JP6988585B2 - センサ素子及びこれを備えたガスセンサ - Google Patents
センサ素子及びこれを備えたガスセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6988585B2 JP6988585B2 JP2018040667A JP2018040667A JP6988585B2 JP 6988585 B2 JP6988585 B2 JP 6988585B2 JP 2018040667 A JP2018040667 A JP 2018040667A JP 2018040667 A JP2018040667 A JP 2018040667A JP 6988585 B2 JP6988585 B2 JP 6988585B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- beam portion
- thermistor
- substrate
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
図1は、本発明の第1の実施形態によるセンサ素子1の外観を説明するための略斜視図である。また、図2は、センサ素子1の略上面図である。
図13は、本発明の第2の実施形態によるガスセンサ2の構成を説明するための略上面図である。また、図14は、図13に示すC−C線に沿った略断面図である。
図15は、本発明の第3の実施形態によるガスセンサ3の構成を説明するための略上面図である。また、図16は、図15に示すD−D線に沿った略断面図である。
2,3 ガスセンサ
10 基板
11 空洞部
20 絶縁膜
20B1〜20B4 梁部
20M メンブレン部
20a 切り欠き部
21 下層絶縁膜
22 上層絶縁膜
23 リブ用絶縁膜
24 サーミスタ保護膜
30 ヒータ抵抗
31,32 引き出し導体部
41,42 端子電極
50 ストッパー膜
60 サーミスタ
61,62 サーミスタ電極
63,64 端子電極
70 触媒
R リブ
Claims (7)
- 空洞部を有する基板と、
前記基板の空洞部上に位置し、前記基板の表面から延在する梁部によって支持されたメンブレン部と、
前記メンブレン部に形成されたヒータ抵抗と、を備え、
前記梁部の表面には、前記基板と前記メンブレン部を接続する長さ方向に延在するリブが設けられていることを特徴とするセンサ素子。 - 前記リブは、前記梁部の幅方向における両側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ素子。
- 前記リブは、前記梁部の幅方向における中央部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ素子。
- 前記メンブレン部及び前記梁部は、前記基板の前記表面を覆う絶縁膜の一部からなり、
前記空洞部上に位置する前記絶縁膜には複数の切り欠き部が形成されており、これによって前記メンブレン部と前記梁部に区画されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のセンサ素子。 - 前記梁部は、前記絶縁膜からなる本体部と、前記リブと、前記本体部と前記リブの間に位置し、前記絶縁膜とは異なる材料からなるストッパー膜とを含むことを特徴とする請求項4に記載のセンサ素子。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載のセンサ素子と、
前記ヒータ抵抗と重なるよう、前記メンブレン部に形成されたサーミスタと、
前記サーミスタを介して接続された一対のサーミスタ電極と、を備えることを特徴とするガスセンサ。 - 前記ヒータ抵抗及び前記サーミスタと重なるよう前記メンブレン部に形成され、検出対象ガスの燃焼を促進させる触媒をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載のガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018040667A JP6988585B2 (ja) | 2018-03-07 | 2018-03-07 | センサ素子及びこれを備えたガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018040667A JP6988585B2 (ja) | 2018-03-07 | 2018-03-07 | センサ素子及びこれを備えたガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019158358A JP2019158358A (ja) | 2019-09-19 |
JP6988585B2 true JP6988585B2 (ja) | 2022-01-05 |
Family
ID=67992518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018040667A Active JP6988585B2 (ja) | 2018-03-07 | 2018-03-07 | センサ素子及びこれを備えたガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6988585B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102513122B1 (ko) * | 2020-09-23 | 2023-03-23 | 주식회사 유라코퍼레이션 | 연성 인쇄 회로 기판의 설치 구조 |
KR102450313B1 (ko) * | 2020-09-23 | 2022-10-04 | 주식회사 유라코퍼레이션 | 연성 인쇄 회로 기판 및 그의 제조 방법 |
KR102540953B1 (ko) * | 2023-03-09 | 2023-06-08 | 주식회사 멤스 | 가스누설 감지센서 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3537077B2 (ja) * | 1998-01-20 | 2004-06-14 | 矢崎総業株式会社 | ガスセンサ用マイクロヒータ |
JP2008241331A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Citizen Holdings Co Ltd | 薄膜型ガスセンサ |
JP2009229187A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Citizen Watch Co Ltd | 薄膜型ガスセンサ |
JP5447159B2 (ja) * | 2010-04-30 | 2014-03-19 | Tdk株式会社 | ガスセンサ |
-
2018
- 2018-03-07 JP JP2018040667A patent/JP6988585B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019158358A (ja) | 2019-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2284595C2 (ru) | СИСТЕМА СТАБИЛЬНОГО ДАТЧИКА ВЫСОКОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ/НАГРЕВАТЕЛЯ С ВОЛЬФРАМОМ НА AlN И СПОСОБ | |
JP6988585B2 (ja) | センサ素子及びこれを備えたガスセンサ | |
KR960011154B1 (ko) | SiC 박막더어미스터 및 그 제조방법 | |
KR970705012A (ko) | 온도센서 소자와 그것을 가지는 온도센서 및 온도센서 소자의 제조방법 | |
JP5447159B2 (ja) | ガスセンサ | |
US10697920B2 (en) | Gas sensor | |
US10539526B2 (en) | Micro sensor | |
JP5609919B2 (ja) | マイクロヒータ素子 | |
US5652443A (en) | Sensor having a micro-bridge heater | |
JP2007115938A (ja) | 薄膜サーミスタ | |
CN107727713B (zh) | 微传感器 | |
JP6451395B2 (ja) | センサ素子 | |
JP4871548B2 (ja) | 薄膜サーミスタ | |
JP5672742B2 (ja) | 赤外線温度センサ | |
JP5672339B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP5803435B2 (ja) | 赤外線温度センサ | |
JP2008298617A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサおよび接触燃焼式ガスセンサの製造方法 | |
JP6834358B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2000275078A (ja) | 薄膜ヒータ | |
JP2011196896A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
JP5029885B2 (ja) | 薄膜サーミスタ素子及びその製造方法 | |
JP7156013B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2001141575A (ja) | 温度センサ素子およびその素子を用いた温度センサ | |
KR100228146B1 (ko) | 측온저항체 소자의 저항온도계수의 조정방법 및 측온저항체 소자의 제조방법 | |
JP7503226B1 (ja) | ガス濃度測定デバイス及び被測定ガス中の被検出対象ガス濃度の測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211102 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211115 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6988585 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |