JP6980304B2 - 非接触内面形状測定装置 - Google Patents
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Description
本実施形態で使用している50倍の対物レンズ12は半開口角(a)=30度、集光角(b)=40度であるため、最大傾斜角度A3=25度となる。しかし、表面粗さが数十nm以上あるバレル1の内面では散乱光が発生するためにAFセンサ15はその散乱光を捕えてこの測定可能限界傾斜角度A3以上の傾斜面の測定が可能となる。例えば表面粗さRa=0.1のピンゲージの断面形状を測定した場合、±88度の傾斜面まで測定可能であった。しかし傾斜角度が大きくなるにつれて散乱光の戻り光が少なくなるのでS/Nが落ちてフォーカススピードが低下する。それらを考慮して45度の傾斜角度Gを越えない方が良い。対物レンズ12が50倍(WD=10.5mm)で、傾斜角度を45度にした場合、バレル1において7mm以下の内径と深さを有する保持孔2の測定が可能となる。
8 回転ステージ(θ方向移動手段)
9 Y軸ステージ(Y方向移動手段)
11 レーザープローブ機構
12 対物レンズ
13 半導体レーザー照射装置(光照射手段)
14 ビームスプリッタ(光照射手段)
15 AFセンサ(光位置検出手段)
17 X軸ステージ(フォーカス手段)
18 Z軸ステージ(Z方向移動手段)
L レーザー光
K 光軸
G 傾斜角度
Claims (3)
- 三次元直交座標軸XYZが規定され、
光軸上に設置される対物レンズと、対物レンズへ向けて光軸と平行なレーザー光を照射する光照射手段と、対物レンズを経て測定ワークの内面に照射されそこで反射されて且つ再度対物レンズを通過したレーザー光を受光する光位置検出手段とからレーザープローブ機構を構成し、
光位置検出手段からの位置信号に基づいてレーザー光の焦点を測定ワークの内面に合致させるフォーカス手段を備えた非接触内面形状測定装置であって、
前記フォーカス手段はレーザープローブ機構全体をX方向に移動させるものであり、
前記レーザープローブ機構の光軸がX軸及びZ軸を含む垂直面内でX軸に対して傾斜し、レーザー光が光軸に対して垂直な状態から最大角度A3未満の範囲内で傾斜した非垂直の内面に対して照射され、
最大角度A3が、対物レンズの半開口角aおよび集光角bとして、
A3 <(a/2)+(b/4)
の範囲で設定されることを特徴とする非接触内面形状測定装置。 - 測定ワークをレーザー光に対してZ方向へ相対的に移動させるZ方向移動手段と、Z方向に沿うθ軸を中心にθ方向へ相対的に回転させるθ方向移動手段を設けたことを特徴とする請求項1記載の非接触内面形状測定装置。
- 対物レンズの倍率が50倍で、レーザープローブ機構の光軸のX軸に対する傾斜角度が45度以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の非接触内面形状測定装置。
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Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019216143 | 2019-11-29 |
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JP2021092523A JP2021092523A (ja) | 2021-06-17 |
JP6980304B2 true JP6980304B2 (ja) | 2021-12-15 |
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Family Applications (1)
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JP2020014605A Active JP6980304B2 (ja) | 2019-11-29 | 2020-01-31 | 非接触内面形状測定装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6980304B2 (ja) |
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2020
- 2020-01-31 JP JP2020014605A patent/JP6980304B2/ja active Active
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