JP7030494B2

JP7030494B2 - Discharge material Discharge device

Info

Publication number: JP7030494B2
Application number: JP2017231993A
Authority: JP
Inventors: 永難波; 敬恭長谷川; 健勝田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2017-12-01
Filing date: 2017-12-01
Publication date: 2022-03-07
Anticipated expiration: 2037-12-01
Also published as: JP2019098628A

Description

本発明は、液体または液状の吐出材を吐出する吐出装置に関する。 The present invention relates to a discharge device that discharges a liquid or a liquid discharge material.

従来、液体または液状の吐出材を収容する収容容器に収容された吐出材を吐出ヘッドの吐出口から媒体上に吐出する吐出装置が知られている。特許文献１には、収容容器の内部を可撓性部材によって２つの収容部に分け、一方の収容部に吐出材を収容し、他方の収容部に他の液体を収容し、他方の収容部内の圧力を調整することによって双方の内圧を等しい圧力に調整する構成が記載されている。 Conventionally, there is known a discharge device that discharges a discharge material contained in a storage container for containing a liquid or a liquid discharge material onto a medium from a discharge port of a discharge head. In Patent Document 1, the inside of the storage container is divided into two storage parts by a flexible member, the discharge material is stored in one storage part, the other liquid is stored in the other storage part, and the inside of the other storage part is stored. A configuration is described in which the internal pressures of both are adjusted to the same pressure by adjusting the pressure of.

また、吐出装置に使用される吐出ヘッドとして、複数の吐出口と、各吐出口にそれぞれ連通する複数の圧力室と、各圧力室内で吐出用エネルギを発生させるアクチュエータと、各圧力室に共通に連通する共通液室と、を備える構成が一般に用いられている。共通液室から各圧力室に吐出材が供給され、各圧力室に対応するアクチュエータが駆動されることで、各圧力室内で吐出用エネルギが発生し、各圧力室に連通する各吐出口から吐出材の液滴が吐出される。液滴が吐出される際、個別の圧力室内で生じた圧力変動は、共通液室に伝播する。この圧力変動が、隣接する圧力室までさらに伝播し、圧力室内で圧力変動の相互干渉が生じると、吐出口からの吐出材の漏出または意図しない吐出が生じるなどの不安定な吐出状態が誘発されて、吐出性能が低下し得る。特許文献２は、このような問題を解決すべく、共通液室に大気圧よりも高圧の空気が充填されたダンパを配置し、圧力室から伝播してきた圧力波をダンパが受け、ダンパが変形することによって圧力波を減衰させる構成が記載されている。 Further, as the discharge head used in the discharge device, a plurality of discharge ports, a plurality of pressure chambers communicating with each discharge port, an actuator for generating discharge energy in each pressure chamber, and an actuator for generating discharge energy in each pressure chamber are common to each pressure chamber. A configuration including a common liquid chamber for communication is generally used. Discharge material is supplied from the common liquid chamber to each pressure chamber, and the actuator corresponding to each pressure chamber is driven to generate discharge energy in each pressure chamber and discharge from each discharge port communicating with each pressure chamber. Droplets of material are ejected. When the droplets are ejected, the pressure fluctuations generated in the individual pressure chambers propagate to the common liquid chamber. When this pressure fluctuation further propagates to the adjacent pressure chamber and mutual interference of the pressure fluctuation occurs in the pressure chamber, an unstable discharge state such as leakage of the discharge material from the discharge port or unintended discharge is induced. Therefore, the discharge performance may deteriorate. In Patent Document 2, in order to solve such a problem, a damper filled with air having a pressure higher than the atmospheric pressure is arranged in a common liquid chamber, and the damper receives a pressure wave propagating from the pressure chamber, and the damper is deformed. A configuration is described in which the pressure wave is attenuated by doing so.

特開２０１５－０９２５４９号公報JP-A-2015-092549 特開２００７－１１８３１２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-118312

ところで近年では、基板上のショットと呼ばれる領域に樹脂を付与し、付与した樹脂に対して、パターンが刻まれたモールドを押し付けることによって基板上に樹脂のパターンを形成する、インプリント技術とも呼ばれる微細加工技術が注目を集めている。インプリント技術を用いて半導体デバイスを作成する場合、モールドのパターンが微細であるため、付与位置がずれるとショット内に付与した樹脂に厚みムラが出来てしまい、モールドに対する樹脂の充填性が低下し、樹脂のパターンの精度が低下する可能性がある。そのため、基板に対する樹脂の付与位置に高い精度が求められる。 By the way, in recent years, a resin is applied to a region called a shot on a substrate, and a mold with a pattern is pressed against the applied resin to form a resin pattern on the substrate, which is also called an imprint technique. Processing technology is attracting attention. When creating a semiconductor device using imprint technology, the pattern of the mold is fine, so if the application position shifts, the resin applied in the shot will have uneven thickness, and the filling property of the resin in the mold will decrease. , The accuracy of the resin pattern may decrease. Therefore, high accuracy is required for the position where the resin is applied to the substrate.

特許文献１の吐出装置において、吐出材の吐出動作に伴う圧力変動の相互干渉を抑制しようとする場合、例えば、収容容器の内部を分ける可撓性部材に、衝撃を弱めたり振動が伝わるのを抑制したりするダンパの機能を持たせる構成とすることが考えられる。しかしながら、可撓性部材にダンパの機能を持たせた場合、可撓性部材によって分けられた２つの収容部間で内圧変化が速やかに伝達されず、双方の内圧を等しい圧力に調整するのに時間が掛かることとなる。収容部間での内圧変化のスムーズな伝達のためには、可撓性部材を薄くするなどして剛性を小さくすることが有効であり得るが、その反面、可撓性部材の剛性が小さい場合は高いダンパ効果が得られにくくなる。 In the discharge device of Patent Document 1, when trying to suppress mutual interference of pressure fluctuations due to the discharge operation of the discharge material, for example, it is necessary to weaken the impact or transmit vibration to the flexible member that divides the inside of the storage container. It is conceivable to have a configuration that has a damper function to suppress it. However, when the flexible member is provided with the function of a damper, the change in internal pressure is not quickly transmitted between the two accommodating portions separated by the flexible member, and the internal pressures of both are adjusted to the same pressure. It will take time. For smooth transmission of changes in internal pressure between accommodating portions, it may be effective to reduce the rigidity by thinning the flexible member, but on the other hand, when the rigidity of the flexible member is small. It becomes difficult to obtain a high damper effect.

よって本発明は、可撓性部材によって互いに分離された吐出材収容容器内の２つの収容部の内圧を遅れなく調整する機能を有しつつ、吐出材が吐出される際の圧力変動に起因する吐出性能の低下が抑制された、吐出材吐出装置の提供を目的とする。 Therefore, the present invention has a function of adjusting the internal pressures of the two storage portions in the discharge material storage container separated from each other by the flexible member without delay, and is caused by the pressure fluctuation when the discharge material is discharged. It is an object of the present invention to provide a discharge material discharge device in which deterioration of discharge performance is suppressed.

そのための本発明の吐出材吐出装置は、吐出材を吐出する吐出ヘッドと、吐出材を充填し前記吐出ヘッドと連通する第１収容空間と作動液を充填する第２収容空間とに分離された収容容器と、前記第２収容空間と連通し前記第２収容空間の内圧を制御する圧力制御手段と、を備える吐出材吐出装置であって、前記第１収容空間と前記第２収容空間とは、前記第１収容空間または前記第２収容空間から受ける圧力を緩衝することが可能であって、第１フィルムと、第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在して気体を含有する膜間空間と、前記膜間空間に配置された弾性部材と、を含んで構成される可撓性隔壁によって分離されていることを特徴とする。 The discharge material discharge device of the present invention for that purpose is separated into a discharge head that discharges the discharge material, a first storage space that is filled with the discharge material and communicates with the discharge head, and a second storage space that is filled with the hydraulic fluid. A discharge material discharge device including a storage container and a pressure control means that communicates with the second storage space and controls the internal pressure of the second storage space, wherein the first storage space and the second storage space are , It is possible to buffer the pressure received from the first accommodation space or the second accommodation space , and it is interposed between the first film, the second film, and the first film and the second film. It is characterized in that it is separated by a flexible partition wall composed of an intermembrane space containing a gas and an elastic member arranged in the intermembrane space .

本発明によれば、可撓性部材によって互いに分離された吐出材収容容器内の２つの収容部の内圧を遅れなく調整する機能を有しつつ、吐出材が吐出される際の圧力変動に起因する吐出性能の低下が抑制された、吐出材吐出装置を提供できる。 According to the present invention, it is caused by the pressure fluctuation when the discharge material is discharged while having the function of adjusting the internal pressures of the two storage portions in the discharge material storage container separated from each other by the flexible member without delay. It is possible to provide a discharge material discharge device in which deterioration of the discharge performance is suppressed.

第１の実施形態の吐出装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the discharge device of 1st Embodiment. 第１の実施形態の吐出装置の制御系の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the control system of the discharge device of 1st Embodiment. 図１に示す吐出装置の吐出ヘッド近傍の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the vicinity of the discharge head of the discharge device shown in FIG. 第２の実施形態の吐出装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the discharge device of 2nd Embodiment.

以下、本発明の好ましい実施形態について添付の図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態に記載されている構成要素はあくまで例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the components described in the following embodiments are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to them.

