JP7033878B2 - 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
このようなダイボンダでは、品種(ダイサイズ等)に応じてコレットを交換する、或いは、ダイの表面の傷や汚染を防止するために、ダイの表面に接触するコレットを一定使用ごとに交換する必要がある。コレット交換後は、適切な位置に適切な態勢でコレットを設置する必要がある(例えば、特許文献1)。
本開示の課題は、コレットの形状および取付け状態の確認が可能なコレット確認検査部を備える半導体製造装置を提供することである。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
すなわち、半導体製造装置は、コレットでダイを吸着しピックアップするヘッドと、前記コレットを確認および検査するコレット検査部と、前記ヘッドおよび前記コレット検査部を制御する制御装置と、を備える。前記コレット検査部は形状検出センサを備える。前記制御装置は、前記形状検出センサにより前記コレットの形状を読み取る。
このような構成によって、ボンディングヘッド41は、ステージ認識カメラ32の撮像データに基づいてピックアップ位置・姿勢を補正し、中間ステージ31からダイDをピックアップし、基板認識カメラ44の撮像データに基づいて基板SにダイDをボンディングする。
このような構成によって、基板Sは、基板供給部6から搬送レーン52に沿ってボンディング位置まで移動し、ボンディング後、基板搬出部7まで移動して、基板搬出部7に基板Sを渡す。
以下、代表的な変形例について、幾つか例示する。以下の変形例の説明において、上述の実施例にて説明されているものと同様の構成および機能を有する部分に対しては、上述の実施例と同様の符号が用いられ得るものとする。そして、かかる部分の説明については、技術的に矛盾しない範囲内において、上述の実施例における説明が適宜援用され得るものとする。また、上述の実施例の一部、および、複数の変形例の全部または一部が、技術的に矛盾しない範囲内において、適宜、複合的に適用され得る。
例えば、中間ステージとピックアップヘッドがなく、ダイ供給部のダイをボンディングヘッドで基板にボンディングするダイボンダにも適用可能である。
また、中間ステージがなく、ダイ供給部からダイをピックアップしダイピックアップヘッドを上に回転してダイをボンディングヘッドに受け渡しボンディングヘッドで基板にボンディングするフリップチップボンダに適用可能である。
また、中間ステージとボンディングヘッドがなく、ダイ供給部からピックアップヘッドでピックアップしたダイをトレイ等に載置するダイソータに適用可能である。
1・・・ダイ供給部
2・・・ピックアップ部
21・・・ピックアップヘッド
22・・・コレット
25・・・コレットホルダ
3・・・中間ステージ部
31・・・中間ステージ
4・・・ボンディング部
41・・・ボンディングヘッド
42・・・コレット
5・・・搬送部
51・・・基板搬送爪
8・・・制御部
90・・・コレット検査部
91・・・指紋センサ
92・・・支持板
93・・・検出回路
94・・・ケーブル
D・・・ダイ
S・・・基板
P・・・パッケージエリア
Claims (13)
- コレットでダイを吸着しピックアップするヘッドと、
前記コレットの前記ダイと接触する表面を確認および検査するコレット検査部と、
前記ヘッドおよび前記コレット検査部を制御する制御装置と、
を備え、
前記コレット検査部は前記コレットの前記表面の形状を検出する第一のセンサを備え、
前記制御装置は、
前記第一のセンサを前記コレットに接触することにより前記コレットの前記表面の形状を読み取ると共に、
前記第一のセンサにより予め所定の位置におけるコレットの形状を読み取って記憶したデータと、検査時に前記第一のセンサにより前記コレットの形状を読み取ったデータとを比較し、前記コレットの異常を検出するよう構成され、
前記コレット検査部は、さらに、前記第一のセンサの下に前記コレットの高さまたは高さのバラツキを検出する第二のセンサを少なくとも3つ有する半導体製造装置。 - 請求項1において、
前記コレットは弾性体を有し、前記表面は前記弾性体の表面である半導体製造装置。 - 請求項1において、
前記コレットの異常は、コレットの摩耗、異物付着、傾きまたは品種間違いである半導体製造装置。 - 請求項3において、
前記制御装置が前記コレットの異常を検出した場合、前記コレットを交換するよう構成される半導体製造装置。 - 請求項2において、
前記弾性体はシリコンゴムである半導体製造装置。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記コレットの高さのバラツキが第一所定値以下である場合、前記コレットの取付けは正常と判断し、前記コレットの高さのバラツキが前記第一所定値より大きくかつ第二所定値以下である場合、前記コレットの傾き調整要と判断し、前記コレットの高さのバラツキが前記第二所定値より大きい場合、前記コレットの取付けは異常と判断するよう構成される半導体製造装置。 - 請求項6において、
前記第二のセンサは、圧力センサ、感圧シートまたは変位センサである半導体製造装置。 - 請求項1において、
前記第一のセンサは指紋センサである半導体製造装置。 - 請求項1において、さらに、
ダイが貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを有するダイ供給部と、
前記ダイシングテープに貼付されたダイをピックアップするピックアップヘッドと、
前記ピックアップヘッドでピックアップしたダイが載置される中間ステージと、
前記中間ステージからピックアップしたダイを基板または既にボンディングされたダイの上にボンディングするボンディングヘッドと、
を備え、
前記ヘッドは、前記ピックアップヘッドおよび前記ボンディングヘッドの少なくともいずれか一方である半導体製造装置。 - 請求項9において、
前記コレット検査部は、前記ピックアップヘッドと前記ボンディングヘッドの両方の移動範囲内に位置し、
前記制御装置は、前記ピックアップヘッドおよび前記ボンディングヘッドを前記コレット検査部に移動させ、前記ピックアップヘッドのコレットおよび前記ボンディングヘッドのコレットを検査するよう構成される半導体製造装置。 - (a)請求項1乃至10のいずれか一つの半導体製造装置を準備する工程と、
(b)ダイが貼付されたダイシングテープを保持するウェハリングを搬入する工程と、
(c)基板を準備搬入する工程と、
(d)ダイをピックアップする工程と、
(e)前記ピックアップしたダイを前記基板または既にボンディングされたダイの上にボンディングする工程と、
を備える、
半導体装置の製造方法。 - 請求項11において、
前記(d)工程は前記ダイシングテープに貼付されたダイをボンディングヘッドでピックアップし、
前記(e)工程は前記ボンディングヘッドでピックアップしたダイを前記基板または既にボンディングされたダイの上にボンディングする、
半導体装置の製造方法。 - 請求項11において、
前記(d)工程は、
(d1)前記ダイシングテープに貼付されたダイをピックアップヘッドでピックアップする工程と、
(d2)前記ピックアップヘッドでピックアップしたダイを中間ステージに載置する工程と、
を有し、
前記(e)工程は、
(e1)前記中間ステージに載置されたダイをボンディングヘッドでピックアップする工程と、
(e2)前記ボンディングヘッドでピックアップしたダイを前記基板に載置する工程と、
を備える、
半導体装置の製造方法。
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