JP7004331B2 - Dust remover for exposure machine - Google Patents
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Description
本発明は、露光機の除塵装置に関する。 The present invention relates to a dust remover for an exposure machine.
プリント基板や半導体基板等のような各種基板の製造においては、露光機が一般に用いられている。かかる露光機においては、フォトレジスト（感光材料）を塗布したワークに対し、フォトリソグラフィ手法を用いて回路パターン等を露光する。ところで、ワークに塵埃が付着している状態で、露光機を用いて露光を行うと、製造欠陥の原因となるので、露光に先立って、ワークから塵埃を除去する必要がある。そのような除塵装置としては、たとえば特許文献１に開示されているものがある。
An exposure machine is generally used in the manufacture of various substrates such as printed circuit boards and semiconductor substrates. In such an exposure machine, a circuit pattern or the like is exposed to a workpiece coated with a photoresist (photosensitive material) by using a photolithography technique. By the way, if exposure is performed using an exposure machine with dust adhering to the work, it may cause manufacturing defects. Therefore, it is necessary to remove the dust from the work prior to the exposure. As such a dust removing device, for example, there is one disclosed in
特許文献１には、第１除塵ローラ、第２除塵ローラ等の除塵ローラ、粘着テープが巻回される転写ローラを備える除塵装置について開示されている。そして、ワークの表面を除塵ローラが転動することでワークの表面に付着していた塵埃を除去する。その後に、除塵ローラに対して転動ローラに巻回されている粘着テープを押し付けることで、除塵ローラから粘着テープへと塵埃を写し取る。また、塵埃の転写後に、汚れた粘着テープの一巻分を剥ぎ取って、新しい粘着面が露出するように粘着テープを更新する。また、剥ぎ取られた（汚れた）粘着テープは廃棄する。
ところで、特許文献１に示す構成では、どのようにして、粘着テープの一巻分を剥ぎ取って、新しい粘着面が露出するように粘着テープを更新するのかを具体的には示していない。しかしながら、現状では、粘着テープの更新作業のためには、露光機の扉を開けて、作業者が汚れた粘着テープを剥がすことで、粘着テープの更新を行うのが通常である。このような作業を行う場合、作業者によって、露光機の内部に塵埃が持ち込まれる虞がある。
By the way, the configuration shown in
また、粘着テープの更新作業のために、露光機の扉を開閉する場合、露光機内の温度が変動する虞があると共に、露光機内の圧力も変動する虞がある。 Further, when the door of the exposure machine is opened and closed for the work of updating the adhesive tape, the temperature inside the exposure machine may fluctuate and the pressure inside the exposure machine may also fluctuate.
さらに、使用後の粘着テープを巻き取った後の巻取筒には、巻き締めによる力が作用するので、巻取筒から粘着テープを巻き取ったロール体を取り外すのは困難となっている。また、現状では、粘着テープを巻き取っている巻取筒は、そのほとんどが金属製であるが、そのような金属製の巻取筒を廃棄しようとする場合、金属製の巻取筒と、樹脂製の粘着テープとを分別する手間が発生する。 Further, since a force due to winding is applied to the winding cylinder after winding the adhesive tape after use, it is difficult to remove the roll body from which the adhesive tape is wound from the winding cylinder. At present, most of the winding tubes for winding the adhesive tape are made of metal, but when disposing of such a metal winding tube, a metal winding tube and a metal winding tube are used. It takes time and effort to separate it from the resin adhesive tape.
本発明は上記の事情に鑑みなされたもので、露光機の内部に塵埃が入り込むのを防止することが可能な露光機の除塵装置を提供することを目的とする。
また、上記の露光機の除塵装置においては、露光機内の温度変化や圧力が変動するのを抑制できることが好ましい。
また、上記の露光機の除塵装置においては、巻取筒と、巻き取った後の樹脂製の粘着テープとを分別する手間が生じないことが好ましい。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a dust removing device for an exposure machine capable of preventing dust from entering the inside of the exposure machine.
Further, in the dust removing device of the above-mentioned exposure machine, it is preferable that the temperature change and the pressure fluctuation in the exposure machine can be suppressed.
Further, in the dust removing device of the above-mentioned exposure machine, it is preferable that there is no need to separate the winding cylinder and the resin adhesive tape after winding.
上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によると、ワークに対して露光を行うのに先立って当該ワークの除塵を行うための露光機の除塵装置であって、ワークの表面に付着している塵埃を吸着する除塵ローラと、除塵ローラに付着した塵埃を転写すると共に所定長さ毎に切れ目を有する粘着テープを巻回している粘着テープロールを保持する第１テープホルダと、粘着テープロールから引き出された粘着テープを巻き取る巻取筒と、粘着テープロールの最外周の粘着テープに接触して、当該粘着テープを粘着テープロールから剥がすための剥がし用テープを保持する第２テープホルダと、第１テープホルダに保持されている粘着テープの端部を検出する検出センサと、検出センサからの検出信号が入力される制御部と、検出センサで粘着テープの端部を検出した際に、粘着テープを剥がし用テープに対して相対的に移動させて、剥がし用テープを粘着テープの端部側に押し付けるように制御部によって制御駆動される移動機構と、を備え、巻取筒の外周部分には、軸方向に沿って切り欠かれたスリットが設けられていて、当該スリットには、剥がし用テープの一端部を貼り付けて当該剥がし用テープを引き出すための引き出し用フィルムの一端部が差し込まれると共に、巻取筒の内筒部には、回転中心から外周面までの半径が変動する挟持用カムが回転自在に設けられていて、挟持用カムの回転によって、内筒部の内筒面と挟持用カムの外周面との間に引き出し用フィルムの挟み込みおよび挟み込みの解除を行うと共に、巻取筒の直径を変動させる、ことを特徴とする露光機の除塵装置が提供される。 In order to solve the above problems, according to the first aspect of the present invention, it is a dust removing device of an exposure machine for removing dust of the work prior to exposing the work, and the surface of the work is covered with dust. Adhesive with a dust remover roller that adsorbs the adhering dust, and a first tape holder that holds the adhesive tape roll that transfers the dust adhering to the dust remover and winds the adhesive tape with cuts at predetermined lengths. A second tape that holds the peeling tape for peeling the adhesive tape from the adhesive tape roll by contacting the winding cylinder that winds up the adhesive tape pulled out from the tape roll and the adhesive tape on the outermost periphery of the adhesive tape roll. When the holder, the detection sensor that detects the end of the adhesive tape held in the first tape holder, the control unit that inputs the detection signal from the detection sensor, and the detection sensor detects the end of the adhesive tape. The winding cylinder is provided with a moving mechanism that moves the adhesive tape relative to the peeling tape and is controlled and driven by a control unit so as to press the peeling tape against the end side of the adhesive tape. The outer peripheral portion is provided with a slit cut out along the axial direction, and one end of the pull-out film for attaching one end of the peeling tape to the slit and pulling out the peeling tape. Is inserted, and the inner cylinder of the take-up cylinder is rotatably provided with a holding cam whose radius varies from the center of rotation to the outer peripheral surface. Provided is a dust remover for an exposure machine, characterized in that the drawing film is sandwiched between the tubular surface and the outer peripheral surface of the holding cam, the sandwiching is released, and the diameter of the winding tube is varied.
また、上述の発明において、挟持用カムには、外周面から中心側に向かって凹む凹部が軸方向に沿って設けられていて、凹部には、引き出し用フィルムの一端部が差し込まれる、ことが好ましい。 Further, in the above-mentioned invention, the holding cam is provided with a concave portion recessed from the outer peripheral surface toward the center side along the axial direction, and one end of the drawing film is inserted into the concave portion. preferable.
また、上述の発明において、巻取筒の内部には、巻取筒の径方向の中心において軸方向に沿うように配置されている駆動シャフトと、駆動シャフトよりも巻取筒の内筒部の外径側に位置し、当該巻取筒を内筒部側から支持する回転支持部材と、が設けられていて、駆動シャフトの端部側には、内筒部から突出した突出部分が設けられていると共に、突出部分には、制御部によって駆動制御されるモータが連結されることで、駆動シャフトがモータの駆動によって回転させられ、駆動シャフトには駆動ギヤが取り付けられていて、回転支持部材と同軸上には、駆動ギヤと噛み合う第１従動ギヤが取り付けられていて、さらに挟持用カムと同軸上には、駆動ギヤと噛み合う第２従動ギヤが取り付けられている、ことが好ましい。 Further, in the above-mentioned invention, inside the take-up cylinder, a drive shaft arranged along the axial direction at the center in the radial direction of the take-up cylinder, and an inner cylinder portion of the take-up cylinder rather than the drive shaft. A rotation support member located on the outer diameter side and supporting the take-up cylinder from the inner cylinder portion side is provided, and a protruding portion protruding from the inner cylinder portion is provided on the end side of the drive shaft. At the same time, a motor driven and controlled by a control unit is connected to the protruding portion, so that the drive shaft is rotated by the drive of the motor, and a drive gear is attached to the drive shaft to support the rotation. It is preferable that a first driven gear that meshes with the drive gear is mounted coaxially with the drive gear, and a second driven gear that meshes with the drive gear is mounted coaxially with the holding cam.