＜第１の実施形態＞
（吐出材吐出装置の構成）
図１は、本発明による第１の実施形態の吐出材吐出装置の構成を示す概略図である。本実施形態の吐出材吐出装置は、インクのような液体を１ｐＬ（ピコリットル）程度またはそれ以下の液量で吐出可能なインクジェット方式のプリント装置に適用可能な吐出材吐出装置である。吐出材吐出装置を、以下、単に吐出装置ともいう。 <First Embodiment>
(Configuration of discharge material discharge device)
FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of a discharge material discharge device according to a first embodiment of the present invention. The ejection material ejection device of the present embodiment is an ejection material ejection device applicable to an inkjet printing device capable of ejecting a liquid such as ink with a liquid amount of about 1 pL (picolitre) or less. The discharge material discharge device is also simply referred to as a discharge device below.

図１に示すように、本実施形態の吐出装置は、大気連通し作動液３５を貯留するメインタンク３４と、大気連通しメインタンク３４と連通可能なサブタンク２６と、サブタンク２６と連通する吐出材収容ユニット１００と、を備える。 As shown in FIG. 1, the discharge device of the present embodiment has a main tank 34 for storing the atmospheric communication hydraulic fluid 35, a sub tank 26 that can communicate with the atmospheric communication main tank 34, and a discharge material that communicates with the sub tank 26. It includes a containment unit 100 and.

吐出材収容ユニット１００は、吐出材を収容する吐出材収容容器（以下、単に収容容器ともいう）１３と、収容容器１３に装着された吐出ヘッド１４と、を含む。なお、収容容器１３と吐出ヘッド１４とは、別体として構成されていてもよく、一体的に構成されていてもよい。収容容器１３はカートリッジ式であってもよい。吐出ヘッド１４は、吐出ヘッドの外面（吐出面）に開口する吐出口１５から吐出材を吐出可能となっている。本例の吐出口１５は、吐出ヘッド１４の吐出面において１インチ当たり５００から１０００個の密度で配設されている。 The discharge material storage unit 100 includes a discharge material storage container (hereinafter, also simply referred to as a storage container) 13 for storing the discharge material, and a discharge head 14 mounted on the storage container 13. The storage container 13 and the discharge head 14 may be configured as separate bodies or integrally. The storage container 13 may be a cartridge type. The discharge head 14 can discharge the discharge material from the discharge port 15 that opens on the outer surface (discharge surface) of the discharge head. The discharge ports 15 of this example are arranged on the discharge surface of the discharge head 14 at a density of 500 to 1000 pieces per inch.

図１に示すように、吐出ヘッド１４の吐出面に対向するように、ベースプレート６３に搭載された搬送部６２が配置されている。搬送部６２は、不図示の吸着手段によって吐出対象物である媒体６１を吸着して保持しつつ、ベースプレート６３上を移動して、吐出ヘッド１４に対する媒体６１の位置を相対移動させることができる。収容容器１３内に収容されている吐出材は、吐出ヘッド１４の吐出口１５から、搬送部６２に吸着されつつ吐出口１５に対向する位置に搬送された媒体６１の吐出材付与領域に対して吐出される。これによって、所望の吐出材パターン（例えば、記録画像）が形成される。 As shown in FIG. 1, the transport unit 62 mounted on the base plate 63 is arranged so as to face the discharge surface of the discharge head 14. The transport unit 62 can move on the base plate 63 while sucking and holding the medium 61, which is a discharge target, by a suction means (not shown) to move the position of the medium 61 relative to the discharge head 14. The discharge material contained in the storage container 13 is adsorbed from the discharge port 15 of the discharge head 14 to the discharge material application region of the medium 61 which is transported to a position facing the discharge port 15 while being adsorbed by the transport unit 62. It is discharged. As a result, a desired discharge material pattern (for example, a recorded image) is formed.

（吐出材）
吐出材は、収容容器１３内においておよび吐出ヘッド１４から吐出される際に、固体とは異なり定まった形を有さず流動性を示すが体積変化が気体のようには大きくない物質であり、液体または液状の物質である。吐出材は、ペースト状物質、高分子材料等の物質であってもよい。本実施形態の吐出材として、インクを用いることができる。インクの非限定的な例としては、画像記録用のインク、電子回路製造用の導電性インク、ＵＶ硬化性インク等の多様なインクが挙げられる。導電性インクの例としては、金属粒子を含有するインク、特には、数～数十ナノメートルの粒径の金属ナノ粒子が液中分散した金属ナノインク、例えば、銀ナノインクが挙げられる。半導体デバイス等の製造プロセスにおいて、基板上のインプリント材に対してパターンが形成されたモールドを接触させ、インプリント材にモールドの形状を転写してパターンを形成する、いわゆるインプリント技術がある。インプリント材としては光硬化型樹脂や熱硬化型樹脂等のレジストが用いられる。吐出材の別の例として、このようなインプリント材も挙げられる。 (Discharge material)
Unlike a solid, the discharge material does not have a fixed shape and exhibits fluidity when discharged in the container 13 and from the discharge head 14, but the volume change is not as large as that of a gas. It is a liquid or a liquid substance. The discharge material may be a substance such as a paste-like substance or a polymer material. Ink can be used as the ejection material of the present embodiment. Non-limiting examples of inks include various inks such as inks for image recording, conductive inks for manufacturing electronic circuits, and UV curable inks. Examples of the conductive ink include inks containing metal particles, particularly metal nanoinks in which metal nanoparticles having a particle size of several to several tens of nanometers are dispersed in a liquid, for example, silver nanoinks. In the manufacturing process of semiconductor devices and the like, there is a so-called imprint technique in which a mold having a pattern formed on an imprint material on a substrate is brought into contact with the imprint material and the shape of the mold is transferred to the imprint material to form a pattern. As the imprint material, a resist such as a photocurable resin or a thermosetting resin is used. Another example of the discharge material is such an imprint material.

（作動液）
作動液は、気体に比べて、外的な温度および圧力による密度（体積）の変化が無視できるほど小さい、非圧縮性を有する物質である。そのため、吐出装置の周辺の気温または気圧が変化しても、作動液の体積はほとんど変化しない。作動液として、例えば、水のような液体、およびゲル状物質から選択される物質を用いることができる。通常、吐出材の密度と作動液の密度との差は、吐出材の密度と気体の密度との差に比べて小さくなる。 (Hydraulic fluid)
The hydraulic fluid is an incompressible substance in which the change in density (volume) due to external temperature and pressure is negligible as compared with a gas. Therefore, even if the air temperature or atmospheric pressure around the discharge device changes, the volume of the hydraulic fluid hardly changes. As the hydraulic fluid, for example, a liquid such as water and a substance selected from a gel-like substance can be used. Usually, the difference between the density of the discharged material and the density of the hydraulic fluid is smaller than the difference between the density of the discharged material and the density of the gas.

例えば、本発明に係る吐出装置をプリント装置のインク吐出装置として使用する場合、吐出材には当然のことながらインクが用いられるが、作動液としては高価なインクを使用する必要はなく、インクと比重の近い水を使用することができる。より具体的には、水の腐敗や雑菌の繁殖を防止する目的で防腐作用のある添加剤を添加した水を作動液として使用することができる。 For example, when the ejection device according to the present invention is used as an ink ejection device for a printing apparatus, ink is naturally used as the ejection material, but it is not necessary to use expensive ink as the working fluid, and the ink and ink are used. Water with a similar specific gravity can be used. More specifically, water to which an additive having an antiseptic action is added can be used as a hydraulic fluid for the purpose of preventing water spoilage and propagation of various germs.

（制御系）
図２を参照して、本実施形態に係る制御系を説明する。図２は、本実施形態における制御系の構成を示すブロック図である。ＣＰＵ２０２は、ＲＯＭ２０４に記憶された制御プログラムに従って搬送駆動部２１０および吐出駆動部２０８の制御を行う。ＣＰＵ２０２には、ホスト装置２２０から入カインターフェイス２１６を介して吐出データ（記録データ）等の情報が入力される。入力された情報は、ＲＡＭ２０６に書き込まれる。 (Control system)
A control system according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a control system according to the present embodiment. The CPU 202 controls the transport drive unit 210 and the discharge drive unit 208 according to the control program stored in the ROM 204. Information such as discharge data (recorded data) is input to the CPU 202 from the host device 220 via the input interface 216. The input information is written to RAM 206.

ＣＰＵ２０２は、後述するように、サブタンク２６に設けられた液面センサ４１の検知結果に基づいて、液量調整駆動部２１２を介して制御弁３１およびポンプ３２を駆動する。ＣＰＵ２０２は、また、搬送駆動部２１０を介して搬送部６２を駆動し、吐出駆動部２０８を介して吐出ヘッド１４を駆動し、循環駆動部２１４を介して制御弁２１およびポンプ２２を駆動する。 As will be described later, the CPU 202 drives the control valve 31 and the pump 32 via the liquid amount adjusting drive unit 212 based on the detection result of the liquid level sensor 41 provided in the sub tank 26. The CPU 202 also drives the transport unit 62 via the transport drive unit 210, drives the discharge head 14 via the discharge drive unit 208, and drives the control valve 21 and the pump 22 via the circulation drive unit 214.

