JP7046621B2 - 偏向感度算出方法および偏向感度算出システム - Google Patents
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Description
Sx=(Dx・Px)/(X・Vx) ・・・(1)
Sy=(Dy・Py)/(Y・Vy) ・・・(2)
まずは電子ビーム照射装置の基本的な構成を説明する。
ステージ124はメインチャンバ121内に設けられ、試料Wが載置される。
1ライン目の時刻t10~t20では、調整プレート21の穴21aではない位置に電子ビームが照射される(図2FA)。よって、時刻t10~t20では一定の電流値が取得される(図2GA)。2ライン目の時刻t20~t30も同様である。
図2GBは、取得される電流値の時間変化を示す図であり、図2FBと対応している。
まず、調整プレート21の全体をカバーする範囲に電子ビームを照射する(ステップS31)。具体的には、電子ビーム照射レシピに基づいて電子ビーム制御部132は偏向器115における電極2115に印加する電圧を走査する。なお、電子ビームを水平方向に走査するための最大電圧と最小電圧との差を水平走査電圧幅Vx[V]とし、垂直方向に走査するための最大電圧と最小電圧との差を垂直走査電圧幅Vy[V]とする。水平走査電圧幅Vxおよび垂直走査電圧幅Vyはいずれも電子ビーム照射レシピにおいて定められている。
Sx[mm/V]=(Dx[mm]・Px[画素])/(X[画素]・Vx[V])
・・・(1)
Sy[mm/V]=(Dy[mm]・Py[画素])/(Y[画素]・Vy[V])
・・・(2)
図4は、上述した電子ビーム照射装置を含むプロセス装置の一実施例を示す概略構成図である。このプロセス装置は、サンプル搬入部11、ロボットなどを含む搬送系12、画像取得部13、真空搬送系14、電子ビーム照射装置15、プロセス部16などから構成される。サンプル搬入部11からの試料は搬送系12および真空搬送系14によって電子ビーム照射装置15およびプロセス部16にロードされ、処理される。処理された試料は真空搬送系14および搬送系12によってアンロードされる。
正常判定では、判定基準となる閾値を設けることによって、試料の形状、色、大きさを判定してもよい。
22 電流計
23 画像形成部
24 判定部
25 レシピ更新部
26 ビームスキャナ
27 偏向器電源
112 電子ビーム発生装置
124 ステージ
115 偏向器
2115 電極
131 全体制御部
132 電子ビーム制御部
Claims (9)
- 電子ビームを偏向器で偏向させてステージ上の照射対象に電子ビームを照射する電子ビーム照射装置における前記偏向器の偏向感度を算出する方法であって、
前記偏向器による偏向を制御する偏向パラメータを所定幅で走査することによって、サイズが既知であり、照射された電子ビームに対応した電流を検出する、ステージ上に載置された調整プレートより広い範囲に電子ビームを照射する電子ビーム照射ステップと、
前記調整プレートから検出された電流値を検出する電流値検出ステップと、
検出された電流値に対応する、画素数が既知の画像を形成する画像形成ステップであって、前記画像は、前記調整プレートに対応する部分と、前記調整プレートに対応しない部分と、を含む、画像形成ステップと、
形成された画像における前記調整プレートに対応する部分の画素数を算出する画素数算出ステップと、
前記調整プレートのサイズと、前記偏向パラメータを走査する際の所定幅と、前記画像の画素数と、画像における前記調整プレートに対応する部分の画素数と、に基づいて、前記偏向器の偏向感度を算出する偏向感度算出ステップと、を備える偏向感度算出方法。 - 前記調整プレートは、第1方向の長さがDx、前記第1方向と直交する第2方向の長さがDyの長方形であり、
前記偏向パラメータを前記第1方向および前記第2方向に走査する際の所定幅をそれぞれVx,Vyとし、
前記画像の前記第1方向および前記第2方向の画素数をそれぞれPx,Pyとし、
画像における前記調整プレートに対応する部分の前記第1方向および前記第2方向の画素数をそれぞれX,Yとすると、
前記第1方向の偏向感度Sxは下記(1)式またはその逆数であり、
前記第2方向の偏向感度Syは下記(2)式またはその逆数である、請求項1に記載の偏向感度算出方法。
Sx=(Dx・Px)/(X・Vx) ・・・(1)
Sy=(Dy・Py)/(Y・Vy) ・・・(2) - 前記画像形成ステップでは、各時刻に取得された電流値を前記画像における各画素の階調に変換することにより前記画像を形成する、請求項1または2に記載の偏向感度算出方法。
- 前記画素数算出ステップでは、前記画像の階調プロファイルを生成し、生成された前記プロファイルの半値幅を前記調整プレートに対応する部分の画素数とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の偏向感度算出方法。
- 算出された前記偏向感度を前記電子ビーム照射装置の装置定数として設定する装置定数設定ステップを備える、請求項1乃至4のいずれかに記載の偏向感度算出方法。
- 前記偏向器は、電極を有する静電偏向器であり、
前記偏向パラメータは、前記電極に印加される電圧値である、請求項1乃至5のいずれかに記載の偏向感度算出方法。 - 前記偏向器は、磁極を有する磁場偏向器であり、
前記偏向パラメータは、前記磁極に供給される電流値である、請求項1乃至5のいずれかに記載の偏向感度算出方法。 - 前記電子ビーム照射装置の立上時、前記電子ビーム照射装置における電子ビーム発生装置の交換時、外部磁場変動時およびメンテナンス時に実行される請求項1乃至7のいずれかに記載の偏向感度算出方法。
- 電子ビームを偏向器で偏向させてステージ上の照射対象に電子ビームを照射する電子ビーム照射装置における前記偏向器の偏向感度を算出するシステムであって、
サイズが既知であり、照射された電子ビームに対応した電流を検出する、ステージ上に載置された調整プレートと、
前記偏向器による偏向を制御する偏向パラメータを所定幅で走査することによって、前記調整プレートより広い範囲に電子ビームが照射されながら、前記調整プレートから検出される電流を検出する電流計と、
取得された電流値に対応する画像を形成する画像形成部であって、前記画像は、前記調整プレートに対応する部分と、前記調整プレートに対応しない部分と、を含む、画像形成部と、
形成された画像における前記調整プレートに対応する部分の画素数を算出する画素数算出部と、
前記調整プレートのサイズと、前記偏向パラメータを走査する際の所定幅と、前記画像の画素数と、画像における前記調整プレートに対応する部分の画素数と、に基づいて、前記偏向器の偏向感度を算出する偏向感度算出部と、を備える偏向感度算出システム。
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