JP7022646B2 - 熱線式流量計 - Google Patents
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Description
(1)流路120の内壁121の一部であって、熱線式流量センサ100の表面に対向する内壁に、絞り壁121aを形成したこと
(2)絞り壁121aの最適な形状を設定したこと
(3)熱線式流量センサ100を設置する最適な位置を設定したこと
である。
100 熱線式流量センサ
101 ヒータ
102 第1熱感知素子
103 第2熱感知素子
110 シリコン基板
120 流路
121 内壁
121a 絞り壁
Claims (6)
- 被計測流体が流れる管状の流路と、
当該流路内に配置された熱線式流量センサと、
を有し、
前記熱線式流量センサは、基板と、当該基板上に形成されたヒータと、当該基板上に当該ヒータを中心としてその両側に対称に配置形成された2つの熱感知素子と、当該基板上、当該各熱感知素子の外側に、前記ヒータを中心として対称に配置形成された2つの流体温度測定素子とを備え、
前記流路は、その内壁からせり出して流路を絞る絞り壁を備え、
前記絞り壁は、切妻屋根形状であって、その大棟部が被計測流体の流れ方向に対して垂直に位置するように形成され、さらに、当該大棟部を含み、被計測流体の流れ方向に対する垂直面に対して面対称となるように形成され、
前記熱線式流量センサは、前記絞り壁の大棟部と当該大棟部に対向する前記流路の内壁との間であって、前記垂直面が前記ヒータと交差する位置にあって、被計測流体がその流れに従って、流体温度測定素子、熱感知素子、ヒータ、熱感知素子及び流体温度測定素子の順に接触して行くような方向に設置される
ことを特徴とする熱線式流量計。 - 前記絞り壁の前記大棟部は、丸みを帯びた形状であることを特徴とする請求項1に記載の熱線式流量計。
- 前記流路の高さを高さdとすると、
前記絞り壁の前記大棟部は、前記高さdの1/10以上の曲率半径を有することを特徴とする請求項2に記載の熱線式流量計。 - 前記絞り壁に含まれる各屋根面は、前記大棟部を含み、被計測流体の流れ方向に対する水平面を基準として、仰角が10°から30°までの範囲の傾斜をなしていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の熱線式流量計。
- 前記絞り壁の前記大棟部と前記熱線式流量センサの表面との距離を距離bとし、
前記熱線式流量センサの裏面と当該裏面に対向する前記流路の内壁との距離を距離cとし、
前記流路の高さを高さdとすると、
距離b+距離c:高さdは、1:1.5から1:4までの範囲であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の熱線式流量計。 - 前記絞り壁の前記大棟部と前記熱線式流量センサの表面との距離を距離bとし、
前記熱線式流量センサの裏面と当該裏面に対向する前記流路の内壁との距離を距離cとすると、
距離b:距離cは、1:1から2:1までの範囲であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の熱線式流量計。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2018
- 2018-05-08 JP JP2018089874A patent/JP7022646B2/ja active Active
Patent Citations (7)
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