図３は、吐出口１５近傍の拡大図である。吐出ヘッド１４において、吐出口１５のそれぞれに対応して設けられた圧力室１９内には、アクチュエータ（不図示）が実装されている。アクチュエータは、吐出材を微細液滴、例えば１ｐＬなどの液滴として吐出可能なエネルギを発生することができるものであればよく、具体例として、ピエゾ素子（圧電素子）、発熱抵抗体素子等を挙げることができる。ピエゾ素子を用いる場合は、発熱抵抗体素子を用いる場合と比べて温度変化（昇温）による吐出特性への影響が小さいため、高温下での使用が可能となる。そのため、粘性の高い樹脂など幅広い種類の吐出材を用いることができる。また、発熱抵抗体素子を用いる場合は、一般的に製造コストが相対的に廉価であり得る。本例のアクチュエータはピエゾ素子であり、ピエゾ素子の駆動を制御することで圧力室１９内の容積を変化させ、吐出口内の吐出材を外部に吐出させる。ピエゾ素子は、ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍ：微小電気機械システム）技術を用いて実装されていてもよい。 FIG. 3 is an enlarged view of the vicinity of the discharge port 15. In the discharge head 14, an actuator (not shown) is mounted in a pressure chamber 19 provided corresponding to each of the discharge ports 15. The actuator may be any as long as it can generate energy capable of ejecting the ejecting material as fine droplets, for example, droplets such as 1 pL, and specific examples thereof include a piezo element (piezoelectric element) and a heat generating resistor element. Can be mentioned. When the piezo element is used, the influence on the discharge characteristics due to the temperature change (temperature rise) is smaller than that when the heat generation resistor element is used, so that the piezo element can be used at a high temperature. Therefore, a wide variety of discharge materials such as highly viscous resins can be used. Further, when a heat-generating resistor element is used, the manufacturing cost can generally be relatively low. The actuator of this example is a piezo element, and by controlling the drive of the piezo element, the volume in the pressure chamber 19 is changed, and the discharge material in the discharge port is discharged to the outside. The piezo element may be mounted using MEMS (Micro Electro Electrical System) technology.

図３に示すように、吐出ヘッド１４において、各圧力室１９は共通液室２０と連通している。また、共通液室２０は、収容容器１３の第１収容空間５と連通している。吐出口１５から吐出されるべき吐出材は、第１収容空間５から共通液室２０を経て圧力室１９に供給される。吐出ヘッド１４は、第１収容空間５との間に制御弁を持たない。そのため、第１収容空間５の内圧は、吐出ヘッド１４の吐出口１５の外部の大気圧（外気圧）よりも若干負圧であるように制御される。この負圧制御により、吐出口１５内の吐出材は外気との界面でメニスカス１７を形成し、意図しないタイミングでの吐出口からの吐出材の漏出（滴下）が防止される。本例では、第１収容空間５の内圧は外気圧よりも０．４０±０．０４ｋＰａだけ負圧になるように制御されている。 As shown in FIG. 3, in the discharge head 14, each pressure chamber 19 communicates with the common liquid chamber 20. Further, the common liquid chamber 20 communicates with the first storage space 5 of the storage container 13. The discharge material to be discharged from the discharge port 15 is supplied from the first accommodation space 5 to the pressure chamber 19 via the common liquid chamber 20. The discharge head 14 does not have a control valve between the discharge head 14 and the first accommodation space 5. Therefore, the internal pressure of the first accommodation space 5 is controlled to be slightly negative than the atmospheric pressure (external pressure) outside the discharge port 15 of the discharge head 14. By this negative pressure control, the discharge material in the discharge port 15 forms a meniscus 17 at the interface with the outside air, and leakage (dropping) of the discharge material from the discharge port at an unintended timing is prevented. In this example, the internal pressure of the first accommodation space 5 is controlled to be a negative pressure by 0.40 ± 0.04 kPa from the external pressure.

図１に示すように、収容容器１３は筐体１１と筐体１２とにより外郭および内容積が画定されている。筐体１１と筐体１２との間には、可撓性部材（可撓性隔壁）が配置されている。可撓性部材は、可撓性のあるフィルム（第１フィルム）１と可撓性のあるフィルム（第２フィルム）２とを層構成に含む多層構造を有する。第１フィルム１および第２フィルム２は、それぞれ１０～１００マイクロメートルの厚さの薄膜であり、結合部３によって互いに対して連動可能に固定されている。結合部３は、本実施形態ではフィルムの溶着によって形成されているが、接着剤などの手段により形成されていてもよい。結合部３は、第１フィルム１と第２フィルム２との接合面において部分的に設けられている。結合部３の形状は、例えば、点状、線状等の任意の形状であってもよく、複数の結合部３は互いに異なる形状であってもよい。第１フィルム１および第２フィルム２は、接合面において互いに関して固定されていない非固定領域を有する。 As shown in FIG. 1, the outer and inner volumes of the storage container 13 are defined by the housing 11 and the housing 12. A flexible member (flexible partition wall) is arranged between the housing 11 and the housing 12. The flexible member has a multilayer structure including a flexible film (first film) 1 and a flexible film (second film) 2 in a layer structure. The first film 1 and the second film 2 are thin films having a thickness of 10 to 100 micrometers, respectively, and are fixed to each other by a bonding portion 3 so as to be interlocked with each other. Although the bonding portion 3 is formed by welding the film in the present embodiment, it may be formed by means such as an adhesive. The bonding portion 3 is partially provided on the bonding surface between the first film 1 and the second film 2. The shape of the joint portion 3 may be any shape such as a dot shape or a linear shape, and the plurality of joint portions 3 may have different shapes from each other. The first film 1 and the second film 2 have non-fixed regions that are not fixed with respect to each other on the joint surface.

筐体１１は、筐体１２に対向する側に開口する第１開口部と、吐出ヘッド１４に対向する側に開口する第２開口部と、を有する。第１開口部は第１フィルム１によって全面が覆われて密封されており、筐体１１の内面と第１フィルム１との間には第１収容空間５が形成されている。第２開口部は吐出ヘッド１４の共通液室２０と連通しており、これにより、第１収容空間５は吐出ヘッド１４を介して外部空間と連通している。第１収容空間５は吐出材によって満たされており、吐出材と外気との界面は、吐出口１５内に位置付けられている。 The housing 11 has a first opening that opens on the side facing the housing 12, and a second opening that opens on the side facing the discharge head 14. The entire surface of the first opening is covered with the first film 1 and sealed, and the first accommodation space 5 is formed between the inner surface of the housing 11 and the first film 1. The second opening communicates with the common liquid chamber 20 of the discharge head 14, whereby the first accommodation space 5 communicates with the external space via the discharge head 14. The first accommodation space 5 is filled with the discharge material, and the interface between the discharge material and the outside air is positioned in the discharge port 15.

筐体１２は、筐体１１に対向する側に開口する開口部を有する。この開口部は第２フィルム２によって全面が覆われて密封されており、筐体１２の内面と第２フィルム２との間には第２収容空間６が形成されている。第２収容空間６は、作動液３５で満たされており、また、作動液３５を貯留する液体収容部であるサブタンク２６の内部と、管２４を介して連通していると共に、制御弁２１およびポンプ２２を途中に備える管２３を介して連通可能となっている。 The housing 12 has an opening that opens on the side facing the housing 11. The entire surface of this opening is covered with the second film 2 and sealed, and a second accommodating space 6 is formed between the inner surface of the housing 12 and the second film 2. The second accommodating space 6 is filled with the hydraulic fluid 35, and communicates with the inside of the sub tank 26, which is a liquid accommodating portion for accommodating the hydraulic fluid 35, via the pipe 24, as well as the control valve 21 and the control valve 21. Communication is possible via a pipe 23 provided with a pump 22 in the middle.

作動液３５は第２収容空間内において液状充填剤として機能する。第１フィルム１および第２フィルムは、それぞれ、第１収容空間と第２収容空間との間において隔壁として機能する。 The hydraulic fluid 35 functions as a liquid filler in the second storage space. The first film 1 and the second film each function as a partition wall between the first accommodation space and the second accommodation space.

（フィルム）
第１フィルム１および第２フィルム２の材質としては、接液性等の観点から、吐出材および作動液に対して耐性のある材質であればよい。例えば、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）、ＥＴＦＥ（エチレンテトラフルオロエチレン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のようなフッ素樹脂を用いることができる。また、例えば、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＶＡＬ（ポリビニルアルコール）、ＰＶＤＣ（ポリ塩化ビニリデン）、ナイロン等のポリアミド合成樹脂が挙げられる。第１フィルム１および第２フィルム２は、同一の材料（材質、厚さ）であってもよく、異なる材料であってもよい。例えば、第１フィルム１には吐出材に対して耐性のあるＰＴＦＥのような材質を用い、第２フィルム２には作動液に対して耐性があるナイロン系の材質を用いることができる。 (the film)
The material of the first film 1 and the second film 2 may be any material that is resistant to the discharge material and the hydraulic fluid from the viewpoint of liquid contactability and the like. For example, fluororesins such as PFA (tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer), ETFE (ethylene tetrafluoroethylene), PTFE (polytetrafluoroethylene) and the like can be used. Moreover, for example, a polyamide synthetic resin such as PE (polyethylene), PVC (polyvinyl chloride), PET (polyethylene terephthalate), PVAL (polyvinyl alcohol), PVDC (polyvinylidene chloride), nylon and the like can be mentioned. The first film 1 and the second film 2 may be made of the same material (material, thickness) or may be made of different materials. For example, a material such as PTFE that is resistant to the ejection material can be used for the first film 1, and a nylon-based material that is resistant to the hydraulic fluid can be used for the second film 2.

以上の構成によると、第１収容空間５と第２収容空間６との間で内圧に差が生じると、それぞれ可撓性を有する第１フィルム１および第２フィルム２は一体となって内圧の低い側へと移動し、内圧差が無くなった時点で移動を停止する動きを繰り返す。そのため、第１収容空間５および第２収容空間６の内圧を相互に等しい状態に保つことができる。第１フィルムおよび第２フィルムの少なくとも一方に柔らかい材質または薄い厚さを用いて可撓性部材全体としての剛性を下げ、第１フィルムおよび第２フィルムの一体的な移動がスムーズに行われるようにしてもよい。 According to the above configuration, when a difference in internal pressure occurs between the first accommodating space 5 and the second accommodating space 6, the first film 1 and the second film 2, which have flexibility, respectively, are integrally subjected to the internal pressure. It moves to the lower side and repeats the movement to stop the movement when the internal pressure difference disappears. Therefore, the internal pressures of the first accommodation space 5 and the second accommodation space 6 can be kept equal to each other. A soft material or a thin thickness is used for at least one of the first film and the second film to reduce the rigidity of the flexible member as a whole so that the first film and the second film can be smoothly moved integrally. You may.

より具体的に説明する。吐出ヘッド１４から吐出材が吐出されると、吐出された吐出材の分だけ第１収容空間５内の吐出材の容積が減ることとなり、その分だけ第１収容空間５の内圧が下がる。このとき、第２収容空間６内の作動液の容積は変わっていないので、相対的に、第２収容空間６の内圧が第１収容空間５の内圧よりも高くなる。第１フィルム１および第２フィルム２は可撓性を有し、かつ結合部３によって連動可能に結合されている。そのため、収容容器１３内において、第１フィルム１および第２フィルム２は一体となって、吐出された吐出材の体積分だけ第１収容空間５側へ移動する。それと同時に、サブタンク２６から管２４を介して作動液３５が第２収容空間６内に吸い上げられる。これにより、第１収容空間５および第２収容空間６の内圧は、再び等しくなって平衡状態となる。 A more specific explanation will be given. When the discharge material is discharged from the discharge head 14, the volume of the discharge material in the first accommodation space 5 is reduced by the amount of the discharged material, and the internal pressure of the first accommodation space 5 is reduced by that amount. At this time, since the volume of the hydraulic fluid in the second accommodation space 6 has not changed, the internal pressure of the second accommodation space 6 is relatively higher than the internal pressure of the first accommodation space 5. The first film 1 and the second film 2 are flexible and are interlockably bonded by the bonding portion 3. Therefore, in the storage container 13, the first film 1 and the second film 2 are integrated and move to the first storage space 5 side by the volume integral of the discharged material. At the same time, the hydraulic fluid 35 is sucked up into the second accommodating space 6 from the sub tank 26 via the pipe 24. As a result, the internal pressures of the first accommodation space 5 and the second accommodation space 6 become equal again and are in an equilibrium state.

図１に示すように、サブタンク２６は管２５によって外部空間と連通しているので、サブタンク内の圧力は大気圧と等しい。サブタンク２６内には作動液３５が貯留されている。サブタンク２６内の作動液３５は、管２４および第２収容空間６を連続的に満たす作動液３５と連続しており、且つ、鉛直方向における液面位置（以下、液面高さともいう）が吐出ヘッド１４の吐出口１５よりも低くなるように調整されている。 As shown in FIG. 1, since the sub tank 26 communicates with the external space by the pipe 25, the pressure in the sub tank is equal to the atmospheric pressure. The hydraulic fluid 35 is stored in the sub tank 26. The hydraulic fluid 35 in the sub tank 26 is continuous with the hydraulic fluid 35 that continuously fills the pipe 24 and the second accommodating space 6, and the liquid level position (hereinafter, also referred to as liquid level height) in the vertical direction is continuous. It is adjusted to be lower than the discharge port 15 of the discharge head 14.

サブタンク２６内の作動液３５の液面位置と吐出口１５が開口する吐出面の位置との高さの差（鉛直方向における距離）をΔＨとする。本実施形態の吐出装置では、吐出ヘッド１４内の吐出材が吐出口１５内でメニスカス１７を形成する状態（図３に示す状態）を維持させようとしている。つまり、吐出材が吐出口から外部に漏出または滴下したり、メニスカスが過度に奥部（例えば、共通液室近傍）に引込んだりすることがないようにしようとしている。そのために、第１収容空間５の内圧を外気圧に対して０．４０±０．０４ｋＰａだけ低い値に制御したいので、高さの差ΔＨを４１±４ｍｍとなるように調整している。 Let ΔH be the difference in height (distance in the vertical direction) between the liquid level position of the hydraulic fluid 35 in the sub tank 26 and the position of the discharge surface where the discharge port 15 opens. In the discharge device of the present embodiment, the discharge material in the discharge head 14 is intended to maintain the state of forming the meniscus 17 in the discharge port 15 (the state shown in FIG. 3). That is, it is intended to prevent the discharge material from leaking or dripping from the discharge port to the outside and the meniscus from being excessively drawn into the inner part (for example, near the common liquid chamber). Therefore, since it is desired to control the internal pressure of the first accommodation space 5 to a value 0.40 ± 0.04 kPa lower than the external air pressure, the height difference ΔH is adjusted to be 41 ± 4 mm.

なお、本実施形態は、上述のように、１ｐＬ（ピコリットル）程度またはそれ以下の液量の吐出が可能なプリント装置に適用可能な吐出材吐出装置である。本例において、吐出材は画像記録用のインクであり、吐出口１５の直径は直径１０μｍ（ミクロン）程度である。また、本例において、吐出材および作動液はそれぞれ水とほぼ等しい密度を有するものとする。このような条件の下、本実施形態では、吐出口１５内で吐出材のメニスカス１７が成立するための、サブタンク２６内の作動液３５の液面位置と吐出口１５が開口する吐出面の位置との高さの差ΔＨの値を、上述した４１ｍｍ±４ｍｍの範囲に設定している。これに対し、例えば解像度の粗いプリント装置であれば吐出口１５の直径は数十μｍであり、また、樹脂等を吐出材として用いる３Ｄプリンタにおける吐出口の直径は数百μｍである。このように、吐出装置の適用機種によっては吐出口１５の直径が異なり、また吐出材の物性（例えば、密度、粘性等）も異なるので、重力、毛管力、表面張力等の影響により、吐出装置の適用対象によって高さの差ΔＨの数値は変更され得る。 As described above, the present embodiment is a discharge material discharge device applicable to a printing device capable of discharging a liquid amount of about 1 pL (picolitre) or less. In this example, the ejection material is ink for image recording, and the diameter of the ejection port 15 is about 10 μm (micron) in diameter. Further, in this example, it is assumed that the discharge material and the hydraulic fluid each have a density substantially equal to that of water. Under such conditions, in the present embodiment, the liquid level position of the hydraulic fluid 35 in the sub tank 26 and the position of the discharge surface at which the discharge port 15 opens so that the meniscus 17 of the discharge material is formed in the discharge port 15. The value of the height difference ΔH from the above is set in the range of 41 mm ± 4 mm described above. On the other hand, for example, in the case of a printing device having a coarse resolution, the diameter of the ejection port 15 is several tens of μm, and the diameter of the ejection port in a 3D printer using a resin or the like as an ejection material is several hundred μm. As described above, the diameter of the discharge port 15 differs depending on the applicable model of the discharge device, and the physical characteristics (for example, density, viscosity, etc.) of the discharge material also differ. Therefore, due to the influence of gravity, capillary force, surface tension, etc., the discharge device The numerical value of the height difference ΔH can be changed depending on the application target of.

基準となる液面高さ（本実施形態においては吐出口１５より４１ｍｍだけ低い高さ）に対して、サブタンク内の作動液の液面高さが所定の範囲（本実施形態においては基準となる液面高さ±４ｍｍの範囲）から外れると、補正動作が作動する。補正動作とは、メインタンク３４とサブタンク２６との間における作動液の遣り取り（移動）によってサブタンク２６内の作動液の液面高さを所定の範囲に収める「液面調整」の動作をいう。 The liquid level height of the hydraulic fluid in the sub tank is within a predetermined range (reference in this embodiment) with respect to the reference liquid level height (height 41 mm lower than the discharge port 15 in this embodiment). If the height deviates from the range of ± 4 mm), the correction operation is activated. The correction operation refers to an operation of "liquid level adjustment" in which the liquid level height of the hydraulic fluid in the sub tank 26 is kept within a predetermined range by exchanging (moving) the hydraulic fluid between the main tank 34 and the sub tank 26.

サブタンク２６には、液面センサ４１が設置されている。本実施形態に適用可能な液面センサ４１は、サブタンク２６内の作動液の液面高さおよびその変化（変位）を検出することのできるセンサである。 A liquid level sensor 41 is installed in the sub tank 26. The liquid level sensor 41 applicable to the present embodiment is a sensor capable of detecting the liquid level height of the hydraulic fluid in the sub tank 26 and its change (displacement).