また、上述の発明において、巻取筒の外部には、巻取筒の周方向におけるスリットの位置を検出する検出センサと、モータの回転によって駆動シャフト、回転支持部材および挟持用カムが回転する状態で巻取筒の回転を停止させるストッパ機構と、が設けられていて、検出センサによってスリットの周方向における位置が検出された際に、制御部は、モータを駆動させた状態でストッパ機構を所定時間だけ作動させてスリットと凹部の位置合わせを行う、ことが好ましい。 Further, in the above-mentioned invention, outside the take-up cylinder, a detection sensor for detecting the position of the slit in the circumferential direction of the take-up cylinder, and a state in which the drive shaft, the rotation support member, and the holding cam are rotated by the rotation of the motor. A stopper mechanism for stopping the rotation of the take-up cylinder is provided, and when the detection sensor detects the position of the slit in the circumferential direction, the control unit determines the stopper mechanism while driving the motor. It is preferable to operate for a certain period of time to align the slit and the recess.
本発明によると、露光機の内部に塵埃が入り込むのを防止することが可能な露光機の除塵装置を提供することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to provide an exposure machine dust removing device capable of preventing dust from entering the inside of the exposure machine.
（第１の実施の形態）
以下、本発明の第１の実施の形態に係る露光機１０および露光機１０の除塵装置７０について、図面に基づいて説明する。
(First Embodiment)
Hereinafter, the
＜１．露光機１０の構成について＞
図１は、露光機１０の概略的な構成を示す図である。なお、図１に示す露光機１０では、ワークＷは、たとえばフレキシブルプリント基板のように、ロール状に巻回されているフィルム状の基板である。すなわち、フィルム状のワークＷをロール状に巻回しているワーク供給源Ｗ１から露光ユニットへと引き出して露光を行い、露光後のフィルム状のワークＷを巻取部位Ｗ２へと巻き取る。なお、本実施の形態では、ワークＷの上下両面には、所定の波長帯域の光（たとえば紫外線）を照射することで感光されるフォトレジスト層が設けられている。
<1. About the configuration of the
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of the
この露光機１０は、ワーク巻出しユニット２０と、ワーク巻取りユニット３０と、ワーク処理ユニット４０とを備える。また、ワーク処理ユニット４０の内部には、温度調節機構５０と、露光ユニット６０と、除塵装置７０とが設けられている。これらのうち、ワーク巻出しユニット２０は、ワーク供給室２１を備え、そのワーク供給室２１の内部にロール状に巻回されているワーク供給源Ｗ１が配置されている。そして、ワーク供給室２１内のワーク供給源Ｗ１からフィルム状のワークＷが、露光ユニット６０に向けて巻き出される。
The
このワーク巻出しユニット２０の上部には、陽圧ユニット２３が設けられている。陽圧ユニット２３は図示を省略するフィルタや加圧ファン２４を備え、その加圧ファン２４は、塵埃が除去された空気をワーク供給室２１に対し加圧状態で供給する。それにより、ワーク供給室２１の内部が、大気圧よりも高い陽圧となる。なお、空気以外の気体が、加圧ファン２４を介してワーク供給室２１に供給されても良い（以下の各部位においても同様）。
A
また、ワーク巻取りユニット３０は、ワーク排出室３１を備え、そのワーク排出室３１の内部にロール状に巻回されているワークＷの巻取部位Ｗ２が配置されている。そして、露光ユニット６０で露光されたフィルム状のワークＷは、ワーク排出室３１の巻取部位Ｗ２に巻き取られる。
Further, the
また、ワーク巻取りユニット３０の上部にも、陽圧ユニット３３が設けられていて、その陽圧ユニット３３は、上述した陽圧ユニット３３の構成と同様となっている。すなわち、陽圧ユニット３３は図示を省略するフィルタや加圧ファン３４を備え、その加圧ファン３４は、塵埃が除去された空気をワーク排出室３１に対し加圧状態で供給する。それにより、ワーク排出室３１の内部が、大気圧よりも高い陽圧となる。
Further, a
また、ワーク処理ユニット４０の上部スペース４１には、温度調節機構５０が配置されている。この温度調節機構５０は、加圧ファン５１と、温度調節器５２とを備えている。加圧ファン５１は、上記の加圧ファン２４，３４と同様に、塵埃が除去された空気を、後述する露光室４２および除塵室４３に対し加圧状態で供給する。それにより、露光室４２および除塵室４３の内部は、大気圧よりも高い陽圧となる。
Further, a
温度調節器５２は、加圧ファン５１から供給された空気等の気体を、加熱または冷却する温度調節処理を行う部分である。この温度調節器５２によって空気が所定温度に調節された後に、温度調節後の空気が露光室４２および除塵室４３に供給される。
The
次に、露光室４２の内部に配置されている露光ユニット６０について説明する。露光ユニット６０は、一対の移動機構６１と、一対のフォトマスク６２と、一対の光源６３とを有している。
Next, the
なお、一対の移動機構６１、一対のフォトマスク６２および一対の光源６３の一方側は、ワークＷの上方側に配置されている（以下、必要に応じて、上側露光ユニット６０Ａとする）。また、一対の移動機構６１、一対のフォトマスク６２および一対の光源６３の他方側は、ワークＷの下方側に配置されている（以下、必要に応じて、下側露光ユニット６０Ｂとする）。すなわち、本実施の形態では、ワークＷの上下両面に露光を行って、その上下両面に回路パターンを形成可能としている。しかしながら、ワークＷの上面のみに対して露光を行う場合には下側露光ユニット６０Ｂを設けるのを省略しても良い。同様に、ワークＷの下面のみに対して露光を行う場合には、上側露光ユニット６０Ａを設けるのを省略しても良い。
One side of the pair of moving
上述の露光ユニット６０の各構成のうち、移動機構６１は、ワークＷに対してフォトマスク６２の位置合わせを行いつつ、ワークＷに対してフォトマスク６２を当接させたり離間させるために、フォトマスク６２を移動させる機構である。この移動機構６１は、互いに直交する３軸方向に移動可能であることが好ましい。なお、ワークＷは、図示を省略するワークＷを送るためのモータによって送り込まれる点を考慮すると、移動機構６１は、ワークＷの搬送方向を除いた上下方向およびワークＷの幅方向に少なくとも移動可能であれば良い。
In each configuration of the
また、フォトマスク６２は、フォトマスク６２はワークＷに対して回路パターンに応じた露光を行うべく、その露光部位に対応した光の透過部位が形成されている部材である。なお、フォトマスク６２は、たとえばガラス基板を材質とする部材であるが、ＰＥＴフィルム等のような他の材質から形成されていても良い。また、光源６３は、所定波長の光をフォトマスク６２に向けて照射する部分である。照射された光がフォトマスク６２を透過することで、ワークＷのフォトレジスト層のうち、回路パターンに対応した部位が感光される。
Further, the
＜除塵装置について＞
次に、除塵装置７０について説明する。図２は、除塵装置７０の概略的な構成を示す図である。図２に示すように、除塵装置７０は、一対の除塵ローラ７１と、一対の粘着テープホルダ７２と、一対の粘着テープ移動機構７５と、一対のテープ剥がし機構８０とを有している。
<About dust remover>
Next, the
なお、一対の除塵ローラ７１、一対の粘着テープホルダ７２、一対の粘着テープ移動機構７５および一対のテープ剥がし機構８０の一方側は、ワークＷの上方側に配置されている。また、一対の除塵ローラ７１、一対の粘着テープホルダ７２、一対の粘着テープ移動機構７５および一対のテープ剥がし機構８０の他方側は、ワークＷの下方側に配置されている。ただし、ワークＷの上面のみに対して露光を行う場合には、ワークＷの下方側に配置されている除塵装置７０の各構成要素を設けるのを省略しても良い。同様に、ワークＷの下面のみに対して露光を行う場合には、ワークＷの上方側に配置されている除塵装置７０の各構成要素を設けるのを省略しても良い。
One side of the pair of
上記の除塵装置７０のうち、除塵ローラ７１は、回転軸７１ａと、粘着ラバー層７１ｂとを有している。粘着ラバー層７１ｂは、回転軸７１ａの外側に、軸方向において所定の長さ範囲に亘るように設けられている。この粘着ラバー層７１ｂは、塵埃を吸着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。なお、粘着ラバー層７１ｂは、その表面側に吸着層（図示省略）が設けられていて、その吸着層は、シリコンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れた材質から構成されている。なお、吸着層の下層側には、たとえばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。
Among the
