JP7022134B2 - 調整アセンブリ及び調整アセンブリを備える基板露光システム - Google Patents
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Description
機械的調整アセンブリは、第1のベローズと、第2のベローズと、導管と、を備え、導管は水圧系を形成するため第1のベローズ及び第2のベローズを相互接続し、
第1のベローズは機械的に連結された一連のコンポーネントの第1の部分と第2の部分との間に配置され、第2のベローズは第1のベローズから離間して配置され、第1のベローズは第2のベローズによって作動されるように配置されている。
第1のベローズと、第2のベローズと、導管と、を備える機械的調整アセンブリを提供することであって、導管は水圧系を形成するため第1のベローズ及び第2のベローズを相互接続する、ことと、
機械的に連結された一連のコンポーネントの第1の部分と第2の部分との間に第1のベローズを配置することと、
第1のベローズから離間して第2のベローズを配置することと、
第2のベローズを作動させ、これによって、機械的に連結されたコンポーネントの第1の部分の位置を機械的に連結された一連のコンポーネントの第2の部分に対して調整するように、第1のベローズの作動を引き起こすことと、
を含む。
フレームと、
フレームに接続されている、基板を担持するための基板サポートモジュールと、
フレームに接続され、基板サポートモジュールによって担持された基板を露光するため配置された露光装置と、
基板サポートモジュールに対する露光装置の位置を調整するための調整アセンブリであって、調整アセンブリは水圧アクチュエータと、水圧ジェネレータ(hydraulic generator)と、導管と、を備え、導管は水圧系を形成するため水圧アクチュエータ及び水圧ジェネレータを相互接続する、調整アセンブリと、
を備え、露光装置、フレーム、調整アセンブリ、及び基板サポートモジュールは、機械的に連結された一連のコンポーネントの部分として配置され、機械的に連結された一連のコンポーネントは、少なくとも露光装置を含む第1の部分と少なくとも基板サポートモジュールを含む第2の部分とを含み、水圧アクチュエータは機械的に連結された一連のコンポーネントの第1の部分と第2の部分との間に配置されている。
機械的に連結された一連のコンポーネントの第2の部分に対する第1の部分の相対位置の変化を与える水圧アクチュエータを作動させるため水圧ジェネレータを駆動するステップを含む。
測定された位置又は位置の変化に従って制御信号を発生させるステップと、
制御信号に従って水圧ジェネレータを駆動するステップと、
を更に含む。
Claims (15)
- 機械的に連結された一連のコンポーネントの第1の部分の位置を機械的に連結された一連のコンポーネントの第2の部分に対して調整するための機械的調整アセンブリであって、
前記機械的調整アセンブリは、第1のベローズと、第2のベローズと、導管と、を備え、前記導管は水圧系を形成するため前記第1のベローズ及び前記第2のベローズを相互接続し、
前記第1のベローズは前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第1の部分と前記第2の部分との間に配置され、前記第2のベローズは前記第1のベローズから離間して配置され、前記第1のベローズは前記第2のベローズによって作動されるように配置されており、
前記第2の部分は、フレームに接続されている、基板を担持するための基板サポートモジュールであり、前記第1の部分は、前記フレームによって担持され、前記基板サポートモジュールによって担持された前記基板を露光するため配置された露光装置である、機械的調整アセンブリ。 - 前記第2のベローズには、前記第1のベローズを作動させるため前記第2のベローズを収縮又は膨張させるように構成された駆動ユニットが備えられる、請求項1に記載の機械的調整アセンブリ。
- 前記システムは、前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分に対する前記第1の部分の位置、又は前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分に対する前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第1の部分の位置の変化を測定するための少なくとも1つのセンサを備える、請求項1又は2に記載の機械的調整アセンブリ。
- 機械的に連結された一連のコンポーネントの第1の部分の位置を機械的に連結された一連のコンポーネントの第2の部分に対して調整するための方法であって、
第1のベローズと、第2のベローズと、導管と、を備える機械的調整アセンブリを提供することであって、前記導管は水圧系を形成するため前記第1のベローズ及び前記第2のベローズを相互接続する、ことと、
前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第1の部分と前記第2の部分との間に前記第1のベローズを配置することと、