メインタンク３４とサブタンク２６とは、制御弁３１およびポンプ３２を途中に備える管３３を介して連通可能となっている。制御弁３１およびポンプ３２を駆動して、液面高さを所望の範囲内に制御する（液面調整を行う）。具体的には、液面センサ４１がサブタンク２６内の作動液３５の液面高さが所定の範囲の下限を切ったことを検知した場合には、制御弁３１を開放させ、ポンプ３２を駆動させて、メインタンク３４からサブタンク２６に向けて作動液を供給する。液面センサ４１がサブタンク２６内の作動液３５の液面高さが所定の範囲の上限を超えたことを検知した場合には、制御弁３１を開放させ、ポンプ３２を駆動させて、サブタンク２６からメインタンク３４に向けて作動液を戻す。また、液面センサ４１がサブタンク２６内の作動液３５の液面高さが所定の範囲内であることを検知した場合には、ポンプ３２の駆動を停止して、制御弁３１を閉鎖する。これにより、サブタンク２６内の液面高さは所定の範囲内に維持される。 The main tank 34 and the sub tank 26 can communicate with each other via a pipe 33 having a control valve 31 and a pump 32 in the middle. The control valve 31 and the pump 32 are driven to control the liquid level height within a desired range (the liquid level is adjusted). Specifically, when the liquid level sensor 41 detects that the liquid level height of the hydraulic fluid 35 in the sub tank 26 has fallen below the lower limit of the predetermined range, the control valve 31 is opened and the pump 32 is driven. Then, the hydraulic fluid is supplied from the main tank 34 toward the sub tank 26. When the liquid level sensor 41 detects that the liquid level height of the hydraulic fluid 35 in the sub tank 26 exceeds the upper limit of the predetermined range, the control valve 31 is opened and the pump 32 is driven to drive the sub tank 26. The hydraulic fluid is returned from the main tank 34 to the main tank 34. When the liquid level sensor 41 detects that the liquid level height of the hydraulic fluid 35 in the sub tank 26 is within a predetermined range, the driving of the pump 32 is stopped and the control valve 31 is closed. As a result, the liquid level height in the sub tank 26 is maintained within a predetermined range.

（循環系）
第２収容空間６とサブタンク２６とは、上述の通り、管２４を介して連通しているのに加え、制御弁２１およびポンプ２２を途中に備える管２３を介して連通可能となっている。収容容器１３を吐出装置に関して一度取り外して再度取り付けた場合、管２４に泡が入る可能性がある。その場合には、制御弁２１を開いてポンプ２２を作動させ、作動液３５を、管２４、第２収容空間６および管２３を通して循環させてサブタンク２６に送ることによって、管２４内の泡を取り除くことができる。ポンプ２２を使用しないときには制御弁２１を閉じておく。ポンプ２２を使用するときは制御弁２１を開く。 (Circular system)
As described above, the second accommodating space 6 and the sub tank 26 communicate with each other via the pipe 24, and also communicate with each other via the pipe 23 provided with the control valve 21 and the pump 22 in the middle. If the storage container 13 is once removed and reattached with respect to the discharge device, bubbles may enter the pipe 24. In that case, the control valve 21 is opened to operate the pump 22, and the hydraulic fluid 35 is circulated through the pipe 24, the second accommodating space 6 and the pipe 23 and sent to the sub tank 26 to blow bubbles in the pipe 24. Can be removed. The control valve 21 is closed when the pump 22 is not used. When using the pump 22, the control valve 21 is opened.

（ポンプ）
ポンプ２２およびポンプ３２の例として、シリンジポンプ、チューブポンプ、ダイアフラムポンプ、ギアポンプ等が挙げられる。ただし、ポンプ２２およびポンプ３２は送液手段の機能を有していればよいため、ポンプに限定されるわけではなく、吐出材吐出装置に適した送液手段を選定することが可能である。 (pump)
Examples of the pump 22 and the pump 32 include a syringe pump, a tube pump, a diaphragm pump, a gear pump and the like. However, since the pump 22 and the pump 32 need only have the function of the liquid feeding means, the pump 22 and the pump 32 are not limited to the pump, and it is possible to select the liquid feeding means suitable for the discharge material discharge device.

先に説明したように、図１に示す吐出装置では、収容容器１３の内部空間は、隔壁として機能する２枚のフィルムを含む可撓性部材によって、第１収容空間５と第２収容空間６とに分離されている。もし第１フィルム１と第２フィルム２とがそれぞれ独立して変形および移動することが可能であるならば、サブタンク２６内における液面高さを調整しても、それによって吐出ヘッド１４内の圧力を上述のように制御することはできない。しかしながら、本発明の実施形態においては、第１フィルム１と第２フィルム２とが連動して一体的に変形し移動することが可能であるため、吐出ヘッド１４内の圧力を制御することができる。以下に具体的に説明する。 As described above, in the discharge device shown in FIG. 1, the internal space of the storage container 13 is a first storage space 5 and a second storage space 6 by a flexible member including two films functioning as a partition wall. It is separated into. If the first film 1 and the second film 2 can be deformed and moved independently, even if the liquid level height in the sub tank 26 is adjusted, the pressure in the discharge head 14 is thereby adjusted. Cannot be controlled as described above. However, in the embodiment of the present invention, since the first film 1 and the second film 2 can be integrally deformed and moved in conjunction with each other, the pressure in the discharge head 14 can be controlled. .. This will be described in detail below.

第１フィルム１と第２フィルム２とがそれぞれ独立して変形および移動する構成において、サブタンク２６内における作動液の液面位置（液面高さ）を吐出口１５が開口する吐出面の位置よりも低い高さに調整しようとする場合について説明する。第２収容空間６内の作動液は重力によってサブタンク２６内に移動しようとする。第２フィルム２は、第１フィルム１とは無関係に移動可能であるので、第２収容空間６内の作動液３５がサブタンク２６に移動していくのに伴い、図中のＸ方向に移動を続ける。高さの差ΔＨが小さくなり所定値未満になると、サブタンク２６の液面調整機能が作動し、作動液３５は、ポンプ３２によって、サブタンク２６からメインタンク３４にさらに送られる。あるいはまた、系内の作動液３５は、サブタンク２６の吸気口としても機能する大気連通した管２５から外部に溢れ出る。いずれの場合にも、最終的には第２収容空間６から流出可能な作動液が無くなって、第２フィルム２は筐体１２の内壁面に張りついた状態に至ることとなる。このとき、第２フィルム２が移動しても第１フィルム１は移動しないので、第１収容空間５の内圧は、サブタンク２６内の作動液の液面高さに連動して変化することはない。 In a configuration in which the first film 1 and the second film 2 are independently deformed and moved, the liquid level position (liquid level height) of the hydraulic fluid in the sub tank 26 is set from the position of the discharge surface where the discharge port 15 opens. The case of trying to adjust to a low height will be described. The hydraulic fluid in the second accommodation space 6 tends to move into the sub tank 26 by gravity. Since the second film 2 can move independently of the first film 1, as the hydraulic fluid 35 in the second accommodating space 6 moves to the sub tank 26, it moves in the X direction in the figure. continue. When the height difference ΔH becomes smaller than a predetermined value, the liquid level adjusting function of the sub tank 26 is activated, and the hydraulic fluid 35 is further sent from the sub tank 26 to the main tank 34 by the pump 32. Alternatively, the hydraulic fluid 35 in the system overflows to the outside from the atmospheric communication pipe 25 that also functions as the intake port of the sub tank 26. In either case, finally, the hydraulic fluid that can flow out from the second accommodation space 6 disappears, and the second film 2 reaches a state of being stuck to the inner wall surface of the housing 12. At this time, since the first film 1 does not move even if the second film 2 moves, the internal pressure of the first accommodation space 5 does not change in conjunction with the liquid level height of the hydraulic fluid in the sub tank 26. ..

このように、第１フィルム１と第２フィルム２とが連動しない構成の場合は、作動液３５の液面位置の調整によって吐出ヘッド１４内の圧力を制御することができない。 As described above, in the case where the first film 1 and the second film 2 are not interlocked with each other, the pressure in the discharge head 14 cannot be controlled by adjusting the liquid level position of the hydraulic fluid 35.

これに対し、本発明の実施形態では、第１フィルム１および第２フィルム２は、接合面に分布する結合部３によって複数箇所で連結されているため、第１フィルム１および第２フィルム２は連動して同時に同方向に移動する。 On the other hand, in the embodiment of the present invention, since the first film 1 and the second film 2 are connected at a plurality of points by the bonding portions 3 distributed on the bonding surface, the first film 1 and the second film 2 are connected. It moves in the same direction at the same time in conjunction.

ここで、第１収容空間５は、吐出ヘッドの吐出口１５を介して外気と連通している。吐出口内の吐出材と外気との界面において、吐出材にはその高さでの大気圧、吐出材の重力、および吐出口の内壁による流抵抗および表面張力等の力が働く。力の釣り合いの関係から、吐出材は吐出口から外部に流れ出ようとし、第１フィルム１を図中のＸ方向とは反対の－Ｘ方向に移動させようとする。 Here, the first accommodation space 5 communicates with the outside air through the discharge port 15 of the discharge head. At the interface between the discharge material in the discharge port and the outside air, a force such as atmospheric pressure at the height of the discharge material, gravity of the discharge material, and flow resistance and surface tension due to the inner wall of the discharge port acts on the discharge material. Due to the balance of forces, the discharge material tends to flow out from the discharge port, and the first film 1 tries to move in the −X direction opposite to the X direction in the drawing.

