JP6987233B2 - 荷電粒子線装置及びその軸調整方法 - Google Patents
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Description
(3−1)第1ビーム管8に印加する電圧を周期的に変動させることによる像の動きが最小になるように、アパーチャ5を移動または偏向器7を調整し、プローブ電子線軌道を変化させる。
(3−2)続いて、対物レンズ4に供給する励磁電流を周期的に変動させることによる像の動きが最小になるように、第1ビーム管8の位置調整を行う。
(3−3)調整(3−1)と調整(3−2)の手順を繰り返し実施する。
(3−1)リターディング電圧を周期的に変動させることによる像の動きが最小になるように、アパーチャ5を移動または偏向器7を調整し、プローブ電子線軌道を変化させる。
(3−2)続いて、対物レンズ4に供給する励磁電流を周期的に変動させることによる像の動きが最小になるように、第1ビーム管8の位置調整を行う。
(3−3)調整(3−1)と調整(3−2)の手順を繰り返し実施する。
Claims (12)
- 電子源と、
前記電子源からのプローブ電子線を試料に集束させる対物レンズと、
前記プローブ電子線を通過させる第1ビーム管及び第2ビーム管と、
前記第2ビーム管よりも前記対物レンズ側に配置される前記第1ビーム管と前記試料との間に配置される減速電極と、
前記第1ビーム管に第1電位を印加することにより、前記第1ビーム管と前記減速電極との間で、前記プローブ電子線に対する減速電界を形成する第1電圧源と、
前記第1ビーム管の位置を移動させる第1移動機構とを有する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
第1電圧源は、前記第1ビーム管及び前記第2ビーム管に、前記第1電位を印加する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第2ビーム管に第2電位を印加することにより、前記第2ビーム管と前記電子源との間で、前記プローブ電子線に対する加速電界を形成する第2電圧源を有し、
前記第1電位と前記第2電位とを同電位とするよう、前記第1電圧源と前記第2電圧源とを制御するモードを有する荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記減速電極は、前記対物レンズの磁路と磁気的に結合されている荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1ビーム管は前記電子源側の端部にフランジ部を有し、
前記第2ビーム管は前記対物レンズ側の端部にフランジ部を有し、
前記第1ビーム管のフランジ部と前記第2ビーム管のフランジ部とが対向するように配置されている荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1ビーム管は、空間または絶縁体を介して、前記減速電極と電気的に絶縁されている荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1ビーム管を内蔵するカラムを有し、
前記第1移動機構は前記カラムの外側から前記第1ビーム管の位置を移動させることができる荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1ビーム管と前記第2ビーム管との間に配置され、前記プローブ電子線を通過させる第3ビーム管と、
前記第2ビーム管に第2電位を印加することにより、前記第2ビーム管と前記電子源との間で、前記プローブ電子線に対する加速電界を形成する第2電圧源と、
前記第3ビーム管に第3電位を印加する第3電圧源と、
前記第3ビーム管の位置を移動させる第2移動機構とを有し、
前記第1電位と前記第3電位とを同電位とするよう、前記第1電圧源と前記第3電圧源とを制御するモード及び、第2電位と前記第3電位とを同電位とするよう、前記第2電圧源と前記第3電圧源とを制御するモードを有する荷電粒子線装置。 - 電子源と、
前記電子源からのプローブ電子線を試料に集束させる対物レンズと、
前記プローブ電子線を通過させる開口を有する電極と、
前記試料に第1電位を印加することにより、前記電極と前記試料との間で、前記プローブ電子線に対する減速電界を形成する電圧源と、
前記電極の位置を移動させる移動機構と、
前記電極よりも前記電子源側に配置され、前記プローブ電子線を通過させるビーム管と、
前記電極及び前記ビーム管に、前記第1電位とは逆極性の第2電位を印加する第2電圧源とを有する荷電粒子線装置。 - プローブ電子線を試料に集束させる磁場レンズと前記プローブ電子線を減速させる静電レンズとが重畳された減速光学系を有する荷電粒子線装置の軸調整方法であって、
前記プローブ電子線軌道が前記磁場レンズの電流中心軸を通るように調整し、
前記磁場レンズに供給する励磁電流を周期的に変動させたときの像の動きが最小になるように、前記静電レンズの電界を形成する電極の位置を移動させる軸調整方法。 - 請求項10において、
前記静電レンズの電界の大きさを周期的に変動させたときの像の動きが最小になるように、前記プローブ電子線軌道を調整する第1のステップと、
前記磁場レンズに供給する励磁電流を周期的に変動させたときの像の動きが最小になるように、前記静電レンズの電界を形成する電極の位置を移動させる第2のステップとを有し、
前記第1のステップと前記第2のステップとを繰り返す軸調整方法。 - 請求項10において、
前記荷電粒子線装置は、ブースティング法またはリターディング法が適用された荷電粒子線装置である軸調整方法。
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