前記第1のベローズから離間して前記第2のベローズを配置することと、
前記第2のベローズを作動させ、これによって、前記機械的に連結されたコンポーネントの前記第1の部分の前記位置を前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分に対して調整するように、前記第1のベローズの作動を引き起こすことと、
を含み、
前記第2の部分は、フレームに接続されている、基板を担持するための基板サポートモジュールであり、前記第1の部分は、前記フレームによって担持され、前記基板サポートモジュールによって担持された前記基板を露光するため配置された露光装置である、方法。 - 前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分に対する前記第1の部分の位置、又は前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分に対する前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第1の部分の位置の変化を測定する少なくとも1つのセンサからの信号に基づいて、前記第2のベローズの前記作動を制御することを更に含む、請求項4に記載の方法。
- フレームと、
前記フレームに接続されている、基板を担持するための基板サポートモジュールと、
前記フレームによって担持され、前記基板サポートモジュールによって担持された前記基板を露光するため配置された露光装置と、
前記基板サポートモジュールに対する前記露光装置の位置を調整するための調整アセンブリであって、前記調整アセンブリは水圧アクチュエータと、水圧ジェネレータと、導管と、を備え、前記導管は水圧系を形成するため前記水圧アクチュエータ及び前記水圧ジェネレータを相互接続する、調整アセンブリと、
を備え、前記露光装置、前記フレーム、前記調整アセンブリ、及び前記基板サポートモジュールは、機械的に連結された一連のコンポーネントの部分として配置され、前記機械的に連結された一連のコンポーネントは、少なくとも前記露光装置を含む第1の部分と少なくとも前記基板サポートモジュールを含む第2の部分とを含み、前記水圧アクチュエータは前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第1の部分と前記第2の部分との間に配置されている、基板露光システム。 - 前記水圧アクチュエータは第1のベローズを含む、請求項6に記載の基板露光システム。
- 前記水圧ジェネレータは第2のベローズを含み、
前記駆動ユニットは、前記第1のベローズを作動させるため前記第2のベローズを収縮又は膨張させるように構成されている、請求項6又は7に記載の基板露光システム。 - 前記基板露光システムは、前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分に対する前記第1の部分の位置、又は前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分に対する前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第1の部分の位置の変化を測定するための少なくとも1つのセンサを備える、請求項6から8のいずれか一項に記載の基板露光システム。
- 前記センサは、前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分の一部であるフレームセグメントに対する前記露光装置の位置、又は前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第2の部分の一部であるフレームセグメントに対する前記露光装置の位置の変化を測定するため構成されている、請求項9に記載の基板露光システム。
- 前記露光装置は少なくとも1つのばね要素によって前記フレームに移動可能に接続され、前記機械的に連結された一連のコンポーネントの前記第1の部分は前記ばね要素を含み、
前記水圧アクチュエータは前記フレームと前記ばね要素との間に配置されている、請求項6から10のいずれか一項に記載の基板露光システム。 - 水圧アクチュエータは、前記基板サポートモジュールに対して前記露光装置を移動させるために構成されている、請求項6から11のいずれか一項に記載の基板露光システム。
- 筐体を更に備え、前記露光装置及び前記基板サポートモジュールは少なくとも部分的に前記筐体の内部に配置され、前記水圧アクチュエータは前記筐体の内部に配置されると共に前記水圧ジェネレータは前記筐体の外部に配置されている、請求項6から12のいずれか一項に記載の基板露光システム。
- 前記筐体は真空チャンバとして機能するように構成され、前記筐体は、使用時に前記筐体内部で真空又は減圧を生成するための真空ポンプに結合される、請求項13に記載の基板露光システム。
- 前記露光装置は、荷電粒子ビーム光学コラムを含む、請求項6から14のいずれか一項に記載の基板露光システム。
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