JP6980571B2 - 保持装置および搬送装置 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、保持装置および搬送装置に関する。

荷物（保持対象物）を保持する保持装置を備えた搬送装置が利用されている。保持装置には、様々な保持対象物を保持することが求められる。

特開２０１３−１８４２５１号公報 特開２０１７−０５２０５２号公報

本発明が解決しようとする課題は、様々な保持対象物を保持することができる保持装置および搬送装置を提供することである。

実施形態の保持装置は、吸着部と、吸引部と、変形部と、距離検出部と、圧力検出部と、制御部と、を持つ。吸着部は、先端に開口を有する。吸引部は、前記吸着部に接続され、前記開口から外気を吸引可能である。変形部は、前記開口を変形させることが可能である。距離検出部は、保持対象物までの距離を検出する。圧力検出部は、前記開口の内側の圧力を検出する。制御部は、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する。前記制御部は、前記距離検出部の検出する前記距離が所定距離未満であり、前記圧力検出部の検出する前記圧力が、前記吸引部の駆動状態に対応する所定圧力以上であるとき、前記変形部を駆動して前記開口を変形させ、前記開口の面積を減少させる。

実施形態の搬送装置の概略構成を示す側面図。 実施形態の保持装置の概略構成を示す側面図。 実施形態の保持装置の底面図。 開口を変形させた状態の底面図。 実施形態の第１変形例の保持装置の底面図。 開口を変形させた状態の底面図。 実施形態の搬送装置および保持装置のブロック図。 搬送方法の第１フローチャート。 搬送方法の第２フローチャート。 小物体の保持動作の第１説明図。 小物体の保持動作の第２説明図。 角部の保持動作の第１説明図。 角部の保持動作の第２説明図。 多孔質物体の保持動作の第１説明図。 多孔質物体の保持動作の第２説明図。 重量物の保持動作の第１説明図。 重量物の保持動作の第２説明図。 重量物の保持動作の第３説明図。 保持対象物の保持解放動作の第１説明図。 保持対象物の保持解放動作の第２説明図。 実施形態の第２変形例の保持装置の概略構成を示す側面図。 開口の変形動作の説明図。 実施形態の第３変形例の保持装置の概略構成を示す側面図。 開口の変形動作の説明図。 実施形態の第４変形例の保持装置の概略構成を示す平面図。 図２５のＦ２６線における側面断面図。 開口の変形動作の説明図。

以下、実施形態の保持装置および搬送装置を、図面を参照して説明する。実施形態の保持装置において、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は以下のように定義される。Ｘ方向（第２方向）は、変形部２０における一対のパドル２２の離間方向である。Ｚ方向は、吸着部１１の開口１２の開口方向であり、＋Ｚ方向は開口１２における外気の吸引方向である。Ｙ方向は、Ｘ方向およびＺ方向の両方向に垂直な方向である。Ｘ方向およびＹ方向の一例は水平方向であり、Ｚ方向の一例は鉛直方向である。

図１は、実施形態の搬送装置１の概略構成を示す側面図である。
搬送装置１は、アーム２と、移動部４，６と、保持装置１０と、制御部４０と、を有する。搬送装置１は、複数のアーム２を有する。複数のアーム２は、直列に接続される。保持装置１０は、直列に接続された複数のアーム２の第１端部に配置される。

移動部４，６は、第１移動部４と、第２移動部６と、を有する。搬送装置１は、複数の第１移動部４を有する。第１移動部４は、隣り合うアーム２の間に配置され、両者の相対位置を変化させる。第１移動部４は、アーム２と保持装置１０との間にも配置され、両者の相対位置を変化させる。第２移動部６は、直列に接続された複数のアーム２の第２端部に配置される。第２移動部６は、自身に接続されたアーム２を中心軸の周りに回転させる。

図７は、実施形態の搬送装置および保持装置のブロック図である。
制御部４０は、移動制御部６４を有する。移動制御部６４は、移動部４，６の動作を制御する。これにより、図１に示される搬送装置１は、保持装置１０を任意の位置に移動させる。

保持装置１０の構成について詳しく説明する。
図２は、実施形態の保持装置１０の概略構成を示す側面図である。保持装置１０は、ベース部１４と、吸着部１１と、吸引部１８と、変形部２０と、各種センサと、制御部４０と、を有する。図７に示されるように、制御部４０は、吸引制御部６８と、変形制御部６２と、を有する。吸引制御部６８は、吸引部１８の動作を制御する。変形制御部６２は、変形部２０の動作を制御する。

図２に示されるように、ベース部１４は、例えば四角柱状に形成される。ベース部１４は、内部に空気流路（不図示）を有する。
吸着部１１は、ベース部１４の空気流路の−Ｚ方向の端部に接続される。吸着部１１は、中空の蛇腹状に形成され、Ｚ方向に伸縮可能である。吸着部１１は、−Ｚ方向の端部に開口１２を有する。−Ｚ方向から見て、開口１２は円形状である（図３参照）。吸着部１１は、ゴム等の弾性材料により形成される。そのため、吸着部１１に外力を作用させることにより、開口１２が変形する。

吸引部１８は、配管１９を介して、ベース部１４の空気流路の＋Ｚ方向の端部に接続される。吸引部１８は、例えば空気を吸引するポンプである。吸引部１８は、配管１９およびベース部１４を介して、吸着部１１の開口１２から外気を吸引可能である。

変形部２０は、一対のパドル機構２０ａ、２０ｂを有する。一対のパドル機構２０ａ、２０ｂは、ベース部１４のＸ方向の両端部に接続される。一対のパドル機構２０ａ、２０ｂはそれぞれ、パドル２２と、パドル駆動部２４と、を有する。

パドル２２は、−Ｚ方向に向かって先細るくさび状に形成される。Ｚ方向において、パドル２２の−Ｚ方向の先端部は、吸着部１１の開口１２と同じ位置か、開口１２より＋Ｚ方向の位置に配置される。Ｘ方向において、パドル２２の吸着部１１側の表面は、吸着部１１の外周面に接するか、吸着部１１の外周面からＸ方向に離間して配置される。一対のパドル２２は、Ｘ方向に離間して、吸着部１１の両側に配置される。

