JP6981652B2 - プラズマ処理用基板トレイ - Google Patents
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Description
a) 上面に、各被処理基板を個別に収容する、該被処理基板の厚さに対応する深さを有する1又は複数の穴部を有するとともに、
b) 前記各穴部の周囲の下方部分に耐プラズマ性の高い耐久部が設けられている
ことを特徴とするプラズマ処理装置用トレイである。
a) 各被処理基板を個別に収容する1又は複数の孔部を有する、該被処理基板の厚さに対応した厚さを有する板状の上部材と、
b) 前記上部材の下に配置される板状の部材であって、上面の、前記孔部の周囲に対応する部分に耐プラズマ性の高い材料から成る耐久部を有する下部材と
を備えるプラズマ処理装置用トレイとすることができる。
a) 各被処理基板を個別に収容する孔部を有し、該被処理基板の厚さに対応した厚さを有するとともに、該孔部の周囲から内部に張り出す、耐プラズマ性の高い材料から成る耐久縁を有する板状の上部材と、
b) 前記上部材の下に配置される板状の部材である下部材と
を備えるプラズマ処理装置用トレイとすることができる。
プラズマ処理装置用のトレイ20(以下、単に「トレイ20」という。)について説明する前に、これが用いられるプラズマ処理装置10の全体構成について、図1を参照しながら説明する。図1は、プラズマ処理装置10の全体構成を示す概略図である。
トレイ20の構成について、図1に加え、図2、図3及び図4を参照しながら説明する。図2はトレイ20の上面図であり、図3はトレイ20の中心断面図(図2のIII−III断面図)、そして図4はトレイ20を構成する上部材22及び下部材23の上面図、そして下部材23の中心断面図(図4(b)のc−c断面図)である。
トレイ20は、プラズマ処理装置10にて処理すべき基板30を1枚あるいは複数枚載置するための器具であり、図2に示すように、その上面には基板30(図2においてその外形を点線で示す)を1枚載置する部分(以下「基板載置領域」とも呼ぶ)21が1個以上(図2の例では4個)設けられる。各基板載置領域21は、平面視にて基板30よりも僅かに大きなサイズの領域とされる。
トレイ20の静電チャック部15に接する下部材23は低体積抵抗率材により構成され、プラズマに曝される上部材22は高体積抵抗率材料により構成される。ここでいう「低体積抵抗率材料」とは、体積抵抗率が1×1013Ω・cm以下の材料(好ましくは、体積抵抗率が1×107Ω・cm以上かつ1×1013Ω・cm以下の材料)である。また、ここでいう「高体積抵抗率材料」とは、体積抵抗率が1×1013Ω・cmを超える材料である。
また、上述したとおり、静電チャック部15の誘電層14は体積抵抗率が1×109〜1×1012Ω・cm程度の低抵抗の材料で形成されており、下部材23を、この誘電層14の形成材料と同じ材料で形成することも好ましい。
また、例えば、孔24のサイズや形成位置が異なる上部材22を複数個作製しておき、トレイ20に載置するべき基板30のサイズや個数に応じて最適な上部材22を選択することができる。この場合、下部材23は共通のものを使用することができる。
上記の実施形態においては、上部材22の孔24はストレートなものであったが、図5(b)に示すように、上部材22の下面側において孔の内側に張り出すようになっていてもよい。この場合、その張出部26が本発明の耐久部となる。更に、図5(a)の例と同様に、上部材22が下部材23の周囲を覆うようにしてもよい(図5(c))。
11…真空容器
12…上部電極
13…下部電極
14…誘電層
15…静電チャック部
16…溝
17…冷却機構
20…トレイ
21…基板載置領域
22…上部材
23…下部材
24…孔
25…耐プラズマ領域
26…張出部
27…冷却通路
28…連通路
30…基板
Claims (4)
a) 各被処理基板を個別に収容する孔部を有する、該被処理基板の厚さに対応した厚さを有する板状の上部材と、
b) 前記上部材の下に配置される板状の部材であって、上面の、前記孔部の周囲に対応する部分に耐プラズマ性の高い材料から成る耐久部を有する下部材と
を備えることを特徴とするプラズマ処理装置用トレイ。
a) 各被処理基板を個別に収容する孔部を有し、該被処理基板の厚さに対応した厚さを有するとともに、該孔部の周囲から内部に張り出す、耐プラズマ性の高い材料から成る耐久縁を有する板状の上部材と、
b) 前記上部材の下に配置される板状の部材である下部材と
を備え、
前記上部材が石英又はジルコニア(ZrO 2 )であることを特徴とするプラズマ処理装置用トレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018001664A JP6981652B2 (ja) | 2018-01-10 | 2018-01-10 | プラズマ処理用基板トレイ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2018001664A JP6981652B2 (ja) | 2018-01-10 | 2018-01-10 | プラズマ処理用基板トレイ |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2019121724A JP2019121724A (ja) | 2019-07-22 |
JP2019121724A5 JP2019121724A5 (ja) | 2020-10-22 |
JP6981652B2 true JP6981652B2 (ja) | 2021-12-15 |
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ID=67307440
Family Applications (1)
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JP2018001664A Active JP6981652B2 (ja) | 2018-01-10 | 2018-01-10 | プラズマ処理用基板トレイ |
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JP7349845B2 (ja) * | 2019-08-13 | 2023-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システムにおける搬送方法 |
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2018
- 2018-01-10 JP JP2018001664A patent/JP6981652B2/ja active Active
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