JP6997654B2 - 封止用シート - Google Patents
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Description
昇温速度:10℃/分
測定質量:15mg
別途、前記封止用シートを、150℃で、10分加熱し、当該封止用シートを、前記の条件で示差走査熱量を測定して、第2発熱量H2を得る。
カルボキシル基を含有する熱可塑性樹脂としては、カルボキシル基を含有するアクリル樹脂などが挙げられる。
昇温速度:10℃/分
測定質量:15mg
別途、半導体素子封止用シート1を、150℃で、10分加熱し、上記の当該半導体素子封止用シート(つまり、加熱後の半導体素子封止用シート1)を、上記の条件で示差走査熱量を測定(DSC測定)して、第2発熱量H2を得る。
1≦(張り出し長さL2)/(はみ出し長さL1)<1.5 (2)
1≦(張り出し長さL2)/(はみ出し長さL1)<1.25 (3)
なお、張り出し長さL2は、図3Aに示す、封止前の半導体素子封止用シート1の第1周面6の位置を基準として、この基準から、図3Bにおいて半導体素子封止用シート1において外側にはみ出した周端縁までの距離である。上記した基準は、通常、第2剥離シート25の第2周面9と同一位置にある。
以下の各変形例において、上記した一実施形態と同様の部材については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、一実施形態および各変形例を適宜組み合わせることもできる。
ノボラック型フェノール樹脂:群栄化学社製のLVR-8210DL(エポキシ樹脂硬化剤、水酸基当量:104g/eq.、軟化点:60℃)
カルボキシル基を含有する熱可塑性樹脂:根上工業社製のHME-2006M、カルボキシル基含有のアクリル酸エステル系ポリマー、重量平均分子量:約85万、固形分濃度20%(メチルエチルケトン溶液)、ガラス転移温度Tg=-30℃、酸価:30mgKOH/g
カルボキシル基を含有する熱可塑性樹脂:ナガセケムテックス社製のSG-70LN、カルボキシル基含有のアクリル酸エステル系ポリマー、重量平均分子量:約90万、固形分濃度12.5%(メチルエチルケトン溶液)、ガラス転移温度Tg=-13℃、酸価:5mgKOH/g
カルボキシル基を含有する熱可塑性樹脂:ナガセケムテックス社製のSG-N50、カルボキシル基含有のアクリル酸エステル系ポリマー、重量平均分子量:約40万、固形分濃度25%(メチルエチルケトン溶液)、ガラス転移温度Tg=0℃、酸価:35mgKOH/g
カルボキシル基を含有しない熱可塑性樹脂:根上工業社製のAC-019、カルボキシル基を含有しないアクリル酸エステル系ポリマー、重量平均分子量:約110万、固形分濃度20%(メチルエチルケトン溶液)、ガラス転移温度Tg=-15℃、酸価:0mgKOH/g
エポキシ樹脂硬化促進剤:四国化成工業社製の2PHZ-PW(2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール)
第1無機粒子:デンカ社製のFB-8SM(球状溶融シリカ粉末(無機粒子)、平均粒子径15μm)
第2無機粒子:アドマテックス社製のSC220G-SMJ(平均粒径0.5μm)を3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学社製の製品名:KBM-503)で表面処理した無機粒子。SC220G-SMJ 100質量部に対して1質量部のシランカップリング剤で表面処理した無機粒子。
シランカップリング剤:信越化学社製のKBM-403(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)
実施例1~4および比較例1
表1に記載の配合処方に従い、各成分をメチルエチルケトンに溶解および分散させ、ワニスを得た。ワニスの固形分濃度は、80質量%であった。
半導体素子封止用シート1について、下記の項目を評価した。その結果を表1に記載する。
図2Aに示すように、第1剥離シート15および第2剥離シート25に支持され、厚み260μmの半導体素子封止用シート1を準備し、これを、縦5cm、横5cmの大きさに切断加工した。これにより、半導体素子封止用シート1の第1周面6と、第2剥離シート25の第2周面9とが、面一となった。
加熱前における(未加熱の)半導体素子封止用シート1を、以下の条件で示差走査熱量を測定(DSC測定)して、第1発熱量H1を得た。
昇温速度:10℃/分
測定質量:15mg
DSC装置:DSC-Q2000、ティ・エイ・インスツルメンツ社製
別途、半導体素子封止用シート1を、150℃で、10分加熱し、かかる半導体素子封止用シート1(加熱後の半導体素子封止用シート1)を、上の条件で示差走査熱量を測定(DSC測定)して、第2発熱量H2を得た。
25 第2剥離シート
L1 はみ出し長さ
R 反応率
Claims (6)
- エポキシ樹脂と、ノボラック型フェノール樹脂と、カルボキシル基を含有する熱可塑性樹脂とを含有し、
以下の方法で測定されるはみ出し長さL1が、3mm以下であることを特徴とする、封止用シート。
厚み260μm、縦5cm、横5cmの寸法を有する前記封止用シートを、前記封止用シートと同一の縦横寸法を有する剥離シートに支持される状態で、縦6cm、横6cmのアルミナ板の前記厚み方向一方面に、前記アルミナ板、前記封止用シートおよび前記剥離シートが厚み方向一方側に順に並ぶように、配置し、70℃で、60秒間、360Nの力で、それらを前記厚み方向に熱プレスし、その後、前記封止用シートの前記剥離シートから前記厚み方向に直交する方向外側へのはみ出し長さL1を測定する。 - 前記熱可塑性樹脂の酸価が、10mgKOH/g以上、40mgKOH/g以下であることを特徴とする、請求項1に記載の封止用シート。
- 前記熱可塑性樹脂のガラス転移温度が、-20℃以上、10℃以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の封止用シート。
- 前記熱可塑性樹脂の前記エポキシ樹脂および前記ノボラック型フェノール樹脂の総量100質量部に対する配合部数が、10質量部以上、90質量部以下であることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の封止用シート。
- さらに、第1無機粒子と、
前記第1無機粒子の平均粒子径より小さい平均粒子径を有する第2無機粒子とを含有し、
前記第2無機粒子の前記第1無機粒子100質量部に対する配合部数が、50質量部以上、100質量部未満であることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載の封止用シート。 - 以下の方法で求められる反応率Rが、50%以上であることを特徴とする、請求項1~5のいずれか一項に記載の封止用シート。
封止用シート1を、以下の条件で示差走査熱量を測定して、第1発熱量H1を得る。
測定温度範囲:0~300℃
昇温速度:10℃/分
測定質量:15mg
別途、前記封止用シートを、150℃で、10分加熱し、当該封止用シートを、前記の条件で示差走査熱量を測定して、第2発熱量H2を得る。
その後、前記第1発熱量H1から前記第2発熱量H2を差し引いた熱量[H1-H2]の、前記第1発熱量H1に対する百分率([H1-H2]/H1×100%)を前記反応率Rとして求める。
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