パドル駆動部２４は、ベース部１４とパドル２２との間に配置される。パドル駆動部２４は、ベース部１４のＸ方向の表面における−Ｚ方向の端部に接続される。パドル駆動部２４は、パドル２２の＋Ｚ方向の端部に接続される。パドル駆動部２４は、モータ（不図示）を有し、パドル２２を回動させる。これによりパドル２２は、吸着部１１のＸ方向の中心に対して接近および離反する。

図３は実施形態の保持装置１０の底面図であり、図４は開口を変形させた状態の底面図である。実施形態の保持装置１０の変形部は、吸着部１１のＸ方向の両外側に一対のパドル２２,２２を有する。パドル駆動部２４がパドル２２を回動させると、パドル２２は、吸着部１１のＸ方向の中心に向かって移動する。パドル２２は、吸着部１１の外側をＸ方向の中心に向かって押圧する。これにより、吸着部１１の開口１２は、円形状から楕円形状または長円形状に変形する。すなわち変形部２０は、吸着部１１の外側を押圧して、開口１２を変形させる。

図５は実施形態の第１変形例の保持装置の底面図であり、図６は開口を変形させた状態の底面図である。第１変形例の保持装置１１０の変形部は、実施形態と同じ一対のパドル２２,２２に加えて、吸着部１１のＹ方向の両外側に一対のパドル１２２,１２２を有する。パドル駆動部が各パドル２２，１２２を回動させると、各パドル２２，１２２は、吸着部１１のＸ方向およびＹ方向の中心に向かって移動する。これにより、吸着部１１の開口１２は、円形状から四角形状に変形する。

図２に示されるように、保持装置１０は、各種センサとして、第１距離センサ３１と、第２距離センサ３２と、荷重センサ３４と、挟持センサ３６と、圧力センサ３８と、流量センサ３９と、を有する。図７に示されるように、制御部４０は、各種センサに対応して、第１距離検出部４１と、第２距離検出部４２と、荷重検出部４４と、挟持検出部４６と、圧力検出部４８と、を有する。

第１距離センサ３１は、ベース部１４に装着される。−Ｚ方向から見て、第１距離センサ３１は、吸着部１１の中央に配置される。第１距離センサ３１は、保持対象物までの距離に対応する信号を、第１距離検出部４１に出力する。第１距離検出部４１は、第１距離センサ３１の出力信号に基づいて、第１距離を算出する。第１距離は、開口１２の中央の第１部位１２ｒと、保持対象物との距離である。

第２距離センサ３２は、変形部２０のパドル２２に装着される。第２距離センサ３２は、ベース部１４に装着されてもよい。−Ｚ方向から見て、第２距離センサ３２は、吸着部１１の中央からＸ方向に離れた位置に配置される。第２距離センサ３２は、保持対象物までの距離に対応する信号を第２距離検出部４２に出力する。第２距離検出部４２は、第２距離センサ３２の出力信号に基づいて、第２距離を算出する。第２距離は、開口１２の中央の第１部位１２ｒからＸ方向に離間した第２部位１２ｓと、保持対象物との距離である。
一対の第２距離センサ３２が、一対のパドル２２に固定される。第２距離検出部４２は、一対の第２距離センサ３２の各々について、第２距離を算出する。

荷重センサ３４は、ベース部１４のＺ方向の中間部に挿入される。荷重センサ３４は、自身に作用する荷重に対応する信号を荷重検出部４４に出力する。荷重検出部４４は、荷重センサ３４の出力信号に基づいて、保持対象物から保持装置１０に作用する荷重を算出する。

挟持センサ３６は、変形部２０の一対のパドル２２に装着される。挟持センサ３６は、例えばひずみゲージである。一対のパドル２２が硬質物体である保持対象物を挟持した場合と、軟質物体である吸着部１１を挟持した場合とで、挟持センサ３６は異なる信号を出力する。挟持検出部４６は、挟持センサ３６の出力信号に基づいて、変形部２０の一対のパドル２２が保持対象物を挟持したことを検出する。

圧力センサ３８は、ベース部１４と吸引部１８とを接続する配管１９に装着される。圧力センサ３８は、配管１９の内部における空気の圧力に対応する信号を圧力検出部４８に出力する。配管１９の内部の圧力は、吸着部１１の開口１２の内側の圧力と同等である。圧力検出部４８は、圧力センサ３８の出力信号に基づいて、開口１２の内側の圧力を算出する。

流量センサ３９は、ベース部１４と吸引部１８とを接続する配管１９に装着される。流量センサ３９は、配管１９の内部を流れる空気の流量に対応する信号を制御部４０に出力する。

制御部４０の構成について、さらに詳しく説明する。
制御部４０は、ＣＰＵやＧＰＵなどのプロセッサを備えるマイクロコンピュータである。制御部４０は、機能部として、前述した第１距離検出部４１と、第２距離検出部４２と、荷重検出部４４と、挟持検出部４６と、圧力検出部４８と、吸引制御部６８と、変形制御部６２と、を有する。また制御部４０は、機能部として、次述する吸着判定部５８と、通気物保持制御部５１と、異形物保持制御部５２と、重量物保持制御部５４と、保持解放制御部６０と、を有する。これらの機能部は、例えば、ＣＰＵなどのプロセッサがプログラムを実行することにより実現される。また、これらの機能部のうち一部または全部は、ＬＳＩ（Large Scale Integration）やＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）などのハードウェアによって実現されてもよいし、ソフトウェアとハードウェアの協働によって実現されてもよい。

図７に示されるように、制御部４０は、吸着判定部５８と、通気物保持制御部５１と、異形物保持制御部５２と、重量物保持制御部５４と、保持解放制御部６０と、を有する。制御部４０は、データベース７０に接続される。データベース７０は、所定圧力データ記憶部７１と、所定荷重データ記憶部７４と、を有する。

吸着判定部５８は、吸着部１１による保持対象物の吸着を判定する。吸着判定部５８は、第１距離検出部４１の検出結果と、圧力検出部４８の検出結果とに基づいて、吸着を判定する。

吸着判定部５８は、第１距離検出部４１の検出した第１距離が、第１所定距離未満か判断する。第１距離は、開口１２の中央の第１部位１２ｒと、保持対象物との距離である。吸着判定部５８は、第１距離が第１所定距離未満のとき、吸着部１１の開口１２が保持対象物に接触していると判断する。第１距離がゼロより大きくても、第１所定距離未満であれば、開口１２は外気と共に保持対象物を吸引して、保持対象物に接触する。