本実施形態の構成によれば、第２フィルム２を図中のＸ方向に移動させようとする力と第１フィルム１をその反対方向である－Ｘ方向に移動させようとする力とのバランスにより、第１収容空間５および第２収容空間６の内圧が等しい状態が維持される。そのため、高さの差ΔＨを所定の範囲に保つことによって、吐出口１５内にメニスカス１７が形成される負圧で、第１収容空間５および第２収容空間６の内圧が釣り合った状態となる。したがって、サブタンク２６内の作動液３５の液面位置の調整によって吐出ヘッド１４内の圧力制御を行うことができる。 According to the configuration of the present embodiment, the balance between the force for moving the second film 2 in the X direction in the drawing and the force for moving the first film 1 in the opposite direction −X direction. As a result, the internal pressures of the first accommodation space 5 and the second accommodation space 6 are maintained at the same level. Therefore, by keeping the height difference ΔH within a predetermined range, the internal pressures of the first accommodation space 5 and the second accommodation space 6 are balanced by the negative pressure at which the meniscus 17 is formed in the discharge port 15. .. Therefore, the pressure in the discharge head 14 can be controlled by adjusting the liquid level position of the hydraulic fluid 35 in the sub tank 26.

（圧力変動の相互干渉の抑制）
図３を用いて、吐出材の液滴を吐出する際の圧力変動の相互干渉の抑制に関して述べる。上述のように、吐出材の液滴を吐出する吐出ヘッド１４は、圧力室１９および吐出口１５を複数有している。液滴を吐出する際には、各圧力室１９に配置される不図示のピエゾ素子に電圧を加えることで圧力室１９に圧力変動を発生させ、吐出口から液滴を吐出する。圧力室１９で発生した圧力変動のエネルギの一部は液滴を吐出するために使用されるが、圧力変動の残りのエネルギは圧力波として吐出口１５とは反対向きに進み、第１収容空間５内に進む。第１収容空間５内で圧力波は壁面で反射しながら複雑に移動し、そのうちの一部は吐出した圧力室１９とは別の圧力室１９内に侵入する。圧力波が侵入してきた時にその圧力室から液滴を吐出しようとすると、圧力室内に所望の圧力変動が得られず、吐出性能が低下する。そのため、第１収容空間５に入った圧力波の伝播による圧力変動を抑制して、圧力変動の相互干渉を抑制することが求められる。 (Suppression of mutual interference of pressure fluctuations)
With reference to FIG. 3, the suppression of mutual interference of pressure fluctuations when ejecting droplets of the ejection material will be described. As described above, the discharge head 14 that discharges the droplets of the discharge material has a plurality of pressure chambers 19 and a plurality of discharge ports 15. When ejecting a droplet, a voltage is applied to a piezo element (not shown) arranged in each pressure chamber 19 to generate a pressure fluctuation in the pressure chamber 19, and the droplet is ejected from the ejection port. A part of the energy of the pressure fluctuation generated in the pressure chamber 19 is used to eject the droplet, but the remaining energy of the pressure fluctuation travels as a pressure wave in the direction opposite to the discharge port 15, and the first accommodation space. Proceed within 5. In the first accommodation space 5, the pressure wave moves in a complicated manner while being reflected by the wall surface, and a part of the pressure wave enters the pressure chamber 19 different from the discharged pressure chamber 19. If a droplet is to be ejected from the pressure chamber when a pressure wave has invaded, the desired pressure fluctuation cannot be obtained in the pressure chamber, and the ejection performance is deteriorated. Therefore, it is required to suppress the pressure fluctuation due to the propagation of the pressure wave entering the first accommodation space 5 and suppress the mutual interference of the pressure fluctuation.

ここで、圧力変動の相互干渉を抑制するために特許文献２に示されるようにダンパを設ける場合、第１収容空間５内における圧力変動を抑えるようにダンパを配置することが考えられる。例えば、第１収容空間５を形成する部材のうち可撓性部材に、受ける圧力を緩衝して圧力変動を吸収するダンパ機能をもたせることが考えられる。第１収容空間５を形成する可撓性部材は第１フィルム１および第２フィルム２を含むので、第１フィルム１および第２フィルム２に圧力変動を吸収させることが考えられる。 Here, when a damper is provided as shown in Patent Document 2 in order to suppress mutual interference of pressure fluctuations, it is conceivable to arrange the dampers so as to suppress the pressure fluctuations in the first accommodation space 5. For example, it is conceivable that the flexible member among the members forming the first accommodation space 5 has a damper function of buffering the received pressure and absorbing the pressure fluctuation. Since the flexible member forming the first accommodation space 5 includes the first film 1 and the second film 2, it is conceivable that the first film 1 and the second film 2 absorb the pressure fluctuation.

これに対し、第１フィルム１および第２フィルム２は、第１収容空間５内の吐出材の減少につれて第１収容空間５側にスムーズに移動できるように、厚さが１０～１００マイクロメートルであり、剛性が小さい。そのため、第１フィルム１および第２フィルム２は、圧力波を受けたときに変形しやすく、圧力変動を吸収しきれずに逃がしてしまう可能性がある。したがって、フィルムの物性に頼るだけでは共通液室に伝播した圧力変動を抑制する効果が小さい場合がある。 On the other hand, the first film 1 and the second film 2 have a thickness of 10 to 100 micrometers so that they can smoothly move toward the first accommodation space 5 as the amount of discharged material in the first accommodation space 5 decreases. Yes, the rigidity is small. Therefore, the first film 1 and the second film 2 are easily deformed when they receive a pressure wave, and there is a possibility that the pressure fluctuation cannot be completely absorbed and escapes. Therefore, the effect of suppressing the pressure fluctuation propagated in the common liquid chamber may be small only by relying on the physical characteristics of the film.

そこで、本実施形態においては、図１に示すように、第１フィルム１と第２フィルム２との間の空間（以下、膜間空間ともいう）４を密閉するための封止部材１０１を配置する。そして、膜間空間４に気体を封入して密閉空間とし、その内圧を第１収容空間５および第２収容空間６の内圧よりも高い状態にして、ダンパ部１０３とする。つまり、本実施形態によるダンパ部１０３は、第１フィルムと、第２フィルムと、第１フィルムと第２フィルムとの間に介在する密閉空間内に含有される気体と、を含んで構成される。気体としては空気を用いることができ、安定性が高く扱いやすい気体であれば気体の種類は特に限定されない。第１収容空間５および第２収容空間６の内圧は、上述のとおり、大気圧よりも低い負圧に制御される。そのため、膜間空間４の内圧は、その負圧以上の圧力であればよく、例えば大気圧と等しい圧力としてもよく、大気圧よりも高い圧力としてもよい。 Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, a sealing member 101 for sealing the space (hereinafter, also referred to as an intermembrane space) 4 between the first film 1 and the second film 2 is arranged. do. Then, a gas is sealed in the intermembrane space 4 to form a closed space, and the internal pressure thereof is set to be higher than the internal pressures of the first accommodating space 5 and the second accommodating space 6 to form the damper portion 103. That is, the damper portion 103 according to the present embodiment is configured to include a first film, a second film, and a gas contained in a closed space interposed between the first film and the second film. .. Air can be used as the gas, and the type of gas is not particularly limited as long as it is a highly stable and easy-to-handle gas. As described above, the internal pressures of the first accommodation space 5 and the second accommodation space 6 are controlled to a negative pressure lower than the atmospheric pressure. Therefore, the internal pressure of the intermembrane space 4 may be a pressure equal to or higher than the negative pressure, for example, a pressure equal to the atmospheric pressure or a pressure higher than the atmospheric pressure.

膜間空間４は、周囲よりも圧力が高くなるように、且つ変形しやすいフィルムで形成されているため、図１に示すように、結合部３では閉じそれ以外の部分では第１収容空間５および第２収容空間６それぞれの側に向かって凸となるように膨んだ形状となる。 Since the intermembrane space 4 is formed of a film that has a higher pressure than the surroundings and is easily deformed, as shown in FIG. 1, the joint portion 3 is closed and the other portion is the first accommodation space 5. The shape is bulged so as to be convex toward each side of the second accommodation space 6.

本実施形態における結合部３は、２枚のフィルムを単純に溶着したものである。そのため、ダンパ部１０３は、フィルム２枚分の剛性と同程度の剛性を有し、容易に変形することができ、第１収容空間と第２収容空間との間で圧力変化をスムーズに伝えることができる。また、結合部３が接着剤等の手段で形成される場合には、接着剤の種類、量、結合部３の数、配置等を適切に設定することにより、同様に、ダンパ部１０３は容易に変形することができ、第１収容空間と第２収容空間との間で圧力変化をスムーズに伝えることができる。したがって、本実施形態によるダンパ部１０３を備える構成においても、吐出材収容容器１３における速やかな内圧調整が可能となる。 The bonding portion 3 in the present embodiment is simply welded two films. Therefore, the damper portion 103 has the same rigidity as that of two films, can be easily deformed, and smoothly transmits the pressure change between the first accommodation space and the second accommodation space. Can be done. Further, when the joint portion 3 is formed by means such as an adhesive, the damper portion 103 can be similarly easily provided by appropriately setting the type and amount of the adhesive, the number of the joint portions 3, the arrangement, and the like. The pressure change can be smoothly transmitted between the first accommodation space and the second accommodation space. Therefore, even in the configuration including the damper portion 103 according to the present embodiment, it is possible to quickly adjust the internal pressure in the discharge material storage container 13.