また、粘着テープホルダ７２は、粘着テープＴ１をロール状に巻回した粘着テープロールＴ１Ｒの両端側を回転自在に保持する部分である。なお、粘着テープホルダ７２は、第１テープホルダに対応する。この粘着テープホルダ７２は、粘着テープ移動機構７５に取り付けられている。粘着テープ移動機構７５は、たとえばエアシリンダやモータ等の駆動手段の駆動により、除塵ローラ７１に対して接離する方向に粘着テープロールＴ１Ｒを移動させることが可能となっている。なお、粘着テープ移動機構７５は、除塵ローラ７１を後述するテープ剥がし機構８０に向けて移動させることも可能となっている。
Further, the
なお、粘着テープホルダ７２は、粘着テープロールＴ１Ｒを保持するのみとしても良い（すなわち、粘着テープロールＴ１Ｒは、ワークＷの送り込みによって従動的に回転させられるものとしても良い）。しかしながら、駆動モータ等の駆動源により、粘着テープロールＴ１Ｒを回転させる駆動力を与えられる構成とするのが好ましい。このように、駆動モータによって、粘着テープロールＴ１Ｒを回転させる場合には、後述する検出センサ１３５での最外周（最上位）の粘着テープＴ１の先端（段差部分）の検出を行い易くなる。なお、粘着テープロールＴ１Ｒを駆動させる駆動モータに代えて、直径が一定の状態を維持できる除塵ローラ７１を駆動モータによって回転させる構成としても良い。
The
ここで、粘着テープＴ１はシート状に設けられていると共に、その表面に粘着面を有している。粘着面は、上述した除塵ローラ７１は除塵ローラ７１に吸着されている塵埃を保持可能となっている。このため、粘着テープＴ１の粘着面の塵埃に対する粘着力は、除塵ローラ７１の塵埃に対する粘着力よりも大きくなっている。それにより、除塵ローラ７１から粘着テープＴ１の粘着面へと、塵埃を良好に転写可能となっている。なお、シート状の粘着テープＴ１には、切れ目が存在していると共に、その粘着テープＴ１はロール状に巻回されて、粘着テープロールＴ１Ｒを構成している。このため、粘着テープロールＴ１Ｒから粘着テープＴ１を引き出した後に切れ目で切断することで、汚れた粘着テープＴ１を、汚れていない粘着テープＴ１へと容易に更新することができる。
Here, the adhesive tape T1 is provided in the form of a sheet and has an adhesive surface on its surface. On the adhesive surface, the
次に、テープ剥がし機構８０について説明する。テープ剥がし機構８０は、粘着テープ巻取機構９０と、ストッパ機構１１０と、剥がし用テープ保持部１２０と、押し当て機構１３０とを有している。
Next, the
粘着テープ巻取機構９０は、図３に示すような巻取筒９１を備えている。巻取筒９１は、上記の粘着テープＴ１と後述する剥がし用テープＴ２を巻き取るための筒状の部材である。この巻取筒９１は、たとえば樹脂等のような、容易に弾性変形可能な材質から形成されると共に内筒部９１ａを有する筒状の部材である。この巻取筒９１には、軸方向に沿うスリット９１ｂが設けられている。スリット９１ｂは、内筒部９１ａを覆う外筒部９１ｃを軸方向の全体に沿って貫通するように設けられている。かかるスリット９１ｂの存在により、巻取筒９１は、その外径および内径が変動するように容易に変形可能となっている。
The adhesive
図４は、粘着テープ巻取機構９０の構成を示す側断面図である。図５は、粘着テープ巻取機構９０の構成を示す正面図である。図４および図５に示すように、粘着テープ巻取機構９０は、上述した巻取筒９１以外に、モータ９２と、連結部材９３と、駆動シャフト９４と、シャフト支持プレート９５と、駆動ギヤ９６と、従動ギヤ９７と、従動シャフト９８と、回転支持カム９９と、挟持用カム１００とを備えている。
FIG. 4 is a side sectional view showing the configuration of the adhesive
モータ９２は、後述する挟持用カム１００を回転させる駆動力を与える駆動源である。このモータ９２は、連結部材９３を介して駆動シャフト９４の一端部と連結されている。駆動シャフト９４は、巻取筒９１の内筒部９１ａに配置されると共に、当該内筒部９１ａを貫くように配置されている。
The
また、シャフト支持プレート９５は、巻取筒９１の一端側と他端側にそれぞれ設けられていて、上記の巻取筒９１の少なくとも一部が固定されている。このシャフト支持プレート９５には、軸方向に貫く孔部（符号省略）が設けられていて、その孔部に駆動シャフト９４および後述する従動シャフト９８が挿通されている。なお、シャフト支持プレート９５と駆動シャフト９４、およびシャフト支持プレート９５と従動シャフト９８の間には、ベアリング等の軸受が配置されることが好ましい。
Further, the
なお、一対のシャフト支持プレート９５の間には、センタープレート９５Ｃが配置されている。また、上記の一対のシャフト支持プレート９５、センタープレート９５Ｃを連結して１つの構造物とするために、接続シャフトＳ１が設けられている。接続シャフトＳ１は、シャフト支持プレート９５に対し、たとえばボルトで固定されている。接続シャフトＳ１は、図５に示す構成では、合計３本設けられているが、１つの構造物として安定的に固定可能であれば、その本数は何本でも良い。また、これらの接続シャフトＳ１は、回転支持カム９９や挟持用カム１００と干渉しないように、回転支持カム９９同士の間、および回転支持カム９９と挟持用カム１００の間に、それぞれ配置されている。
A
また、駆動ギヤ９６は、上述した駆動シャフト９４のうち、内筒部９１ａから外部に突出した他端側に取り付けられている。図５に示すように、駆動ギヤ９６は、巻取筒９１の径方向における中心に配置されている。
Further, the
上記の駆動ギヤ９６に対して、従動ギヤ９７が噛み合っている。このため、従動ギヤ９７は、駆動ギヤ９６よりも巻取筒９１の中心から外径側に位置している。この従動ギヤ９７は、従動シャフト９８の他端側に取り付けられているが、従動シャフト９８は、上述したシャフト支持プレート９５の孔部を挿通している。したがって、駆動ギヤ９６と従動ギヤ９７との噛み合いによって従動シャフト９８が回転しても、従動シャフト９８は、駆動シャフト９４に対する相対的な位置が変化しない状態となる。
The driven
なお、従動ギヤ９７は、挟持用カム１００が取り付けられた従動シャフト９８に取り付けられているものと、回転支持カム９９が取り付けられた従動シャフト９８に取り付けられている者とが存在する。これらのうち、挟持用カム１００が取り付けられた従動シャフト９８に取り付けられている従動ギヤ９７は、第１従動ギヤに対応する。また、回転支持カム９９が取り付けられた従動シャフト９８に取り付けられている従動ギヤ９７は、第２従動ギヤに対応する。
Some of the driven gears 97 are attached to the driven
図６は、巻取筒９１、回転支持カム９９および挟持用カム１００の配置関係を示す図である。図６に示すように、回転支持カム９９は、挟持用カム１００と共に巻取筒９１の内筒面に当接して、巻取筒９１を内筒部９１ａ側から支持する部材であり、外周面が回転中心に対して偏心しているカム形状に設けられている。しかしながら、回転支持カム９９は、回転中心から外周面までの距離が変動するものであれば、どのような形状でも良い。たとえば、回転支持カム９９の軸方向に対して直交する断面形状は、楕円形状を始めとする種々の曲線形状、多角形形状、および曲線形状の一部に直線部分を含むもの等、種々の形状を採用することができる。
FIG. 6 is a diagram showing the arrangement relationship of the take-up
ここで、図４に示す構成では、回転支持カム９９は、軸方向に沿って長尺状に設けられてはおらず、その軸方向の長さは、巻取筒９１の回転支持が必要な程度に短く設けられている。また、軸方向の全体に亘って巻取筒９１を良好に支持するために、回転支持カム９９は、従動シャフト９８の軸方向に沿って、合計３つ設けられているが、回転支持カム９９の個数は幾つであっても良い。なお、回転支持カム９９を等間隔で配置する場合、巻取筒９１を回転支持するバランスが良好となる。このように、回転支持カム９９の軸方向の長さを、巻取筒９１の回転支持に必要な長さとすることで、巻取筒９１と回転支持カム９９の間で塵埃が発生するのを抑えることが可能となる。また、回転支持カム９９の配置個数を、回転支持のバランスが良いものとすることで、特定の回転支持カム９９に偏摩耗が生じるのを防止可能となる。
Here, in the configuration shown in FIG. 4, the
しかしながら、回転支持カム９９は、このような構成としなくても良い。たとえば、回転支持カム９９は、軸方向の概ね全体に亘るように長く設けても良い。
However, the
なお、回転支持カム９９は、回転支持部材に対応する。この回転支持カム９９は、従動シャフト９８の回転に伴って回転する。なお、図５に示すように、回転支持カム９９は、巻取筒９１の周方向において２つ以上（図５では２つ）設けられることが好ましい。この場合には、回転支持カム９９と挟持用カム１００とによって、巻取筒９１の内筒部９１ａ側から、３点以上で支持することができる。また、回転支持カム９９に代えて、回転中心から外周面までの距離が一定（すなわち、円筒状または円柱状）に設けられているドラム（回転支持ドラム）を用いるようにしても良い。この場合には、挟持用カム１００の回転のみで、後述するように巻取筒９１を膨張させることができる。
The
また、図６に示すように、回転支持カム９９には、規制溝９９ａが設けられている。規制溝９９ａは所定の長さの弧状に設けられている。この規制溝９９ａには、シャフト支持プレート９５およびセンタープレート９５Ｃから突出する不図示のピン部材が挿入される。それにより、回転支持カム９９は、弧状の規制溝９９ａの一端と他端にピン部材が衝突する間において、回動可能となっている。このため、引き出し用フィルムＦ１を挟持する以上に巻取筒９１が回転することで、引き出し用フィルムＦ１の解除が容易に行えなくなるのを防止している。なお、上記のピン部材は、シャフト支持プレート９５およびセンタープレート９５Ｃから規制溝９９ａに入り込むように突出している。
Further, as shown in FIG. 6, the