吸着判定部５８は、圧力検出部４８の検出した開口１２の内側の圧力が、吸引部１８の駆動状態に対応する所定圧力未満か判断する。吸着判定部５８は、所定圧力のデータを所定圧力データ記憶部７１から取得する。所定圧力データ記憶部７１には、吸引部１８の駆動状態に対応する所定圧力のデータが保存されている。吸引部１８の吸引力が大きいほど、所定圧力が小さく設定されている。吸着判定部５８は、圧力検出部４８の検出した圧力が所定圧力未満のとき、吸引部１８の駆動状態に応じた十分な負圧が保持対象物に作用していると判断する。

吸着判定部５８は、第１距離検出部４１の検出した第１距離が第１所定距離未満であり、かつ、圧力検出部４８の検出した圧力が吸引部１８の駆動状態に対応する所定圧力未満であるとき、吸着部１１が保持対象物を吸着していると判断する。

図１４は多孔質物体の保持動作の第１説明図であり、図１５は第２説明図である。
通気物保持制御部５１は、保持装置１０による通気物の保持動作を制御する。本願において通気物とは、開口１２への外気の流入を許容する物体を言う。保持対象物が通気物の場合には、開口１２が保持対象物に接触しても、開口１２が外気を吸引するため保持対象物を吸着できない。通気物は、スポンジ等の多孔質物体（図１４参照）や、小物体などである。開口１２は、多孔質物体の内部孔を通じて外気を吸引する。開口１２は、小物体の周囲から外気を吸引する。

通気物保持制御部５１は、変形制御部６２により変形部２０を駆動する。変形制御部６２は、図１５に示されるように、変形部２０のパドル２２を吸着部１１に向かって移動させる。パドル２２は、吸着部１１の外側を押圧して開口１２を変形させ、開口１２の面積を減少させる。その結果、開口１２が外気を吸引する可能性が小さくなる。また、外気との圧力差が大きくなり、吸着力が増加する。これにより、吸着部１１は、保持対象物を吸着できる。

図１０は小物体の保持動作の第１説明図であり、図１１は第２説明図である。
図１２は保持対象物の角部の保持動作の第１説明図であり、図１３は第２説明図である。
異形物保持制御部５２は、保持装置１０による異形物の保持動作を制御する。本願において異形物とは、開口１２より広い平面を有しない物体を言う。保持対象物が異形物の場合には、開口１２が保持対象物に接近しても、開口１２が外気を吸引するため保持対象物を吸着できない。図１０に示される小物体を保持する場合や、図１２に示される保持対象物Ｗの角部ＷＣを保持する場合などが、異形物を保持する場合に該当する。小物体を保持する場合、開口１２は小物体の周囲から外気を吸引する。保持対象物の角部を保持する場合、開口１２は角部ＷＣの周囲から外気を吸引する。

異形物保持制御部５２は、第１距離検出部４１の検出結果と、第１距離検出部４１の検出結果とに基づいて、保持対象物が異形物か判断する。
前述したように、吸着判定部５８は、第１距離検出部４１の検出した第１距離が、第１所定距離未満か判断する。異形物保持制御部５２は、吸着判定部５８の判断結果を流用してもよい。

第２距離検出部４２は、図１０および図１２に示されるように、第１部位１２ｒからＸ方向に離間した第２部位１２ｓと保持対象物Ｗとの第２距離Ｄ２を検出する。異形物保持制御部５２は、第２距離検出部４２の検出した第２距離Ｄ２が、第２所定距離未満か判断する。第２距離Ｄ２が第２所定距離未満の場合には、第２部位１２ｓが保持対象物Ｗに接触している。開口１２の第１部位１２ｒおよび第２部位１２ｓが共に保持対象物Ｗに接触しているとき、保持対象物Ｗの＋Ｚ方向の表面は開口１２より大きい平面である。

これに対して、第２距離Ｄ２が第２所定距離以上の場合には、図１０および図１２に示されるように、第２部位１２ｓが保持対象物Ｗから離れている。すなわち、開口１２の第１部位１２ｒが保持対象物Ｗに接触している一方で、第２部位１２ｓが保持対象物Ｗから離れている。この場合に異形物保持制御部５２は、保持対象物Ｗが異形物であると判断する。

保持対象物Ｗが異形物であるとき、異形物保持制御部５２は、変形制御部６２により変形部２０を駆動する。変形制御部６２は、図１１および図１３に示されるように、変形部２０のパドル２２を吸着部１１に向かって移動させる。パドル２２は、吸着部１１の外側を押圧して開口１２を変形させ、開口１２のＸ方向の幅を減少させる。これにより、開口１２が異形物の周囲から外気を吸引する可能性が小さくなる。その結果、吸着部１１が保持対象物を吸着する可能性が大きくなる。

図１６は重量物の保持動作の第１説明図であり、図１７は第２説明図であり、図１８は第３説明図である。
重量物保持制御部５４は、保持装置１０による重量物の保持動作を制御する。本願に置いて重量物とは、重量が大きい物体である。図１６および図１７に示されるように、保持対象物が重量物の場合には、吸着部１１の開口１２から保持対象物Ｗに作用する負圧だけでは、保持対象物Ｗを持ち上げることができない。重量物保持制御部５４は、図１８に示されるように、保持対象物Ｗが重量物の場合に、吸着部１１による吸着に加えて、変形部２０により保持対象物Ｗを挟持する。

重量物保持制御部５４は、圧力検出部４８の検出した圧力に対応する所定荷重のデータを、所定荷重データ記憶部７４から取得する。所定荷重データ記憶部７４には、開口１２の内側の圧力に対応する所定荷重のデータが保存されている。所定荷重は、開口１２の内側の圧力の大きさに対応して、吸着部１１により持上げることが可能な保持対象物Ｗの重量に設定されている。重量物保持制御部５４は、荷重検出部４４の検出した荷重が、所定荷重未満か判断する。荷重検出部４４の検出した荷重が所定荷重未満の場合には、吸着部１１による吸着のみによって保持対象物Ｗを持ち上げることができる。

これに対して、荷重検出部４４の検出した荷重が所定荷重以上の場合には、吸着部１１による吸着のみでは保持対象物Ｗを持ち上げることができない。この場合に重量物保持制御部５４は、変形制御部６２により変形部２０を駆動する。変形制御部６２は、図１８に示されるように、変形部２０の一対のパドル２２を保持対象物Ｗに向かって回動させる。一対のパドル２２は、保持対象物Ｗを挟持する。保持装置１０は、吸着部１１による吸着に加えて、パドル２２により挟持することで、重量物である保持対象物Ｗを持ち上げることができる。