圧力室１９から共通液室２０を介して第１収容空間５に伝播してきた圧力波がダンパ部１０３に当たった場合、密閉空間を構成する膜間空間内の空気が圧縮される。つまり、第１収容空間５に伝播してきた圧力波のエネルギを、剛性が相対的に小さい第１フィルム１だけでなく、圧縮性が相対的に大きい密閉空間内の空気でも受け止めることとなる。これにより、第１収容空間５における圧力変動を抑制することができ、この圧力変動が各圧力室に伝播することによる圧力変動の干渉が抑制される。なお、ダンパ部１０３は、第２収容空間において圧力変動が生じた場合には、第１収容空間において圧力変動が生じた場合と同様に、第２フィルム２だけでなく密閉空間内の空気でも受け止めることにより、圧力変動を抑制することができる。 When the pressure wave propagating from the pressure chamber 19 to the first accommodation space 5 via the common liquid chamber 20 hits the damper portion 103, the air in the intermembrane space constituting the closed space is compressed. That is, the energy of the pressure wave propagating in the first accommodation space 5 is received not only by the first film 1 having a relatively low rigidity but also by the air in the closed space having a relatively large compressibility. As a result, the pressure fluctuation in the first accommodation space 5 can be suppressed, and the interference of the pressure fluctuation due to the pressure fluctuation propagating to each pressure chamber is suppressed. When the pressure fluctuation occurs in the second accommodation space, the damper portion 103 receives not only the second film 2 but also the air in the closed space as in the case where the pressure fluctuation occurs in the first accommodation space. Thereby, the pressure fluctuation can be suppressed.

したがって、本実施形態の吐出材吐出装置によれば、優れた内圧調整機能と、吐出動作に基づく圧力変動に起因する吐出性能の低下の抑制と、を両立することができる。 Therefore, according to the discharge material discharge device of the present embodiment, it is possible to achieve both an excellent internal pressure adjusting function and suppression of deterioration of discharge performance due to pressure fluctuation based on the discharge operation.

＜第２の実施形態＞
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態を説明する。本実施形態の基本的な構成は第１の実施形態と同様であるため、以下では特徴的な構成についてのみ説明する。 <Second embodiment>
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Since the basic configuration of this embodiment is the same as that of the first embodiment, only the characteristic configuration will be described below.

図４は、本発明による第２の実施形態を示したものである。第２の実施形態においては、可撓性部材の第１フィルム１と第２フィルム２との間の膜間空間４に弾性部材１０２を配置して、ダンパ部１０３とする。第１の実施形態では、第１フィルム１および第２フィルム２の端部に封止部材１０１を配置して膜間空間４を密閉空間としていたが、第２の実施形態においては、膜間空間４を外気に開放された開放空間としている。つまり、本実施形態によるダンパ部１０３は、第１フィルムと、第２フィルムと、第１フィルムと第２フィルムとの間に介在する開放空間内の気体と、開放空間内に配置された弾性部材と、を含んで構成される。 FIG. 4 shows a second embodiment according to the present invention. In the second embodiment, the elastic member 102 is arranged in the intermembrane space 4 between the first film 1 and the second film 2 of the flexible member to form the damper portion 103. In the first embodiment, the sealing member 101 is arranged at the ends of the first film 1 and the second film 2 to make the intermembrane space 4 a closed space, but in the second embodiment, the intermembrane space is used. 4 is an open space open to the outside air. That is, the damper portion 103 according to the present embodiment includes the first film, the second film, the gas in the open space interposed between the first film and the second film, and the elastic member arranged in the open space. And is configured to include.

膜間空間４は大気連通しており大気圧と等しい内圧を有する。第１収容空間５および第２収容空間６の内圧は、上述のとおり、負圧に制御される。また、膜間空間４は変形しやすいフィルムで形成されている。そのため、膜間空間４は、図４に示すように、結合部３では閉じそれ以外の部分では第１収容空間５および第２収容空間６それぞれの側に向かって凸となるように膨んだ形状となる。 The intermembrane space 4 communicates with the atmosphere and has an internal pressure equal to that of atmospheric pressure. The internal pressure of the first accommodation space 5 and the second accommodation space 6 is controlled to a negative pressure as described above. Further, the intermembrane space 4 is formed of a film that is easily deformed. Therefore, as shown in FIG. 4, the intermembrane space 4 is closed at the joint portion 3 and bulges so as to be convex toward the respective sides of the first accommodation space 5 and the second accommodation space 6 at the other portions. It becomes a shape.

弾性部材１０２は、板バネまたはコイルバネのようなバネ状のものであってもよく、スポンジ状等の中空体であってもよい。弾性部材１０２は、金属または樹脂で製造されていてもよい。金属の例としては、一般的な鉄、ステンレス、アルミ等が挙げられる。樹脂の例としては、ポリプロピレン、ポリエチレン、フッ素樹脂等が挙げられる。 The elastic member 102 may be a spring-like one such as a leaf spring or a coil spring, or may be a hollow body such as a sponge-like one. The elastic member 102 may be made of metal or resin. Examples of metals include general iron, stainless steel, aluminum and the like. Examples of the resin include polypropylene, polyethylene, fluororesin and the like.

本実施形態に適用可能な弾性部材１０２は、ダンパ効果の最適化を図りつつも、弾性部材１０２が組み入れられたダンパ部１０３が、容易に変形でき、第１収容空間と第２収容空間との間での圧力変化のスムーズな伝達ができるような剛性を有するように選択される。弾性部材１０２自体の剛性については、材質の選択、および、板バネであれば板厚、コイルバネであれば径、中空体であれば空隙率を変更すること等により剛性を調整することができる。本実施形態によるダンパ部１０３を備える構成においても、吐出材収容容器１３における速やかな内圧調整が可能となる。 In the elastic member 102 applicable to the present embodiment, the damper portion 103 in which the elastic member 102 is incorporated can be easily deformed while optimizing the damper effect, and the first accommodating space and the second accommodating space can be easily deformed. It is selected to have rigidity that allows smooth transmission of pressure changes between them. Regarding the rigidity of the elastic member 102 itself, the rigidity can be adjusted by selecting a material, changing the plate thickness for a leaf spring, the diameter for a coil spring, and changing the porosity for a hollow body. Even in the configuration including the damper portion 103 according to the present embodiment, it is possible to quickly adjust the internal pressure in the discharge material storage container 13.

圧力室１９から共通液室２０を介して第１収容空間５に伝播してきた圧力波がダンパ部１０３に当たった場合、膜間空間内の弾性部材が圧縮される。つまり、第１収容空間５に伝播してきた圧力波のエネルギを、剛性が相対的に小さい第１フィルム１だけでなく、圧縮性が相対的に大きい弾性部材でも受け止めることとなる。これにより、第１収容空間５における圧力変動を抑制することができ、この圧力変動が各圧力室に伝播することによる圧力変動の干渉が抑制される。なお、ダンパ部１０３は、第２収容空間において圧力変動が生じた場合には、第１収容空間において圧力変動が生じた場合と同様に、第２フィルム２だけでなく密閉空間内の空気でも受け止めることにより、圧力変動を抑制することができる。 When the pressure wave propagating from the pressure chamber 19 to the first accommodation space 5 via the common liquid chamber 20 hits the damper portion 103, the elastic member in the intermembrane space is compressed. That is, the energy of the pressure wave propagating in the first accommodation space 5 is received not only by the first film 1 having a relatively low rigidity but also by an elastic member having a relatively high compressibility. As a result, the pressure fluctuation in the first accommodation space 5 can be suppressed, and the interference of the pressure fluctuation due to the pressure fluctuation propagating to each pressure chamber is suppressed. When the pressure fluctuation occurs in the second accommodation space, the damper portion 103 receives not only the second film 2 but also the air in the closed space as in the case where the pressure fluctuation occurs in the first accommodation space. Thereby, the pressure fluctuation can be suppressed.

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。各実施形態に示した構成の一部または全体を組み合わせたものも、本発明の実施形態の範囲に含まれる。 Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications and modifications can be made within the scope of the gist thereof. A combination of a part or all of the configurations shown in each embodiment is also included in the scope of the embodiment of the present invention.

＜他の実施形態＞
第２の実施形態では、膜間空間４を開放空間としていたが、第１の実施形態と同様に、端部に封止部材１０１を配置することによって膜間空間４を密閉空間としてもよい。その場合、それぞれフィルムと比べて圧縮性の高い、気体によるダンパ機能と弾性部材１０２によるダンパ機能との足し合わせにより、圧力変動の抑制効果を向上させることができる。 <Other embodiments>
In the second embodiment, the intermembrane space 4 is an open space, but as in the first embodiment, the intermembrane space 4 may be a closed space by arranging the sealing member 101 at the end. In that case, the effect of suppressing the pressure fluctuation can be improved by adding the damper function by the gas and the damper function by the elastic member 102, which have higher compressibility than the film.

第１の実施形態では、第１フィルム１および第２フィルム２の端部に封止部材１０１を配置することにより、第１フィルム１と第２フィルム２との間の膜間空間４の全域を密閉空間としていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、膜間空間４を複数の空間領域に分割して、その一部を密閉空間とし、残りを開放空間としてもよい。密閉空間は、例えば結合部３の形状および配置によってフィルム間に閉じた領域を作ることによって形成することができる。可撓性部材において内圧調整のために相対的に大きな変形が望まれる領域に開放空間を配置し、大きな変形が望まれない領域に密閉空間を配置して、内圧調整の際の圧力変化の伝達をよりスムーズにしてもよい。 In the first embodiment, by arranging the sealing member 101 at the ends of the first film 1 and the second film 2, the entire area of the intermembrane space 4 between the first film 1 and the second film 2 is covered. It was a closed space. However, the present invention is not limited to this, and the intermembrane space 4 may be divided into a plurality of space regions, one of which may be a closed space and the rest may be an open space. The enclosed space can be formed, for example, by creating a closed area between the films due to the shape and arrangement of the joints 3. In the flexible member, an open space is arranged in a region where relatively large deformation is desired for internal pressure adjustment, and a closed space is arranged in a region where large deformation is not desired, and the pressure change at the time of internal pressure adjustment is transmitted. May be smoother.