また、挟持用カム１００も、回転支持カム９９と同様に、回転中心から外周面までの距離が変動する部材である。図６では、挟持用カム１００は、回転中心に対して外周面が偏心している偏心カムとなっているが、上記の回転支持カム９９と同様に、回転中心から外周面までの距離が変動するものであれば、挟持用カム１００は、どのような構成であっても良い。たとえば、挟持用カム１００の軸方向に対して直交する断面形状は、楕円形状を始めとする種々の曲線形状、多角形形状、および曲線形状の一部に直線部分を含むもの等、種々の形状を採用することができる。
Further, the holding
なお、図４に示す構成では、挟持用カム１００の軸方向の長さは、上記の回転支持カム９９と同程度に設けられているが、挟持用カム１００の軸方向における長さを、回転支持カム９９の軸方向の長さよりも長くしても短くしても良い。また、挟持用カム１００は、回転支持カム９９と同様に、従動シャフト９８の軸方向に沿って、合計３つ設けられているが、回転支持カム９９の個数は幾つであっても良い。また、挟持用カム１００の配置間隔は等間隔でも良く、等間隔以外でも良い（回転支持カム９９も同様）。
In the configuration shown in FIG. 4, the axial length of the pinching
この挟持用カム１００は、凹部１０１を有している。そして、図６（ａ）に示すようにスリット９１ｂと凹部１０１とが位置合わせされた状態で、引き出し用フィルムＦ１の一端部が差し込まれる。この差し込み後に、図６（ｂ）に示すように挟持用カム１００を巻取筒９１に対して回転させることで、引き出し用フィルムＦ１は、挟持用カム１００の外周面と、巻取筒９１の内筒面との間で挟み込まれて容易には抜けない状態となる。このため、引き出し用フィルムＦ１の一端側が、巻取筒９１によって固定された状態となる。
The holding
ここで、粘着テープ巻取機構９０には、図７に示すようなストッパ機構１１０が設けられている。ストッパ機構１１０は、ストッパ駆動源１１１と、連結アーム１１２と、ストッパ部材１１３とを有している。これらのうち、ストッパ駆動源１１１は、ストッパ部材１１３を軸方向に移動させるための駆動力を生じさせる部材であり、たとえばエアシリンダやモータ等のような駆動源が該当する。また、連結アーム１１２は、ストッパ駆動源１１１で生じた駆動力をストッパ部材１１３に伝達させる部材である。なお、ストッパ駆動源１１１とストッパ部材１１３とが直接連結される構成では、連結アーム１１２は、省略する構成を採用しても良い。
Here, the adhesive
また、ストッパ部材１１３は、その一端側が連結アーム１１２に連結されている。このストッパ部材１１３は、ストッパ駆動源１１１の駆動により軸方向に沿って移動することで、シャフト支持プレート９５の差込凹部９５ａに差し込まれる（入り込む）部材である。かかるストッパ部材１１３の差込凹部９５ａへの差し込みにより、巻取筒９１が回転するのが阻止される。
Further, one end side of the
すなわち、粘着テープ巻取機構９０のモータ９２の駆動により、挟持用カム１００が回転する場合には、その挟持用カム１００に対して内筒面で接触している巻取筒９１も回転しようとする。しかしながら、モータ９２が駆動した際に、ストッパ駆動源１１１の作動によってストッパ部材１１３がシャフト支持プレート９５の差込凹部９５ａに差し込まれる場合には、巻取筒９１は、挟持用カム１００と共には回転しない。このため、挟持用カム１００の外周面は、巻取筒９１の内筒面に対して摺動するので、スリット９１ｂの位置と凹部１０１とは、周方向において異なる位置に位置する。また、スリット９１ｂの周囲に、挟持用カム１００の外周面が当接する。それにより、引き出し用フィルムＦ１は、巻取筒９１の内筒面と挟持用カム１００の外周面との間に挟持される。
That is, when the holding
なお、巻取筒９１のスリット９１ｂと、挟持用カム１００の凹部１０１との回転方向の位置を検出するために、図８に示すように、検出センサ１１５が設けられている。図８は、検出センサ１１５を含めた露光機１０の除塵装置７０における制御的な構成を示す概略図である。図８に示すように、検出センサ１１５は、巻取筒９１の回転方向において、スリット９１ｂの有無を検出することが可能となっている。また、検出センサ１１５は、挟持用カム１００の回転方向において、凹部１０１の有無を検出可能となっている。なお、検出センサ１１５としては、光の反射方式の光電センサ、各種の接触式センサ等、どのようなセンサであっても良い。
As shown in FIG. 8, a
このように、スリット９１ｂと凹部１０１の有無を検出するためには、検出センサ１１５は、２つ以上設けられることが好ましいが、１つの検出センサ１１５で、スリット９１ｂと凹部１０１の検出とを兼用するようにしても良い。また、３つ以上の検出センサ１１５を設ける場合には、そのうち少なくとも１つの検出センサ１１５を、粘着テープＴ１の送り方向における先端側の検出用と、粘着テープＴ１の送り方向における後端側の検出用として用いるようにしても良い。このように構成すれば、スリット９１ｂの有無の検出、凹部１０１濃霧の検出、および粘着テープＴ１の送り方向における先端および後端の検出を良好に行うことができ、この検出に基づいてモータ９２の駆動量を適切に制御することができる。
As described above, in order to detect the presence / absence of the
次に、剥がし用テープ保持部１２０について説明する。図２に示すように、剥がし用テープ保持部１２０は、剥がし用テープＴ２をロール状に巻回した剥がし用テープロールＴ２Ｒを回転自在に保持する部分である。なお、剥がし用テープ保持部１２０は、第２テープホルダに対応する。ここで、剥がし用テープＴ２は、粘着テープロールＴ１Ｒの段差部分に当接して、粘着テープＴ１を引き出すための部材である。したがって、剥がし用テープＴ２の粘着テープＴ１の背面に対する粘着力は、粘着テープロールＴ１Ｒにおいて、粘着テープＴ１の粘着面と粘着テープＴ１の背面との間の粘着力よりも高くなるように設けられている。
Next, the peeling
上記の剥がし用テープＴ２の代表的なものとしては、セロハンテープが挙げられるが、セロハンテープ以外のテープを剥がし用テープＴ２としても良い。この剥がし用テープＴ２は、その幅が粘着テープＴ１よりも十分に狭くなるように設けられている。したがって、剥がし用テープＴ２は、粘着テープＴ１の幅方向において、複数個配置されている。また、剥がし用テープ保持部１２０も、剥がし用テープＴ２（剥がし用テープロールＴ２Ｒ）の個数に対応した分だけ設けられている。
A typical example of the above-mentioned peeling tape T2 is a cellophane tape, but a tape other than the cellophane tape may be used as the peeling tape T2. The peeling tape T2 is provided so that its width is sufficiently narrower than that of the adhesive tape T1. Therefore, a plurality of peeling tapes T2 are arranged in the width direction of the adhesive tape T1. Further, the peeling
なお、剥がし用テープ保持部１２０（剥がし用テープＴ２）の個数が少ないと、粘着テープロールＴ１Ｒから粘着テープＴ１をバランス良く剥がすのが難しくなる。したがって、剥がし用テープ保持部１２０（剥がし用テープＴ２）は、３つ以上配置されるのが好ましい。一方、剥がし用テープ保持部１２０（剥がし用テープＴ２）の個数が多くなると、その分だけ、粘着テープＴ１を剥がすためのコストが上昇してしまう。これらの点を考慮すると、剥がし用テープ保持部１２０（剥がし用テープＴ２）は、３つ設けられるのが好ましく、それらが均等な間隔で配置されるのが好ましい。さらに、３つのうち２つの剥がし用テープ保持部１２０（剥がし用テープＴ２）は、粘着テープＴ１の幅方向の両端の近傍に配置されるのが好ましく、残りの１つが粘着テープＴ１の幅方向の中央に配置されるのが好ましい。 If the number of the peeling tape holding portions 120 (peeling tape T2) is small, it becomes difficult to peel off the adhesive tape T1 from the adhesive tape roll T1R in a well-balanced manner. Therefore, it is preferable that three or more peeling tape holding portions 120 (peeling tape T2) are arranged. On the other hand, if the number of the peeling tape holding portions 120 (peeling tape T2) increases, the cost for peeling the adhesive tape T1 increases accordingly. Considering these points, it is preferable that three peeling tape holding portions 120 (peeling tape T2) are provided, and it is preferable that they are arranged at equal intervals. Further, two of the three peeling tape holding portions 120 (peeling tape T2) are preferably arranged near both ends in the width direction of the adhesive tape T1, and the remaining one is in the width direction of the adhesive tape T1. It is preferably placed in the center.