図１９は保持対象物の保持解放動作の第１説明図であり、図２０は第２説明図である。
保持解放制御部６０は、保持装置１０による保持対象物の保持解放動作を制御する。保持解放制御部６０は、変形制御部６２により変形部２０を駆動する。図２０に示されるように、変形部２０のパドル２２は、吸着部１１の外側を押圧して、開口１２を変形させる。変形に伴って、開口１２は保持対象物Ｗの表面を移動する。このとき、開口１２の一部が保持対象物Ｗの表面から浮き上がる。これにより、開口１２の内側に外気が流入して、開口１２の内側の圧力が上昇する。その結果、保持対象物Ｗは、保持装置１０による保持から解放される。

実施形態の保持装置を使用した保持対象物の搬送方法について説明する。
図８は搬送方法の第１フローチャートであり、図９は第２フローチャートである。
移動制御部６４は、保持装置１０を保持対象物に向かって下降させる（Ｓ１０）。移動制御部６４は、移動部４，６の動作を制御して、保持装置１０を下降させる。

吸着判定部５８は、第１距離検出部４１の検出した第１距離Ｄ１が、第１所定距離未満か判断する（Ｓ１２）。第１距離Ｄ１は、開口１２の中央の第１部位１２ｒと、保持対象物との距離である。第１所定距離は、所定距離ＤＴに予め設定されている。Ｓ１２の判断がＹＥＳになるまで、保持装置１０の下降が継続される。

異形物保持制御部５２は、第２距離検出部４２の検出した第２距離Ｄ２が、第２所定距離未満か判断する（Ｓ１４）。第２距離Ｄ２は、開口１２の第１部位１２ｒからＸ方向に離間した第２部位１２ｓと、保持対象物との距離である。第２所定距離は、第１所定距離と同じ所定距離ＤＴに予め設定されている。第２所定距離は、第１所定距離と異なってもよい。Ｓ１４の判断がＹＥＳの場合、第１距離Ｄ１と第２距離Ｄ２とが同等の状態である。この場合、保持対象物の＋Ｚ方向の表面は、開口１２より大きい平面である。

これに対して、小物体を保持する場合や、保持対象物の角部を保持する場合など、異形物を保持する場合には、Ｓ１４の判断がＮＯになる。
図１０に示されるように、保持対象物Ｗが小物体の場合、保持対象物Ｗの＋Ｚ方向の表面が、開口１２より小さい。この場合、第１距離センサ３１を用いて検出される保持対象物Ｗまでの第１距離Ｄ１が第１所定距離未満でも、第２距離センサ３２を用いて検出される第２距離Ｄ２は第２所定距離以上である。そのため、図８におけるＳ１４の判断がＮＯになる。この状態で吸引部１８を駆動すると、開口１２が保持対象物Ｗの周囲から外気を吸引する。その結果、開口１２は保持対象物Ｗに対して十分な負圧を作用させることができない。すなわち、吸着部１１は保持対象物Ｗを吸着できない。

そこで異形物保持制御部５２は、変形制御部６２により変形部２０を駆動する（Ｓ１６）。図１１に示されるように、変形部２０のパドル２２は、吸着部１１の外側を押圧して開口１２を変形させ、開口１２のＸ方向の幅を減少させる。これにより、開口１２が保持対象物Ｗの周囲から外気を吸引する可能性が小さくなる。特に、保持対象物ＷのＸ方向の幅のみが小さく、Ｙ方向の長さが大きい棒状物体の場合には、開口１２が保持対象物Ｗの周囲から外気を吸引する可能性が極めて小さくなる。その結果、吸着部１１が保持対象物Ｗを吸着する可能性が大きくなる。

図１２に示されるように、保持対象物Ｗの周囲の状況によっては、保持対象物Ｗの角部ＷＣを吸着する場合がある。この場合、第１距離センサ３１を用いて検出される角部ＷＣまでの第１距離Ｄ１が第１所定距離未満でも、第２距離センサ３２を用いて検出される第２距離Ｄ２は第２所定距離以上である。そのため、図８におけるＳ１４の判断がＮＯになる。この状態で吸引部１８を駆動すると、開口１２が角部ＷＣの周囲から外気を吸引する。その結果、吸着部１１は保持対象物Ｗを吸着できない。

そこで異形物保持制御部５２は、変形制御部６２により変形部２０を駆動する（Ｓ１６）。図１３に示されるように、変形部２０のパドル２２は、吸着部１１の外側を押圧して開口１２を変形させる。開口１２は、保持対象物Ｗの角部ＷＣを挟む一対の表面に沿うように変形する。これにより、開口１２が角部ＷＣの周囲から外気を吸引する可能性が小さくなる。その結果、吸着部１１が保持対象物Ｗを吸着する可能性が大きくなる。

図８に戻り、吸着判定部５８は、吸引制御部６８により吸引部１８を駆動する（Ｓ１８）。吸着判定部５８は、吸引部１８の駆動状態に対応する所定圧力ＰＴのデータを、所定圧力データ記憶部７１から取得する（Ｓ２０）。吸着判定部５８は、圧力検出部４８の検出した圧力Ｐが、所定圧力ＰＴ未満か判断する（Ｓ２２）。吸引部１８の吸引力が大きい場合には、開口１２からある程度の外気を吸引しても、開口１２の内側の圧力Ｐは小さくなる。このとき、吸引部１８の吸引力の大きさに見合った負圧が、保持対象物に作用していない。そこで、吸引部１８の吸引力が大きい場合には、所定圧力ＰＴが小さく設定される。Ｓ２２の判断がＹＥＳの場合、吸引部１８の駆動状態に応じた十分な負圧が、保持対象物に作用している。このとき吸着部１１は、保持対象物Ｗを吸着できる。

これに対して、多孔質物体など通気物を保持する場合には、Ｓ２２の判断がＮＯになる。
図１４に示されるように、保持対象物Ｗが多孔質物体の場合、開口１２が保持対象物Ｗの内部孔を通して外気を吸引する。このとき、圧力検出部４８の検出した圧力Ｐが所定圧力ＰＴ以上になり、Ｓ２２の判断がＮＯになる。この場合、開口１２は保持対象物Ｗに十分な負圧を作用させることができない。すなわち、吸着部１１は保持対象物Ｗを吸着できない。

