制御装置。 The model control system is
A model position controller that calculates the model speed from the model position error,
A model speed calculator that calculates the model detection speed as a model speed command, which is one of the model commands, from the model position output from the model position adder.
A model speed error calculator that calculates the model speed error by subtracting the model detection speed from the model speed, and
A model speed controller that calculates model torque from the model speed error,
A model torque error calculator that calculates the model torque after state compensation as a model torque command, which is one of the model commands, by subtracting the state feedback amount from the model torque.
A model low-pass filter that processes the model torque after state compensation with a low-pass filter and outputs it to the moving part model and the machine base model.
It has a state feedback amount calculator that calculates the state feedback amount according to the state of the machine stand model.
Each of the (N-1) feedback control systems
A position controller that generates a control speed from the control position error after compensation processing, a detection speed generator that generates a detection speed from a position detected by the sensor that detects the position of each of the motors, and a detection speed generator.
A control speed error generator that generates a control speed error by adding the model speed command to the speed error between the control speed and the detection speed based on the control speed, the detection speed, and the model speed command.
A speed controller that generates control torque from the control speed error,
A control torque generator that generates a total control torque indicating the sum of the control torque and the model torque command.
A control low-pass filter that processes the total control torque with a low-pass filter,
It has a torque controller that controls each of the motors based on the total control torque after low-pass filtering.
The motor control device according to claim 3. 共通の外部位置指令に基づいて駆動されるＮ個（Ｎ：２以上の自然数）のモータにより共同して１個の可動部を可動させるモータ制御装置であって、
前記可動部に対する振動の影響を抑制するように状態をフィードバックするモデル制御系であって前記外部位置指令からモデル位置指令を含むモデル指令を生成するモデル制御系と、
Ｎ個の前記モータと１対１対応で設けられて前記モデル指令に基づいて各々の前記モータをフィードバック制御するＮ個のフィードバック制御系と、
を有し、
（Ｎ－１）個の前記フィードバック制御系は、各々の前記モータを制御する際の制御位置誤差を、残りの１個の前記フィードバック制御系での制御位置誤差との差分により補償するものにおいて、
前記モデル制御系は、
前記モータから前記可動部までの機械系の動きに対応している二慣性モデルを含むとともに前記二慣性モデルの状態をフィードバックして前記機械系の振動に起因する前記可動部の振動を抑制するものであり、
前記二慣性モデルは、前記モデル位置指令として出力されるモデル位置を演算する、
モータ制御装置。 It is a motor control device that jointly moves one movable part by N (N: 2 or more natural numbers) motors driven based on a common external position command.
A model control system that feeds back the state so as to suppress the influence of vibration on the movable part, and generates a model command including a model position command from the external position command, and a model control system.
N feedback control systems provided in a one-to-one correspondence with the N motors and feedback-controlling each of the motors based on the model command.
Have,
The (N-1) feedback control system compensates for the control position error when controlling each of the motors by the difference from the control position error in the remaining one feedback control system.
The model control system is
It includes a bi-inertia model corresponding to the movement of the mechanical system from the motor to the movable part, and feeds back the state of the bi-inertia model to suppress the vibration of the movable part caused by the vibration of the mechanical system. And
The bi-inertia model calculates the model position output as the model position command.
Motor control device. 前記モデル制御系は、
前記外部位置指令から、前記二慣性モデルから出力される前記モデル位置を減算してモデル位置誤差を演算するモデル位置誤差演算器を有し、
Ｎ個の前記フィードバック制御系の各々は、
前記モデル位置指令および各々の前記モータの位置を検出するセンサが検出した位置に基づいてこれらの位置誤差を示す制御位置誤差を生成する制御位置誤差生成器を有する、 請求項５記載のモータ制御装置。 The model control system is
It has a model position error calculator that calculates a model position error by subtracting the model position output from the bi-inertia model from the external position command.
Each of the N feedback control systems
The motor control device according to claim 5, further comprising a control position error generator that generates a control position error indicating these position errors based on the model position command and the position detected by the sensor that detects the position of each of the motors. .. （Ｎ－１）個の前記フィードバック制御系の各々は、
各々の前記制御位置誤差と残りの１個の前記フィードバック制御系での前記制御位置誤差との差分を生成する同期位置誤差生成器を有し、
各々の前記モータを制御する際の前記制御位置誤差を、残りの１個の前記フィードバック制御系での前記制御位置誤差との差分により補償する、
請求項６記載のモータ制御装置。 Each of the (N-1) feedback control systems
It has a synchronous position error generator that produces a difference between each of the control position errors and the control position error in the remaining one feedback control system.
The control position error in controlling each of the motors is compensated by the difference from the control position error in the remaining one feedback control system.
The motor control device according to claim 6. Ｎ個の前記フィードバック制御系には、共通する前記外部位置指令が同時に入力されるそれぞれの前記モデル制御系からの前記モデル指令が入力される、
請求項１から７のいずれか一項記載のモータ制御装置。 The model commands from the respective model control systems to which the common external position commands are simultaneously input are input to the N feedback control systems.
The motor control device according to any one of claims 1 to 7. 前記モデル制御系は、Ｎ個の前記フィードバック制御系と１対１に対応するＮ個で設けられ、
Ｎ個の前記モデル制御系は、同じフィードバックループの構成により共通の前記外部位置指令から同じ前記モデル指令を生成する、
請求項１から８のいずれか一項記載のモータ制御装置。 The model control system is provided with N pieces corresponding to one-to-one with the N pieces of the feedback control system.
The N model control systems generate the same model command from the common external position command with the same feedback loop configuration.
The motor control device according to any one of claims 1 to 8. 前記フィードバック制御系は、２個であり、
２個の前記フィードバック制御系は、各々での前記モータを制御するための制御位置誤差を、他方の前記フィードバック制御系での制御位置誤差との差分により互いに補償する、
請求項１から９のいずれか一項記載のモータ制御装置。 The feedback control system is two.
The two feedback control systems compensate each other for the control position error for controlling the motor in each by the difference from the control position error in the other feedback control system.
The motor control device according to any one of claims 1 to 9. 前記モデル制御系の状態方程式に対する特性方程式は重根を持つ、
請求項１から１０のいずれか一項記載のモータ制御装置。 The characteristic equation for the equation of state of the model control system has multiple roots.
The motor control device according to any one of claims 1 to 10.
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