次に、押し当て機構１３０について説明する。押し当て機構１３０は、押し当て用ローラ１３１と、ローラ移動機構１３２とを有している。押し当て用ローラ１３１は、剥がし用テープロールＴ２Ｒから引き出された剥がし用テープＴ２の粘着面とは反対側の面が、掛けられる（押し当てられる）ローラである。
Next, the
この押し当て用ローラ１３１は、ローラ移動機構１３２によって移動可能となっている。ローラ移動機構１３２は、粘着テープロールＴ１Ｒに対して、押し当て用ローラ１３１を接離させる方向に移動させるための駆動力を生じさせる部材であり、たとえばエアシリンダやモータ等のような駆動源が該当する。なお、ローラ移動機構１３２は、移動機構に対応する。かかるローラ移動機構１３２が押し当て用ローラ１３１を押し込むように作動すると、剥がし用テープＴ２は、粘着テープロールＴ１Ｒの最外周の粘着テープＴ１に当接する。また、剥がし用テープＴ２が最外周の粘着テープＴ１の先端部（剥がし方向；送り方向における端部）に当接した状態で、ローラ移動機構１３２が押し当て用ローラ１３１を粘着テープロールＴ１Ｒから離れるように作動すると、最外周の粘着テープＴ１は、粘着テープロールＴ１Ｒから剥がされる状態となる。
The
また、粘着テープロールＴ１Ｒにおいて、最外周の粘着テープＴ１の先端が、どの部位かを検出するために、検出センサ１３５が設けられている。検出センサ１３５は、最外周の粘着テープＴ１の先端付近に存在する段差を検出するセンサである。かかる段差は、最外周の粘着テープＴ１を粘着テープロールＴ１Ｒから剥がす際のきっかけとなる部分である。そのため、検出センサ１３５で最外周の粘着テープＴ１の段差を検出した後に、ローラ移動機構１３２を作動させて押し当て用ローラ１３１を最外周の粘着テープＴ１側に移動させることで、最外周の粘着テープＴ１を粘着テープロールＴ１Ｒから剥がすことが可能となる。
Further, in the adhesive tape roll T1R, a
なお、図８に示すように、露光機１０の除塵装置７０は、制御部１５０を備えている。この制御部１５０には、上述した検出センサ１１５，１３５からの検出信号が入力される。かかる検出信号に基づいて、または所定の制御プログラムに基づいて、モータ９２、ストッパ駆動源１１１およびローラ移動機構１３２の駆動を制御することができる。また、制御部１５０は、所定の移動タイミングが到来した際に、粘着テープ移動機構７５を作動させて、粘着テープＴ１をワークＷに押し当てたり、粘着テープＴ１をワークＷから退避させることを可能としている。
As shown in FIG. 8, the
＜作用について＞
以上のような構成を有する露光機１０の作用について、以下に説明する。ワーク巻出しユニット２０のワーク供給室２１内に、ワークＷがロール状に巻回されたワーク供給源Ｗ１をセットする。また、上述した除塵装置７０のセッティングを行う。
<About action>
The operation of the
上記の除塵装置７０のセッティングを行う場合、作業者は、粘着テープホルダ７２に対して、粘着テープロールＴ１Ｒを保持させる。次に、制御部１５０は、モータ９２を回転させて、巻取筒９１のスリット９１ｂを検出する。制御部１５０がスリット９１ｂの検出に対応する検出信号を受信すると、制御部１５０は、ストッパ機構１１０のストッパ駆動源１１１を作動させて、ストッパ部材１１３をシャフト支持プレート９５の差込凹部９５ａに差し込む状態とする。すると、モータ９２の駆動が継続されても、巻取筒９１の回転が阻止される。
When setting the
また、巻取筒９１の回転が阻止された状態で、モータ９２の回転が継続される場合、挟持用カム１００の回転は継続される。そのため、検出センサ１１５で挟持用カム１００の凹部１０１を検出に対応させて、モータ９２の駆動を停止させることで、スリット９１ｂと凹部１０１との位置合わせがなされる。
Further, when the rotation of the
かかるスリット９１ｂと凹部１０１との位置合わせがなされた状態では、作業者は、引き出し用フィルムＦ１の先端部を、スリット９１ｂおよび凹部１０１に差し込む。この差し込み後に、制御部１５０は、ストッパ駆動源１１１を作動させてストッパ部材１１３を差込凹部９５ａに差し込んだ状態のまま、モータ９２を駆動させる。すると、巻取筒９１の回転が阻止された状態で、挟持用カム１００が回転する。このため、凹部１０１に先端が差し込まれた引き出し用フィルムＦ１が内筒部９１ａの内部に引き込まれる。それにより、巻取筒９１の内周面と挟持用カム１００の外周面の間に、引き出し用フィルムＦ１の一部が挟み込まれた状態となる。このため、引き出し用フィルムＦ１は、巻取筒９１に強固に保持された状態となり、引き出し用フィルムＦ１の先端側が巻取筒９１の内筒部９１ａから容易には抜けない状態となる。このため、引き出し用フィルムＦ１の後端側に引っ張り力を与えても、その引き出し用フィルムＦ１の巻取筒９１による保持は、容易には解除されない状態となる。
In the state where the
このような引き出し用フィルムＦ１の保持の後に、作業者は、引き出し用フィルムＦ１に対して、剥がし用テープＴ２の先端側を貼り付ける。なお、剥がし用テープＴ２の剥がし用テープロールＴ２Ｒは、剥がし用テープ保持部１２０に保持させた状態とする。また、剥がし用テープＴ２は、押し当て用ローラ１３１に掛けられた状態とする。
After holding the drawing film F1 in this way, the operator attaches the tip end side of the peeling tape T2 to the drawing film F1. The peeling tape roll T2R of the peeling tape T2 is in a state of being held by the peeling
以上のようにすることで、除塵装置７０のセッティングが完了する。
By doing the above, the setting of the
このようなセットの後に、加圧ファン２４，３４，５１を作動させてワーク供給室２１、ワーク排出室３１および露光室４２の内部を陽圧に設定する。また、温度調節器５２を作動させて、露光室４２の内部を所定の温度に維持する。
After such a setting, the pressurizing
この後に、ワーク供給源Ｗ１からワークＷを、露光部位に対応する分だけ、順次送り出す。そして、露光室４２内の露光部位では、フォトマスク６２をワークＷの上面および下面に当接させ、その後に光源６３から所定波長の光を照射させてワークＷの露光を行う。
After that, the work W is sequentially sent from the work supply source W1 by the amount corresponding to the exposed portion. Then, at the exposed portion in the
そして、露光後のワークＷは、ワーク巻取りユニット３０のワーク排出室３１内にて、巻き取られる。
Then, the exposed work W is wound up in the
ところで、ワークＷに塵埃が付着している状態で露光を行うと、製造欠陥等の原因となる。そのため、露光室４２内でワークＷの露光を行うのに先立ち、除塵装置７０を用いて、ワークＷの除塵を行う。この場合、除塵装置７０内に送られてきたワークＷの上面および下面のそれぞれに対して、除塵ローラ７１を押し付け、さらに除塵ローラ７１に対して粘着テープロールＴ１Ｒの最外周の粘着テープＴ１を押し付ける。
By the way, if exposure is performed in a state where dust is attached to the work W, it causes a manufacturing defect or the like. Therefore, prior to exposing the work W in the
なお、図２に示す構成では、ワークＷから離間している除塵ローラ７１に対して、粘着テープ移動機構７５を作動させて粘着テープＴ１（粘着テープロールＴ１Ｒ）を除塵ローラ７１に押し付けると、除塵ローラ７１も下降するように構成されている。しかしながら、除塵ローラ７１を粘着テープＴ１に対して独立して昇降させるようにしても良い。
In the configuration shown in FIG. 2, when the adhesive
かかるワークＷへの押し付け状態で、ワークＷの搬送に伴って除塵ローラ７１が回転すると、ワークＷの上面と下面の内の少なくとも一方に付着していた塵埃は除塵ローラ７１に吸着される。また、除塵ローラ７１が吸着していた塵埃は、粘着テープＴ１へと転写される。このようにして所定だけ最外周の粘着テープＴ１に塵埃が転写されると、その最外周の粘着テープＴ１は汚れてしまうので、更新する（最外周の粘着テープＴ１を剥がす）必要が生じる。
When the
そこで、粘着テープＴ１を更新する場合、先ず、検出センサ１３５によって最外周の粘着テープＴ１の先端部（段差部分）を検出する。そして、最外周の粘着テープＴ１の先端部（段差部分）を検出した後に、制御部１５０は、ローラ移動機構１３２を作動させて、最外周の粘着テープＴ１の先端部（段差部分）に、剥がし用テープＴ２を押し付ける。
Therefore, when updating the adhesive tape T1, first, the
なお、この検出センサ１３５での最外周の粘着テープＴ１の先端部（段差部分）に前後して、制御部１５０は粘着テープ移動機構７５を作動させて、除塵ローラ７１から粘着テープＴ１を退避させるのが好ましい。かかる退避は、検出センサ１３５で最外周の粘着テープＴ１の先端部（段差部分）を検出した後に行うことが好ましい。
The
上記のように、最外周の粘着テープＴ１の先端部（段差部分）に、剥がし用テープＴ２を押し付けた後に、制御部１５０は、ローラ移動機構１３２を作動させて、押し当て用ローラ１３１を粘着テープロールＴ１Ｒから離間させる。ここで、上記のように、剥がし用テープＴ２の粘着テープＴ１の背面に対する粘着力は、粘着テープロールＴ１Ｒにおける、粘着テープＴ１の粘着面と粘着テープＴ１の背面との間の粘着力よりも高くなるように設けられている。したがって、押し当て用ローラ１３１が粘着テープロールＴ１Ｒから離れると、その離間に伴って、最外周の粘着テープＴ１は、粘着テープロールＴ１Ｒから剥がされる。すなわち、最外周の粘着テープＴ１は、剥がし用テープＴ２に粘着したまま、粘着テープロールＴ１Ｒから剥がされる。
As described above, after the peeling tape T2 is pressed against the tip end portion (step portion) of the outermost adhesive tape T1, the
この後に、制御部１５０は、モータ９２を作動させて巻取筒９１を回転させることで、剥がされた粘着テープＴ１および剥がし用テープＴ２の巻き取りを行う。そして、検出センサ１１５で、剥がされた粘着テープＴ１の後端を検出した後に、制御部１５０はモータ９２の駆動を停止させる。以上のようにして、塵埃の付着によって汚れている粘着テープＴ１が剥がされて、粘着テープＴ１の更新が完了する。以後は、再びワークＷに対する塵埃の除去を除塵装置７０で行い、粘着テープＴ１が汚れた場合には、上述したような粘着テープＴ１の更新を再び実行する。
After that, the
＜効果について＞