そこで通気物保持制御部５１は、変形制御部６２により変形部２０を駆動する（Ｓ２４）。図１５に示されるように、通気物保持制御部５１は、所定量だけパドル２２を移動させる。パドル２２は、吸着部１１の外側を押圧して開口１２を変形させる。図４に示されるように、パドル２２は、開口１２を円形状から楕円形状または長円形状に変形させる。これにより、開口１２の面積が減少する。その結果、開口１２が保持対象物Ｗの内部孔を通して外気を吸引する可能性が小さくなる。

Ｓ２２に戻り、吸着判定部５８は、圧力検出部４８の検出した圧力Ｐが所定圧力ＰＴ未満か判断する（Ｓ２２）。Ｓ２２の判断がＮＯの場合、通気物保持制御部５１は、追加で変形部２０を駆動する（Ｓ２４）。すなわち通気物保持制御部５１は、追加で所定量だけパドル２２を移動させる。これにより、開口１２の面積がさらに減少する。すなわち通気物保持制御部５１は、段階的に開口１２の面積を減少させ、最終的に圧力Ｐを所定圧力ＰＴ未満にする。これにより吸着部１１は、保持対象物Ｗを吸着できる。

移動制御部６４は、保持対象物を保持した保持装置１０を上昇させる（Ｓ２６）。移動制御部６４は、移動部４，６の動作を制御して、保持装置１０を上昇させる。

図１６に示されるように、保持対象物Ｗが重量物の場合でも、吸着部１１は保持対象物Ｗを吸着する。しかし図１７に示されるように、吸着部１１の開口１２から作用する負圧だけでは、重量物である保持対象物Ｗを持ち上げることができない。この場合には、図１８に示されるように、吸着部１１による吸着に加えて、変形部２０により保持対象物Ｗを挟持する。

重量物保持制御部５４は、圧力検出部４８の検出した圧力に対応する所定荷重ＦＴのデータを、所定荷重データ記憶部７４から取得する（Ｓ２８）。所定荷重ＦＴは、開口１２の内側の圧力の大きさに対応して、吸着部１１により持上げることが可能な保持対象物の重量に設定されている。重量物保持制御部５４は、荷重検出部４４の検出した荷重Ｆが、所定荷重ＦＴ未満か判断する（Ｓ３０）。保持装置１０を上昇させる過程で、荷重Ｆが所定荷重ＦＴ未満であれば、保持装置１０はそのまま保持対象物を持ち上げることができる。

Ｓ３０の判断がＮＯの場合、図１７に示されるように、吸着部１１だけでは保持対象物Ｗを持ち上げることができない。そこで重量物保持制御部５４は、変形部２０により保持対象物Ｗを挟持できるか、保持対象物Ｗの大きさが変形部２０により挟持できる程度に小さいか判断する。具体的に重量物保持制御部５４は、図９に示されるように、第２距離センサ３２を用いて検出される第２距離Ｄ２が第２所定距離以上か判断する（Ｓ３２）。第２所定距離は、Ｓ１４と同じ所定距離ＤＴに予め設定されている。Ｓ３２の判断がＮＯの場合には、保持対象物が大きいので、変形部２０は保持対象物を挟持できない。そこで重量物保持制御部５４は、保持対象物を保持不能と判断し（Ｓ４２）、搬送方法の処理を終了する。

前述したように、異形物保持制御部５２は、第２距離検出部４２の検出した第２距離Ｄ２が第２所定距離未満か判断している。重量物保持制御部５４は、Ｓ３２において異形物保持制御部５２の判断結果を流用してもよい。

Ｓ３２の判断がＹＥＳの場合、変形部２０は保持対象物を挟持できる可能性がある。そこで重量物保持制御部５４は、保持装置１０を下降させる（Ｓ３４）。重量物保持制御部５４は、図１８に示されるように、変形部２０のパドル２２により保持対象物Ｗを挟持できる位置まで、保持装置１０を下降させる。重量物保持制御部５４は、変形制御部６２により変形部２０を再駆動する（Ｓ３６）。変形制御部６２は、変形部２０のパドル２２を保持対象物Ｗに向かって回動させる。重量物保持制御部５４は、挟持検出部４６が保持対象物Ｗの教示を検出したか判断する（Ｓ３８）。Ｓ３８の判断がＮＯの場合には、保持対象物Ｗを保持不能と判断し（Ｓ４２）、搬送方法の処理を終了する。

Ｓ３８の判断がＹＥＳの場合、重量物保持制御部５４は保持装置１０を上昇させる（Ｓ４０）。保持装置１０は、吸着部１１による吸着に加えて、変形部２０により挟持して、重量物である保持対象物Ｗを持ち上げる。

前述したＳ２８において、重量物保持制御部５４は、所定荷重ＦＴのデータを所定荷重データ記憶部７４から取得する。Ｓ３０において、重量物保持制御部５４は、荷重検出部４４の検出した荷重Ｆが所定荷重ＦＴ未満か判断する。これにより重量物保持制御部５４は、吸着部１１のみによる保持対象物の持ち上げ可否を判断する。これに代えて、重量物保持制御部５４は、吸着部１１から保持対象物が落下したことを検出して、吸着部１１のみによる保持対象物の持ち上げ不能を判断してもよい。

図８に戻り、移動制御部６４は、移動部４，６により保持装置１０を移動させる（Ｓ４４）。保持装置１０は、保持対象物を保持した状態で、保持対象物の搬送先に移動する。移動制御部６４は、保持対象物の搬送先で保持装置１０を下降させる（Ｓ４６）。

保持解放制御部６０は、保持装置１０による保持対象物の保持を解放する（Ｓ４８）。保持装置１０は、図１９に示されるように、保持対象物Ｗを保持している。保持解放制御部６０は、変形制御部６２により変形部２０を駆動する。図２０に示されるように、変形部２０のパドル２２は、吸着部１１の外側を押圧して、開口１２を変形させる。変形に伴って、開口１２は保持対象物Ｗの表面を移動する。このとき、開口１２の一部が保持対象物Ｗの表面から浮き上がる。これにより、開口１２の内側に外気が流入して、開口１２の内側の圧力が上昇する。その結果、保持対象物は、保持装置１０による保持から解放される。

