JP7022611B2 - 露光装置の制御方法、露光装置、及び物品製造方法 - Google Patents
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Description
[露光装置の構成]
まず、本実施形態におけるリソグラフィー装置の構成について説明する。本実施形態における計測器は、例えば、半導体デバイスや液晶表示デバイスなどの物品の製造工程におけるリソグラフィー工程で用いられるリソグラフィー装置に採用されるものであり、被処理基板(被計測物)の表面位置または傾きを計測し得る。以下、一例として、本実施形態における計測器は、半導体デバイスの製造工程におけるリソグラフィー工程で用いられるパターン転写装置としての露光装置に採用されるものとして説明する。本実施形態では、ステージに保持された基板をショット領域毎に走査しながら露光する露光装置によって行われる露光方法が説明される。
図3(a)に、先のショット領域の走査露光を終えた後、走査露光の対象を変更して次のショット領域に移るステップ移動、及び、次のショット領域のスキャン駆動の速度プロファイルを示す。ここでは、先のショット領域と次のショット領域とは、図3(b)に示されるように、第1方向(Y方向)の位置を同じくして第1方向に直交する第2方向(X方向)に沿って隣り合って配置されている。露光動作の間、固定された露光スリットに対して基板ステージ105が移動するが、図3(b)では、基板ステージ105に対する露光スリットの相対的な位置の変化(軌跡)が示されている。なお、レチクルステージ103も、基板ステージ105と同期して駆動されるので基板ステージ105のプロファイルと同様のプロファイルに従って駆動される。
・走査露光の開始時刻:Texpo、
・走査露光の終了時刻:Te、
・フォーカス位置の先読みの開始時刻:Tp、
・Y方向の速度がゼロとなる時刻:To、
・X方向のステップ移動の開始時刻:Txs、
・X方向のステップ移動の終了時刻:Txe
Txs=Texpo―Tin・・・(2)
なお、図2では先読みセンサおよびスリットセンサのそれぞれにより計測される計測点を3点ずつ示したが、図3(b)では、簡略化して中央の1点(中心ch)のみを示している。後述する図4(b)および図5も同様である。
図4および図5は、本実施形態に係るフォーカス計測方法を説明する図である。また、図6は、フォーカスの先読みの開始タイミングTpを決定する処理を示すフローチャートである。主制御部127は、図5に示すように、スリット計測位置(本読み計測位置)に対してX方向にずれた複数点(例えば図中A,B,C点)の各点でのX方向差(X方向ずれ量)およびZ方向段差(露光位置に対する高低差)のデータを取得する(S202)。A,B,C点はそれぞれ、複数の軌跡の候補を代表する点である。取得されたデータは、主制御部127のメモリに保存される。
ZLIM > ΔZ・・・(3)
となる点(すなわち誤差が許容範囲内となる点)をΔZA,ΔZB,ΔZCから判定する(S203)。ここで、フォーカス精度を満足するフォーカス計測開始位置を選択する。図5ではA点に対するΔZが図示されている。X位置(各計測開始位置)でのフォーカス計測開始タイミングは、図4(a)に示すように、それぞれTpA,TpB,TpCとなる。
本発明の実施形態に係る物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
Claims (10)
- 基板を保持して移動するステージと、走査方向に沿って配置され、前記ステージに保持された前記基板の面位置を計測する複数の計測器とを含み、前記ステージに保持された前記基板をショット領域毎に走査しながら露光する露光装置の制御方法であって、
前記ステージが曲線状に移動する第1移動の間に、前記複数の計測器のうちの第1計測器を用いて計測点の面位置を計測する第1計測を行い、前記第1移動の後、前記ステージが前記走査方向に沿って直線的に移動する第2移動の間に、前記複数の計測器のうち前記第1計測器とは異なる第2計測器を用いて前記計測点の面位置を計測する第2計測を行う計測工程と、
前記第1計測による計測結果と前記第2計測による計測結果とに基づいて、露光時における前記第1移動の軌跡を決定する決定工程と、
を有することを特徴とする制御方法。 - 前記決定工程で決定された前記軌跡に従って前記ステージを移動させて複数のショット領域のそれぞれを露光する露光工程を更に有することを特徴とする請求項1に記載の制御方法。
- 前記露光工程の前に、前記計測工程および前記決定工程がショット領域毎に行われることを特徴とする請求項2に記載の制御方法。
- 前記決定工程は、前記第1計測で計測された面位置の前記第2計測で計測された面位置に対する誤差が許容範囲内になるように前記軌跡を決定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の制御方法。
- 複数の軌跡の候補のそれぞれに対して前記計測工程を行い、
前記決定工程は、前記複数の軌跡の候補から前記誤差が前記許容範囲内となるものを選択することにより前記軌跡を決定する
ことを特徴とする請求項4に記載の制御方法。 - 前記決定工程は、前記複数の軌跡の候補から、前記誤差が前記許容範囲内にあり、かつ、移動経路が短くなるものを選択することにより、前記軌跡を決定することを特徴とする請求項5に記載の制御方法。
- 前記決定工程は、前記複数の軌跡の候補から、前記誤差が前記許容範囲内で最大となるものを選択することにより前記軌跡を決定することを特徴とする請求項5に記載の制御方法。
- 複数のショット領域のそれぞれに前記計測工程を行い、
前記決定工程は、
前記第1計測で計測された面位置の前記第2計測で計測された面位置に対する誤差に基づいて、前記複数のショット領域をグルーピングし、
各グループに対して、代表とする1つのショット領域に関して前記誤差が許容範囲内になるように前記軌跡を決定する
ことを特徴とする請求項1または2に記載の制御方法。 - 基板をショット領域毎に走査しながら露光する露光装置であって、
前記基板を保持して移動するステージと、
走査方向に沿って配置され、前記ステージに保持された前記基板の面位置を計測する複数の計測器と、
前記ステージを駆動して前記基板のショット領域における同じ計測点の面位置を前記複数の計測器のそれぞれで計測する処理部と、を有し、
前記処理部は、
前記ステージが曲線状に移動する第1移動の間に、前記複数の計測器のうちの第1計測器を用いて前記計測点の面位置を計測する第1計測を行い、
前記第1移動の後、前記ステージが前記走査方向に沿って直線的に移動する第2移動の間に、前記複数の計測器のうち前記第1計測器とは異なる第2計測器を用いて前記計測点の面位置を計測する第2計測を行い、
前記第1計測による計測結果と前記第2計測による計測結果とに基づいて、露光時における前記第1移動の軌跡を決定する
ことを特徴とする露光装置。 - 請求項9に記載の露光装置を用いて前記決定された前記軌跡に従って前記ステージを移動させて基板上の複数のショット領域のそれぞれを露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を有し、前記現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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