以上のような構成の露光機１０の除塵装置７０は、ワークＷの表面に付着している塵埃を吸着する除塵ローラ７１と、除塵ローラ７１に付着した塵埃を転写すると共に所定長さ毎に切れ目を有する粘着テープＴ１を巻回している粘着テープロールＴ１Ｒを保持する粘着テープホルダ７２（第１テープホルダ）と、粘着テープロールＴ１Ｒから引き出された粘着テープＴ１を巻き取る巻取筒９１と、粘着テープロールＴ１Ｒの最外周の粘着テープＴ１に接触して、当該粘着テープＴ１を粘着テープロールＴ１Ｒから剥がすための剥がし用テープＴ２を保持する剥がし用テープ保持部１２０（第２テープホルダ）と、を有している。また、除塵装置７０は、粘着テープホルダ７２（第１テープホルダ）に保持されている粘着テープＴ１の端部を検出する検出センサ１１５と、検出センサ１１５からの検出信号が入力される制御部１５０と、検出センサ１１５で粘着テープＴ１の端部を検出した際に、粘着テープＴ１を剥がし用テープＴ２に対して相対的に移動させて、剥がし用テープＴ２を粘着テープＴ１の端部側に押し付けるように制御部１５０によって制御駆動されるローラ移動機構１３２（移動機構）と、を備えている。そして、巻取筒９１の外周部分には、軸方向に沿って切り欠かれたスリット９１ｂが設けられていて、当該スリット９１ｂには、剥がし用テープＴ２の一端部を貼り付けて当該剥がし用テープＴ２を引き出すための引き出し用フィルムＦ１の一端部が差し込まれると共に、巻取筒９１の内筒部９１ａには、回転中心から外周面までの半径が変動する挟持用カム１００が回転自在に設けられていて、挟持用カム１００の回転によって、内筒部９１ａの内筒面と挟持用カム１００の外周面との間に、引き出し用フィルムＦ１の挟み込みおよび挟み込みの解除を行うと共に、巻取筒９１の直径を変動させる。
<About the effect>
The
除塵装置７０をこのような構成とすることで、粘着テープロールＴ１Ｒから粘着テープＴ１を剥がす（更新する）作業を、人手を介さずに自動的に行うことが可能となる。このため、粘着テープＴ１を剥がす（更新する）作業の度に、露光機１０の開閉扉を開ける必要がなくなる。したがって、露光機１０の開閉扉を開ける際に生じていた、塵埃の露光機１０の内部への持ち込みを防止可能となる。
With such a configuration of the
また、露光機１０の開閉扉を開ける場合には、露光機１０の内部の温度が変動したり、露光機１０の内部の圧力が変動する虞があり、そのような変動が生じた際には、温度調節器５２を所定時間だけ作動させたり、加圧ファン２４，３４，５１等を所定時間だけ作動させる必要がある。しかしながら、本実施の形態の除塵装置７０では、粘着テープロールＴ１Ｒから粘着テープＴ１を剥がす（更新する）作業を、自動的に行うことが可能となるので、そのような温度変化や、圧力変化が生じるのを防止可能となる。それにより、露光機１０の動作を安定化させることが可能となる。
Further, when the opening / closing door of the
また、挟持用カム１００の回転により、巻取筒９１の外径を膨張又は伸縮させることができる。ここで、粘着テープＴ１や剥がし用テープＴ２が十分に巻き付いたテープロール（廃棄テープロール）からは、巻取筒９１に対して巻き締めによる力が作用する。このため、巻取筒９１から廃棄テープロールが簡単に抜けない状態となっている。これに対し、本実施の形態では、上記の廃棄テープロールを廃棄する場合には、挟持用カム１００を回転させて、巻取筒９１の外径を収縮させることが可能となる。このため、廃棄テープロールを巻取筒９１から簡易に取り外すことができる。
Further, the outer diameter of the take-up
なお、巻取筒９１を樹脂製とすることで、巻取筒９１と、巻き取った後の樹脂製の粘着テープＴ１や剥がし用テープＴ２を分別する手間が生じるのを防止することができる。
By making the take-up
また、本実施の形態では、挟持用カム１００には、外周面から中心側に向かって凹む凹部１０１が軸方向に沿って設けられていて、その凹部１０１には、引き出し用フィルムＦ１の一端部が差し込まれる。
Further, in the present embodiment, the holding
このため、挟持用カム１００の凹部１０１に引き出し用フィルムＦ１の一端部が差し込まれた状態で、モータ９２を駆動させて挟持用カム１００を回転させることで、挟持用カム１００の外周面と、巻取筒９１の内周面との間に、引き出し用フィルムＦ１を挟み込むことができる。このため、巻取筒９１による引き出し用フィルムＦ１の保持を容易に行うことができる。
Therefore, in a state where one end of the pull-out film F1 is inserted into the
また、本実施の形態では、巻取筒９１の内部には、巻取筒９１の径方向の中心において軸方向に沿うように配置されている駆動シャフト９４と、駆動シャフト９４よりも巻取筒９１の内筒部９１ａの外径側に位置し、当該巻取筒９１を内筒部９１ａ側から支持する回転支持カム９９（回転支持部材）と、が設けられている。また、駆動シャフト９４の端部側には、内筒部９１ａから突出した突出部分が設けられていると共に、その突出部分には、制御部１５０によって駆動制御されるモータ９２が連結されることで、駆動シャフト９４がモータ９２の駆動によって回転させられ、駆動シャフト９４には駆動ギヤ９６が取り付けられていて、回転支持カム９９（回転支持部材）と同軸上には、駆動ギヤ９６と噛み合う従動ギヤ９７（第１従動ギヤ）が取り付けられていて、さらに挟持用カム１００と同軸上には、駆動ギヤ９６と噛み合う従動ギヤ９７（第２従動ギヤ）が取り付けられている。
Further, in the present embodiment, inside the take-up
このように、挟持用カム１００以外に、回転支持カム９９（回転支持部材）が設けられているので、巻取筒９１を良好に支持することが可能となる。また、駆動シャフト９４はモータ９２の駆動によって回転させられるが、その駆動シャフト９４が回転すると、駆動ギヤ９６と従動ギヤ９７（第１従動ギヤおよび第２従動ギヤ）との間の噛み合いによって、挟持用カム１００および回転支持カム９９（回転支持部材）も回転させることができる。このため、巻取筒９１の回転を支持しつつ、巻取筒９１の外径を良好に膨張又は伸縮させることができる。
As described above, since the rotation support cam 99 (rotation support member) is provided in addition to the holding
また、上述の実施の形態では、巻取筒９１の外部には、巻取筒９１の周方向におけるスリット９１ｂの位置を検出する検出センサ１１５と、モータ９２の回転によって駆動シャフト９４、回転支持カム９９（回転支持部材）および挟持用カム１００が回転する状態で巻取筒９１の回転を停止させるストッパ機構１１０が設けられている。そして、検出センサ１１５によってスリット９１ｂの周方向における位置が検出された際に、１５０は、モータ９２を駆動させた状態でストッパ機構１１０（ストッパ駆動源１１１）を所定時間だけ作動させてスリット９１ｂと凹部１０１の位置合わせを行う。
Further, in the above-described embodiment, outside the take-up
ここで、引き出し用フィルムＦ１を、巻取筒９１のスリット９１ｂおよび挟持用カム１００の凹部１０１に差し込むためには、両者が、周方向において位置合わせされている必要がある。しかしながら、本実施の形態では、検出センサ１１５によってスリット９１ｂの周方向位置を検出した際に、ストッパ機構１１０で巻取筒９１の回転を規制し、その状態で挟持用カム１００を所定時間だけ回転させることで、スリット９１ｂと凹部１０１の位置合わせを確実に行うことができる。
Here, in order to insert the pull-out film F1 into the
（第２の実施の形態）
上述の第１の実施の形態では、ワークＷは、ロール状に巻回されたものとして説明している。しかしながら、ワークＷは、ロール状に巻回されたものには限られず、所定の長さに切断された短冊状のものであっても良い。このような短冊状のワークＷを除塵するための除塵装置７０について、図９に基づいて説明する。なお、以下の説明では、第２の実施の形態に係る露光機１０および除塵装置７０については、必要に応じて、露光機１０Ｂおよび除塵装置７０Ｂと表記するが、第１の実施の形態における露光機１０および除塵装置７０と特に区別する必要がない場合には、単に露光機１０および除塵装置７０と表記する。
(Second embodiment)
In the first embodiment described above, the work W is described as being wound in a roll shape. However, the work W is not limited to the one wound in a roll shape, and may be a strip-shaped one cut to a predetermined length. A
図９に示す露光機１０Ｂは、上述した第１の実施の形態における露光室４２に相当する部位で、ワークＷの除塵および露光を行う。すなわち、第２の実施の形成における露光機１０Ｂでは、第１の実施の形態における露光ユニット６０と除塵装置７０とが一体化された状態となっている。なお、図９においては、露光ユニット６０から光源６３を省略した状態で図示している。
The exposure machine 10B shown in FIG. 9 performs dust removal and exposure of the work W at a portion corresponding to the
この露光機１０Ｂは、ワークＷを搬送するワーク搬送機構２００を備えている。ワーク搬送機構２００は、たとえば長尺状のガイドレール２０１を露光機１０Ｂの幅方向における一端側と他端側に備えていて、そのガイドレール２０１に沿って、上流側搬送除塵ユニット２１０Ａと、下流側搬送除塵ユニット２１０Ｂとが移動可能となっている。
The exposure machine 10B includes a
上流側搬送除塵ユニット２１０Ａおよび下流側搬送除塵ユニット２１０Ｂは、不図示の駆動源を備えるレール移動機構２２０を備えていて、このレール移動機構２２０によって、上流側搬送除塵ユニット２１０Ａと下流側搬送除塵ユニット２１０Ｂとが、ガイドレール２０１に沿って移動する。なお、レール移動機構２２０は、幅方向の一端側のガイドレール２０１に載置されているものと、幅方向の他端側のガイドレール２０１に載置されているものとが、それぞれ存在する。
The upstream transport
また、レール移動機構２２０には、接続フレーム２３０が取り付けられている。接続フレーム２３０は、幅方向の一端側と他端側のガイドレール２０１にそれぞれ載置されているレール移動機構２２０を、架け渡すように設けられている。なお、図９においては、接続フレーム２３０は、レール移動機構２２０の上端側に取り付けられている。しかしながら、レール移動機構２２０に対する接続フレーム２３０の取付部位は、レール移動機構２２０の上端側以外の部位であっても良い。
Further, a
また、上流側搬送除塵ユニット２１０Ａの接続フレーム２３０には、搬入ハンドラ２４０Ａが取り付けられている。また、下流側搬送除塵ユニット２１０Ｂの接続フレーム２３０には、搬出ハンドラ２４０Ｂが取り付けられている。搬入ハンドラ２４０Ａは、短冊状のワークＷを、ワーク供給室２１等の外部から露光テーブル２６０へと搬入する。この搬入ハンドラ２４０Ａは、たとえば一対等のような複数の吸着パッド２４１を備えていて、その吸着パッド２４１によって短冊状のワークＷが保持される。
Further, a carry-in
また、搬出ハンドラ２４０Ｂは、露光済みのワークＷを、上述したワーク排出室３１等へと搬送する。この搬出ハンドラ２４０Ｂも、たとえば一対等のような複数の吸着パッド２４１を備えていて、その吸着パッド２４１によって短冊状のワークＷが保持される。
Further, the carry-out
また、レール移動機構２２０には、ローラ移動機構２５０が取り付けられている。ローラ移動機構２５０は、第１の実施の形態で述べたような除塵ローラ７１を、上下方向や搬送方向に移動させる機構である。このローラ移動機構２５０は、ガイドレール２５１を備えていて、そのガイドレール２５１に沿ってＺ方向テーブル２５２が移動可能となっている。