保持解放制御部６０は、保持解放動作のオプションとして、吸引制御部６８により吸引部１８を停止してもよい。吸引部１８がポンプの場合に、保持解放制御部６０は、ポンプを逆回転させてもよい。これらにより、保持解放動作が補助される。
以上により、搬送方法の処理を終了する。

以上に詳述したように、実施形態の保持装置１０は、吸着部１１と、吸引部１８と、変形部２０と、制御部４０と、を持つ。吸着部１１は、先端に開口１２を有する。吸引部１８は、吸着部１１に接続され、開口１２から外気を吸引可能である。変形部２０は、開口１２を変形させることが可能である。制御部４０は、吸引部１８および変形部２０の動作を制御する。

保持対象物の種類によっては、開口１２が保持対象物に接近した状態でも、開口１２は外気を吸引してしまう。これに対して、開口１２を変形させることにより、開口１２が保持対象物に接近した場合に、開口１２が外気を吸引する可能性が小さくなる。これにより、開口から保持対象物に十分な負圧が作用する。したがって、保持装置１０は、様々な保持対象物を保持できる。

変形部２０は、吸着部１１の外側を押圧して、開口１２を変形させる。
これにより、変形部２０が低コストで形成される。

保持装置１０は、第１距離検出部４１と、圧力検出部４８と、を持つ。第１距離検出部４１は、保持対象物までの第１距離を検出する。圧力検出部４８は、開口１２の内側の圧力を検出する。

これにより保持装置１０は、吸着部１１による保持対象物の吸着を判定できる。吸着判定の条件は、第１距離が第１所定距離未満であり、開口１２の内側の圧力が吸引部１８の駆動状態に対応する所定圧力未満の場合である。

制御部４０の通気物保持制御部５１は、変形部２０を駆動して開口１２を変形させ、開口１２の面積を減少させる。その条件は、第１距離検出部４１の検出する第１距離が第１所定距離未満であり、圧力検出部４８の検出する圧力が吸引部１８の駆動状態に対応する所定圧力以上の場合である。

保持対象物が通気物の場合には、開口１２が保持対象物に接近した状態でも、開口１２は外気を吸引してしまう。そのため、開口１２の内側の圧力が所定圧力以上になる。この場合に、開口１２を変形させることにより、開口１２が外気を吸引する可能性が小さくなる。これにより保持装置１０は、保持対象物が通気物の場合でも保持対象物を保持できる。

保持装置１０は、所定圧力データ記憶部７１を持つ。所定圧力データ記憶部７１には、吸引部１８の駆動状態に対応する所定圧力のデータが保存されている。
これにより、吸引部１８の駆動状態に対応する所定圧力を都度算出する必要がない。そのため、通気物保持制御の処理が簡略化される。

保持装置１０は、第１距離検出部４１と、第２距離検出部４２と、を持つ。第１距離検出部４１は、開口１２の中央の第１部位１２ｒと保持対象物との第１距離を検出する。第２距離検出部４２は、第１部位１２ｒからＸ方向に離間した第２部位１２ｓと保持対象物との第２距離を検出する。制御部４０の異形物保持制御部５２は、変形部２０を駆動して開口１２を変形させ、開口１２のＸ方向の幅を減少させる。その条件は、第１距離検出部４１の検出する第１距離が第１所定距離未満であり、第２距離検出部４２の検出する第２距離が第２所定距離以上の場合である。

保持対象物が異形物の場合には、開口１２が保持対象物に接近した状態でも、開口１２は外気を吸引してしまう。異形物保持制御部５２は、第１距離が第１所定距離未満であり、第２距離が第２所定距離以上の場合に、保持対象物が異形物であると判断する。このとき、開口１２を変形させることにより、開口１２が外気を吸引する可能性が小さくなる。これにより保持装置１０は、保持対象物が異形物の場合でも保持対象物を保持できる。

変形部２０は、保持対象物を挟持可能である。
保持装置１０は、挟持検出部４６を持つ。挟持検出部４６は、変形部２０が保持対象物を挟持したことを検出する。
保持装置１０は、圧力検出部４８と、荷重検出部４４と、を持つ。圧力検出部４８は、開口１２の内側の圧力を検出する。荷重検出部４４は、保持対象物から吸着部１１に作用する荷重を検出する。制御部４０の重量物保持制御部５４は、吸引部１８を駆動して吸着部１１により保持対象物を吸着するとともに、変形部２０を駆動して保持対象物を挟持する。その条件は、荷重検出部４４の検出する荷重が、圧力検出部４８の検出する圧力に対応する所定荷重以上の場合である。

保持対象物が重量物の場合に、吸着部１１の吸着力だけでは、保持対象物を持ち上げることができない。重量物保持制御部５４は、荷重検出部４４の検出する荷重が所定荷重以上の場合に、保持対象物が重量物であると判断する。このとき、変形部２０を駆動して保持対象物を挟持することにより、変形部２０が吸着部１１の保持をサポートする。これにより保持装置１０は、保持対象物が重量物の場合でも保持対象物を保持できる。

保持装置１０は、所定荷重データ記憶部７４を持つ。所定荷重データ記憶部７４には、圧力検出部４８の検出する圧力に対応する所定荷重のデータが保存されている。
これにより、圧力検出部４８の検出する圧力に対応する所定荷重を都度算出する必要がない。そのため、重量物保持制御の処理が簡略化される。

制御部４０の保持解放制御部６０は、吸着部１１による保持対象物の吸着を解除するとき、変形部２０を駆動して開口１２を変形させる。
開口１２の変形に伴って、開口１２の一部が保持対象物の表面から浮き上がる。これにより、開口１２の内側に外気が流入して、開口１２の内側の圧力が上昇する。その結果、保持対象物は、保持装置１０による保持から解放される。これにより保持装置１０は、真空破壊装置等の特別な装置を必要とすることなく、保持対象物の保持を解放できる。

実施形態の搬送装置１は、実施形態の保持装置１０と、移動部４，６と、を持つ。移動部４，６は、保持装置１０を移動させる。制御部４０の移動制御部６４は、移動部４，６の動作を制御する。
実施形態の保持装置１０は、様々な保持対象物を保持できる。そのため搬送装置１は、様々な保持対象物を搬送できる。

