JP7002221B2 - 直接描画システムのためのリアルタイムの検査及び修正技術 - Google Patents
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Description
Claims (11)
- 製品の一部を形成すべく、材料を先端部から基板上に堆積させるように構成された直接描画装置を、初期パラメータ値に従って操作することと、
堆積済材料及び前記先端部の複数のスペクトル画像を含むハイパースペクトル画像フレームを受信することと、
前記堆積済材料の特性を判定するために、受信した前記ハイパースペクトル画像フレームを処理することと、
判定された特性である判定特性を、目標特性と比較することと、
前記判定特性を前記目標特性に一致させるために、少なくとも1つの修正パラメータ値を求めることと、前記初期パラメータ値のうちの少なくとも1つを、前記修正パラメータ値によってアップデートすることと、
前記修正パラメータ値に従って追加材料を前記基板上に堆積させるために、前記直接描画装置を操作することと、を含む方法であって、
前記堆積済材料の特性は、前記堆積済材料の高さ及び幅の少なくとも一方を含んでおり、
前記堆積済材料の高さ及び幅の少なくとも一方は、前記スペクトル画像内において前記堆積済材料の高さ及び幅の少なくとも一方を前記先端部の既知の寸法から推定することにより求められるものであり、
前記比較することは、前記幅及び高さのうちの少なくとも1つを、寸法データベースに格納されている所定の幅及び高さのうちの少なくとも1つと比較することを含む、方法。 - 前記直接描画装置は、付加製造装置である、請求項1に記載の方法。
- 前記処理することは、前記スペクトル画像のうちの1つ又は複数に対してエッジ検出及び線分検出を行うことにより、前記堆積済材料の幅及び高さのうちの少なくとも1つを測定することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記修正パラメータ値は、追加の堆積済材料の幅及び高さのうちの少なくとも1つを調整するための、前記先端部の高さ、前記先端部からのソース材料の流量、及び、前記先端部の並進速度のうちの少なくとも1つに対応する、請求項3に記載の方法。
- 前記スペクトル画像のうちの1つ又は複数に基づいて堆積済材料の吸光度特性を求めること、
求めた吸光度特性を、吸光度特性データベースに格納されている吸光度特性と比較すること、及び、
堆積済材料の化学組成を特定するために、吸光度特性に基づいた堆積済材料の化学分析を行うこと、をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記ハイパースペクトル画像フレームとは異なる時間に撮像された、少なくとも1つの追加ハイパースペクトル画像フレームを受信することをさらに含み、
前記追加ハイパースペクトル画像フレームは、前記異なる時間に撮像された、堆積済材料の複数の追加スペクトル画像を含み、
前記処理することは、前記スペクトル画像と前記追加スペクトル画像とに基づいて、互いに異なる時間における、堆積済材料の複数の吸光度特性を求めることを含み、
前記比較することは、堆積済材料内の溶媒含有量を求めるために、前記吸光度特性の各々を、吸光度データベースに格納されている参照用吸光度特性と比較することを含み、
前記修正パラメータ値は、堆積済材料の乾燥時間を調整するための、基板温度及び前記先端部からの追加材料の流量のうちの少なくとも1つに対応する、請求項1に記載の方法。 - 命令を含むメモリと、
前記命令を実行することにより動作を行うように構成されているプロセッサと、を含むシステムであって、
前記動作は、
製品の一部を形成すべく、材料を先端部から基板上に堆積させるように構成された直接描画装置を、初期パラメータ値に従って操作することと、
堆積済材料及び前記先端部の複数のスペクトル画像を含むハイパースペクトル画像フレームを受信することと、
前記堆積済材料の特性を判定するために、受信した前記ハイパースペクトル画像フレームを処理することと、
判定された特性である判定特性を、目標特性と比較することと、
前記判定特性を前記目標特性に一致させるために、少なくとも1つの修正パラメータ値を求めることと、
前記初期パラメータ値のうちの少なくとも1つを、前記修正パラメータ値によってアップデートすることと、
前記修正パラメータ値に従って追加材料を前記基板上に堆積させるために、前記直接描画装置を操作することとを含む、システムであって、
前記堆積済材料の特性は、前記堆積済材料の高さ及び幅の少なくとも一方を含んでおり、
前記堆積済材料の高さ及び幅の少なくとも一方は、前記スペクトル画像内において前記堆積済材料の高さ及び幅の少なくとも一方を前記先端部の既知の寸法から推定することにより求められるものであり、
前記比較することは、前記幅及び高さのうちの少なくとも1つを、寸法データベースに格納されている所定の幅及び高さのうちの少なくとも1つと比較することを含む、システム。 - 前記直接描画装置は、付加製造装置である、請求項7に記載のシステム。
- 前記処理することは、前記スペクトル画像のうちの1つ又は複数に対してエッジ検出及び線分検出を行うことにより、前記堆積済材料の幅及び高さのうちの少なくとも1つを測定することを含み、
前記比較することは、前記測定された幅及び高さのうちの少なくとも1つを、寸法データベースに格納されている所定の幅及び高さのうちの少なくとも1つと比較することを含む、請求項7に記載のシステム。 - 前記修正パラメータ値は、追加の堆積済材料の幅及び高さのうちの少なくとも1つを調整するための、前記先端部の高さ、前記先端部からのソース材料の流量、及び、前記先端部の並進速度のうちの少なくとも1つに対応する、請求項9に記載のシステム。
- 前記プロセッサは、
前記スペクトル画像のうちの1つ又は複数に基づいて堆積済材料の吸光度特性を求めること、
求めた吸光度特性を、吸光度特性データベースに格納されている吸光度特性と比較すること、及び、
堆積済材料の化学組成を特定するために、吸光度特性に基づいた堆積済材料の化学分析を行うこと、を含む動作をさらに行うための命令を実行するように構成されている、請求項7に記載のシステム。
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