Further, a
また、Ｚ方向テーブル２５２には、ステー２５３が連結されていて、そのステー２５３の先端側には、除塵ローラ７１が回転自在に支持されている。かかるステー２５３は、搬送方向に沿って伸縮可能となっていて、その伸縮は、図示を省略する駆動源の駆動により行われる。それにより、除塵ローラ７１によってワークＷの除塵を行うことが可能となっている。なお、以下の説明では、必要に応じて、上流側搬送除塵ユニット２１０Ａ側の除塵ローラ７１を第１除塵ローラ７１Ａと称呼し、下流側搬送除塵ユニット２１０Ｂ側のＡ側の除塵ローラ７１を第２除塵ローラ７１Ｂと称呼するが、両者を区別する必要がない場合には、単に除塵ローラ７１と称呼する。
Further, a
なお、第１除塵ローラ７１Ａは、第１除塵装置７０Ａを構成する。この第１除塵装置７０Ａは、粘着テープロールＴ１Ｒを保持する粘着テープホルダ７２と、テープ剥がし機構８０とを有している。同様に、第２除塵ローラ７１Ｂは、第２除塵装置７０Ｂを構成する。この第２除塵装置７０Ｂは、粘着テープロールＴ１Ｒを保持する粘着テープホルダ７２と、テープ剥がし機構８０とを有している。なお、粘着テープホルダ７２およびテープ剥がし機構８０は、上述した第１の実施の形態におけるものと同様であるので、その説明は省略する。
The first
以上のような構成を有する露光機１０Ｂでは、第１除塵装置７０Ａおよび第２除塵装置７０Ｂを用いて、上述の第１の実施の形態で説明した除塵装置７０と同様の作用効果を生じさせることが可能となる。
In the exposure machine 10B having the above configuration, the first
また、本実施の形態の露光機１０Ｂでは、第１除塵ローラ７１Ａと第２除塵ローラ７１Ｂとを用いて、ワークＷの除塵を行うことができる。このため、第１除塵ローラ７１Ａの周長と第２除塵ローラ７１Ｂの周長の合計を、ワークＷの接触移動距離よりも長く設定することで、ワークＷから第１除塵ローラ７１Ａおよび第２除塵ローラ７１Ｂに吸着された塵埃が、再びワークＷに付着するのを防止することができる。
Further, in the exposure machine 10B of the present embodiment, the work W can be dust-removed by using the first dust-removing
＜変形例＞
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
<Modification example>
Although each embodiment of the present invention has been described above, the present invention can be variously modified in addition to the above. This will be described below.
上述の各実施の形態においては、引き出し用フィルムＦ１を、巻取筒９１のスリット９１ｂおよび挟持用カム１００の凹部１０１に差し込むことで、引き出し用フィルムＦ１を巻取筒９１に保持させると共に、その引き出し用フィルムＦ１に剥がし用テープＴ２の端部を貼り付ける場合について説明している。しかしながら、引き出し用フィルムＦ１を用いるのを省略しても良い。この場合には、剥がし用テープＴ２の端部を、巻取筒９１に直接貼り付ける構成とすることができる。この場合、巻取筒９１にスリット９１ｂを設けるのを省略すると共に、挟持用カム１００に凹部１０１を設けるのを省略しても良い。
In each of the above-described embodiments, the pull-out film F1 is inserted into the
なお、剥がし用テープＴ２の端部を、巻取筒９１に直接貼り付ける構成とする場合、巻取筒９１の材質を樹脂とすることが好ましい。この場合には、巻取筒９１を金属製とする場合と比較して、金属製の巻取筒と、樹脂製の粘着テープとを分別する手間を削減することができる。なお、上記の各実施の形態における巻取筒９１の材質を、金属製としても良く、さらに剥がし用テープＴ２の端部を、金属製の巻取筒９１に直接貼り付けるようにしても良い。巻取筒９１が金属を材質とする場合、巻取筒９１の耐久性を向上させることができる。
When the end portion of the peeling tape T2 is directly attached to the take-up
１０…露光機、２０…ワーク巻出しユニット、２１…ワーク供給室、２３…陽圧ユニット、２４…加圧ファン、３０…ワーク巻取りユニット、３１…ワーク排出室、３３…陽圧ユニット、３４…加圧ファン、４０…ワーク処理ユニット、４１…上部スペース、４２…露光室、４３…除塵室、５０…温度調節機構、５１…加圧ファン、５２…温度調節器、６０…露光ユニット、６１…光源、６２…フォトマスク、６３…移動機構、７０…除塵装置、７０Ａ…第１除塵装置、７０Ｂ…第２除塵装置、７１…除塵ローラ、７１Ａ…第１除塵ローラ、７１Ｂ…第２除塵ローラ、７２…粘着テープホルダ（第１テープホルダに対応）、７５…粘着テープ移動機構、８０…テープ剥がし機構、９０…粘着テープ巻取機構、９１…巻取筒、９１ａ…内筒部、９１ｂ…スリット、９２…モータ、９３…連結部材、９４…駆動シャフト、９５…シャフト支持プレート、９５ａ…差込凹部、９５Ｃ…センタープレート、９６…駆動ギヤ、９７…従動ギヤ、９８…従動シャフト、９９…回転支持カム（回転支持部材に対応）、９９ａ…規制溝、１００…挟持用カム、１０１…凹部、１１０…ストッパ機構、１１１…ストッパ駆動源、１１２…連結アーム、１１３…ストッパ部材、１１５…検出センサ、１２０…剥がし用テープ保持部（第２テープホルダに対応）、１３０…押し当て機構、１３１…押し当て用ローラ、１３２…ローラ移動機構（移動機構に対応）、１５０…制御部、２００…ワーク搬送機構、２１０Ａ…上流側搬送除塵ユニット、２１０Ｂ…下流側搬送除塵ユニット、２２０…レール移動機構、２３０…接続フレーム、２４０Ａ…搬入ハンドラ、２４０Ｂ…搬出ハンドラ、２４１…吸着パッド、２５０…ローラ移動機構、２５１…ガイドレール、２５２…Ｚ方向テーブル、２５３…ステー、２６０…露光テーブル、Ｆ１…引き出し用フィルム、Ｓ１…接続シャフト、Ｔ１…粘着テープ、Ｔ１Ｒ…粘着テープロール、Ｔ２…剥がし用テープ、Ｔ２Ｒ…剥がし用テープロール、Ｗ…ワーク、Ｗ１…ワーク供給源、Ｗ２…巻取部位、 10 ... Exposure machine, 20 ... Work unwinding unit, 21 ... Work supply chamber, 23 ... Positive pressure unit, 24 ... Pressurized fan, 30 ... Work winding unit, 31 ... Work discharge chamber, 33 ... Positive pressure unit, 34 ... Pressurized fan, 40 ... Work processing unit, 41 ... Upper space, 42 ... Exposure room, 43 ... Dust removal chamber, 50 ... Temperature control mechanism, 51 ... Pressurized fan, 52 ... Temperature controller, 60 ... Exposure unit, 61 ... light source, 62 ... photo mask, 63 ... moving mechanism, 70 ... dust remover, 70A ... first dust remover, 70B ... second dust remover, 71 ... dust remover roller, 71A ... first dust remover roller, 71B ... second dust remover roller , 72 ... Adhesive tape holder (corresponding to the first tape holder), 75 ... Adhesive tape moving mechanism, 80 ... Tape peeling mechanism, 90 ... Adhesive tape winding mechanism, 91 ... Winding cylinder, 91a ... Inner cylinder part, 91b ... Slit, 92 ... motor, 93 ... connecting member, 94 ... drive shaft, 95 ... shaft support plate, 95a ... insertion recess, 95C ... center plate, 96 ... drive gear, 97 ... driven gear, 98 ... driven shaft, 99 ... Rotational support cam (corresponding to rotary support member), 99a ... Regulation groove, 100 ... Holding cam, 101 ... Recess, 110 ... Stopper mechanism, 111 ... Stopper drive source, 112 ... Connecting arm, 113 ... Stopper member, 115 ... Detection Sensor, 120 ... Peeling tape holding part (corresponding to the second tape holder), 130 ... Pushing mechanism, 131 ... Pushing roller, 132 ... Roller moving mechanism (corresponding to moving mechanism), 150 ... Control unit, 200 ... Work transfer mechanism, 210A ... upstream transfer dust removal unit, 210B ... downstream transfer dust removal unit, 220 ... rail movement mechanism, 230 ... connection frame, 240A ... carry-in handler, 240B ... carry-out handler, 241 ... suction pad, 250 ... roller movement Mechanism, 251 ... Guide rail, 252 ... Z direction table, 253 ... Stay, 260 ... Exposure table, F1 ... Drawer film, S1 ... Connection shaft, T1 ... Adhesive tape, T1R ... Adhesive tape roll, T2 ... Peeling tape, T2R ... Peeling tape roll, W ... Work, W1 ... Work source, W2 ... Winding part,
Claims (4)
前記ワークの表面に付着している塵埃を吸着する除塵ローラと、
前記除塵ローラに付着した前記塵埃を転写すると共に所定長さ毎に切れ目を有する粘着テープを巻回している粘着テープロールを保持する第１テープホルダと、
前記粘着テープロールから引き出された前記粘着テープを巻き取る巻取筒と、
前記粘着テープロールの最外周の前記粘着テープに接触して、当該粘着テープを前記粘着テープロールから剥がすと共に前記粘着テープと共に前記巻取筒に巻き取られる剥がし用テープを保持する第２テープホルダと、