図２１は、実施形態の第２変形例の保持装置２１０の概略構成を示す側面図である。第２変形例の構成のうち、以下に説明する構成以外の構成については、実施形態の構成と同様である。
保持装置２１０の変形部２２０は、昇降部材２２２を有する。昇降部材２２２は、Ｘ方向に離間配置された一対の平板で形成される。昇降部材２２２は、円筒状に形成されてもよい。昇降部材２２２はＺ方向に沿って昇降可能に形成される。
図２２は、開口の変形動作の説明図である。昇降部材２２２が下降すると、昇降部材２２２の先端が吸着部１１の外側を−Ｚ方向に押圧する。これにより、開口１２が変形して、開口１２の面積が減少する。

図２３は、実施形態の第３変形例の保持装置３１０の概略構成を示す側面図である。第３変形例の構成のうち、以下に説明する構成以外の構成については、実施形態の構成と同様である。
保持装置３１０の変形部３２０は、ワイヤ３２２と、アクチュエータ３２４と、を有する。ワイヤ３２２の−Ｚ方向の端部は、吸着部１１の開口１２の周縁部１１ｅに連結されている。ワイヤ３２２の＋Ｚ方向の端部は、アクチュエータ３２４に接続されている。
図２４は、開口の変形動作の説明図である。アクチュエータ３２４がワイヤ３２２を巻き上げると、ワイヤ３２２の先端は開口１２の周縁部１１ｅを引き寄せる。これにより、開口１２が変形して、開口１２の面積が減少する。

図２５は、実施形態の第４変形例の保持装置４１０の概略構成を示す平面図である。図２６は、図２５のＦ２６線における側面断面図である。第４変形例の構成のうち、以下に説明する構成以外の構成については、実施形態の構成と同様である。

保持装置４１０の変形部４２０は、空気室４２２と、送気部４２４と、を有する。空気室４２２は、吸着部４１１の内周に沿って配置される。空気室４２２の＋Ｚ方向の端部は、吸着部４１１の＋Ｚ方向の端部に位置する。空気室４２２の−Ｚ方向の端部は、吸着部１１の−Ｚ方向の端部である開口１２より、＋Ｚ方向に位置する。空気室４２２の外側面４２２ｇは、蛇腹状に形成された吸着部４１１の側面である。空気室４２２の内側面４２２ｈも蛇腹状に形成される。空気室４２２の内側面４２２ｈをＺ方向に伸長させた場合の長さは、外側面４２２ｇをＺ方向に伸長させた場合の長さより短い。一対の空気室４２２が、Ｘ方向に離間して配置される。送気部４２４は、一対の空気室４２２の内部に空気を充填する。

図２７は、開口４１２の変形動作の説明図である。空気室４２２の内側面４２２ｈをＺ方向に伸長させた場合の長さは、外側面４２２ｇをＺ方向に伸長させた場合の長さより短い。そのため、送気部４２４が空気室４２２の内部に空気を充填すると、空気室４２２は、Ｚ方向に伸長しながら、吸着部１１のＸ方向の中央に向かって湾曲する。このとき、空気室４２２の−Ｚ方向の端部は、吸着部１１のＸ方向の中央に向かって移動する。これにより、開口１２が変形し、開口１２の面積が減少する。

図２に示される実施形態の吸着部１１は、蛇腹状に形成される。吸着部は、円筒状や角筒状に形成されてもよい。
実施形態の開口１２は、円形状に形成される。開口は、多角形状に形成されてもよい。

図７に示される実施形態のデータベース７０は、所定圧力データ記憶部７１と、所定荷重データ記憶部７４と、を有する。データベース７０は、他の記憶部を有してもよい。例えば、保持対象物のサイズに対応する変形部２０のパドル２２の移動量のデータが保存されたパドル移動量データ記憶部を有してもよい。保持対象物のサイズは、カメラ等で撮影した保持対象物の画像から認識される。重量物保持制御部５４は、パドル移動量データ記憶部からパドル移動量のデータを取得する。重量物保持制御部５４は、取得したパドル移動量のデータに基づいて、変形制御部６２により変形部２０を駆動し、保持対象物を挟持する。これにより、重量物保持制御の処理が簡略化される。

以上説明した少なくともひとつの実施形態によれば、吸着部１１の開口１２を変形させることが可能な変形部２０を持つことにより、保持装置１０は様々な保持対象物を保持することができる。

実施形態は、以下のように表現することができる。
（１）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、保持対象物までの距離を検出する距離検出部と、前記開口の内側の圧力を検出する圧力検出部と、を有し、
前記制御部は、前記保持対象物が前記開口への外気の流入を許容する通気物であるとき、前記通気物の保持を制御する通気物保持制御部を有し、
前記通気物保持制御部は、前記距離検出部の検出する前記距離が所定距離未満であり、前記圧力検出部の検出する前記圧力が前記吸引部の駆動状態に対応する所定圧力以上であるとき、前記変形部を駆動して前記開口を変形させ前記開口の面積を減少させる、
保持装置。

（２）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、前記開口の中央の第１部位において保持対象物までの第１距離を検出する第１距離検出部と、前記第１部位から第２方向に離間した第２部位において保持対象物までの第２距離を検出する第２距離検出部と、を有し、
前記制御部は、前記保持対象物が前記開口より広い平面を有しない異形物であるとき、前記異形物の保持を制御する異形物保持制御部を有し、
前記異形物保持制御部は、前記第１距離検出部の検出する前記第１距離が第１所定距離未満であり、前記第２距離検出部の検出する前記第２距離が第２所定距離以上であるとき、前記変形部を駆動して前記開口を変形させ、前記開口の前記第２方向の幅を減少させる、
保持装置。

（３）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、前記開口の内側の圧力を検出する圧力検出部と、保持対象物から前記吸着部に作用する荷重を検出する荷重検出部と、を有し、
前記制御部は、前記保持対象物が重量物であるとき、前記重量物の保持を制御する重量物保持制御部を有し、
前記重量物保持制御部は、前記荷重検出部の検出する前記荷重が前記圧力検出部の検出する前記圧力に対応する所定荷重以上であるとき、前記吸引部を駆動して前記吸着部により保持対象物を吸着するとともに前記変形部を駆動して前記保持対象物を挟持する、
保持装置。