上述の実施形態において、可撓性部材は第１フィルムおよび第２フィルムの２枚のフィルムを層構成に含むものとして説明した。しかしながら、本発明において、可撓性部材に含まれるフィルムの数は、ダンパとして機能するように構成された膜間空間を形成することができ、且つ圧力変化のスムーズな伝達を可能にする構成である限りは、２枚に限定されず３枚以上であってもよい。 In the above-described embodiment, the flexible member has been described as including two films, a first film and a second film, in the layer structure. However, in the present invention, the number of films contained in the flexible member is such that an intermembrane space configured to function as a damper can be formed and the pressure change can be smoothly transmitted. As long as it is, the number is not limited to two, and may be three or more.

１第１フィルム
２第２フィルム
４膜間空間
５第１収容空間
６第２収容空間
１３収容容器
１４吐出ヘッド
１９圧力室
３５作動液
１００吐出材吐出装置 1 1st film 2 2nd film 4 Intermembrane space
5 1st accommodation space 6 2nd accommodation space
13 Storage container
14 Discharge head
19 Pressure chamber 35 Hydraulic fluid
100 Discharge material discharge device

Claims

吐出材を吐出する吐出ヘッドと、
吐出材を充填し前記吐出ヘッドと連通する第１収容空間と、作動液を充填する第２収容空間と、に分離された収容容器と、
前記第２収容空間と連通し、前記第２収容空間の内圧を制御する圧力制御手段と、
を備える吐出材吐出装置であって、
前記第１収容空間と前記第２収容空間とは、前記第１収容空間または前記第２収容空間から受ける圧力を緩衝することが可能であって、第１フィルムと、第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在して気体を含有する膜間空間と、前記膜間空間に配置された弾性部材と、を含んで構成される可撓性隔壁によって分離されていることを特徴とする吐出材吐出装置。 A discharge head that discharges the discharge material and
A storage container separated into a first storage space filled with a discharge material and communicating with the discharge head, and a second storage space filled with a hydraulic fluid.
A pressure control means that communicates with the second accommodation space and controls the internal pressure of the second accommodation space.
It is a discharge material discharge device provided with
The first accommodating space and the second accommodating space can buffer the pressure received from the first accommodating space or the second accommodating space, and the first film, the second film, and the first accommodating space. It is separated by a flexible partition wall formed by interposing between one film and the second film and containing an intermembrane space containing a gas and an elastic member arranged in the intermembrane space. Discharge material discharge device characterized by this.

前記可撓性隔壁は、第１フィルムと、第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在して気体を含有する膜間空間と、を含んで構成され、前記膜間空間の少なくとも一部は密閉空間である請求項１に記載の吐出材吐出装置。 The flexible partition wall is configured to include a first film, a second film, and an intermembrane space that is interposed between the first film and the second film and contains a gas. The discharge material discharge device according to claim 1, wherein at least a part of the space is a closed space.

吐出材を吐出する吐出ヘッドと、
吐出材を充填し前記吐出ヘッドと連通する第１収容空間と、作動液を充填する第２収容空間と、に分離された収容容器と、
前記第２収容空間と連通し、前記第２収容空間の内圧を制御する圧力制御手段と、
を備える吐出材吐出装置であって、
前記第１収容空間と前記第２収容空間とは、前記第１収容空間または前記第２収容空間から受ける圧力を緩衝することが可能であって、第１フィルムと、第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在して気体を含有し内圧が大気圧と等しい膜間空間と、を含んで構成され、前記膜間空間の少なくとも一部は密閉空間である可撓性隔壁によって分離されていることを特徴とする吐出材吐出装置。 A discharge head that discharges the discharge material and
A storage container separated into a first storage space filled with a discharge material and communicating with the discharge head, and a second storage space filled with a hydraulic fluid.
A pressure control means that communicates with the second accommodation space and controls the internal pressure of the second accommodation space.
It is a discharge material discharge device provided with
The first accommodation space and the second accommodation space can buffer the pressure received from the first accommodation space or the second accommodation space, and the first film, the second film, and the first. It is configured to include an intermembrane space that contains a gas and has an internal pressure equal to the atmospheric pressure, which is interposed between the 1 film and the second film, and at least a part of the intermembrane space is a closed space. A discharge material discharge device characterized by being separated by a sex partition.

吐出材を吐出する吐出ヘッドと、
吐出材を充填し前記吐出ヘッドと連通する第１収容空間と、作動液を充填する第２収容空間と、に分離された収容容器と、
前記第２収容空間と連通し、前記第２収容空間の内圧を制御する圧力制御手段と、
を備える吐出材吐出装置であって、
前記第１収容空間と前記第２収容空間とは、前記第１収容空間または前記第２収容空間から受ける圧力を緩衝することが可能であって、第１フィルムと、第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在して気体を含有し内圧が大気圧と等しい膜間空間と、前記膜間空間に配置された弾性部材と、を含んで構成される可撓性隔壁によって分離されていることを特徴とする吐出材吐出装置。 A discharge head that discharges the discharge material and
A storage container separated into a first storage space filled with a discharge material and communicating with the discharge head, and a second storage space filled with a hydraulic fluid.
A pressure control means that communicates with the second accommodation space and controls the internal pressure of the second accommodation space.
It is a discharge material discharge device provided with
The first accommodation space and the second accommodation space can buffer the pressure received from the first accommodation space or the second accommodation space, and the first film, the second film, and the second accommodation space can be buffered. Flexibility configured by interposing between the 1 film and the 2nd film, including an intermembrane space containing a gas and having an internal pressure equal to the atmospheric pressure, and an elastic member arranged in the intermembrane space. A discharge material discharge device characterized by being separated by a partition wall.

吐出材を吐出する吐出ヘッドと、
吐出材を充填し前記吐出ヘッドと連通する第１収容空間と、作動液を充填する第２収容空間と、に分離された収容容器と、
前記第２収容空間と連通し、前記第２収容空間の内圧を制御する圧力制御手段と、
を備える吐出材吐出装置であって、
前記第１収容空間と前記第２収容空間とは、前記第１収容空間または前記第２収容空間から受ける圧力を緩衝することが可能であって、第１フィルムと、第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在して気体を含有し第１収容空間および第２収容空間の内圧より高く且つ大気圧と等しい内圧を有する膜間空間と、を含んで構成され、前記膜間空間の少なくとも一部は密閉空間である可撓性隔壁によって分離されていることを特徴とする吐出材吐出装置。 A discharge head that discharges the discharge material and
A storage container separated into a first storage space filled with a discharge material and communicating with the discharge head, and a second storage space filled with a hydraulic fluid.
A pressure control means that communicates with the second accommodation space and controls the internal pressure of the second accommodation space.
It is a discharge material discharge device provided with
The first accommodation space and the second accommodation space can buffer the pressure received from the first accommodation space or the second accommodation space, and the first film, the second film, and the first. It is configured to include an intermembrane space that is interposed between the 1 film and the 2nd film and contains a gas and has an internal pressure higher than the internal pressure of the 1st accommodation space and the 2nd accommodation space and equal to the atmospheric pressure. A discharge material discharge device, characterized in that at least a part of the intermembrane space is separated by a flexible partition wall which is a closed space.

前記可撓性隔壁は、第１フィルムと、第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在して気体を含有する膜間空間と、前記膜間空間に配置された弾性部材と、を含んで構成される請求項３または５に記載の吐出材吐出装置。 The flexible partition wall was arranged in the intermembrane space, which is interposed between the first film, the second film, the first film and the second film, and contains a gas. The discharge material discharge device according to claim 3 or 5, further comprising an elastic member.

前記膜間空間は外気に開放された開放空間および密閉空間の少なくとも一方を含み、前記弾性部材は前記開放空間および前記密閉空間の少なくとも一方に配置されている請求項１、４、または６に記載の吐出材吐出装置。 The intermembrane space includes at least one of an open space and a closed space open to the outside air, and the elastic member is arranged in at least one of the open space and the closed space according to claim 1, 4, or 6. Discharge material discharge device.

前記第１フィルムと前記第２フィルムとは、互いに関して連動可能に部分的に接合されている請求項１から７のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。 The discharge material discharge device according to any one of claims 1 to 7, wherein the first film and the second film are partially joined to each other so as to be interlockable with each other.

前記圧力制御手段は、前記圧力制御手段と前記第２収容空間との間の前記作動液の移動によって前記第２収容空間の内圧を制御する請求項１から８のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。 The discharge according to any one of claims 1 to 8, wherein the pressure control means controls the internal pressure of the second accommodation space by the movement of the hydraulic fluid between the pressure control means and the second accommodation space. Material discharge device.

前記圧力制御手段は、前記第２収容空間の内圧を大気圧よりも低い圧力に制御する請求項１から９のいずれか一項に記載の吐出材吐出装置。 The discharge material discharge device according to any one of claims 1 to 9, wherein the pressure control means controls the internal pressure of the second accommodation space to a pressure lower than the atmospheric pressure.