前記第１テープホルダに保持されている前記粘着テープの端部を検出する検出センサと、
前記検出センサからの検出信号が入力される制御部と、
前記検出センサで前記粘着テープの端部を検出した際に、前記粘着テープを前記剥がし用テープに対して相対的に移動させて、前記剥がし用テープを前記粘着テープの端部側に押し付けるように前記制御部によって制御駆動される移動機構と、
を備え、
前記巻取筒の外周部分には、軸方向に沿って切り欠かれたスリットが設けられていて、当該スリットには、前記剥がし用テープの一端部を貼り付けて当該剥がし用テープを引き出すための引き出し用フィルムの一端部が差し込まれると共に、
前記巻取筒の内筒部には、回転中心から外周面までの半径が変動する挟持用カムが回転自在に設けられていて、
前記挟持用カムの回転によって、前記内筒部の内筒面と前記挟持用カムの外周面との間に前記引き出し用フィルムの挟み込みおよび挟み込みの解除を行うと共に、前記巻取筒の直径を変動させる、
ことを特徴とする露光機の除塵装置。 A dust remover for an exposure machine for removing dust from a work prior to exposing the work.
A dust removing roller that adsorbs dust adhering to the surface of the work,
A first tape holder that transfers the dust adhering to the dust removing roller and holds an adhesive tape roll around which an adhesive tape having a cut at a predetermined length is wound.
A winding cylinder for winding the adhesive tape pulled out from the adhesive tape roll, and
With a second tape holder that contacts the adhesive tape on the outermost periphery of the adhesive tape roll, peels the adhesive tape from the adhesive tape roll, and holds the peeling tape that is wound around the winding cylinder together with the adhesive tape. ,
A detection sensor that detects the end of the adhesive tape held in the first tape holder, and
A control unit to which a detection signal from the detection sensor is input, and
When the end portion of the adhesive tape is detected by the detection sensor, the adhesive tape is moved relative to the peeling tape so that the peeling tape is pressed against the end portion side of the adhesive tape. A moving mechanism controlled and driven by the control unit,
Equipped with
A slit cut out along the axial direction is provided on the outer peripheral portion of the take-up cylinder, and one end of the peeling tape is attached to the slit to pull out the peeling tape. As soon as one end of the drawer film is inserted,
The inner cylinder portion of the take-up cylinder is rotatably provided with a holding cam whose radius varies from the center of rotation to the outer peripheral surface.
By rotating the holding cam, the pull-out film is sandwiched and released between the inner cylinder surface of the inner cylinder portion and the outer peripheral surface of the holding cam, and the diameter of the winding cylinder is changed. Let, let
A dust remover for an exposure machine, which is characterized by this.
前記挟持用カムには、外周面から中心側に向かって凹む凹部が前記軸方向に沿って設けられていて、
前記凹部には、前記引き出し用フィルムの一端部が差し込まれる、
ことを特徴とする露光機の除塵装置。 The dust removing device for the exposure machine according to claim 1.
The holding cam is provided with a recess that is recessed from the outer peripheral surface toward the center side along the axial direction.
One end of the drawing film is inserted into the recess.
A dust remover for an exposure machine, which is characterized by this.
前記巻取筒の内部には、
前記巻取筒の径方向の中心において前記軸方向に沿うように配置されている駆動シャフトと、
前記駆動シャフトよりも前記巻取筒の前記内筒部の外径側に位置し、当該巻取筒を前記内筒部側から支持する回転支持部材と、
が設けられていて、
前記駆動シャフトの端部側には、前記内筒部から突出した突出部分が設けられていると共に、
前記突出部分には、前記制御部によって駆動制御されるモータが連結されることで、前記駆動シャフトが前記モータの駆動によって回転させられ、
前記駆動シャフトには駆動ギヤが取り付けられていて、
前記回転支持部材と同軸上には、前記駆動ギヤと噛み合う第１従動ギヤが取り付けられていて、
さらに前記挟持用カムと同軸上には、前記駆動ギヤと噛み合う第２従動ギヤが取り付けられている、
ことを特徴とする露光機の除塵装置。 The dust removing device for the exposure machine according to claim 2.
Inside the take-up tube,
A drive shaft arranged along the axial direction at the center of the winding cylinder in the radial direction, and
A rotation support member located on the outer diameter side of the inner cylinder portion of the take-up cylinder with respect to the drive shaft and supporting the take-up cylinder from the inner cylinder portion side.
Is provided,
A protruding portion protruding from the inner cylinder portion is provided on the end side of the drive shaft, and the drive shaft is provided with a protruding portion.
A motor driven and controlled by the control unit is connected to the protruding portion, so that the drive shaft is rotated by the drive of the motor.
A drive gear is attached to the drive shaft.
A first driven gear that meshes with the drive gear is mounted coaxially with the rotation support member.
Further, a second driven gear that meshes with the drive gear is mounted coaxially with the holding cam.
A dust remover for an exposure machine, which is characterized by this.
前記巻取筒の外部には、
前記巻取筒の周方向における前記スリットの位置を検出する検出センサと、
前記モータの回転によって前記駆動シャフト、前記回転支持部材および前記挟持用カムが回転する状態で前記巻取筒の回転を停止させるストッパ機構と、
が設けられていて、
前記検出センサによって前記スリットの周方向における位置が検出された際に、前記制御部は、前記モータを駆動させた状態で前記ストッパ機構を所定時間だけ作動させて前記スリットと前記凹部の位置合わせを行う、
ことを特徴とする露光機の除塵装置。 The dust removing device for the exposure machine according to claim 3.
On the outside of the take-up tube,
A detection sensor that detects the position of the slit in the circumferential direction of the take-up tube, and
A stopper mechanism for stopping the rotation of the take-up cylinder while the drive shaft, the rotation support member, and the holding cam are rotated by the rotation of the motor.
Is provided,
When the position of the slit in the circumferential direction is detected by the detection sensor, the control unit operates the stopper mechanism for a predetermined time while driving the motor to align the slit and the recess. conduct,
A dust remover for an exposure machine, which is characterized by this.
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