（４）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、保持対象物までの距離を検出する距離検出部と、前記開口の内側の圧力を検出する圧力検出部と、を有する保持装置の前記制御部が、
前記距離検出部の検出する前記距離が所定距離未満であり、前記圧力検出部の検出する前記圧力が前記吸引部の駆動状態に対応する所定圧力以上であるとき、前記変形部を駆動して前記開口を変形させ前記開口の面積を減少させる、
保持装置の制御方法。

（５）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、前記開口の中央の第１部位において保持対象物までの第１距離を検出する第１距離検出部と、前記第１部位から第２方向に離間した第２部位において保持対象物までの第２距離を検出する第２距離検出部と、を有する保持装置の前記制御部が、
前記第１距離検出部の検出する前記第１距離が第１所定距離未満であり、前記第２距離検出部の検出する前記第２距離が第２所定距離以上であるとき、前記変形部を駆動して前記開口を変形させ、前記開口の前記第２方向の幅を減少させる、
保持装置の制御方法。

（６）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、前記開口の内側の圧力を検出する圧力検出部と、保持対象物から前記吸着部に作用する荷重を検出する荷重検出部と、を有する保持装置の前記制御部が、
前記荷重検出部の検出する前記荷重が前記圧力検出部の検出する前記圧力に対応する所定荷重以上であるとき、前記吸引部を駆動して前記吸着部により保持対象物を吸着するとともに前記変形部を駆動して前記保持対象物を挟持する、
保持装置の制御方法。

（７）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、保持対象物までの距離を検出する距離検出部と、前記開口の内側の圧力を検出する圧力検出部と、を有する保持装置の前記制御部に、
前記距離検出部の検出する前記距離が所定距離未満であり、前記圧力検出部の検出する前記圧力が前記吸引部の駆動状態に対応する所定圧力以上であるとき、前記変形部を駆動させて前記開口を変形させ前記開口の面積を減少させる、
プログラム。

（８）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、前記開口の中央の第１部位において保持対象物までの第１距離を検出する第１距離検出部と、前記第１部位から第２方向に離間した第２部位において保持対象物までの第２距離を検出する第２距離検出部と、を有する保持装置の前記制御部に、
前記第１距離検出部の検出する前記第１距離が第１所定距離未満であり、前記第２距離検出部の検出する前記第２距離が第２所定距離以上であるとき、前記変形部を駆動させて前記開口を変形させ、前記開口の前記第２方向の幅を減少させる、
プログラム。

（９）先端に開口を有する吸着部と、前記吸着部に接続され前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、前記開口を変形させることが可能な変形部と、前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、前記開口の内側の圧力を検出する圧力検出部と、保持対象物から前記吸着部に作用する荷重を検出する荷重検出部と、を有する保持装置の前記制御部に、
前記荷重検出部の検出する前記荷重が前記圧力検出部の検出する前記圧力に対応する所定荷重以上であるとき、前記吸引部を駆動させて前記吸着部により保持対象物を吸着させるとともに前記変形部を駆動させて前記保持対象物を挟持させる、
プログラム。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

Ｗ…保持対象物、１…搬送装置、４…第１移動部（移動部）、６…第２移動部（移動部）、１０…保持装置、１１…吸着部、１２…開口、１８…吸引部、２０…変形部、４０…制御部、４１…第１距離検出部（距離検出部）、４２…第２距離検出部、４４…荷重検出部、４６…挟持検出部、４８…圧力検出部、７１…所定圧力データ記憶部、７４…所定荷重データ記憶部。

Claims (10)

1. 先端に開口を有する吸着部と、
   前記吸着部に接続され、前記開口から外気を吸引可能な吸引部と、
   前記開口を変形させることが可能な変形部と、
   保持対象物までの距離を検出する距離検出部と、
   前記開口の内側の圧力を検出する圧力検出部と、
   前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、を有し、
   前記制御部は、
   前記距離検出部の検出する前記距離が所定距離未満であり、
   前記圧力検出部の検出する前記圧力が、前記吸引部の駆動状態に対応する所定圧力以上であるとき、
   前記変形部を駆動して前記開口を変形させ、前記開口の面積を減少させる、
   保持装置。
2. 前記変形部は、前記吸着部の外側を押圧して、前記開口を変形させる、
   請求項１に記載の保持装置。
3. 前記吸引部の駆動状態に対応する前記所定圧力のデータが保存された所定圧力データ記憶部を有する、
   請求項１または２に記載の保持装置。
4. 前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、
   前記開口の中央の第１部位において保持対象物までの第１距離を検出する第１距離検出部と、
   前記第１部位から第２方向に離間した第２部位において保持対象物までの第２距離を検出する第２距離検出部と、を有し、
   前記制御部は、
   前記第１距離検出部の検出する前記第１距離が第１所定距離未満であり、
   前記第２距離検出部の検出する前記第２距離が第２所定距離以上であるとき、
   前記変形部を駆動して前記開口を変形させ、前記開口の前記第２方向の幅を減少させる、
   請求項１から３のいずれか一項に記載の保持装置。
5. 前記変形部は、保持対象物を挟持可能である、
   請求項１から４のいずれか一項に記載の保持装置。
6. 前記変形部が保持対象物を挟持したことを検出する挟持検出部を有する、
   請求項５に記載の保持装置。
7. 前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、
   前記開口の内側の圧力を検出する圧力検出部と、
   保持対象物から前記吸着部に作用する荷重を検出する荷重検出部と、を有し、
   前記制御部は、
   前記荷重検出部の検出する前記荷重が、前記圧力検出部の検出する前記圧力に対応する所定荷重以上であるとき、
   前記吸引部を駆動して前記吸着部により保持対象物を吸着するとともに、前記変形部を駆動して前記保持対象物を挟持する、
   請求項５または６に記載の保持装置。
8. 前記圧力検出部の検出する前記圧力に対応する前記所定荷重のデータが保存された所定荷重データ記憶部を有する、
   請求項７に記載の保持装置。
9. 前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部を有し、
   前記制御部は、前記吸着部による保持対象物の吸着を解除するとき、前記変形部を駆動して前記開口を変形させる、
   請求項１から８のいずれか一項に記載の保持装置。
10. 請求項１から９のいずれか一項に記載の保持装置と、
    前記吸引部および前記変形部の動作を制御する制御部と、
    前記保持装置を移動させる移動部と、を有し、
    前記制御部は、前記移動部の動作を制御する、
    搬送装置。

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