JP7002949B2 - 画像評価方法及び画像評価装置 - Google Patents
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Description
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
前記機械学習部で作成したモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部を備えたことを特徴とする画像評価方法及び装置を提案する。
それ以外の領域に差異が無い場合は判定不明を出力することが考えられる。例えば、その場合はユーザーに対して目視確認を要望するような通知を行うことが考えられる。
2 設計データ
3 画像評価装置
4 設計データ画像生成部
5 機械学習部
6 設計データ生成モデル
7 SEM画像
8 設計データ
9 設計データ予測画像生成部
10 設計データ画像生成部
11 比較部
12 判定結果
13 層情報
14 層情報
15 セレクタ
16 工程情報
17 工程情報
18 セレクタ
19 露光情報
20 露光情報
21 セレクタ
22 異常判定部
23 異常判定情報
24 設計データ
25 設計データ
26 設計データ画像生成部
27 設計データ画像生成部
28 機械学習部
29 異常判定モデル
30 設計データ予測画像生成部
31 差異判定部
32 撮影条件デバイス情報
33 撮影条件デバイス情報
34 設計データ画像生成部
35 設計データ画像生成部
36 セレクタ
91 画像生成部
92 画像補正部
921 2値化部
922 ノイズ除去部
110 テンプレート作成部
111 テンプレート作成部
112 差異検出部
113 差異検出部
114 判定部
341 塗りつぶし部
342 エッジ検出部
343 セレクタ
1141 ノイズ除去部
1142 ノイズ除去部
1143 差異判定部
Claims (19)
- 設計データ画像を教師とし、該設計データ画像に対応する検査対象画像を用いて、該検査対象画像から前記設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
前記機械学習部で作成した前記モデルを用いて、前記検査対象画像から前記設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
前記検査対象画像に対応する前記設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部と、を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価装置であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
層情報と画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、層毎に、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
層情報によって前記機械学習部で作成したモデルを切替える切替え部と、
前記切替え部で選択されたモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価装置であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
工程情報と画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、工程毎に、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
工程情報によって前記機械学習部で作成したモデルを切替える切替え部と、
前記切替え部で選択されたモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価装置であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
露光情報と画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、露光情報毎に、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
露光情報によって前記機械学習部で作成したモデルを切替える切替え部と、
前記切替え部で選択されたモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価装置であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
前記機械学習部で作成したモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部と
を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価装置であって、
設計データを画像化する第一の設計データ画像生成部と、第二の設計データ画像生成部と、前記第一の設計データ画像生成部と第二の設計データ画像生成部で生成した設計データ画像と異常判定情報を用いて異常判定モデルを作成する機械学習部とを備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価装置であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
前記機械学習部で作成したモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と前記設計データ画像と異常判定モデルを用いて異常を判定する異常判定部と、設計データを画像化する第一の設計データ画像生成部と、第二の設計データ画像生成部と、前記第一の設計データ画像生成部と第二の設計データ画像生成部で生成した設計データ画像と異常判定情報を用いて異常判定モデルを作成する機械学習部とを備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 請求項1の画像評価装置において、
設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像を表示するGUI部を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 請求項2から4のいずれかの画像評価装置において、
層情報、又は工程情報、露光情報を設定するGUI部があり、または、それらに対応する設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像を表示するGUI部を備えたことを特徴とする画像評価装置。 - 請求項1の画像評価装置において、
異常と判定された画素の画像領域によって、欠陥と不明に分けることを特徴とする画像評価装置。 - 請求項10の画像評価装置において、
画像端の画像領域のみに異常と判定される領域が存在する場合は、欠陥の有無が不明を表す不明に、画像端の以外の画像領域に異常と判定される領域が存在する場合は欠陥が在るあることを示す欠陥として分けることを特徴とする画像評価装置。 - 請求項1から4のいずれかの画像評価装置において、
比較部では、前記設計データ予測画像又は前記設計データ画像、若しくはその両方の画像を局所領域に分割したテンプレートにし、対応するもう一方の画像の局所領域に対応する画像範囲をマッチングして一致度を求め、それら局所領域での一致度を合わせて画像の比較結果を算出することを特徴とする画像評価装置。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価方法であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
前記機械学習部で作成したモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部を備えたことを特徴とする画像評価方法。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価方法であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
層情報と画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、層毎に、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
層情報によって前記機械学習部で作成したモデルを切替える切替え部と、
前記切替え部で選択されたモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部を備えたことを特徴とする画像評価方法。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価方法であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
工程情報と画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、工程毎に、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
工程情報によって前記機械学習部で作成したモデルを切替える切替え部と、
前記切替え部で選択されたモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部を備えたことを特徴とする画像評価方法。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価方法であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
露光情報と画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、露光情報毎に、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
露光情報によって前記機械学習部で作成したモデルを切替える切替え部と、
前記切替え部で選択されたモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部を備えたことを特徴とする画像評価方法。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価方法であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
前記機械学習部で作成したモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と、前記設計データ画像とを比較する比較部とを備えたことを特徴とする画像評価方法。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価方法であって、
設計データを画像化する第一の設計データ画像生成部と、第二の設計データ画像生成部と、前記第一の設計データ画像生成部と第二の設計データ画像生成部で生成した設計データ画像と異常判定情報を用いて異常判定モデルを作成する機械学習部とを備えたことを特徴とする画像評価方法。 - 検査対象パターンと設計データとを用いて欠陥を検出する画像評価方法であって、
設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
画像化した設計データ画像を教師とし、それに対応する検査対象画像を用いて、検査対象画像から設計データ画像を生成するためのモデルを作成する機械学習部と、
前記機械学習部で作成したモデルを用いて、検査対象画像から設計データ画像を予測する設計データ予測画像生成部と、
検査対象画像に対応する設計データを画像化する設計データ画像生成部と、
前記設計データ予測画像生成部で生成した設計データ予測画像と前記設計データ画像と異常判定モデルを用いて異常を判定する異常判定部と、設計データを画像化する第一の設計データ画像生成部と、第二の設計データ画像生成部と、前記第一の設計データ画像生成部と第二の設計データ画像生成部で生成した設計データ画像と異常判定情報を用いて異常判定モデルを作成する機械学習部とを備えたことを特徴とする画像評価方法。
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