JP7011348B2 - 異物検査装置及び異物検査方法 - Google Patents
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Description
検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査装置であって、
インコヒーレント光の照明光を前記検査対象に照射する光源部と、
前記検査対象を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて異物を検出する検出部と、を備え、
前記検出部において、異物の検出対象とする画像は、前記撮像部で撮影された画像を、前記検査対象が前記光源部に近い側と前記光源部から離れた側で2分割した2つの領域中、前記光源部に近い側に位置している領域である。
前記撮像部における光学系の光軸は、前記検査対象の表面に対して傾斜している。
検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査装置であって、
照明光を前記検査対象に照射する光源部と、
前記検査対象を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて異物を検出する検出部と、を備え、
前記撮像部における光学系の光軸は、前記撮像部の撮像面の鉛直方向に対して傾斜している。
前記撮像面の延長面は、前記光学系の光軸の垂直面と、前記検査対象の略表面位置で交わる。
前記撮像部は、前記検査対象で反射した正反射光を受光しない位置であって、前記検査対象の表面に付着した異物の散乱光を受光する位置に配置されている。
検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査方法であって、
照明光を前記検査対象に照射し、
前記検査対象で反射した照明光を撮像部で撮影し、
異物の検出対象とする画像は、前記撮像部で撮影された画像中、照明光が入射する側の一部領域である。
検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査方法であって、
インコヒーレント光の照明光を前記検査対象に照射し、
前記検査対象で反射した照明光を撮像部で撮影し、
異物の検出対象とする画像は、前記撮像部で撮影された画像を、前記検査対象が前記光源部に近い側と前記光源部から離れた側で2分割した2つの領域中、前記光源部に近い側に位置している領域である。
2a~2r:撮像部
3a、3b:LED線光源
4:検査対象
5:台座
6a、6b:マスク
21:撮像面
22:光学系
23:撮像画像
23b:電極像
41:透明基板
42:ブラックマトリックス
43R、43G、43B:カラーレジスト
44:フォトマスク
44a:開口
45a:孔
45b:電極
61a、61b、61b’:不感帯領域
C1:画像中心
C2:光軸
E:角度
L:照明光
P:撮像範囲
P1:延長面
P2:垂直面
R1:有効検査領域
R2:無効検査領域
S(S1~S6):球形微小粒子
T:撮像範囲
Claims (4)
- 検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査装置であって、
インコヒーレント光の照明光を前記検査対象に照射する光源部と、
前記検査対象を撮影する撮像部と、
前記撮像部で撮影された画像に基づいて異物を検出する検出部と、を備え、
前記検出部において、異物の検出対象とする画像は、前記撮像部で撮影された画像を、前記検査対象が前記光源部に近い側と前記光源部から離れた側で2分割した2つの領域中、前記光源部に近い側に位置している領域である
異物検査装置。 - 前記撮像部における光学系の光軸は、前記検査対象の表面に対して傾斜している
請求項1に記載の異物検査装置。 - 前記撮像部は、前記検査対象で反射した正反射光を受光しない位置であって、前記検査対象の表面に付着した異物の散乱光を受光する位置に配置されている
請求項1に記載の異物検査装置。 - 検査対象の表面に付着した異物を検査する異物検査方法であって、
インコヒーレント光の照明光を前記検査対象に照射し、
前記検査対象で反射した照明光を撮像部で撮影し、
異物の検出対象とする画像は、前記撮像部で撮影された画像を、前記検査対象が前記光源部に近い側と前記光源部から離れた側で2分割した2つの領域中、前記光源部に近い側に位置している領域である
異物検査方法。
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TWI734992B (zh) | 2021-08-01 |
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